JPS63312037A - 永久磁石保持装置 - Google Patents
永久磁石保持装置Info
- Publication number
- JPS63312037A JPS63312037A JP14820187A JP14820187A JPS63312037A JP S63312037 A JPS63312037 A JP S63312037A JP 14820187 A JP14820187 A JP 14820187A JP 14820187 A JP14820187 A JP 14820187A JP S63312037 A JPS63312037 A JP S63312037A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnet
- magnets
- magnetic poles
- fixed
- permanent magnet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 150000002910 rare earth metals Chemical group 0.000 claims description 2
- BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] Chemical compound N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 9
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 5
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 2
- 241000287828 Gallus gallus Species 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q3/00—Devices holding, supporting, or positioning work or tools, of a kind normally removable from the machine
- B23Q3/15—Devices for holding work using magnetic or electric force acting directly on the work
- B23Q3/154—Stationary devices
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は永久磁石保持装置に係わり、とくに平板状のも
のに関する。
のに関する。
従来の永久磁石によって構成された保持装置はほぼ円筒
状の回転永久磁石とこの永久磁石を取囲むように設けら
れた磁気ブロックとを用いて構成されている。したがっ
て保持装置の外観形状は概ね直方体状をなしている。
状の回転永久磁石とこの永久磁石を取囲むように設けら
れた磁気ブロックとを用いて構成されている。したがっ
て保持装置の外観形状は概ね直方体状をなしている。
このような形状であると、寸法とくに高さ寸法が大きく
、また重量もかなり大であり、取扱い勝手が必ずしも良
くない。
、また重量もかなり大であり、取扱い勝手が必ずしも良
くない。
本発明は上述の点を考慮してなされたもので、高さ寸法
および重量の小さな永久磁石保持装置を提供することを
目的とする。
および重量の小さな永久磁石保持装置を提供することを
目的とする。
上記目的達成のため、本発明では、
平板状の回転磁石と同じく平板状の固定磁石とを一方が
外周側で他方が内周側になるように一平面内に配し、こ
れら両磁石の厚さ方向の一方に継鉄を、他方に一対の磁
極を配してなる永久磁石保持装置を提供するものである
。
外周側で他方が内周側になるように一平面内に配し、こ
れら両磁石の厚さ方向の一方に継鉄を、他方に一対の磁
極を配してなる永久磁石保持装置を提供するものである
。
回転磁石を固定磁石に対して回転することによ（って、
回転磁石と固定磁石の同一磁極が向かい合う位置となっ
たり、回転磁石と固定磁石の異磁極とが向い合う位置に
なったりする。同一磁極が向い合うと各磁石の発生磁束
は一対の磁極からワークに与えられワークを吸着する作
用を行う。一方、異磁極が向い合うと各磁石の発生磁束
は磁石と各磁極とによる閉磁路を通りワークを吸着する
作用に用いられない。
回転磁石と固定磁石の同一磁極が向かい合う位置となっ
たり、回転磁石と固定磁石の異磁極とが向い合う位置に
なったりする。同一磁極が向い合うと各磁石の発生磁束
は一対の磁極からワークに与えられワークを吸着する作
用を行う。一方、異磁極が向い合うと各磁石の発生磁束
は磁石と各磁極とによる閉磁路を通りワークを吸着する
作用に用いられない。
回転磁石、固定磁石はともに平板状であり、その厚さ方
向の各側に継鉄と一対の磁極を配した構成であるため、
高さ方向の寸法が小さい。また磁石を回転側のみならず
固定側にも配したため小形の磁石で構成でき重量を小さ
くできる。
向の各側に継鉄と一対の磁極を配した構成であるため、
高さ方向の寸法が小さい。また磁石を回転側のみならず
固定側にも配したため小形の磁石で構成でき重量を小さ
くできる。
第１図（ａ）、（ｂ）は本発明の一実施例における継鉄
を取除いた状態の平面図およびその横断面図であり、同
図（ａ）におけるＡ−Ａ線相当位置で切断した横断面図
が同図（ｂ）であり、同図（ｂ）におけるＢ−Ｂ線位置
での平面図が同図（ａ）である。
を取除いた状態の平面図およびその横断面図であり、同
図（ａ）におけるＡ−Ａ線相当位置で切断した横断面図
が同図（ｂ）であり、同図（ｂ）におけるＢ−Ｂ線位置
での平面図が同図（ａ）である。
この図において、１は継鉄、２は一対の磁極であり、分
極板３によって磁気的に分離されている。
極板３によって磁気的に分離されている。
この継鉄１と磁極２との間には、回転磁石４とその非磁
性材製の支持板５、固定磁石６とその非磁性材製の支持
板７が挿入される。ここで、磁石４．６はたとえば希土
類磁石、フェライト磁石等の保持力の大なる磁石が望ま
しく、図示実施例では円盤形の磁石をそれぞれ４個ずつ
