SU1441202A1 - Устройство контрол децентровки оптических поверхностей - Google Patents
Устройство контрол децентровки оптических поверхностей Download PDFInfo
- Publication number
- SU1441202A1 SU1441202A1 SU874244993A SU4244993A SU1441202A1 SU 1441202 A1 SU1441202 A1 SU 1441202A1 SU 874244993 A SU874244993 A SU 874244993A SU 4244993 A SU4244993 A SU 4244993A SU 1441202 A1 SU1441202 A1 SU 1441202A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- radiation
- modulator
- optical
- axis
- phase detector
- Prior art date
Links
Landscapes
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к контрольно-измерительной технике и может быть использовано дл контрол децен- тровки оптических поверхностей при изготовлении линз в оптическом приборостроении . Цель изобретени - повышение чувствительности и мощности - достигаетс за счет устранени погрешностей , св занных с флуктуаци ми оптического излучени и разными характеристиками : приемников излучени . Излучение лазера 1, отразившись от контролируемой поверхности 3 объекта, установленного на вращающейс поворотной платформе 4-, попадает на све- тоделительный блок 5, вьшолненный в виде призмы с четырьм отражающими поверхност ми . На выходе светоделитель- ного блока формируютс четыре световых пучка, пространственное положение которых определ етс положением оси отражающей поверхности 3 объекта. С помощью модул тора 14 и приемников излучени 10-13 координаты положени оси преобразуютс в фазы электрических сигналов. Фазовьш детектор 19 осуществл ет вычисление разностей фаз § (или координаты положени оси излучени относительно оси модул тора 14). Поскольку вычисл етс разность сигналов с фотоприемников, то компенсируютс нестабильность излучени лазе- ра и характеристик приемников излучени . 1 ил. 4 N lN3 N)
Description
Изобретение относитс к контрольно-измерительной технике и может быт использовано дл контрол децентров- ки оптических поверхностей при изго- товлении линз и зеркал в оптическом приборостроении.
Цель изобретени - повьопение чувствительности и точности за счет устранени погрешностей, св занных с фпуктуаци ми оптического излучени и разными характерист иками приемников излучени путем использовани дополнительных каналов, включенных с основными приемными каналами по различ ной схеме.
На чертеже приведена блок-схема устройства.
Устройство содержит источник 1 оптического излучени ,(лазер) расши- ритель 2 монохроматического излучени , контролирующую оптическую- поверхность 3, закрепленную на -поворотной платформе 4, светоделительньй блок 5, выполненньш в виде призмы, отражательные призмы 6-9, приемники 10-13 излучени (ПИ), растровый модул тор 14 анализатора изображений (МАИ), усилители 15-18 и фазовьш детектор 1 9.
Устройство работает следующим образом .
Излучение лазера 1, сформированное расширителем 2, направл етс под углом //А к оптической оси контролируемой оптической поверхности 3. После отражени от контролируемой поверхности 3 поток излучени попадает на светоделительньй-блок 5, который раздел ет поток на четыре части попарно по ортогональным ос м X и У, Поток,. разделенный светоделитель- ным блоком 5, после первой отражательной призмы 6 попадает на ПИ 10, после отражени от второй призмы 7 - на ПИ 11, после отражени от третьей призмы 8 - на ПИ 12 и, отража сь от призмы 9, попадает на ПИ 13.
Перед ПИ расположен радиально-сек торный растровьй модул тор 14 (МАИ) которьй вращаетс с посто нной угловой скоростью.
Если отсутствует децентровка, то поток излучени пересекает МАИ 14 в четырех точках на диаметрально про- тйвоположных участках растра sL и а f к сГ , расположенных по окружности сканировани МАИ 14 через . Электрические сигналы с ПИ 10-13 после
усилени (усилител ми 16-18) подаютс на фазовый детектор 19. Разность фаз сигналов на выходе ПИ 10 и 11, 12 и 13 в этом случае равна нулю, следовательно, сигналы на выходе фазового детектора 19 U(AX) и U(jy) также равны нулю.
Если имеетс децентровка, то потоки оптического излучени , отраженные от призм 8 и 9, пересекают МАИ в точках а и а , смещенных на величину х, пропорционально величине де- центровки контролируемой поверхнрсти 3 в направлении оси X. При этом одна из оптических ветвей может быть условно прин та за опорный сигнал, а друга - за измерительный. Тогда фаза сигнала в измерительном канале получит приращение J с/ -ЗбОлх/Т , где Tj( - пространственный период растра МАИ, а в опорном канапе -41/ -360лх/Т.
