SU938011A1 - Фотоэлектрическое устройство дл контрол пр молинейности - Google Patents

Фотоэлектрическое устройство дл контрол пр молинейности Download PDF

Info

Publication number
SU938011A1
SU938011A1 SU803226937A SU3226937A SU938011A1 SU 938011 A1 SU938011 A1 SU 938011A1 SU 803226937 A SU803226937 A SU 803226937A SU 3226937 A SU3226937 A SU 3226937A SU 938011 A1 SU938011 A1 SU 938011A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
light
splitter
beams
carriage
light source
Prior art date
Application number
SU803226937A
Other languages
English (en)
Inventor
Юрий Николаевич Кокин
Original Assignee
Предприятие П/Я Г-4605
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я Г-4605 filed Critical Предприятие П/Я Г-4605
Priority to SU803226937A priority Critical patent/SU938011A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU938011A1 publication Critical patent/SU938011A1/ru

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

1
изобретение относитс  к измерительной технике и может быть применено дл  автоматического контрол  пр молинейности направл ющих станин станков , образующих валов, дл  контрол  пр молинейности движени  различных механизмов и т.д.
Известно устройство, основанное на сравнении контролируемой поверхности с исходной пр мой, заданной ис-° точником света, содержащее лазер, оптическую систему, измерительную каретку , позиционно-чувствительный фотопреобразователь , блок обработки ин-,5 формации и регистратор 1.
Недостаток устройства - мала  точность измерени  из-за нестабильности положени  в пространстве энергетической оси лазера, используемой 20 как исходна  пр ма , что обусловлено колебани ми углового положени  оси лазера и флуктуаци ми коэффициента преломлени  воздушного тракта.
Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемо му результату  вл етс  фотоэлектрическое устройство дл  контрол  пр молинейности , содержащее источник света, светорасщепитель, каретку, ус танавливаемую с возможностью перемещени  на контролируемом объекте, два фотоприемника, размещенные в рас щепленных световых пучках, электрический фильтр и блок регистрации, первый фотоприемник закреплен на каретке , а второй установлен на фиксирЬванном рассто нии от источника света 2.

Claims (2)