用いている。これら各４個の磁石は、支持板５または７
上に中心から等距離で相互間が等間隔に配されている。
性材製の支持板５、固定磁石６とその非磁性材製の支持
板７が挿入される。ここで、磁石４．６はたとえば希土
類磁石、フェライト磁石等の保持力の大なる磁石が望ま
しく、図示実施例では円盤形の磁石をそれぞれ４個ずつ
用いている。これら各４個の磁石は、支持板５または７
上に中心から等距離で相互間が等間隔に配されている。
そして、回転磁石４．固定磁石６ともに同一磁極を有す
る磁石が二つずつ隣合うように配される。これは分極板
３によって分割された磁極２に構成に適合させるためで
ある。
る磁石が二つずつ隣合うように配される。これは分極板
３によって分割された磁極２に構成に適合させるためで
ある。
この装置において、回転磁石４が設けられた支持板５は
図示しない回転機構によって回転される。
図示しない回転機構によって回転される。
回転機構は例えば中心部に支持板５に連結され継鉄１を
貫通する操作軸を設けてもよいし、外周部に支持板５の
外周縁に接触する操作リングを設けるなどの種々の手段
を採用することができる。
貫通する操作軸を設けてもよいし、外周部に支持板５の
外周縁に接触する操作リングを設けるなどの種々の手段
を採用することができる。
いま各磁石の磁極Ｎ％Ｓが、第１図（ａ）における括弧
なしで示した状態に配置されているとする。この状態で
は分極板３を中心にしてみた場合、回転磁石４、固定磁
石６とも各一方の側にはＮ１他方にはＳが配されるから
、各磁極から図示しない磁極２の下方に配されたワーク
に対して磁束が与えられ、ワークの吸着が行われる。
なしで示した状態に配置されているとする。この状態で
は分極板３を中心にしてみた場合、回転磁石４、固定磁
石６とも各一方の側にはＮ１他方にはＳが配されるから
、各磁極から図示しない磁極２の下方に配されたワーク
に対して磁束が与えられ、ワークの吸着が行われる。
２３Ｃ
次に回転磁石４を１８０度回転し、各磁石の磁極Ｎ、Ｓ
が、第１図（ａ）における括弧付きで示した状態に配置
されているとする。この状態では分極板３を中心にして
みた場合、回転磁石４は図示左方にＳ極で図示右方にＮ
極となって固定磁石６の磁極と逆極性となる。したがっ
て回転磁石４と固定磁石４とが閉磁路を形成し磁束がワ
ークに作用しなくなる。
が、第１図（ａ）における括弧付きで示した状態に配置
されているとする。この状態では分極板３を中心にして
みた場合、回転磁石４は図示左方にＳ極で図示右方にＮ
極となって固定磁石６の磁極と逆極性となる。したがっ
て回転磁石４と固定磁石４とが閉磁路を形成し磁束がワ
ークに作用しなくなる。
第２図は本発明の他の実施例を示したもので、第１図の
実施例における円盤状の磁石に代えて半円形の磁石を用
いたものである。これによってスペースファクタを改善
することができる。
実施例における円盤状の磁石に代えて半円形の磁石を用
いたものである。これによってスペースファクタを改善
することができる。
第３図もスペースファクタを考慮したもので、回転磁石
を大きな円板状のＮ−５対磁極とし固定磁石を三角形の
ものとしている。
を大きな円板状のＮ−５対磁極とし固定磁石を三角形の
ものとしている。
他の実施例として固定磁石をリング状とし、外形輪郭を
円形にしたものも考えられ、これは四角の設置スペース
が得られない時に有利である。
円形にしたものも考えられ、これは四角の設置スペース
が得られない時に有利である。
第１図（ａ）、（ｂ）は本発明の一実施例を示す継鉄を
除去した状態の平面図および横断面図、第２図および第
３図はそれぞれ本発明の他の実施例の第１図（ａ）に相
当する平面図である。 １・・・継鉄、２・・・磁極、３・・・分極板、４・・
・回転磁石、５・・・支持板、６・・・固定磁石、７・
・・支持板。 出願人代理人 佐 藤 −雄 鶏１図 冶３区
除去した状態の平面図および横断面図、第２図および第
３図はそれぞれ本発明の他の実施例の第１図（ａ）に相
当する平面図である。 １・・・継鉄、２・・・磁極、３・・・分極板、４・・
・回転磁石、５・・・支持板、６・・・固定磁石、７・
・・支持板。 出願人代理人 佐 藤 −雄 鶏１図 冶３区
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 平板状の回転磁石と同じく平板状の固定磁石とを一
方が外周側で他方が内周側になるように一平面内に配し
、これら両磁石の厚さ方向の一方に継鉄を、他方に一対
の磁極を配してなる永久磁石保持装置。 ２ 特許請求の範囲第１項記載の装置において、前記磁
石は希土類磁石である永久磁石保持装置。 ３ 特許請求の範囲第１項記載の装置において、前記回
転磁石および固定磁石はともに円盤状である永久磁石保
持装置。 ４ 特許請求の範囲第１項記載の装置において、前記回
転磁石は円盤状で前記固定磁石は半円形盤である永久磁
石保持装置。 ５ 特許請求の範囲第１項記載の装置において、前記回
転磁石は円盤状で前記固定磁石は三角形である永久磁石
保持装置。 ６ 特許請求の範囲第１項記載の装置において、前記回
転磁石は円盤状で前記固定磁石はリング状である永久磁
石保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14820187A JPS63312037A (ja) | 1987-06-15 | 1987-06-15 | 永久磁石保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14820187A JPS63312037A (ja) | 1987-06-15 | 1987-06-15 | 永久磁石保持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63312037A true JPS63312037A (ja) | 1988-12-20 |
Family
ID=15447520
