JPS6354665B2 - - Google Patents

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JPS6354665B2
JPS6354665B2 JP59102714A JP10271484A JPS6354665B2 JP S6354665 B2 JPS6354665 B2 JP S6354665B2 JP 59102714 A JP59102714 A JP 59102714A JP 10271484 A JP10271484 A JP 10271484A JP S6354665 B2 JPS6354665 B2 JP S6354665B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
fiber
sic
carbon
silicon carbide
carbide material
Prior art date
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Expired
Application number
JP59102714A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS60246265A (ja
Inventor
Yukifumi Sakai
Kyoichi Okamoto
Takeshi Hoshina
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Coorstek KK
Original Assignee
Toshiba Ceramics Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Ceramics Co Ltd filed Critical Toshiba Ceramics Co Ltd
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Publication of JPS60246265A publication Critical patent/JPS60246265A/ja
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Description

【発明の詳細な説明】 [発明の技術分野] 本発明は熱衝撃抵抗の高い繊維強化炭化珪素質
材料の製造方法に関する。
[発明の技術的背景とその問題点] Si−SiCはSiC成形体あるいはSiC−C成形体に
外部からSiを加えて反応焼結により製造される炭
化珪素質材料である。しかし、第1図に示すハツ
セルマンプロツトからわかるように、水で急冷し
た場合にクラツクが発生する最低の温度差ΔTc
が350℃と低く、熱衝撃抵抗が小さい。このため、
Si−SiCはその耐熱性から高温でも用いられるべ
き材料であるにもかかわらず、熱衝撃により破壊
する可能性があり、温度変化の激しい所での使用
は困難であつた。
そこで、Si−SiCと炭素繊維とを複合させるこ
とが考えられるが、引張り強度についてはSiC繊
維が350Kg/mm2、炭素繊維が280Kg/mm2であるた
め、単なる混合体であれば、Si−SiC材質よりも
強度的にはマイナスになる。
[発明の目的] 本発明は上記事情に鑑みてなされたものであ
り、炭素繊維と複合させることにより温度変化の
激しい所でも使用できるような熱衝撃抵抗の高い
炭化珪素質材料を製造し得る方法を提供しようと
するものである。
[発明の概要] 本発明の繊維強化炭化珪素質材料の製造方法
は、表面にグラツシーカーボンを被覆した炭素繊
維とSiC材質とを混合し、これらに珪素を含浸さ
せた後、反応焼結させることを特徴とするもので
ある。
このような方法によれば、炭素繊維表面に被覆
されたグラツシーカーボンをSiCに変換して強度
向上に寄与させるとともに炭素繊維の存在により
熱応力を緩和することができるので、熱衝撃抵抗
を大きくすることができる。
[発明の実施例] 以下、本発明の実施例を説明する。
まず、炭素繊維にアセトン等の溶剤を添加した
後、超音波により充分に分散させた。この炭素繊
維とフルフリルアルコールあるいはフエノールレ
ジンとをニーダー等を用いて混練した後、空気中
200〜350℃の温度で乾燥した。次に、混練物を窒
素雰囲気中、900℃で焼成し、表面にグラツシー
カーボンが形成された炭素繊維を得た。つづい
て、この炭素繊維をジエツトミルにより10〜
100μm程度に粉砕した。
次いで、上記粉砕粉及び炭化珪素粉と炭素粉と
の混合粉に有機バインダーを添加してポツトミル
等を用いて混練した後、空気中80℃で乾燥した。
なお、炭素繊維の粉砕粉の添加量は1%及び10%
とした。つづいて、この乾燥粉をジエツトミルを
用いて粉砕した後、成形した。つづいて、この成
形体に珪素を含浸し、減圧下1450〜1800℃で反応
焼結させた後、加工して繊維強化炭化珪素質材料
を製造した。
得られた繊維強化炭化珪素質材料のハツセルマ
ンプロツトを第2図及び第3図に示す。なお、第
2図は炭素繊維の添加量1%のもの、第3図は炭
素繊維の添加量10%のものである。
第2図ではΔTcは約500℃、第3図では曲線が
なだらかとなるがΔTcは約600℃であり、いずれ
も炭素繊維と複合されていない従来のSi−SiC材
質(第1図図示)よりも熱衝撃抵抗が向上してい
る。
なお、上記実施例ではグラツシーカーボンを被
覆した炭素繊維を粉砕したもの及び炭化珪素粉と
炭素粉との混合粉を用いたが、本発明の繊維強化
炭化珪素質材料を製造方法はこれに限定されな
い。例えば、グラツシーカーボンを被覆した炭素
繊維(主に長繊維)にSiCのスリツプを付着させ
た後、これに二次元的あるいは三次元的に配向さ
せ、更に珪素を含浸させた後、反応焼結させても
よい。また、グラツシーカーボンを被覆した炭素
繊維を紙あるいはプラスチツクのパイプに巻付け
た後、SiCのスリツプを付着させ、更に珪素を含
浸させた後、反応焼結させてパイプ状の繊維強化
炭化珪素質材料を製造してもよい。
[発明の効果] 以上詳述した如く本発明によれば、熱衝撃抵抗
が著しく向上し、高温材料として有益な繊維強化
炭化珪素質材料を製造することができるものであ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来のSi−SiCのハツセルマンプロツ
ト、第2図及び第3図はそれぞれ本発明の実施例
における繊維強化炭化珪素質材料のハツセルマン
プロツトである。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 表面にグラツシーカーボンを被覆した炭素繊
    維とSiC材質とを混合し、これらに珪素を含浸さ
    せた後、反応焼結させることを特徴とする繊維強
    化炭化珪素質材料の製造方法。
JP59102714A 1984-05-23 1984-05-23 繊維強化炭化珪素質材料の製造方法 Granted JPS60246265A (ja)

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JPS60246265A JPS60246265A (ja) 1985-12-05
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62152706A (ja) * 1985-12-27 1987-07-07 黒崎窯業株式会社 耐火物中の繊維分散方法
JP2573526B2 (ja) * 1989-10-26 1997-01-22 東芝セラミックス株式会社 半導体ウェハ搬送用治具の製造方法
GB9023268D0 (en) * 1990-10-25 1990-12-05 Nat Res Dev Sol-gel method of making silicon carbide and of protecting a substrate

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Publication number Publication date
JPS60246265A (ja) 1985-12-05

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