JPS634595Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS634595Y2 JPS634595Y2 JP1983006522U JP652283U JPS634595Y2 JP S634595 Y2 JPS634595 Y2 JP S634595Y2 JP 1983006522 U JP1983006522 U JP 1983006522U JP 652283 U JP652283 U JP 652283U JP S634595 Y2 JPS634595 Y2 JP S634595Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crystal
- crystal piece
- piece
- shape
- rotating body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 45
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 6
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は水晶片加工装置に関するものである。
一般的にATカツト水晶振動子は、その発振周波
数が温度変化や時間的変化に安定であるため、電
子工業分野で多くの機器の基準発振源として使用
されている。電子機器の小型化と共にATカツト
水晶振動子の小型化が要求され、近年ATカツト
水晶振動子を小型化したものが製造され始めてい
る。第１図はATカツト水晶振動片（以下水晶片
と称する）の斜視図であり、同図の座標は夫々水
晶片の結晶軸を表わしている。水晶片の小型化を
可能にしたのは、第１図に示す水晶片１のように
矩形状に加工した為である。従来の円板型や方形
型から、小型の矩形状でも同様の性能が出せるこ
とについては多くの論文に発表されているので省
略するが、要は、Z′軸方向を短くしても基本的性
能は変化しないということである。第２図、第３
図は水晶片の主面にコンベツクス加工をしたもの
であり、プラノコンベツクス、バイコンベツクス
形状である。コンベツクス加工の必要性について
は低周波数のATカツト水晶振動片（5MHz以下）
の場合常識であるが、特に水晶片が小型になる程
重要になつてくる。その理由は、水晶片に占める
電極の面積が大きくなるからである。水晶片が振
動するのは圧電現象によるものであるが、電極は
水晶片内部に発生する電荷を集める為のものであ
り、電極に挾まれた部分は大きく振動する。電極
から遠ざかるにつれ振動は弱くなる。水晶片は或
る部分を固定しなければならないが、電極に近い
部分を固定すると振動が妨げられるので、できる
だけ電極から遠い部分（即ち振動が弱くなつてい
る部分）を固定するのが理想である。しかし、水
晶片が小さくなると水晶片内部に発生する電荷は
少なくなるので、できるだけ大きな電極を形成す
る必要があり、このことは、固定の理想に反する
ことになる。第４図及び第５図は水晶片を支持す
る代表的な構造であり、第４図は両側支持、第５
図は片側支持である。夫々支持部分は振動子の耐
衝撃性等を考慮すると振動片の端面より300μｍ
〜400μｍの部分まで固定しなければならない。
一般的にATカツト水晶振動子は、その発振周波
数が温度変化や時間的変化に安定であるため、電
子工業分野で多くの機器の基準発振源として使用
されている。電子機器の小型化と共にATカツト
水晶振動子の小型化が要求され、近年ATカツト
水晶振動子を小型化したものが製造され始めてい
る。第１図はATカツト水晶振動片（以下水晶片
と称する）の斜視図であり、同図の座標は夫々水
晶片の結晶軸を表わしている。水晶片の小型化を
可能にしたのは、第１図に示す水晶片１のように
矩形状に加工した為である。従来の円板型や方形
型から、小型の矩形状でも同様の性能が出せるこ
とについては多くの論文に発表されているので省
略するが、要は、Z′軸方向を短くしても基本的性
能は変化しないということである。第２図、第３
図は水晶片の主面にコンベツクス加工をしたもの
であり、プラノコンベツクス、バイコンベツクス
形状である。コンベツクス加工の必要性について
は低周波数のATカツト水晶振動片（5MHz以下）
の場合常識であるが、特に水晶片が小型になる程
重要になつてくる。その理由は、水晶片に占める
電極の面積が大きくなるからである。水晶片が振
動するのは圧電現象によるものであるが、電極は
水晶片内部に発生する電荷を集める為のものであ
り、電極に挾まれた部分は大きく振動する。電極
から遠ざかるにつれ振動は弱くなる。水晶片は或
る部分を固定しなければならないが、電極に近い
部分を固定すると振動が妨げられるので、できる
だけ電極から遠い部分（即ち振動が弱くなつてい
る部分）を固定するのが理想である。しかし、水
晶片が小さくなると水晶片内部に発生する電荷は
少なくなるので、できるだけ大きな電極を形成す
る必要があり、このことは、固定の理想に反する
ことになる。第４図及び第５図は水晶片を支持す
る代表的な構造であり、第４図は両側支持、第５
図は片側支持である。夫々支持部分は振動子の耐
衝撃性等を考慮すると振動片の端面より300μｍ
〜400μｍの部分まで固定しなければならない。
コンベツクス加工は、振動片の両端での振動を
出来るだけ減衰させる為の形状加工である。コン
ベツクス加工については種々の加工方法が考案さ
れているが、量産レベルではパイピングと称する
加工機が使用されている。これはパイプの中に水
晶片と研磨剤を入れ、パイプを回転することによ
り水晶片をパイプ内径に倣つた形状に加工する方
法であり、円板型、方形型の水晶片で採用されて
いた。しかし、水晶片を矩形状にした場合は、以
下に述べる理由により、適切なパイピングが出来
なかつた。第６図は、パイプの中に矩形状水晶片
を入れた場合に矩形状水晶片がパイプの中で取り
得る状態の代表位置である。矩形状水晶片がａの
状態にある時は希望の形状に加工できるが、ｂの
