JPS6338573A - 真空薄膜装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、真空蒸着法、イオンブレーティング法、ス
パッタリング法あるいはその他の方法により例えば切削
工具におけるブローチのような長尺物のコーティングを
行う真空薄膜装置に関するものである。

（従来技術） 従来より知られている真空薄膜装置は、全体として固定
されたものとして構成されているので、例えばブローチ
のような長尺物を被蒸Ｈａとする場合、少なくともその
長尺物を収容し得る長さの真空容器が必要となる。さら
には、長尺物全体のコーティングを行うためには、長尺
物と同等の長さを有する蒸発源を用意したり、蒸発源を
被蒸着部に沿って移動可能にしたり、あるいは被蒸着部
を蒸発源に対して移動させ得るようにしたりする手法が
採られている。

（発明が解決しようとしている問題点）しかしながら、
かかる従来技術の手法によると少なくとも被蒸着部の大
きさに見合った真空容器が必要となるので、コーティン
グの前工程として真空容器内の排気に要する時間が長く
、作業能率が悪いという問題があった。また、真空容器
内に被蒸着部以外の大きな部材や各種可動部材を収容す
ることは真空雰囲気の特殊事情を勘案すると。

排気上の問題のみならず、正常機能（例えば潤滑機俺等
）確保、保守点検の困難さ等を伴う問題点があった。

（問題点を解決するための手段） この発明は、かかる従来技術の問題点を解決するために
なされたものであり、所定方向に延在する被蒸着部と被
蒸着部にその延在方向に沿って移動自在に係合し、内部
に蒸発源を設けた真空容器と、該真空容器に連結される
と共に前記被蒸着部と該真空容器との係合部を気密に保
持しつつ該被蒸着部の延在方向に沿って伸縮可能な伸縮
部材とを備えたことを特徴とし真空容器を小型に維持し
つつ、長尺物のコーティングが可能な真空Ｆ１膜装置を
提供せんとするものである。

（作用） 真空容器を被蒸着部に沿って移動させると、真空容器内
に収容された蒸発源からの蒸発物質は相対移動した被蒸
着部に向かって飛散し、真空容器の移動に順じてコーテ
ィングが行われる。この場合、真空容器と被蒸着部との
保合部は真空容器の移動に拘らずコーティング中は常時
気密に保たれる。

（実施例） 第１図はこの発明の第一実施例を示すものであり、符号
ｌは基台であり、この基台１には一対の支柱２．３が所
定の間隔を置いて垂設されていて、一方の支柱２には基
台１の上面に略平行な軸線方向を有する被蒸着部４が所
定の支持機構５を介して取り付けられれており、この支
持機構５には被蒸着部４をその軸線の回りに回動させる
駆動源６が伝達軸７を介して連結されている。さらに、
被蒸着部４には真空容器８が貫通して係合されており、
この真空容器８には真空装置Ｐが連結されている一方、
この真空容器８には基台１上を転勤可能な載架台９が取
り付けられれている。また、真空容器８内には蒸発物質
１０をアーク放電等により蒸発可能な蒸発源１１が設け
られている。

一方、真空容器８と被蒸着部３との各係合部は保持可能
となっていて、この各係合部とそれぞれに対応する２、
３との間には伸縮部材としての金属製ベローズ１２．１
３が設けられている。

次に、このように構成させた第１実施例の作動につき第
２図及び第３図を合わせて参照しながら説明する。

コーティング開始時には真空容器８を例えば第１図の左
方、つまり一方の支柱２寄りに位置させ、被蒸着部４を
軸線の回りに必要に応じて回動させ、また、真空容器８
を右方へ移動させながら蒸発物質１０の蒸発を行う。

こうして真空容器８が被蒸着部４の右方終端位置まで達
したら（第２図に示す状態）コーティングを終了する。

あるいは、何回か往復させてコーティングを終了する０
次いで、コーティングされた被蒸着部４を取り出すには
、他方の支柱３とベローズ１３との連結を理解した後、
真空容器８を一方の支柱３側に移動させ、マニプレータ
１４等を用いて製品としての被蒸着部４の離脱を行う。

第４図はこの発明の第２実施例を示すものであり、伸縮
部材を第１実施例のベローズ１２．１３の代りに伸縮管
１５．１６により構成するようにしたものである。この
伸縮管１５．１６は例えば気密保持用シール部材１７を
介しての３段式可伸縮構造となっており、被蒸着部４の
軸線方向に沿って伸縮自在となっている。

このように構成された第２実施例によれば、コーティン
グの終了時には第５図に示すように、一方の伸縮管１５
は略完全伸長状態となり、他方の伸縮管１６は略完全短
縮状態となる。

なお、他の構成及び作用は第１実施例と同様であるので
重複した説明は省略する。

（発明の効果） 以上のようにこの発明によれば、被蒸着部に係合する真
空容器を被蒸着部の延在方向に沿って移動可能とする構
成としたので、真空容器の大きさを被蒸着部の大きさ如
何に拘らず小型にすることができ、排気時間の短縮等コ
ーティング時の作業能率の向上に貢献できる。また真空
容器内には蒸発源を設けるだけで済むので、従来技術の
ような可動部材を設けることによる正常機能確保、保守
管理などの真空雰囲気下における困難さを回避できる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第３図はこの発明の第一実施例を示す正面
図であり、ｉｔ図はコーティング途中における真空容器
の位置を説明する図、第２図はコーティング終了時にお
ける真空容器の位置を説明する図、第３図はコーティン
グ製品の取り出し時の状態を説明する図、第４図及び第
５図はこの発明の第２実施例を示す正面図であり、第４
図はコーティング途中における真空容器の位置を説明す
る図、第５図はコーティング終了時における状態におけ
る状態を説明する図である。 ４・・・被蒸着部、８φ・拳真空容器、１１・・・蒸発
源、１２，１３・・・ベローズ（伸縮部材）、１５，１
６・・・伸縮管（伸縮部材）。 第３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　所定方向に延在する被蒸着部と、該被蒸着部にその延
   在方向に沿って移動自在に係合し、内部に蒸発源を設け
   た真空容器と、該真空容器に連結されると共に、前記被
   蒸着部と該真空容器との係合部を、気密に保持しつつ該
   被蒸着部の延在方向に沿って伸縮可能な伸縮部材とを備
   えたことを特徴とする真空薄膜装置