Разность приращений фазы сигнала ,с ПИ 13 и 12 равна
cfi/i 44 -d 720 x/T
(1)
fX X
Аналогично потоки излучени , отраженные от призм б и 8, пересекающие МАИ в точках с и cf , смещенных на величину /5у,позвол ют определить децентрировку контролируемой оптической поверхности вдоль оси У.Тогда разность приращений фазы сигнала с ПИ 10 и 11 равна
с/ ч ,Л1/ ,,-йч °.720йу/Т., . , (2)
Таким образом, сигналы с выхода фазового детектора пропорциональны величинам децентрировки по ортогональным ос м X и У..
Claims (1)
- Формула изобретениУстройство контрол децентровки оптических поверхностей, содержащее оптически св занные источник оптического излучени , светоделительньй блок,, растровьй модул тор и два измерительных канала, каждый из кото- рых состоит из оптически св занных отражательной призмы и фотоприемника , установленного за растровым модул тором и усилител , вход которого соединен с выходом фотоприемника, фазовьй детектор, первый и второй вход которого соединен соответственно с выходами измерительных каналов.31441202.4и поворотную платформу, предназначен-полнительных каналов соответственнокую дл установки на ней объекта из-соединены с третьим и четвертым вхомерени , отличающеес дами фазового детектора, светоделитем , что, с целью увеличени чувстви-с тельный блок вьпюлнен в виде призмытельности и точности, оно снабженос четырьм отражающими гран ми, а фодвум дополнительными измерительны-топриемники установлены за растровымми каналами, идентичными основным,модул тором симметрично относительнооптически св занньтми со светодели-оси вращени растрового модул торательным блоком, фазовый детектор вы-Ш и сДвинуты друг относительно другаполнен с четырьм входами, выходы до-на величину it 12,
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU874244993A SU1441202A1 (ru) | 1987-05-14 | 1987-05-14 | Устройство контрол децентровки оптических поверхностей |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU874244993A SU1441202A1 (ru) | 1987-05-14 | 1987-05-14 | Устройство контрол децентровки оптических поверхностей |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1441202A1 true SU1441202A1 (ru) | 1988-11-30 |
Family
ID=21304238
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU874244993A SU1441202A1 (ru) | 1987-05-14 | 1987-05-14 | Устройство контрол децентровки оптических поверхностей |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1441202A1 (ru) |
-
1987
- 1987-05-14 SU SU874244993A patent/SU1441202A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Биберман Л.М. Растры в электрооптических устройствах. М.: Энерги , 1969. с. 160. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3942894A (en) | Self referencing retransmitting alignment sensor for a collimated light beam | |
JP2755757B2 (ja) | 変位及び角度の測定方法 | |
US9518816B2 (en) | Dual beam splitter interferometer measuring 3 degrees of freedom, system and method of use | |
US4436424A (en) | Interferometer using transverse deviation of test beam | |
US5026162A (en) | Optical interference position measurement system | |
US4395123A (en) | Interferometric angle monitor | |
SU1441202A1 (ru) | Устройство контрол децентровки оптических поверхностей | |
TWI712773B (zh) | 雷射干涉儀定位系統 | |
US4290697A (en) | Method to eliminate fiber interferometer reflections | |
US3438712A (en) | Magneto-optical displacement sensing device | |
US3820902A (en) | Measuring method and apparatus which compensate for abbe s error | |
CN219104954U (zh) | 一种噪声自校正激光多普勒测速系统 | |
JP2592254B2 (ja) | 変位量及び変位速度の測定装置 | |
SU916976A1 (ru) | Устройство дл контрол углового положени объекта | |
SU1167426A1 (ru) | Устройство дл контрол углового положени излучател | |
RU1779925C (ru) | Лазерный нивелир | |
SU1668862A1 (ru) | Устройство контрол параллельности оптических осей бинокул рного прибора | |
SU406180A1 (ru) | Двухкоординатный автоколлиматор | |
JPS59218903A (ja) | 光学計測装置 | |
RU1775598C (ru) | Способ измерени параметров прозрачных труб и устройство дл его осуществлени | |
SU938011A1 (ru) | Фотоэлектрическое устройство дл контрол пр молинейности | |
SU1019233A1 (ru) | Двухкоординатный интерферометр дл измерени линейных перемещений | |
RU2137097C1 (ru) | Оптическое трехкоординатное устройство контроля вибросмещений | |
SU1019236A1 (ru) | Способ контрол динамической погрешности фотоэлектрической угломерной след щей системы | |
SU940018A1 (ru) | Двухлучевой фотометр |