JPS6339603Y2 - - Google Patents

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JPS6339603Y2
JPS6339603Y2 JP1987111149U JP11114987U JPS6339603Y2 JP S6339603 Y2 JPS6339603 Y2 JP S6339603Y2 JP 1987111149 U JP1987111149 U JP 1987111149U JP 11114987 U JP11114987 U JP 11114987U JP S6339603 Y2 JPS6339603 Y2 JP S6339603Y2
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Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、測定装置本体が軽量、小型であつ
て、起伏に富んだ複雑な内空形状を自動的に、か
つ狭い空間においても測定できるようにした内空
形状座標測定装置に関する。
自動車の室内のように狭い空間で起伏に富んだ
複雑な内空形状を連続的に測定する場合、測定装
置としては軽量、小型で、急峻な段差にも自動追
尾できる性能が要求される。特に、小型化は測定
の死角をなくすること作業性を向上させるといつ
た意味からも重要なことである。
従来この種の内空形状の測定手段はトンネル等
を対象としたレーザー使用の三角測量装置が知ら
れている。この手段は、測定装置本体である回転
ドラムの外からレーザー光束をドラムの回転軸に
一致させて、目的物に照射し、ドラム内の鏡によ
り測定物へ投射する構造となつている。この構造
では精度を確保するために回転ドラムの回転精度
を高くするとともにレーザー光束と回転軸とを高
い精度で一致させる必要があり、測定精度に及ぼ
す誤差要因が増加するという欠点がある。また、
この装置は光束と回転軸とを一致させるための調
整機構等の必要から構造が複雑となり小型化に対
して不利なものである。
本考案は、上記欠点を解決するとともに、光源
を測定用半導体レーザー光源及びモニター用可視
光レーザー光源との2系統に分離すると共に前者
は測定装置本体内に組み込み、後者の可視光は光
フアイバーを用いて測定装置本体内に導入すると
いうように構成して、装置の小型化を実現したこ
とにより、起伏に富んだ複雑な内空形状等の座標
測定や断面測定を連続的にかつ、容易に行うこと
ができる軽量で高精度の測定装置を提供しようと
するものである。
すなわち、本考案の装置は被測定体内の内空形
状の座標を測定するための下記の構成要件から成
る測定装置本体と、該測定装置本体とは別の場所
に設けられ、可視光レーザー光束を供給する第1
のモニター用光源と、該第1のモニター用光源か
らの可視光レーザー光束を上記測定装置本体内の
発信反射鏡に供給するための光フアイバーと、さ
らに、該測定装置本体内に設けた移動量検出装置
からの信号と回転角度検出装置からの信号とを同
時に対応させて記録表示する装置とより成ること
を特徴とする内空形状座標測定装置。
測定装置本体は、断続的な不可視光光束を出力
する半導体レーザー光源とした第2の測定用光源
と、該断続された不可視光光束及び光フアイバー
により導かれた可視光レーザー光束を平行光に変
換するとともに両光を同一光路を介して基線に対
して一定角度で目的物に発信する発信反射鏡と、
目的物から反射される断続された光束を相対向し
て設けられた感知素子に向けて一定角度で反射さ
せるための受信反射鏡、該受信反射鏡からの断続
された光束を前記感知素子上に結像させるための
指向軸を有する進束レンズと、該集束レンズの前
記指向軸の両側に配置されかつ前記集束レンズか
らの断続された光束に感応する一対の感知素子
と、該一対の感知素子からの信号を差動増幅する
ための差動増幅回路と、該差動増幅回路からの出
力に応じて前記受信反射鏡の位置を該出力が零付
近の値になるようにその基線上において移動させ
るサーボ機構と、前記発信反射鏡の基線軸上の発
信点と前記発信反射鏡の前記目的物からの反射光
束の受信点との間の距離を検出してこの距離に対
応する電気信号を出力する移動量検出装置と、前
記発信反射鏡、受信反射鏡、集束レンズおよび感
知素子をその基線のまわりに一体的に回転させる
回転装置と、この回転角度を検出する回転角度検
出装置と、前記第2の測定用光源の周波数信号と
目的物からの断続された光束の周波数信号とを同
