JPS6355180A - 窒化ケイ素系セラミックス部品の製造方法 - Google Patents

窒化ケイ素系セラミックス部品の製造方法

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JPS6355180A
JPS6355180A JP61195213A JP19521386A JPS6355180A JP S6355180 A JPS6355180 A JP S6355180A JP 61195213 A JP61195213 A JP 61195213A JP 19521386 A JP19521386 A JP 19521386A JP S6355180 A JPS6355180 A JP S6355180A
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JP
Japan
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sintered body
ceramic
temperature
ceramic component
component according
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大西 洋治
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Toshiba Corp
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Toshiba Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明は、ωI削加工により所定の形状に成形加工され
たセラミックス部品に関する。
(従来の技術) 従来から、例えばセラミックス焼結体により軸受けやボ
ールベアリングのような高い精度を有する製品を製造す
る場合には、最終寸法より大ぎめの製品を比較的低い精
度で成形して焼成し、このようにして得たセラミックス
焼結体に研削加工を施して最終形状にすることが行われ
ていた。
〈発明が解決しようとする問題点) しかるにこのような方法で製造されたセラミックス部品
では、研削過程でミクロな鋭角状の切欠きが生じ、この
ため機械的強度が低下して所期の特性を得ることができ
ないという問題がめった。
この現象はダイヤモンド工具のダイヤモンドの粒径を小
ざくしでも同様に生じ、その改善が求められていた。
本発明はこのような従来の欠点を解消すべくなされたも
ので、研削加工により所定の形状に成形され、しかも機
械的強度の改善されたセラミックス部品を提供すること
を目的とする。
[発明の構成] (問題点を解決するための手段) 本発明は、セラミックス焼結体を所定の形状に研削加工
し、このセラミックス焼結体の焼結温度よりも低い温度
で、かつその結晶化がラス相(例えばあらかじめ添加し
た焼結助剤からなるガラス相)の軟化温度よりも高い温
度で加熱処理して成ることを特徴としている。
本発明の適用されるセラミックス焼結体としては、例え
ば窒化ケイ素、Si C,Zn 02 、アルミナ等の
セラミックス焼結体がおる。
また本発明における熱処理温度および時間は、窒化ケイ
素焼結体の場合には、800〜1100℃で1〜24時
間程度が適当であるが、他のセラミツ22ル24時間程
度が適当であるが、他のセラミックスの場合には適宜実
験的に求められる。なあ、一般的に温度が低いと長時間
、高いと短時間を要し、品質的には、低温で成る程度の
時間を掛けるのが望ましい。
(作用) 本発明によれば、研削加工の除虫じたミクロな鋭角状の
切欠きが熱処理により丸められ、これによって機械的強
度が向上する。
(実施例) 以下本発明の実施例について説明する。
実施例1 Si 3N4    100  重量部Y2O35tt AβN         3〃 八β2ch       3   n 上記の混合粉末にバインダーを加えて平板状に加圧成形
し、700℃で3時間脱脂した後、1750℃で3時間
焼成して100mraX 100+nmx12tmの平
板状の窒化ケイ素焼結体を得た。
次いで、この平板状の窒化ケイ素焼結体を最終仕上げを
粒度# 400のダイヤモンドディスクを用いて3mm
X 4minX40mmに裁断して角棒状の試験試料を
作り、そのうち24試料をそのまま標点間距離20m1
で3点曲げにより抗折強度を測定しく比較例1)、残り
の25試料を1000℃で2時間熱処理を施した後同じ
条件で抗折強度を測定した(実施例1)。
その結果は第1表の通りであった。
第1表 またこれらの試料のワイブル分布は第1図(実施例1)
および第2図(比較例2)に示した通りであった。
実施例2 Si 3N4    100  重量部Y2O35〃 Af!、2Ch       2   rl上記の混合
粉末にバインダーを加えて平板状に加圧成形し、700
℃で3時間脱脂した後、1750°Cで3時間焼成して
foomIIIX 100mmx12mmの平板状の窒
化ケイ素焼結体を得た。
次いで、この平板状の窒化ケイ素焼結体を最終仕上げを
粒度# 600のダイヤモンドディスクを用いて3mm
X4關x 40+nmに裁断して角棒状の試験試料を作
り、そのうち6試料をそのまま標点間距離20TITI
で3点曲げにより抗折強度を測定しく比較例2)、残り
の25試料を1ooo’cで2時間熱処理を施した後同
じ条件で抗折強度を測定した(実施例2)。
その結果は第2表の通りであった。
第2表 またこれらのワイブル分イnは第3図(実施例2)およ
び第4図(比較例2)に示す通りであった。
以上の実施例からも明らかなように、本発明のセラミッ
クス部品は、研削加工が施されているにかかわらずその
機械的強度は非常に大きく、軸受は部品やベアリング等
の構造部品に有利に使用することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図および第3図は、それぞれ本発明の実施例のワイ
ブル分布を示すグラフ、第2図および第4図は、それぞ
れ比較例のワイブル分イ「を示すグラフである。 代理人 弁理士  則 近 憲 缶 周  湯山幸夫 杭打強度 第1図 杭打強度 第2図

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)セラミックス焼結体を所定の形状に研削加工し、
    このセラミックス焼結体の焼結温度よりも低い温度で、
    かつその結晶化ガラス相の軟化温度よりも高い温度で加
    熱処理して成ることを特徴とするセラミックス部品。
  2. (2)結晶化ガラス相は、あらかじめ添加した焼結助剤
    からなるガラス相である特許請求の範囲第1項記載のセ
    ラミックス部品。
  3. (3)焼結助剤は、イットリア、アルミナ及び窒化アル
    ミニウムより選ばれた1種又は2種以上である特許請求
    の範囲第2項記載のセラミックス部品。
  4. (4)セラミックス焼結体が、窒化ケイ素焼結体である
    特許請求の範囲第1項記載のセラミックス部品。
  5. (5)加熱処理が、800〜1100℃の温度で行われ
    たものである特許請求の範囲第2項記載のセラミックス
    部品。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0679616A2 (en) * 1994-04-26 1995-11-02 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Method of producing silicon nitride ceramic component
EP0710634A3 (en) * 1994-10-19 1996-10-16 Sumitomo Electric Industries Process for the production of sintered bodies from silicon nitride

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2577581Y2 (ja) * 1993-04-19 1998-07-30 美津濃株式会社 ゴルフ用パタークラブヘッド

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60122783A (ja) * 1983-12-02 1985-07-01 工業技術院長 セラミックスの製造法
JPS60151290A (ja) * 1984-01-19 1985-08-09 トヨタ自動車株式会社 非酸化物系セラミツク構造体の表面処理方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60122783A (ja) * 1983-12-02 1985-07-01 工業技術院長 セラミックスの製造法
JPS60151290A (ja) * 1984-01-19 1985-08-09 トヨタ自動車株式会社 非酸化物系セラミツク構造体の表面処理方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0679616A2 (en) * 1994-04-26 1995-11-02 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Method of producing silicon nitride ceramic component
EP0679616A3 (ja) * 1994-04-26 1995-11-29 Sumitomo Electric Industries
US5599493A (en) * 1994-04-26 1997-02-04 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Method of producing silicon nitride ceramic component
EP0710634A3 (en) * 1994-10-19 1996-10-16 Sumitomo Electric Industries Process for the production of sintered bodies from silicon nitride
CN1071723C (zh) * 1994-10-19 2001-09-26 住友电气工业株式会社 氮化硅烧结体的制造方法

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