Однако устройство имеет невысокие точность измерени и производительность контрол , обусловленные значительной величиной составл ющей погрешности измерени , возникающей изза клиновидности расщепител (полупрозрачного зеркала). Учесть систематическую погрешность -в процессе измерени практически невозможно из39 за вли ни на клиновидность расщепител его креплени , окружающей температуры и других факторов, а также из-за сложности определени положени клина расщепител по отношению к выбранной плоскости измерени и ,п. Кроме того, дл одновременного контрол пр молинейности при помощи известного устройства в двух взаимно Перпендикул рных направлени х расщепитель должен поворачиватьс на 90f что снижает производительность измерений . Цель изобретени - повышение точНости и производительности контрол Эта цель достигаетс тем, что уст ройство снабжено генератором опорных напр жений, приводом, св занным со светорасщепителем, и генератором опо нык напр жений, кольцевым зеркалом, тырьм фазовыми детекторами и вторым электрическим фильтром, идентичным первому, светорасщепитель размещен между источником света и кареткой, Кольцевое зеркало установлено на каретке под углом к оптической оси ; по ходу расщепленных пучков между Светорасщепителем и фотоприемниками выход каждого из которых подключен соответственно к.входам двух фазовых jqeTeKTOpoB, управл ющие входы которых св заны с выходами генератора Ьпорных напр жений, а выходы через . Электрические фильтры подключены к Входам блока регистрации. На фиг. 1 изображена функциональна схема устройства; на фиг. 2 разрез Л-А на фиг. 1. Устройство содержит источник 1 света, например лазер, формирующий узкий пучок лучей, светорасщепи гель 2 пучка лучей, установленный D полой оси 3, привод k вращени , гейератор 5 опорных напр жений, кольЦевое зеркало 6, позиционно-чувствительный фотоприемник 7, расположенный на движущейс вдоль луча каретке 8, второй позиционно-чувствительный фотоприемник 9, расположенйый на фиксированном рассто нии от источника 1 света, фазовые детеКторы 10-13, преобразователи 1 и 15, электрические фильтры 16 и 17, посто нна времени которых находитс ъ функциональной зависимости от текущей дальности между источником 1 света и позиционно-чувствительным фо топриемником 7, и регистрирующий при 4 бор. 18Г (Элементы 10-17 образуют два идентичных канала X и У). Устройство работает следующим образом . Источник 1 света формирует узкий пучок лучей, направленный через светорасщепит .ель 2 в сторону каретки 8, перемещающейс по поверхности, непр молинейность которой необходимо измерить. Светорасщепитель 2 делит пучок лучей ИСТОЧНИКИ 1 света на два пучка равной интенсивности и отклон ет их параллельно первоначальному направлению- на разные рассто ни г и г (сечение А-А) вследствие его наклонного расположени . При подаче питающего напр жени на привод k вращени , например электродвигатель , светорасщепитель 2 и генератор 5 опорных напр жений начина ,ют вращатьс с частотой вращени электродвигател , что приводит к вращению раздельных пучков лучей :ло окржуност м с радиусами г и г,2: и к по влению на выходах генератора 5 переменных напр жений, сдвинутых по фазе на У/2, частота которых равна частоте вращени светорасщепител 2. Вращающиес пучки лучей создают общую дл них равносигна ьную зону, вл ющуюс продолжением энергетической оси пучка лучей от источника 1 света, при этом величина клина светорасщепител и ее изменени от различных факторов вли ют только на углы расхождени вращающихс пучков лучей, но не измен ют направление равносигнальной зоны. , Равносигнальна зона вращающихс пучков лучей принимаетс за оптическую ось устройства. Кольцевое зеркало 6, центр которого совмещен с равносигнальной зоной, направл ет пучок лучей, вращающийс по окружности радиуса г., , на позиционно-чувствительный фотоприемник 7, а пучок лучей, вращающийс по окружности радиуса Р , проходит без преЛомлени через отверстие зеркала 6 и попадает на позиционно-чувствительный фотоприемник 9, установленный в конце контролируемой поверхности, что позвол ет исключить возможность по влени систематической составл ющей погрешности результата измерени . 59 Если центры позиционно-чувствител ных фотоприемников 7 и 9 совмещены с равносигнальной зоной вращающихс пучков лучей, переменные составл ющи сигнала на их выходах отсутствуют Если центры смещены относмтельно рав носигнальной зоны, то на выходе каждого позиционно-чувствительного фото приемчика 7 и Э по вл ютс переменны составл ющие сигнала с частотой вращени светорасщепител 2, амплитуды которых пропорциональны смещени м вдоль направлений Х-Х и У-У, а фазы характеризуют направлени смещений. Это позвол ет использовать устрой ство дл контрол пр молинейности одновременно в двух взаимно перпенди кул рных направлени х, лежащих в плоскости, перпендикул рной оптической оси, При перемещении каретки 8, вследствие флуктуации вращающихс лучей в ВОЗДУШНОМ тракте, угловых перемёщений источника 1 света, положение равносигнальной зоны измен етс отно сительно каретки 8 и на выходах фазо вых детектород 10 и 12 по вл етс си нал, характеризующий не только профиль контролируемой поверхности, но и перемещени равносигнальной зоны, Сигналы с фазовых детекторов 11. ji 13 характеризуют только перемещёни равносигнальной зоны, при этом в сигналах отсутствуют составл ющие,, создающие систематическую составл ющую погрешность измерени . , Сигналы с фазовых детекторов 10 и 11 канала X поступают в преобразователь k и фильтр 16, где умножаютс на коэффициенты передач, складываютс или вычитаютс и подаютс на вход X регистрирующего прибора 18 а с выхода канала У - на вход У регистрирующего устройства. Така схема позвол ет не только исключить погрешность результата измерени , возникающую из-за непосто нства положени источника света, и уменьшить дисперсию результата измерени , вызванную флуктуаци ми воздушного тракта, но и полностью исклю чить систематическую составл ющую 6 погрешности измерени , возникаю1.;уп. из-за клиновидности расщепител ,снизить требовани на клиновидность при изготовлении расщепител , а также позвол ет проводить контроль пр молинейности одновременно в двух взаимно перпендикул рных направлени х X и У, лежащих в плоскости, перпендикул рной оптической оси устройства. Формула изобретени Фотоэлектрическое устройство дл контрол пр молинейности, содержащее источник света, светорасщепитель, каретку, устанавливаемую с возможностью перемещени на контролируемом объекте, два фотоприемника, размещенные в расщепленных световых пучках, электрический фильтр и. блок регистрации , первый фотоприемник закреплен на KatieTKe, а второй установлен на фиксированном рассто нии от источника света, отличающеес гем, что, с целью повышени точности /t производительности контрол , оно снабжено генератором опорных, напр жений , приводом, св занным со светорасщепителем , и генератором опорных напр жений, кольцевым зеркалом, чет тырьм фазовыми детекторами и вторым электрическим фильтром, идентичным первому, светорасщепитель размещен между источником света и кареткой, кольцевое зеркало установлено на каретке под углом к оптической оси по ходу расщепленных пучков между светорасщепителем и фотоприемниками, выход каждого из которых подключен соответственно к входам двух фазовых детекторов, управл ющие входы которых св заны с выходами генераторе опорных напр жений, а выходы через электрические, фильтры подключены к ходам блока регистрации. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР № , кл. G 01 В 11/30)М973.