JPS6334980A - 光発電素子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明（よ、非晶質光発電素子の高効率化、および大
面積素子の高歩留り化を図った光発電素子に関するもの
である。

〔従来の技術〕

第２図は従来の光発電素子の断面図であり、この図にお
いて、１は透光性基板、２は凹凸形状をした透明電極、
３は非晶質膜、４は金属電極、５は入射光を表す。（例
えば特開昭５９−２０１４７０号公報、特開昭５９−１
５９５７４号公報参照。） 次に動作について説明する。

従来、非晶質光発電素子の高効率化のために第２図に示
すように、非晶質膜３を形成する前に透光性基板１上に
形成される透明電極２を凹凸形状とし、入射光５をこの
凹凸により散乱させ、光路長を長くすることにより非晶
質膜３内で吸収される光を多くし、光発生電流を増大さ
せている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来の光発電素子は以上のように構成されているため、
非晶質膜３の下地の凹凸形状をした透明電極２により６
０〜５０００大程度の薄膜を用いる非晶質光発電素子に
おいて接合のリークが起こり易く、小面積の素子では動
作することがあっても、例えば１０ｃｍ角のような大面
積化は難しいという問題点があった。

この発明は、上記のような問題点を解消するためになき
ねたもので、非晶質膜内ての光路長を長くでき、高効率
化が図れるとともに、歩留りのよい大面端光発電素子を
得ることを目的とする。

〔間顕点を解決するための手段〕

この発明に係る光発電素子は、透光性基板の光発電素子
が形成されろ面と反対側の面を凹凸形状とし、この凹凸
面に光反射膜を付着形成したものである。

〔作用〕

この発明においては、透光性基板の光発電素子が形成さ
れる面と反対側の面に形成された凹凸面に光反射膜を形
成したことから、非晶質膜を透過してきた光をこの光反
射膜により散乱させる。

〔実施例〕

この発明の一実施例を第１図について説明する。

この図において、５は入射光、１１は片面を凹凸面１１
ａとした透光性基板、１２はこの透光性基板１１の凹凸
面１１ａに形成した光反射膜、１３は基板側透明電極、
１４は非晶質膜、１５は入射側透明電極、１６は金属電
極である。

次に動作について説明する。

入射側透明電極１５を通して入った入射光５は非晶質膜
１４の中で一部吸収される。この時、吸収されずに透過
した光は、基板側透明電極１３゜透光性基板１１を通し
て凹凸面１１ａに到達する。

ここで、この凹凸面１１１ｍで形成された光反射膜１２
により散乱されて、再び透光性基板１１．基板側透明電
極１３を通って非晶質膜１４に入射される。この光は凹
凸面１１ａにより散乱されているため、入射光５のよう
に透光性基板１１に垂直な成分のみでなく、様々の方向
性を持っているため光路長が長く、より多くの光キャリ
アを発生させることができ、光電流が増大する。また、
薄膜である非晶質膜１４は平坦な基板側透明電極１３上
に形成されているため、接合のリークについては、従来
例と比べて極めて少なくなる。

〔発明の効果〕

この発明は以上説明したとおり、透光性基板の光発電素
子が形成される面と反対側の面を凹凸形状とし、この凹
凸面に光反射膜を付着形成したので、この部分での散乱
により光路長を長くでき、光発生電流を増大させるとと
もに、非晶質膜は平坦な面上に形成されているため、接
合のリークは極めて少なく、大面積化を図った場合でも
歩留りよく高効率の光発電素子が得られる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の光発電素子の一実施例を示す断面図
、第２図は従来の光発電素子の断面図である。 図において、１１は透光性基板、１１ａは凹凸面、１２
は光反射膜、１３（よ基板側透明電極、１４は非晶質膜
、１５は入射側透明電極である。 なお、各図中の同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人　大　岩　増　雄　　　（外２名）第１図 第２図 ５〆

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 透光性基板上に形成された非晶質光発電素子において、
   前記透光性基板の光発電素子が形成される面と反対側の
   面を凹凸形状とし、この凹凸面に光反射膜を付着形成し
   たことを特徴とする光発電素子。