状態にある時は希望しない形状に加工されてしま
う。パイピング加工においては、コンベツクス形
状加工が目的であるが、付随的に水晶片の主面も
削られてしまう。例えば4.2MHzの矩形状水晶片
をパイピングする場合、コンベツクス形状になる
までに主面も平均で片側35μｍ削れてしまう。
（条件によつて異なるが…）第６図に示すａ状態
とｂ状態では顕著な差が出てくるのは容易に理解
できる。
出来るだけ減衰させる為の形状加工である。コン
ベツクス加工については種々の加工方法が考案さ
れているが、量産レベルではパイピングと称する
加工機が使用されている。これはパイプの中に水
晶片と研磨剤を入れ、パイプを回転することによ
り水晶片をパイプ内径に倣つた形状に加工する方
法であり、円板型、方形型の水晶片で採用されて
いた。しかし、水晶片を矩形状にした場合は、以
下に述べる理由により、適切なパイピングが出来
なかつた。第６図は、パイプの中に矩形状水晶片
を入れた場合に矩形状水晶片がパイプの中で取り
得る状態の代表位置である。矩形状水晶片がａの
状態にある時は希望の形状に加工できるが、ｂの
状態にある時は希望しない形状に加工されてしま
う。パイピング加工においては、コンベツクス形
状加工が目的であるが、付随的に水晶片の主面も
削られてしまう。例えば4.2MHzの矩形状水晶片
をパイピングする場合、コンベツクス形状になる
までに主面も平均で片側35μｍ削れてしまう。
（条件によつて異なるが…）第６図に示すａ状態
とｂ状態では顕著な差が出てくるのは容易に理解
できる。
本考案は前記従来技術の欠点に鑑みてなされた
ものである。
ものである。
本考案は、回転体の内面をほぼ球面形状にする
ことに特徴がある。
ことに特徴がある。
第７図は、本考案の回転体の一実施例であり斜
視図。回転体の内面及び外面が球面体である。
視図。回転体の内面及び外面が球面体である。
第８図は本考案の他の実施例であり断面図。一
つのパイプの中に球面部が三室形成されている回
転体である。本考案の回転体を使用した水晶片加
工装置を使用すると以下の効果がある。
つのパイプの中に球面部が三室形成されている回
転体である。本考案の回転体を使用した水晶片加
工装置を使用すると以下の効果がある。
ａ 水晶片の向きに関係なく同形状に加工でき
る。
る。
ｂ 矩形の短辺（即ちZ′軸方向）方向にも均一な
コンベツクス加工ができる。
コンベツクス加工ができる。
ｃ 曲率の大きいコンベツクス加工が容易となる
ので小型の水晶片や、低周波の水晶片の加工が
可能となる。
ので小型の水晶片や、低周波の水晶片の加工が
可能となる。
以上説明したように、本考案による水晶片加工
装置を用いると、小型の水晶片に曲率の大きい、
一定の形状の揃つたコンベツクス加工が出来る為
水晶片支持部での振動減衰が良好に行なわれる。
よつて、支持（固定）により振動を妨げられるこ
とがなく安定した振動の振動子が製造できる。
又、バラツキが少ない為、品質の揃つた振動子が
製造できる。
装置を用いると、小型の水晶片に曲率の大きい、
一定の形状の揃つたコンベツクス加工が出来る為
水晶片支持部での振動減衰が良好に行なわれる。
よつて、支持（固定）により振動を妨げられるこ
とがなく安定した振動の振動子が製造できる。
又、バラツキが少ない為、品質の揃つた振動子が
製造できる。
第１図はATカツト水晶振動片の斜視図、第２
図はプラノコンベツクス形状のATカツト水晶振
動片、第３図はバイコンベツクス形状のATカツ
ト水晶振動片、第４図は水晶片支持構造で両側支
持、第５図は水晶片支持構造で片側支持、第６図
は従来技術のパイピング状態説明図、第７図は本
考案の一実施例で斜視図、第８図は本考案の他の
実施例で断面図。
図はプラノコンベツクス形状のATカツト水晶振
動片、第３図はバイコンベツクス形状のATカツ
ト水晶振動片、第４図は水晶片支持構造で両側支
持、第５図は水晶片支持構造で片側支持、第６図
は従来技術のパイピング状態説明図、第７図は本
考案の一実施例で斜視図、第８図は本考案の他の
実施例で断面図。
Claims (1)
- 振動子用の矩形状水晶片と研磨剤を回転体の中
に入れ、該回転体を回転することにより前記水晶
片を前記回転体の内面に倣つた形状に加工する矩
形状水晶片加工装置に於いて、前記回転体の内面
がほぼ球面であることを特徴とする水晶片加工装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP652283U JPS59112548U (ja) | 1983-01-19 | 1983-01-19 | 水晶片加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP652283U JPS59112548U (ja) | 1983-01-19 | 1983-01-19 | 水晶片加工装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59112548U JPS59112548U (ja) | 1984-07-30 |
| JPS634595Y2 true JPS634595Y2 (ja) | 1988-02-05 |
Family
ID=30138082
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP652283U Granted JPS59112548U (ja) | 1983-01-19 | 1983-01-19 | 水晶片加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59112548U (ja) |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5028238A (ja) * | 1973-07-12 | 1975-03-22 | ||
| JPS55107317A (en) * | 1979-02-08 | 1980-08-18 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | Thickness slide crystal oscillator and its manufacture |