  1. Однако устройство имеет невысокие точность измерени  и производительность контрол , обусловленные значительной величиной составл ющей погрешности измерени , возникающей изза клиновидности расщепител  (полупрозрачного зеркала). Учесть систематическую погрешность -в процессе измерени  практически невозможно из39 за вли ни  на клиновидность расщепител  его креплени , окружающей температуры и других факторов, а также из-за сложности определени  положени  клина расщепител  по отношению к выбранной плоскости измерени  и ,п. Кроме того, дл  одновременного контрол  пр молинейности при помощи известного устройства в двух взаимно Перпендикул рных направлени х расщепитель должен поворачиватьс  на 90f что снижает производительность измерений . Цель изобретени  - повышение точНости и производительности контрол  Эта цель достигаетс  тем, что уст ройство снабжено генератором опорных напр жений, приводом, св занным со светорасщепителем, и генератором опо нык напр жений, кольцевым зеркалом, тырьм  фазовыми детекторами и вторым электрическим фильтром, идентичным первому, светорасщепитель размещен между источником света и кареткой, Кольцевое зеркало установлено на каретке под углом к оптической оси ; по ходу расщепленных пучков между Светорасщепителем и фотоприемниками выход каждого из которых подключен соответственно к.входам двух фазовых jqeTeKTOpoB, управл ющие входы которых св заны с выходами генератора Ьпорных напр жений, а выходы через . Электрические фильтры подключены к Входам блока регистрации. На фиг. 1 изображена функциональна  схема устройства; на фиг. 2 разрез Л-А на фиг. 1. Устройство содержит источник 1 света, например лазер, формирующий узкий пучок лучей, светорасщепи гель 2 пучка лучей, установленный D полой оси 3, привод k вращени , гейератор 5 опорных напр жений, кольЦевое зеркало 6, позиционно-чувствительный фотоприемник 7, расположенный на движущейс  вдоль луча каретке 8, второй позиционно-чувствительный фотоприемник 9, расположенйый на фиксированном рассто нии от источника 1 света, фазовые детеКторы 10-13, преобразователи 1 и 15, электрические фильтры 16 и 17, посто нна  времени которых находитс  ъ функциональной зависимости от текущей дальности между источником 1 света и позиционно-чувствительным фо топриемником 7, и регистрирующий при 4 бор. 18Г (Элементы 10-17 образуют два идентичных канала X и У). Устройство работает следующим образом . Источник 1 света формирует узкий пучок лучей, направленный через светорасщепит .ель 2 в сторону каретки 8, перемещающейс  по поверхности, непр молинейность которой необходимо измерить. Светорасщепитель 2 делит пучок лучей ИСТОЧНИКИ 1 света на два пучка равной интенсивности и отклон ет их параллельно первоначальному направлению- на разные рассто ни  г и г (сечение А-А) вследствие его наклонного расположени . При подаче питающего напр жени  на привод k вращени , например электродвигатель , светорасщепитель 2 и генератор 5 опорных напр жений начина ,ют вращатьс  с частотой вращени  электродвигател , что приводит к вращению раздельных пучков лучей :ло окржуност м с радиусами г и г,2: и к по влению на выходах генератора 5 переменных напр жений, сдвинутых по фазе на У/2, частота которых равна частоте вращени  светорасщепител  2. Вращающиес  пучки лучей создают общую дл  них равносигна ьную зону,  вл ющуюс  продолжением энергетической оси пучка лучей от источника 1 света, при этом величина клина светорасщепител  и ее изменени  от различных факторов вли ют только на углы расхождени  вращающихс  пучков лучей, но не измен ют направление равносигнальной зоны. , Равносигнальна  зона вращающихс  пучков лучей принимаетс  за оптическую ось устройства. Кольцевое зеркало 6, центр которого совмещен с равносигнальной зоной, направл ет пучок лучей, вращающийс  по окружности радиуса г., , на позиционно-чувствительный фотоприемник 7, а пучок лучей, вращающийс  по окружности радиуса Р , проходит без преЛомлени  через отверстие зеркала 6 и попадает на позиционно-чувствительный фотоприемник 9, установленный в конце контролируемой поверхности, что позвол ет исключить возможность по влени  систематической составл ющей погрешности результата измерени . 59 Если центры позиционно-чувствител ных фотоприемников 7 и 9 совмещены с равносигнальной зоной вращающихс  пучков лучей, переменные составл ющи сигнала на их выходах отсутствуют Если центры смещены относмтельно рав носигнальной зоны, то на выходе каждого позиционно-чувствительного фото приемчика 7 и Э по вл ютс  переменны составл ющие сигнала с частотой вращени  светорасщепител  2, амплитуды которых пропорциональны смещени м вдоль направлений Х-Х и У-У, а фазы характеризуют направлени  смещений. Это позвол ет использовать устрой ство дл  контрол  пр молинейности одновременно в двух взаимно перпенди кул рных направлени х, лежащих в плоскости, перпендикул рной оптической оси, При перемещении каретки 8, вследствие флуктуации вращающихс  лучей в ВОЗДУШНОМ тракте, угловых перемёщений источника 1 света, положение равносигнальной зоны измен етс  отно сительно каретки 8 и на выходах фазо вых детектород 10 и 12 по вл етс  си нал, характеризующий не только профиль контролируемой поверхности, но и перемещени  равносигнальной зоны, Сигналы с фазовых детекторов 11. ji 13 характеризуют только перемещёни равносигнальной зоны, при этом в сигналах отсутствуют составл ющие,, создающие систематическую составл ющую погрешность измерени . , Сигналы с фазовых детекторов 10 и 11 канала X поступают в преобразователь k и фильтр 16, где умножаютс  на коэффициенты передач, складываютс  или вычитаютс  и подаютс  на вход X регистрирующего прибора 18 а с выхода канала У - на вход У регистрирующего устройства. Така  схема позвол ет не только исключить погрешность результата измерени , возникающую из-за непосто нства положени  источника света, и уменьшить дисперсию результата измерени , вызванную флуктуаци ми воздушного тракта, но и полностью исклю чить систематическую составл ющую 6 погрешности измерени , возникаю1.;уп. из-за клиновидности расщепител  ,снизить требовани  на клиновидность при изготовлении расщепител , а также позвол ет проводить контроль пр молинейности одновременно в двух взаимно перпендикул рных направлени х X и У, лежащих в плоскости, перпендикул рной оптической оси устройства. Формула изобретени  Фотоэлектрическое устройство дл  контрол  пр молинейности, содержащее источник света, светорасщепитель, каретку, устанавливаемую с возможностью перемещени  на контролируемом объекте, два фотоприемника, размещенные в расщепленных световых пучках, электрический фильтр и. блок регистрации , первый фотоприемник закреплен на KatieTKe, а второй установлен на фиксированном рассто нии от источника света, отличающеес  гем, что, с целью повышени  точности /t производительности контрол , оно снабжено генератором опорных, напр жений , приводом, св занным со светорасщепителем , и генератором опорных напр жений, кольцевым зеркалом, чет тырьм  фазовыми детекторами и вторым электрическим фильтром, идентичным первому, светорасщепитель размещен между источником света и кареткой, кольцевое зеркало установлено на каретке под углом к оптической оси по ходу расщепленных пучков между светорасщепителем и фотоприемниками, выход каждого из которых подключен соответственно к входам двух фазовых детекторов, управл ющие входы которых св заны с выходами генераторе опорных напр жений, а выходы через электрические, фильтры подключены к ходам блока регистрации. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР № , кл. G 01 В 11/30)М973.
  2. 2.Авторское свидетельство СССР № , кл. G 01 В Т1/30, 1979 (прототип) . фм ./ Ш
SU803226937A 1980-12-29 1980-12-29 Фотоэлектрическое устройство дл контрол пр молинейности SU938011A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU803226937A SU938011A1 (ru) 1980-12-29 1980-12-29 Фотоэлектрическое устройство дл контрол пр молинейности