期検波する同期検波器とより成る。
しかして、本考案の装置は第1のモニター用光
源及び第2の測定用光源より目的物に光を投射
し、該目的物からの反射光の内第2の測定用光源
の反射光をその投射光軸と一定の角度をなす受光
軸に配置した受信反射鏡と集光軸の両側に配置さ
れた一対の感知素子上に結像し、この感知素子か
らの信号によつて受信反射鏡を自動的に移動さ
せ、その移動距離から、基準位置と目的物との間
の距離を測定しつつ、更に前記受信反射鏡、集束
レンズ等から成る光学系を任意の断面において一
体的に回転し、その回転角信号と前記目的物まで
の距離信号とから複雑な内空形状、例えば、車室
内等を連続的に測定し、直交座標系のデイジタル
値として表示、記録する装置である。
最初に、第1図を参照しながら、本考案による
測定装置の作動原理について説明する。第1のモ
ニター用及び第2の測定用光源を含む光源1から
断続及び連続の各光束は発信反射鏡3に投射さ
れ、該発信反射鏡3によつて反射された光は基点
Pを通して目的物Oに投射される。目的物Oから
の反射光は発信反射鏡4および集束レンズ5を通
して一対の感知素子6,6′に達するが、この時、
目的物Oからの反射光が受信反射鏡4に所定の受
光角度で入射しない時は、例えば、図示の二点鎖
線例においては、感知素子6は6′に対してより
多くの光を受光する。これら感知素子6,6′の
出力の差を差動増幅回路7にて検出、増幅し、次
いで、同期検波器8にて前記第2の測定用光源の
周波数と同期検波してサーボ機構9に供給する。
サーボ機構9は作動増幅回路7の出力が零になる
方向、換言すれば感知素子6と6′の受光量が同
じになる方向(図示例においては右方向)に受信
反射鏡4を移動し、両感知素子6,6′の出力が
同じになつた時、つまり、目的物Oからの反射光
が所定の受光角度θをもつて受信反射鏡4に入射
するようになつた時に停止する(図示の実線位置
参照)。従つて、この時の受信反射鏡4の基点P
からの距離10は基点Pから目的物Oまでの距離
L0に比例している。以下、この10を基準長とし、
この基準長10からの隔たりを測定するものとす
る。
次に、回転装置11により測定装置本体の回転
軸16を基線Sの回りに回転させ、車室内形状な
どの内空形状に沿つて光束を投射すると、基点P
から目的物の測定部位までの距離の変化に応じて
前述のごとくしてサーボ機構9が作動し、受信反
射鏡4は基線S上を左右に移動し、例えば、目的
物Oが基点PからL1の離れたO′の位置にある時
は、受信反射鏡4は基点Pから11離れた位置に
くる。従つて、この受信反射鏡4の移動量を移動
量検出装置10にて検出し、また、回転装置11
により回転させられる回転部16の回転角をロー
タリーエンコーダ等の回転角検出装置12によつ
て検出し、各々の検出信号を座標変換装置13に
より極座標を直交座標に変換して記録表示装置1
4に供給してやると、車室内などの内空形状を連
続的に記録、表示することができる。なお、第1
図において、15は測定断面可変用腕であるが、
この測定断面可変用腕15の作動については以下
に第3図および第4図を参照しながら詳細に説明
する。
光源1については第2図にその構成を示す。
該光源1は目的物に照射して目的物の位置を明
示する連続した光束を発生するモニター用可視光
レーザー光源と目的物に照射して目的物までの距
離を検知すべくした断続する光束を発生する測定
用半導体レーザー光源とを有する。
すなわち、連続した信号を発生する第1の駆動
電源17aにより駆動されたモニター用可視光レ
ーザー光源17から出射した可視光レーザー光束
は集光レンズ18を介して光フアイバー19の受
光部19aに入射する。該光フアイバー19で導
かれた可視光レーザー光束は出射部19bから出
射し、コリメーターレンズ20で平行ビーム21
にされ、反射鏡22および偏光ビームスプリツタ
ー23に投射する。
一方測定用半導体レーザー光源24のレーザー
光束は円錐状に広がつて出射するためコリメータ
ーレンズ25により平行ビーム26とし、前記偏
光ビームスプリツター23によつて、前記投射さ
れたモニター用可視光レーザー光束と測定用半導
体レーザー光束とを重ね合わせる。
前記測定用半導体レーザー光源24は所定の周
波数を有する信号を発生する第2の駆動電源27
により駆動される。
ちなみに、上記光源1を2系統に構成したのは
光源としては小極で高性能を有する半導体レーザ
ー光源を使用できれば装置としては小型化、軽量
化という目的には最適であるが、現在信頼性のあ
