JPS6362283A - 無声放電式ガスレ−ザ装置 - Google Patents
無声放電式ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS6362283A JPS6362283A JP20615386A JP20615386A JPS6362283A JP S6362283 A JPS6362283 A JP S6362283A JP 20615386 A JP20615386 A JP 20615386A JP 20615386 A JP20615386 A JP 20615386A JP S6362283 A JPS6362283 A JP S6362283A
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- Japan
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- cap
- tube
- metal tube
- glass
- gas laser
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- Pending
Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/0305—Selection of materials for the tube or the coatings thereon
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、無声放電式ガスレーザ装置（以下単にガス
レーザ装置と称す）、特に内部に発熱防止用の冷却水が
通される放電管の改良に関するものである。
レーザ装置と称す）、特に内部に発熱防止用の冷却水が
通される放電管の改良に関するものである。
第２図は、従来のガスレーザ装置における放電管を示す
もので、図中、（１）は両端近傍位置に冷却水導入口（
２）と冷却水導出口（図示せず）とを有する両端開放の
金属管、（８１：この金属管（３）の両端部にそれぞれ
溶着された半球状の金属製のキャップ、（４）は上記金
属管（１）およびキャップ（３）の外面にグラスライニ
ングされた誘電体ガラスである。
もので、図中、（１）は両端近傍位置に冷却水導入口（
２）と冷却水導出口（図示せず）とを有する両端開放の
金属管、（８１：この金属管（３）の両端部にそれぞれ
溶着された半球状の金属製のキャップ、（４）は上記金
属管（１）およびキャップ（３）の外面にグラスライニ
ングされた誘電体ガラスである。
従来のガスレーザ装置は上記のように構成され誘電体ガ
ラス（４）は、金属管（１）およびキャップ（３）の表
面に、ガラス粉をスプレーで塗布し、これを炉に入れて
８００〜９００℃で焼成した後冷却して形成される。
ラス（４）は、金属管（１）およびキャップ（３）の表
面に、ガラス粉をスプレーで塗布し、これを炉に入れて
８００〜９００℃で焼成した後冷却して形成される。
上記のような従来のガスレーザ装置では、金属管（１）
の両端部に金属製のキャップ（３）をそれぞれ溶着し、
金属管（１）およびキャップ（３）の外面に誘電体ガラ
ス（４）をグラスライニングして放電管を構成している
ため、誘電体ガラス（４）の膜厚にパラ付きが生じると
いう問題があつ迄。すなわち、誘電体ガラス（４）は、
加熱処理して冷却する際に収縮することになる。この際
、細長い物体は端部から降温し始めるという性質を有し
ているので、金属管（１）に比較してキャップ（３）の
方が早く冷え、キャップ（３）部分に誘電体ガラス（４
）が流動してこの部分の膜厚が厚くなる。このため、放
電特性が膜厚の薄い部分の電気特性に制限され、安定し
之放電特性が得られない等の問題があう文。
の両端部に金属製のキャップ（３）をそれぞれ溶着し、
金属管（１）およびキャップ（３）の外面に誘電体ガラ
ス（４）をグラスライニングして放電管を構成している
ため、誘電体ガラス（４）の膜厚にパラ付きが生じると
いう問題があつ迄。すなわち、誘電体ガラス（４）は、
加熱処理して冷却する際に収縮することになる。この際
、細長い物体は端部から降温し始めるという性質を有し
ているので、金属管（１）に比較してキャップ（３）の
方が早く冷え、キャップ（３）部分に誘電体ガラス（４
）が流動してこの部分の膜厚が厚くなる。このため、放
電特性が膜厚の薄い部分の電気特性に制限され、安定し
之放電特性が得られない等の問題があう文。
この発明は、かかる問題点を解決する几めになされたも
ので、誘電体の膜厚を一定にして放電特性を安定させ、
信頼性を向上させることができるガスレーザ装置を得る
ことを目的とする。
ので、誘電体の膜厚を一定にして放電特性を安定させ、
信頼性を向上させることができるガスレーザ装置を得る
ことを目的とする。
Ｃ問題点を解決するための手段〕
この発明に係るガスレーザ装置は、放電管を、両端開放
の金属管と、この金属管の両端部にそれぞれ封着された
絶縁材料層のキャップと、少なくとも上記金属管の外面
に被覆され比誘電体とから構成するようにし九ものであ
る。
の金属管と、この金属管の両端部にそれぞれ封着された
絶縁材料層のキャップと、少なくとも上記金属管の外面
に被覆され比誘電体とから構成するようにし九ものであ
る。
この発明においては、金属管の両端を絶縁材料製のキャ
ップで封着するようにしているので、金属管に比較して
キャップが早期に冷却することがなくなり、誘電体の膜
厚を均一化することが可能となる。
ップで封着するようにしているので、金属管に比較して
キャップが早期に冷却することがなくなり、誘電体の膜
厚を均一化することが可能となる。
第１図はこの発明の一実施例を示すもので、図中、第２
図と同一符号は同−又は相当部分を示す。
図と同一符号は同−又は相当部分を示す。
この実施例においては、金属管（１）の両端部にそれぞ
れ封着されるキャップ（３）が、機械加工可能で線膨張
係数が金属管（１）に比較的近いガラスセラミックス又
はセラミックス等の無機物の絶縁材料で形成され、かつ
金属管（１）よりも肉厚が厚く形成されている。また誘
電体ガラス（４）は、金属管（１）の外面およびキャッ
プ（３）の局面のみにグラスライニングされ、キャップ
（３）の端面にはライニングされていない。
れ封着されるキャップ（３）が、機械加工可能で線膨張
係数が金属管（１）に比較的近いガラスセラミックス又
はセラミックス等の無機物の絶縁材料で形成され、かつ
