JPS6334444A - クリ−ンル−ム - Google Patents
クリ−ンル−ムInfo
- Publication number
- JPS6334444A JPS6334444A JP17969286A JP17969286A JPS6334444A JP S6334444 A JPS6334444 A JP S6334444A JP 17969286 A JP17969286 A JP 17969286A JP 17969286 A JP17969286 A JP 17969286A JP S6334444 A JPS6334444 A JP S6334444A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean room
- suction surface
- air suction
- air
- room
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Air-Flow Control Members (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はクリーンルームに関し、特に、その空気吸引面
の構造を改良したクリーンルームに関するものである。
の構造を改良したクリーンルームに関するものである。
従来のクリーンルームは空気をろ過する高性能フィルタ
を備えた、清浄な空気の吹きだし面と、室内で作業者や
装置から発生する塵埃や微小粒子を含んだ空気を排出す
る空気吸引面とを有しており、室内を常に清浄に保つよ
うになっている。ここで、塵埃や微小粒子を含む空気は
、クリーンルーム外へ排出され、その雰囲気は、非常に
汚ないものである。
を備えた、清浄な空気の吹きだし面と、室内で作業者や
装置から発生する塵埃や微小粒子を含んだ空気を排出す
る空気吸引面とを有しており、室内を常に清浄に保つよ
うになっている。ここで、塵埃や微小粒子を含む空気は
、クリーンルーム外へ排出され、その雰囲気は、非常に
汚ないものである。
上述した従来のクリーンルームの空気吸引面は常に開放
状態となっているので、クリーンルームの機能が停止し
た場合には、クリーンルーム外へ吸引、排気された塵埃
や微小粒子を含んだ空気が逆にクリーンルーム内へまい
上がり、一時にして室内が汚染される。これによって、
汚染されたクリーンルーム内の清浄度を再生するために
、多大な工数を要するばかりでなく、製品の不良を作り
出し、製造装置の機能にも不具合を生じさせ、大きな損
害を与えるという欠点があった。
状態となっているので、クリーンルームの機能が停止し
た場合には、クリーンルーム外へ吸引、排気された塵埃
や微小粒子を含んだ空気が逆にクリーンルーム内へまい
上がり、一時にして室内が汚染される。これによって、
汚染されたクリーンルーム内の清浄度を再生するために
、多大な工数を要するばかりでなく、製品の不良を作り
出し、製造装置の機能にも不具合を生じさせ、大きな損
害を与えるという欠点があった。
本発明のクリーンルーム内空気吸引面遮蔽システムは、
クリーンルームの空気吸引面に、開閏可能な遮蔽体を有
している。
クリーンルームの空気吸引面に、開閏可能な遮蔽体を有
している。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例の平面図、第２図。
第３図は縦断面図である。遮蔽体２は空気吸引面１に一
端でとりつけである。室内の空気の流れは、第１図では
表面から裏面へ、第２図、第３図では空気吸引面１の上
方（クリーンルーム内）から下方（クリーンルーム外）
へと流れる。
端でとりつけである。室内の空気の流れは、第１図では
表面から裏面へ、第２図、第３図では空気吸引面１の上
方（クリーンルーム内）から下方（クリーンルーム外）
へと流れる。
遮蔽体２は、通常は、第２図のように開放して使用する
とともに、クリーンルームの機能停止時には、第３図の
ように遮蔽して使用できる。
とともに、クリーンルームの機能停止時には、第３図の
ように遮蔽して使用できる。
上述の実施例では、空気吸引面１面につき１コの遮蔽体
がとりつけであるが、遮蔽体の大きさは任意であり、材
質についても同様である。さらに遮蔽方法は遮蔽体を持
ち上げる方式を示したが、スライド方式も可能である。
がとりつけであるが、遮蔽体の大きさは任意であり、材
質についても同様である。さらに遮蔽方法は遮蔽体を持
ち上げる方式を示したが、スライド方式も可能である。
又、実施例として、クリーンルームの空気清浄機能の停
止を、自動的に感知し、遮蔽体が閏じるものがある。
止を、自動的に感知し、遮蔽体が閏じるものがある。
以上説明したように本発明は、クリーンルームの空気吸
引面に遮蔽体を有することにより、空気吸引面を任意に
開閉できるため、クリーンルームの空気清浄機能停止時
には、空気吸引面を遮蔽し、クリーンルーム外より塵埃
を含む空気が逆にクリーンルーム内へまい上がって、室
内を汚染することを防止できる効果がある。
引面に遮蔽体を有することにより、空気吸引面を任意に
開閉できるため、クリーンルームの空気清浄機能停止時
には、空気吸引面を遮蔽し、クリーンルーム外より塵埃
を含む空気が逆にクリーンルーム内へまい上がって、室
内を汚染することを防止できる効果がある。
第１図は、本発明の実施例における空気吸引面の平面図
、第２図は通常使用状態での第１図のＡ−Ａｒ！ｆｒ面
図、第３図はクリーンルームの空気清浄機能停止時の第
１図のＡ−Ａ断面図である。 １・・・空気吸引面、２・・・遮蔽体。
、第２図は通常使用状態での第１図のＡ−Ａｒ！ｆｒ面
図、第３図はクリーンルームの空気清浄機能停止時の第
１図のＡ−Ａ断面図である。 １・・・空気吸引面、２・・・遮蔽体。
Claims (1)
- 空気吸引面で大気をろ過することによって、空気中の
塵埃や微粒子をほとんどなくしたクリーンルームにおい
て、前記空気吸引面にそれを開閉できる遮蔽体を設けた
ことを特徴とするクリーンルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17969286A JPS6334444A (ja) | 1986-07-29 | 1986-07-29 | クリ−ンル−ム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17969286A JPS6334444A (ja) | 1986-07-29 | 1986-07-29 | クリ−ンル−ム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6334444A true JPS6334444A (ja) | 1988-02-15 |
Family
ID=16070204
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17969286A Pending JPS6334444A (ja) | 1986-07-29 | 1986-07-29 | クリ−ンル−ム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6334444A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02104822U (ja) * | 1989-02-09 | 1990-08-21 |
-
1986
- 1986-07-29 JP JP17969286A patent/JPS6334444A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02104822U (ja) * | 1989-02-09 | 1990-08-21 |
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