る実用化された半導体レーザーは最短波長が
730μm前後であり、この波長は検出素子には感
ずるが人間の視覚の極めて低い所であり、実際上
不可視光である。
したがつて、該レーザー光束を被測定体に照射
した場合、明るい所ではそのレーザー光束は視覚
により判別することができない欠点がある。
ところで、測定の際には目的物の位置を確認す
ることができる十分な出力を有する可視光レーザ
ー光束が必要となる。ところで、該可視光レーザ
ー光源は現在30mmφ×300mm寸法を有するため、
本装置に該光源を配置した場合、該光源の占める
割合が大きく、したがつて本装置としては大型化
してしまうことになる。
したがつて、該可視光レーザー光束単独を外部
より光フアイバーを用いて本装置の測定系内に導
き、レーザー光束として投射する手段も考えられ
るが、該光フアイバーはコア径が数十μmのマル
チモードフアイバーであるため、レーザー光束の
如く干渉性の高い光束を通すと、該光束の出射パ
ターンに干渉パターンが現われてしまい、該出射
光を集束レンズにてビーム状に形成しても、その
ビーム断面の強度分布はランダム状で、かつパタ
ーンが光フアイバーの機械的な振動とともに変化
するという欠点がある。それ故、該光束をそのま
ま被測定体の目的位置の距離検知手段として使用
した場合には目的物からの反射光が干渉パターン
の影響で、その反射位置の検出が難しいという欠
点があつた。
本装置では両者の長所を合わせて、上述した2
系統にすることにより、きわめて小型で高精度を
有する内臓光源を構成したのである。
本装置においては図中測定用半導体レーザー光
源を含む点線で囲んだ部分を測定装置本体内部に
内臓させ、該半導体レーザー光束を目的物の距離
の検知用とし、図中点線外のモニター用可視光レ
ーザー光源は測定装置本体外に位置させ、ビーム
のみ測定装置本体内に光フアイバーにて導き、目
的物の位置のトレーサーとして用いるべく構成し
た。
第3図は、本考案による測定装置の全体構成を
示す概略図で、図中、28は基台を示し、該基台
上には支柱29がX方向に摺動自在にかつ所定位
置にボルト等によつて固定できるように装着され
ている。また、この支柱29には、Y方向に摺動
自在のアーム30がZ方向に摺動自在にかつ所定
位置に固定できるように装着されている。更に、
アーム30の先端部には測定断面可変用腕15を
介して測定装置本体31が装着されている。
これらの操作、演算はワイヤハーネス32を介
してコントロールボツクス33で行われ、座標値
は表示器14に表示される。またコントロールボ
ツクス33内には前記した可視光レーザー光源が
置かれワイヤハーネス32内の光フアイバー19
によつて測定装置本体31内の光源に可視光を導
いている。而して、該測定装置を用いて車室内等
の中空形状を測定する場合には、車の窓をあけて
測定装置本体31を車室内に挿入し、基台28、
支柱29、アーム30等の位置を調節して該測定
装置本体31を所定位置に設定する。その後、前
述のごとくして測定装置本体31内の回転部16
を回転しながら目的物Oに向けて光束を投射し、
その反射光の位置を検出してやると、軸線yから
目的物Oまでの距離1xzy1を該軸線yのまわりに
360゜の範囲にわたつて測定することができる。す
なわちxz平面のy1の点における軸線yから目的
物Oまでの距離を360゜の範囲にわたつて測定する
ことができる。その後、アーム30を例えば右方
に移動して前記と同様にして測定すると1xzy2
1xzy3…等を各々360゜の範囲にわたつて測定るこ
とができる。
次に、前記測定装置本体31を紙面に対して直
角に前方あるいは後方へ90゜回転して前記と同様
にして測定してやると軸線xから目的物Oまでの
距離1yzx1を360゜の範囲にわたつて測定すること
ができる。その後、支柱29をX方向に移動して
X方向の各位置において前記と同様にして測定し
てやると1yzx2,1yzx3…・等yz平面のx2,x3
等の各点におけるx軸から目的物Oまでの距離を
360゜の範囲にわたつて測定することができる。更
に、測定断面可変用腕15を紙面に平行に上方あ
るいは下方に90゜回転して前記と同様にして
1xyz1,1xyz2…等xy平面におけるz軸からの目
的物Oまでの距離を360゜の範囲にわたつて測定す
ることができる。
なお、以上の説明において、xy平面yz平面、
zx平面が共通の原点を通る場合についての説明
を省略したが、ある特定の一点からの各平面にお
ける目的物までの距離を測定したい場合には、支
