JPS6355431A

JPS6355431A - 差圧測定装置

Info

Publication number: JPS6355431A
Application number: JP19936086A
Authority: JP
Inventors: Kenichi Yoshioka; 吉岡　賢一
Original assignee: Yokogawa Electric Corp
Current assignee: Yokogawa Electric Corp
Priority date: 1986-08-26
Filing date: 1986-08-26
Publication date: 1988-03-09

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は差圧測定装置に関するものである。

更に詳述すれば、静圧変動に起因する誤差を補正し得る
差圧測定装置に関するものである。

（従来の技術）第２図は従来よシ一般に使用されている従来例の構成説
明図である。

図において、ｌは金属材よｐなる本体、１１は本体に設
けられた内部室である。２は内部室１１に設けられ内部
室１１を二つの測定室１２．１３に分け移動電極として
機能する測定ダイアフラムである。３１．３２は測定ダ
イアフラム２に対向して内部室１１の壁面に絶縁体４１
．４２を介して取付けられた固定電極である。５１．５
２は固定電極３１．３２より絶縁体４１．４２を介して
前記本体１を通って引き出される固定電極リード線であ
る。

以上の構成において、本体１０図の左右から測定圧力Ｐ
、、Ｐ２が加わると、測定ダイアフラム２は測定圧力ｐ
、−ｐ２の差圧によって変位する。測定ダイア７２ム２
の変位によって固定電極３１．３２との静電容量が差動
的に変化し、差圧に対応した電気信号出力が得られる。

（発明が解決しようとする問題点）しかしながら、このようなものにおいては、靜圧によっ
て、ゼロ点変動や測定差圧スパン変動が生じ測定誤差を
生ずる。

本発明は、この問題点を解決するものである。

本発明の目的は、差圧を測定すると共に、静圧も測定し
て、静圧変動に起因する誤差を補正演算することにより
、高精度に差圧を測定し得る差圧測定装置を提供するに
ある。

（問題点を解決するための手段）この目的を達成するために、木登８＾は、本体と、該本
体に設けられた内部室と、該内部室を二つの測定室に分
け移動電極として機能する測定ダイア７ラムと、該測定
ダイアフラムに対向して前記内部室壁にそれぞれ設けら
れた第１の電極と、該第１の電極表面に重ねて設けられ
た圧電性膜と、該圧電性膜の表面に重ねて設けられた第
２の電極とを具備し、前記第１あるいは第２の電極と前
記測定ダイアフラムとによシ差圧を測定し、前記第１の
電極と第２の電極とで静圧を測定して、該静圧測定値に
より前記差圧の測定値を補正演算するようにしてなる差
圧測定装置を構成したものである。

（作用）以上の構成において、二つの測定室に、それぞれ測定圧
力ｐ、、ｐ２が加わると、測定ダイアフラムは、測定圧
力Ｐ、と測定圧力Ｐ２との差圧によって変位する。測定
ダイアフラムの変位によって、測定ダイアフラムと第１
又は第２の電極との静電容量が差動的に変化し、差圧に
対応した電気信号出力が得られる。

一方、静圧により、圧電性膜は押圧されるので、圧電性
膜は電圧又は電荷を発生し、この電圧又は電荷は第１の
電極と第２の電極とによシ静圧に対応した電気信号出力
が得られる。

この静圧測定値によシ、差圧の測定値を補正演算するこ
とにより、静圧変動に起因する誤差を補正することがで
きる。

以下、実施例に基づいて、詳細に説明する。

（実施例）第１図は、本発明の一実施例の構成説明図である。

第１図において、第２図と同一記号は同一機能を示す。

以下、第２図と相違部分のみ説明する。

図において、６１と６２は測定ダイアフラム２に対向し
て内部室２の壁にそれぞれ設けられた第１の電極である
。６３．６４は第１の電極６１゜６２の表面に重ねて設
けられた圧電性膜である。