| JPS55134518A (en) * | 1979-04-06 | 1980-10-20 | Kobayashi Kurisutaru Kk | Method and device for manufacturing lens type crystal vibrator |
| JPS5664510A (en) * | 1979-10-30 | 1981-06-01 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Rectangular at-cut quartz oscillator |
| JPS5643034B2 (ja) * | 1976-12-27 | 1981-10-08 | ||
| JPS57138573A (en) * | 1981-02-23 | 1982-08-26 | Tipton Mfg Corp | Barrel grinding method and grinding machine therefor |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS568315U (ja) * | 1979-06-28 | 1981-01-24 | ||
| JPS5912584Y2 (ja) * | 1979-09-11 | 1984-04-16 | 東京電波株式会社 | 水晶感温トランスジユ−サ |
| JPH0138983Y2 (ja) * | 1981-03-23 | 1989-11-21 |
-
1983
- 1983-01-19 JP JP652283U patent/JPS59112548U/ja active Granted
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5028238A (ja) * | 1973-07-12 | 1975-03-22 | ||
| JPS5643034B2 (ja) * | 1976-12-27 | 1981-10-08 | ||
| JPS55107317A (en) * | 1979-02-08 | 1980-08-18 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | Thickness slide crystal oscillator and its manufacture |
| JPS55134518A (en) * | 1979-04-06 | 1980-10-20 | Kobayashi Kurisutaru Kk | Method and device for manufacturing lens type crystal vibrator |
| JPS5664510A (en) * | 1979-10-30 | 1981-06-01 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Rectangular at-cut quartz oscillator |
| JPS57138573A (en) * | 1981-02-23 | 1982-08-26 | Tipton Mfg Corp | Barrel grinding method and grinding machine therefor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59112548U (ja) | 1984-07-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5829890B2 (ja) | オ−バト−ン水晶として使用される厚みすべり振動子 | |
| US5736911A (en) | Piezoelectric resonator with a resonance frequency adjusting notch | |
| JPH0640612B2 (ja) | 圧電振動子 | |
| JPS634595Y2 (ja) | ||
| JPH04138708A (ja) | Ｓｃカットの水晶振動子 | |
| JP2020028873A (ja) | ランジュバン型超音波振動子とその支持方法 | |
| JPS60137115A (ja) | 圧電振動子 | |
| JPS5824966B2 (ja) | Ａｔカツト水晶振動子 | |
| GB2325337A (en) | Grooves or channels define frequency of piezoelectric resonator | |
| JPH0150134B2 (ja) | ||
| JPH07174569A (ja) | 共振型振動素子 | |
| JPS5912805Y2 (ja) | 幅すべり振動子 | |
| JPH0218595Y2 (ja) | ||
| JPS6032588Y2 (ja) | 振動検出器 | |
| JPH09292229A (ja) | 圧電振動ジャイロ | |
| JPS58127425A (ja) | 振動子用水晶素板とその製造方法 | |
| JPS5970923A (ja) | 振動センサ | |
| JPS6026870Y2 (ja) | 超音波振動子 | |
| JPH0117860Y2 (ja) | ||
| JPS5855751Y2 (ja) | ランジュバン型振動子 | |
| JPH10210586A (ja) | 音響装置 | |
| JPS5837150Y2 (ja) | 圧電型水晶共振子 | |
| JPS644463Y2 (ja) | ||
| JPH0231526B2 (ja) | Bojoatsumisuberiatsudenshindoshioyobisonoseiho | |
| JPS5832333Y2 (ja) | 音叉形水晶振動子 |