1 Изобретение относитс к измерительной технике и предназначено дл измерени линейных перемещений объектов , в частности, рабочих органов металлорежущих станков. Известен интерферометр дл измерени линейных перемещений, содержащий в качестве источника излучени лазер, систему призм и зеркал, фотоприемники , уголковые отражатели, устанавливаемые на перемещающихс объектах l Однако интерферометр имеет сложную электронную систему стабилизации частоты источника излучени . Наиболее близким к изобретению по технической сущности вл етс двухкоординатный интерферометр дл измег рени линейных перемещений, выполненный в виде опорного блок, включающего оптически св занные источник излучени , плоские и уголковые отражатели , светоделитель ные пластины и два фотоприемника. Источник излучени выполнен в виде одночастотного лазера С.. Известный интерферометр имеет высокую чувствительность к изменению уровней сигналов фотоприемников. При использовании метода подсчета числа интерференционных по/юс на фотопри емники попадает лишь незначительна часть светового потока, величина фазо вого сдвига сильно зависит от пространственных искажений интерференцион™ ной картины, возникающих в реальных услови х из-за конвекционных воздушных потоков, поперечных смещений подвижного отражател и т.д. При этом частота сигнала пр мо пропорциональ™ на скорости перемещени отражател , и, следовательно, спектр сигнала простираетс до нулевых частрт. Вследствие этого дрейфе нул усилителей и формирователей приводит к погрешности измерений. Кроме того, одночастотный лазер обладает сложными конст руктивными особенност ми. Все это снижает надежность измерени . Целью изобретени вл етс повыше ние надежности измерени . Поставленна цель достигаетс тем что двухкоординатный интерферометр дл измерени линейных перемещений, выполненный в виде опорного блока, включающего оптически св занные исто ник излучени плоские и уголковые от ражатели, светоделительные пластины и два фотоприемника, снабжен модул тором , выполненным на основе вращающейс дифракционной решетки, и устаЗ новленным в опорном блоке на пути светового потока от источника излучени измерительным блоком, электрически и оптически св занным с опорным блоком и включающим третий фотоприемник , а источник излучени выполнен в виде многомодового лазера. На чертеже изображена принципиальна схема двухкоординатного интерферометра дл измерени линейных перемеи|ений , Интерферометр выполнен в виде двух блоков, укрепленных с помощью кронштейнов на станине и рабочем органе станка (не показаны ), Первый блок (опорный )включает в себ оптически (св занные источник излучени многомодовый лазер 1, модул тор 2,, выполненный на основе вращающейс дифракционной решетки, отражатель 3. светоделительные пластины 4-6, призму 7f плоский отражатель 8, светоделительную пластину 9, фотоприемник 10, плоский отражатель 11, светоделительную пластину 12, фотоприемник 13. Второй блок (измерительный )оптически и электрически св занный с первым (опорным ), включает светоделительные пластины 14 и 15, уголковые отражатели 16 и 1, фотоприемник 18. Предлагаемый интерферометр работает следующим образом. Луч света от источника излучени многомодового лазера 1 - проходит через модул тор 2, на выходе которого образуютс лучи с различными частотами со и о -Я, где UJ - частота излучаемого света, а - частота модул ции . Плоским отражателем 3 лучи направл ютс на опорную ветвь интерферометра , где, пройд через призму 7, плоский отражатель 8 и светоделительную пластину 9, смешиваютс иа ней, что позвол ет получить на фотоприемнике 10 опорную частоту. Светоделительной пластиной 4 часть луча направл етс через светоделительную пластину 1 на уголковые отражатели 16 и 17, св занные с каретками ( не показаны , перемещающимис соответственно в Х- и У-направлени х. Пройд через уголковые отражатели 16 и 17, частота излучаемого света приобретает допплеровский сдвиг SI .Ш-, где V - скорость перемещени рабочего орг§на, С - скорость света. На светоделит.ельных пластинах 12 и 15 лучи с допплеровским сдвигом смешиваютс с частью луча с частотой U) -Л, что позвол ет получить ка фотоприемниках 13 и 18 частоты , пропорциональные скорост м перемещени рабочего органа по двум координатам. Снима показани с фотоприёмников 10 и 13 t3 и 18 и интегриру разностные частоты в реверсивном счетчике (не показан Ц, получают величину перемещени рабочего органа станка по дву координатам.
Использование допплеровского мегода сравнени .частот позвол ет направл ть на фотоприемникй весь световой поток, а при использовании модул тора информаци о контролируемом перемещении оказываетс сосредоточенной в разнице частот сигналов, поэтому изменение уровней этих сигналов не оказывает значительного вли ни на режим работы интерферометра, при введении модул тора в схему спектр получаемого сигнала переносите .на разностную частоту, а св зи с чей решаютс
проблемы наде)чной работы измерител , .определени направлени перемюцени , м повышени точности измерений, расположение третьего фотоприемника позвол ет исключить при обработке информации вли ние продольного перемещени .
Интерферометр обладает низкой чувствительностью к изменению уровн мощности лазерного излучени и воз .можностью повышени разрешающей способности за счет умножени частот обоих сигналов сравнительно прост1 ли радиотехническими средствами.
Кроме того, в схеме применен серийно выпускаемый многсйодовый лазер. I Все эти указанные преимущества интерферометра позвол ют использовать его на производственном оборудовании в услови х вибрации с повышением надежности измерени .