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU803226937A SU938011A1 (ru) 1980-12-29 1980-12-29 Фотоэлектрическое устройство дл контрол пр молинейности

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU938011A1 true SU938011A1 (ru) 1982-06-23

Family

ID=20935279

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU803226937A SU938011A1 (ru) 1980-12-29 1980-12-29 Фотоэлектрическое устройство дл контрол пр молинейности

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU938011A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3419330A (en) Diffraction grating angular rate sensor
US3753619A (en) Interference spectroscopy
US5051579A (en) Optical scale encoder with light intensity alarm
JPH0749971B2 (ja) 測定装置
US4436424A (en) Interferometer using transverse deviation of test beam
US4743769A (en) Non-contacting measuring apparatus for measuring a displacement in dependence on the incidence of a laser beam on a laser beam detector
US4696574A (en) Precision remote location of a movable point employing light interference fringes
US5026162A (en) Optical interference position measurement system
CA2221170A1 (en) Laser beamsplitter for generating a plurality of parallel beams
US4132940A (en) Apparatus for providing a servo drive signal in a high-speed stepping interferometer
SU938011A1 (ru) Фотоэлектрическое устройство дл контрол пр молинейности
CA2019950C (en) Optical system for measuring linear or angular displacements
US4345838A (en) Apparatus for spectrometer alignment
JP2503561B2 (ja) レ―ザ―干渉式エンコ―ダ
JPS5985918A (ja) 直接比率式の分光光度計
US4577966A (en) Spectrophotometer
US4685804A (en) Method and apparatus for the measurement of the location or movement of a body
US4256958A (en) Apparatus for monitoring the optical quality of a beam of radiation
CN219104954U (zh) 一种噪声自校正激光多普勒测速系统
SU1441202A1 (ru) Устройство контрол децентровки оптических поверхностей
SU916976A1 (ru) Устройство дл контрол углового положени объекта
SU1446472A1 (ru) Устройство дл измерени малых зазоров между двум поверхност ми,одна из которых прозрачна
SU1128119A1 (ru) Устройство дл контрол диаметра микроволокна
SU1215004A1 (ru) Устройство дл измерени перемещений
SU763677A1 (ru) Оптико-электронное устройство дл измерени угла поворота объекта