この場合は、酸化亜鉛（ＺｉｎＯ）が用いられている。

６５．６６は圧電性膜６３．６４に重ねて設けられた第
２の電極である。電極６１．６２．６５．６６や圧電性
膜６３．６４は蒸着やスパッタリングなどの方法で形成
される。

以上の構成において、本体１の図の左右から測定圧力ｐ
、、ｐ２が加わると、測定ダイアフラム２は測定圧力Ｐ
、−Ｐ２の差圧によって変位する。測定ダイアフラム２
の変位によって、第１の電極６１゜６２あるいは、第２
の電極６５．６６と測定ダイアフラム２との静電容量が
差動的に変化し、差圧（対応した電気信号出力が得られ
る。

一方、測定圧の静圧により、圧電性膜６３．６４は押圧
されるので、圧電性膜６３．６４は電圧又は電荷を発生
し、この電圧又は電荷は、第１の電極６１．６２と第２
の電極６５．６６とによｐ、静圧に対応した電気信号出
力が得られる。

この静圧測定値により、差圧の測定値を補正演算するこ
とによシ、静圧変動に起因する誤差を補正することがで
きる。

この結果、静圧変動に起因する誤差が補正された、高精
度な差圧を測定することができる。

なお、前述の実施例においては、静圧に対応した電気信
号出力のとシ出しは、第１の電極６１゜６２と第２の電
極６５．６６とにより、それぞれ取シ出すと説明したが
、片側だけ、たとえば、電１の電極６１と第２の電極６
５により取シ出すようにしてもよいことは勿論である。

但し、両側から、とシ出せば、過大圧による誤差の影響
も除去することができる。

また、第１の電極６１．６２と第２の電極６５゜６６は
いずれを静電容量測定用の固定電極として使用してもよ
いこと（Ｓ勿論である。

（発明の効果）以上説明したように、本発明は、本体と、該本体に設け
られた内部室と、該内部室を二つの測定室に分け移動電
極として機能する測定ダイアフラムと、該測定ダイアフ
ラムに対向して前記内部室壁にそれぞれ設けられた第１
の電極と、該第１の電極表面に重ねて設けられた圧電性
膜と、該圧電性膜の表面に重ねて設けられた第２の電極
とを具備し、前記第１あるいは第２の電極と前記測定ダ
イアフラムとによＱ差圧を測定し、前記第１の電極と第
２の電極とで静圧を測定して、該静圧測定値により前記
差圧の測定値を補正演算するようにしてなる差圧測定装
置を構成したので、静圧変動に起因する誤差が補正され
た、高精度な差圧を測定することができる。

したがって、本発明によれば、差圧を測定すると共に静
圧を測定して、静圧変動に起因する誤差を補正演算する
ことによシ、高精度に差圧を測定し得る差圧測定装置を
実現することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の構成説明図、第２図は従来
より一般に使用されている従来例の構成説明図である。１・・・本体、１１・・・内部室、１２．１３・・・測
定室、２・・・測定ダイアフラム、４１．４２・・・絶
縁体、５１．５２・・・固定電極リード線、６１．６２
・・・第１の電極、６３．６４・・・圧電性膜、６５．
６６・・・第２の電極。

Claims

【特許請求の範囲】

本体と、該本体に設けられた内部室と、該内部室を二つ
の測定室に分け移動電極として機能する測定ダイアフラ
ムと、該測定ダイアフラムに対向して前記内部室壁にそ
れぞれ設けられた第１の電極と、該第１の電極表面に重
ねて設けられた圧電性膜と、該圧電性膜の表面に重ねて
設けられた第２の電極とを具備し、前記第１あるいは第
２の電極と前記測定ダイアフラムとにより差圧を測定し
、前記第１の電極と第２の電極とで静圧を測定して、該
静圧測定値により前記差圧の測定値を補正演算するよう
にしてなる差圧測定装置。