柱およびアームをX,Y,Z方向に移動してその
都度原点を合わせて測定すればよいことは明らか
である。
第4図は本考案による測定装置本体の側面図で
ある。図中1は前述した小型内臓光源で、ワイヤ
ーハーネス32中の光フアイバー19で導かれた
可視光レーザー光束と半導体レーザー光束の重な
つたビームを出射し、発信反射鏡3を通して目的
物に向つて投射される。目的物からの断続した反
射光束は移動ステージの上に配置された受信反射
鏡4および集束レンズ5を通して2分割光電感知
素子6,6′に導かれ、感知素子6,6′によつて
電気信号に変換される。感知素子6,6′の出力
電圧はその受光量によつて異なり、感知素子6と
6′の出力電圧の差は差動増幅回路によつて検出
され、その差電圧の極性および大きさに応じてサ
ーボ機構34が回転される。サーボ機構34の回
転は歯車を通してボールスクリユ35(第4図に
おいてガイド36と平行に配設されている)に伝
達され、受光反射鏡4を移動ステージ37を介し
てガイド36に沿つて左右に移動させる。受信反
射鏡4は差電圧が零になつたとき、すなわち、感
知素子6と6′の受光量が等しくなつた時に停止
するが、その移動距離はボールスクリユ35の回
転角をロータリーエンコーダ38で測定し、該測
定値が被測定体までの距離が測定される。39は
測定装置本体部31を回転するための回転装置
で、該回転装置39の回転は歯車40,41を介
して固定円筒部42に伝達され、測定装置本体部
31は矢示A方向に360°の範囲わたつて回転す
る。この回転角は測定装置本体部31の周囲に取
付けられたマグネスケール43と検出ヘツド44
によつて測定される。また測定装置本体部31及
び固定円筒部42の全本機構は軸45のまわりに
矢印Bの方向に180゜回転でき、更にこれら全体を
支持している測定断面可変用腕15は軸46のま
わりに矢印Cの方向に180゜回転でき、これらの各
任意の回転位置で測定本体部31を360゜の範囲に
わたつて回転して前述のごとき測定を行うことが
できる。
図5は本考案による測定装置のブロツク線図で
図中47は前置増幅器、48はバンドパスフイル
ター、49はローパスフイルターであるがこれら
の構成ならびに作用は周知であり、それ以外のも
のは図1において既に説明したのでここで再度説
明しない。
第6図は光束を発生する光源1の具体的構造を
示す。外部コントロールボツクス33内に配置し
たモニター用可視光レーザー光源からの可視光レ
ーザー光束は光フアイバー19により測定本体3
1の取付部50に導かれコリメータレンズ20に
投射する。絞り51は前記可視光レーザー光束ビ
ーム径を調節するもので、前記コリメーターレン
ズ20とともに止め金により、円筒52内に固定
される。可視光レーザー光束は反射鏡22にて
90゜曲げられ、偏光ビームスプリツター23にお
くられる。一方測定用半導体レーザー光源24よ
り出る断続したレーザー光束はコリメーターレン
ズ25により平行ビームとされ偏光ビームスプリ
ツターにおくられる。該偏光ビームスプリツター
23では、前記した可視光レーザー光束と半導体
レーザー光束とが重ね合わされる。
なお半導体レーザー出力は光電検出器53によ
りモニターされフイードバツク回路により出力レ
ベルを安定化している。半導体レーザー24及び
光電検出器53は固定治具54にネジあるいは接
着剤で固定されており、また固定治具54は調整
ネジ55によつて左右に動かすことができるよう
になつていて、半導体レーザー24の出射光が所
要の平行ビームになる位置に調整できる構造とな
つている。また可視光束と半導体レーザー光束と
の重ね合わせの調整は取付部50を調整ネジ56
で3点支持で行う。
上記光源1の光フアイバーとしてマルチモード
フアイバーを使つているが、シングルモードフア
イバーが使用できれば、さらに光源を小さくする
ことも可能である。
以上の説明から明らかなように、本考案による
と、一定の角度をなすべき受光軸と目的物から反
射される光の受光軸との不一致を検知する装置と
して、一対の感知素子を用いたので、構成が単純
化し、装置を小型化することができる利点があ
る。さらに測定装置本体に内蔵する光源として測
定用半導体レーザー光源と、測定装置本体の外に
おいたモニター用可視光レーザー光源と光フアイ
バーとを用いた構成を取ることにより従来に比
べ、小型の内蔵光源を実現でき、その結果、測定
装置本体も小型にすることができた。したがつ
て、従来では測定できなかつたような狭い空間に
おける内空形状でも本考案による測定装置では、
