JPH02104822U - - Google Patents

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JPH02104822U
JPH02104822U JP1455289U JP1455289U JPH02104822U JP H02104822 U JPH02104822 U JP H02104822U JP 1455289 U JP1455289 U JP 1455289U JP 1455289 U JP1455289 U JP 1455289U JP H02104822 U JPH02104822 U JP H02104822U
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JP
Japan
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suction port
filter unit
air
fan filter
air suction
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JP1455289U
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JPH0611064Y2 (ja
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  • Ventilation (AREA)
  • Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図乃至第７図は、本考案に係るクリーンル
ーム用フアンフイルタユニツトの実施例を示し、
第１図はフアンフイルタユニツト本体部に逆流防
止ダンパ部を接続した状態を示す全体斜視図、第
２図はフアンフイルタユニツト本体部の平面図、
第３図はフアンフイルタユニツト本体部の側面図
、第４図は逆流防止ダンパ部の断面図、第５図は
フアンフイルタユニツト本体部に逆流防止ダンパ
部を接続した状態を示す側面図、第６図はフアン
フイルタユニツトを設置する天井枠材を示す説明
図、第７図は本考案に係るフアンフイルタユニツ
トの作動状態を示す簡略図であり、そして第８図
は従来のフアンフイルタユニツトの作動状態を示
す簡略図である。 １……フアンフイルタユニツト本体部、２……
逆流防止ダンパ部、３……下部開口、４……方形
ケーシング、１１……空気吸込口、１７……筐体
、１８……空気取入口、１９……下面開口、２１
……羽根、２４……接続筒、２５……ベルマウス
、３０……ルーム。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 方形ケーシングの下部開口に高性能フイル
    タを張り渡したうえ該ケーシング内にフアンを設
    置し、該ケーシングの上面に空気吸込口をもつフ
    アンフイルタユニツトであつて、クリーンルーム
    の天井面に二次元的拡がりをもつて複数個配置さ
    れ、天井裏空間の空気を該空気吸込口から取り入
    れて該高性能フイルタを介して前記下部開口から
    ルーム内に清浄空気を給気するクリーンルーム用
    フアンフイルタユニツトにおいて、前記空気吸込
    口に逆流防止ダンパを設けたことを特徴とするク
    リーンルーム用フアンフイルタユニツト。 (2) 前記逆流防止ダンパは、該空気吸込口に接
    続される下面開口および側面の空気取入口とを有
    する内部が中空な筐体と、該側面吸込口の断面を
    塞ぐに十分な面積をもつ羽根とからなり、該側面
    吸込口の上縁内側に該羽根の上端が回動自在に支
    持された内開きダンパからなる請求項１に記載の
    フアンフイルタユニツト。 (3) 前記筐体の下面開口は、ベルマウスを形成
    した接続筒を介して、該ユニツトの空気吸込口に
    接続される請求項２に記載のフアンフイルタユニ
    ツト。
JP1989014552U 1989-02-09 1989-02-09 クリーンルーム用ファンフィルタユニット Expired - Lifetime JPH0611064Y2 (ja)

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JPH02104822U true JPH02104822U (ja) 1990-08-21
JPH0611064Y2 JPH0611064Y2 (ja) 1994-03-23

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JPH0611064Y2 (ja) 1994-03-23

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