金属管（１）よりも肉厚が厚く形成されている。また誘
電体ガラス（４）は、金属管（１）の外面およびキャッ
プ（３）の局面のみにグラスライニングされ、キャップ
（３）の端面にはライニングされていない。
上記のように構成されたガスレーザ装置においては、誘
電体ガラス（４）は、金属管（１）の外面およびキャッ
プ（３）の局面に、ガラス粉をスプレーで塗布し、これ
を炉に入れて８００〜９００℃で焼成し穴径冷却して形
成される。この際、キャップ（３）を絶縁材料で形成し
、かつその肉厚を厚くしているので、キャップ（３）の
熱容量が大きくなって局部冷却しにくくなる。このため
、誘電体ガラス（４）が流動せず、膜厚変動が生じるこ
とはない。ま九キャップ（３）は機械加工が可能で線膨
張係数が金属管（１）に比較的近い絶縁材料が用いられ
ているので、絶縁材料を用いることに伴なう不具合がな
い。またこの絶縁材料は無機物であるので、キャップ（
３）の端面に誘電体ガラス（４）をライニングしなくて
も、レーザ発振時に有機成分が放出されてレーザ媒質が
汚染されることが全くない。
電体ガラス（４）は、金属管（１）の外面およびキャッ
プ（３）の局面に、ガラス粉をスプレーで塗布し、これ
を炉に入れて８００〜９００℃で焼成し穴径冷却して形
成される。この際、キャップ（３）を絶縁材料で形成し
、かつその肉厚を厚くしているので、キャップ（３）の
熱容量が大きくなって局部冷却しにくくなる。このため
、誘電体ガラス（４）が流動せず、膜厚変動が生じるこ
とはない。ま九キャップ（３）は機械加工が可能で線膨
張係数が金属管（１）に比較的近い絶縁材料が用いられ
ているので、絶縁材料を用いることに伴なう不具合がな
い。またこの絶縁材料は無機物であるので、キャップ（
３）の端面に誘電体ガラス（４）をライニングしなくて
も、レーザ発振時に有機成分が放出されてレーザ媒質が
汚染されることが全くない。
なお上記実施例では、キャップ（３）が無機物の絶縁材
料で形成されるものを示し友が、誘電体ガラス（４）を
キャップ（３）の外面全域にライニングする場合には、
有機物の絶縁材料を用いるようにしてもよい。
料で形成されるものを示し友が、誘電体ガラス（４）を
キャップ（３）の外面全域にライニングする場合には、
有機物の絶縁材料を用いるようにしてもよい。
この発明は以上説明したとおり、金属管の両端部にそれ
ぞれ封着されるキャップを、絶縁材料で形成するように
しているので、誘電体を、加熱処理後冷却して形成する
際に、誘電体の膜厚を均一にすることができ、放電特性
を安定させて信頼性を向上させることができる等の効果
がある。
ぞれ封着されるキャップを、絶縁材料で形成するように
しているので、誘電体を、加熱処理後冷却して形成する
際に、誘電体の膜厚を均一にすることができ、放電特性
を安定させて信頼性を向上させることができる等の効果
がある。
第１図はこの発明の一実施例を示すガスレーザ装置の要
部断面図、第２図は従来のガスレーザ装置を示す第１図
相当図である。 （１）・・金属管 （３）嗜・キャップ（４）−
・誘電体ガラス なお各図中、同一符号は同−又は相当部分を示すものと
する。
部断面図、第２図は従来のガスレーザ装置を示す第１図
相当図である。 （１）・・金属管 （３）嗜・キャップ（４）−
・誘電体ガラス なお各図中、同一符号は同−又は相当部分を示すものと
する。
Claims (3)
- （１）発熱防止用の冷却水が内部に通される放電管を備
えた無声放電式ガスレーザ装置において、上記放電管を
、両端開放の金属管と、この金属管の両端部にそれぞれ
封着された絶縁材料製のキャップと、少なくとも上記金
属管の外面に被覆された誘電体とから構成したことを特
徴とする無声放電式ガスレーザ装置。 - （２）キャップは、ガラスセラミックス又はセラミック
スであることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
無声放電式ガスレーザ装置。 - （３）キャップは、金属管に比較して厚肉に形成されて
いることを特徴とする特許請求の範囲第１項又は第２項
記載の無声放電式ガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20615386A JPS6362283A (ja) | 1986-09-02 | 1986-09-02 | 無声放電式ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20615386A JPS6362283A (ja) | 1986-09-02 | 1986-09-02 | 無声放電式ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6362283A true JPS6362283A (ja) | 1988-03-18 |
Family
ID=16518673
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20615386A Pending JPS6362283A (ja) | 1986-09-02 | 1986-09-02 | 無声放電式ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6362283A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5640866A (en) * | 1994-02-25 | 1997-06-24 | Ishikawajima-Harima Heavy Industries Co., Ltd. | Roll for rolling mill and roll-shift type rolling mill |
-
1986
- 1986-09-02 JP JP20615386A patent/JPS6362283A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5640866A (en) * | 1994-02-25 | 1997-06-24 | Ishikawajima-Harima Heavy Industries Co., Ltd. | Roll for rolling mill and roll-shift type rolling mill |
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