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14820187A Pending JPS63312037A (ja) | 1987-06-15 | 1987-06-15 | 永久磁石保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63312037A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2671426A1 (fr) * | 1991-01-04 | 1992-07-10 | Braillon Cie | Porteur magnetique a aimants permanents. |
| WO1999015314A1 (en) * | 1997-09-19 | 1999-04-01 | Applied Materials, Inc. | Magnetic carrier head for chemical mechanical polishing |
| US6436828B1 (en) | 2000-05-04 | 2002-08-20 | Applied Materials, Inc. | Chemical mechanical polishing using magnetic force |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5732569U (ja) * | 1980-07-31 | 1982-02-20 | ||
| JPS597203A (ja) * | 1982-07-05 | 1984-01-14 | Nippon Denso Co Ltd | 内燃機関用無接点式回転角度位置検出装置 |
| JPS60186341A (ja) * | 1985-02-05 | 1985-09-21 | Kanetsuu Kogyo Kk | 切換可能の永久磁石チヤツク |
| JPS6131541B2 (ja) * | 1979-01-12 | 1986-07-21 | Victor Company Of Japan |
-
1987
- 1987-06-15 JP JP14820187A patent/JPS63312037A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6131541B2 (ja) * | 1979-01-12 | 1986-07-21 | Victor Company Of Japan | |
| JPS5732569U (ja) * | 1980-07-31 | 1982-02-20 | ||
| JPS597203A (ja) * | 1982-07-05 | 1984-01-14 | Nippon Denso Co Ltd | 内燃機関用無接点式回転角度位置検出装置 |
| JPS60186341A (ja) * | 1985-02-05 | 1985-09-21 | Kanetsuu Kogyo Kk | 切換可能の永久磁石チヤツク |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2671426A1 (fr) * | 1991-01-04 | 1992-07-10 | Braillon Cie | Porteur magnetique a aimants permanents. |
| WO1999015314A1 (en) * | 1997-09-19 | 1999-04-01 | Applied Materials, Inc. | Magnetic carrier head for chemical mechanical polishing |
| US5989103A (en) * | 1997-09-19 | 1999-11-23 | Applied Materials, Inc. | Magnetic carrier head for chemical mechanical polishing |
| US6436828B1 (en) | 2000-05-04 | 2002-08-20 | Applied Materials, Inc. | Chemical mechanical polishing using magnetic force |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7161451B2 (en) | Modular permanent magnet chuck | |
| JP4964382B2 (ja) | 切替が可能な永久磁性装置 | |
| JPS597203B2 (ja) | 切換可能な永久磁石保持装置 | |
| JPS5959237U (ja) | 切換可能の永久磁石チヤツク | |
| US6002317A (en) | Electrically switchable magnet system | |
| KR900008082B1 (en) | Operating apparatus for objective lens | |
| JPS5982635U (ja) | 切換可能の永久磁石チヤツク | |
| JPS63312037A (ja) | 永久磁石保持装置 | |
| JPH0510326Y2 (ja) | ||
| JPS6315404A (ja) | 磁気吸着装置 | |
| JPS5670609A (en) | Rotary electromagnet | |
| JPS62135248A (ja) | モ−タ | |
| JPS5916386Y2 (ja) | 吊上用永久磁石装置 | |
| JPS63260738A (ja) | 自在ホルダ | |
| JPH0416925B2 (ja) | ||
| JPH07277664A (ja) | 吊上装置 | |
| JPH02140907A (ja) | ラジアル方向着磁方法 | |
| US2980777A (en) | Magnet control apparatus | |
| JP2536297Y2 (ja) | スパッタリング装置用磁気回路 | |
| JPH02118750U (ja) | ||
| JP2508093Y2 (ja) | 着磁装置 | |
| JPH0314017Y2 (ja) | ||
| JPH0423892Y2 (ja) | ||
| JPH01216737A (ja) | 磁気固定装置 | |
| JPS586063A (ja) | 磁気シ−ルド装置 |