確実に追尾することができ精度の高い測定ができ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本考案測定装置本体の構成図、第2図
は本考案測定装置の光源の構成図、第3図は本考
案測定装置の全体概略図、第4図は本考案測定装
置の本体及び測定断面可変装置の具体的構成図、
第5図は本考案測定装置の信号径路、第6図は本
考案測定装置に使用する内蔵光源の具体的構成
図、 1……光源、3……発信反射鏡、4……受信反
射鏡、5……集束レンズ、6,6′……感知素子、
7……差動増巾回路、8……同期検波器、9……
サーボ機構、10……移動量検出装置、13……
座標変換装置、14……記録表示装置、17……
モニター用可視光レーザー光源、19……光フア
イバー、23……偏光ビームスプリツター、24
……測定用半導体レーザー光源、28……基台、
29……支柱、30……アーム、31……測定装
置本体、32……ワイヤーハーネス、33……コ
ントロールボツクス。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 被測定体内の内空形状の座標を測定するための
    下記の構成要件から成る測定装置本体と、 該測定装置本体とは別の場所に設けられ、可視
    光レーザー光束を供給する第1のモニター用光源
    と、 該第1のモニター用光源からの可視光レーザー
    光束を上記測定装置本体内の発信反射鏡に供給す
    るための光フアイバーと、 さらに、上記測定装置本体内に設けた移動量検
    出装置からの信号と回転角度検出装置からの信号
    とを同時に対応させて記録表示する装置とより成
    ることを特徴とする内空形状座標装置。 測定装置本体は、 断続的な不可視光光束を出力する半導体レーザ
    ー光源とした第2の測定用光源と、 該断続された不可視光光束及び光フアイバーに
    より導かれた可視光レーザー光束を平行光に変換
    するとともに、両光を同一光路を介して基線に対
    して一定角度で目的物に対して発信する発信反射
    鏡と、目的物から反射される断続された光束を相
    対向して設けられた感知素子に向けて一定角度で
    反射されるための受信反射鏡と、該受信反射鏡か
    らの断続された光束を前記感知素子上に結像させ
    るための指向軸を有する集束レンズと、該集束レ
    ンズの前記指向軸の両側に配置されかつ前記集束
    レンズからの断続された光束に感応する一対の感
    知素子と、該一対の感知素子からの信号を差動増
    幅するための差動増幅回路と、該差動増幅回路か
    らの出力に応じて前記受信反射鏡の位置を該出力
    が零付近の値になるようにその基線上において移
    動させるサーボ機構と、前記発信反射鏡の基線軸
    上の発信点と前記受信反射鏡の前記目的物からの
    反射光束の受信点との間の距離を対応する電気信
    号を出力する移動量検出装置と、前記発信反射
    鏡、受信反射鏡、集束レンズおよび感知素子をそ
    の基線のまわりに一体的に回転させる回転装置
    と、この回転角度を検出する回転角度検出装置
    と、前記第2の測定用光源の周波数信号と目的物
    からの断続された光束の周波数信号とを同期検波
    する同期検波器とより成る。
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5135588A (ja) * 1974-09-19 1976-03-26 Asahi Optical Co Ltd
JPS5319053A (en) * 1976-08-06 1978-02-21 Toyoda Chuo Kenkyusho Kk Hollow coordinate measuring apparatus

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5135588A (ja) * 1974-09-19 1976-03-26 Asahi Optical Co Ltd
JPS5319053A (en) * 1976-08-06 1978-02-21 Toyoda Chuo Kenkyusho Kk Hollow coordinate measuring apparatus

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