JPS63310197A - 超電導配線パタ−ンの形成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は超電導配線パターン形成方法に関する。

（従来の技術） ある臨界温度以下で電気抵抗がゼロとなる、いわゆる超
電導体として、これまで詳細に研究されていた金属系材
料にかわり、最近ではセラミックを用いてオンセット温
度（超電導性を示しはじめる温度）が１００°Ｋを越え
るものが出現してきた。

この−例としてＹ−Ｄａ−Ｃｕ−０系セラミツクはオン
セット温度が１２５＠にのものも報告されている。これ
らセラミックは各元素を含む化合物粉体を１０００℃前
後の高温で焼成しなければならず、得られた超電導物質
は粉体ないしは再度整形プレスされたバルク状であった
。超電導材料の応用の一つとして電気配線に用いる場合
、上述した従来技術の形成方法では高温が必要であり、
また、バルク状であるため、絶縁性基板上に所望のパタ
ーンを形成することは困難であった。

他方、超電導材料を用いて薄膜化する研究も活発に行な
われている。その１つは、上述したバルク状超電体をタ
ーゲットとして、スパッタリングによる薄膜化する方法
があるしかしながらこの方法にあっては、スパッタ時に
酸素の空孔が多数出来るため、良好な超電導性を示す薄
膜を形成するたことは困難であった。

（発明が解決しようとする問題点） 、本発明は上述した問題点に鑑みなされたもので、良好
な超電導体特性を維持しつつ、絶縁性基板上に所望の配
線パターンを形成することにある。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段と作用）本発明はＩｌａ
族より選ばれた少なくとも１つ以上の元素を含み、かつ
ＩＩＩａ族より選ばれた少なくとも１つ以上の元素を含
み、かつ銅を含む酸化物焼結体を支持体に接着させる第
一の工程と、該酸化物焼結体を薄板状に研磨する第二の
工程と、所望の配線部分以外を除去する第三の工程とを
含む超電導配線パターンの形成方法である。この構成に
より、超電導性酸化物焼結体はその組成を変化せずに薄
板状に出来、微細パターンの形成を可能とせしめる。

（実施例） 本発明による超電導配線パターンの形成方法について、
図面をもって詳細に説明する。第１図イは超電導体２を
接着剤３で絶縁性支持体１に接着させた状態を示してい
る。超電導体２は、Ｉｌａ族より選ばれた少なくとも１
つ以上の元素を含み、かつＩＩＩａ族より選ばれた少な
くとも１つ以上の元素を含み、かつ銅を含む酸化物焼結
体からなるものであれば、どの様な元素の組み合せでも
かまわない１例えば、ＩＩＩａ族の元素として、Ｂａ、
ＩＩＩａ族の元素としてＬａを用いる。　Ｂａ２Ｃｏ３
と、Ｌａ２Ｏ３およびＣｕＯを混合し大気中９００℃に
４時間焼成を行ない、常温で取り出した後粒数趨になる
まで粉砕した。

次いで９００℃にてさらに８時間焼成後、５０ＩφＸ３
．Ｏｍｍｔのディスク状に成形プレス後大気中９２５℃
で２６時間焼成し、減圧（２Ｘ　ＩＰ３ａｔ＋＋＋）中
９００℃で５時間加熱し、超電導性酸化物焼結体を作成
した。次いで該酸化物焼結体を支持体に接着させる。

支持体としてはアルミナ、窒化アルミニウム、炭化ケイ
素、ガラス、ジルコニア等の無機材料、エポキシ樹脂、
フェノール樹脂、ポリイミド樹脂等の有機材料等いずれ
も用いることができる０例えばイツトリム安定化ジルコ
ニア（ＹＳＺ）を支持体に用いる。該酸化物焼結体をＹ
ＳＺ支持体上にエポキシ系接着剤を用いて接着させ、乾
燥硬化後該酸化物焼結体表面を研磨剤＃１８０．＃２５
０．＃３２０．　＃６００で粗研磨し、さらにアルミナ
１５μ、３．０μで用いて研磨し、該酸化物焼結体を厚
さ１０μｓの薄板状に成形した。

次いで、東京応化（株）製レジスト０ＦＰＲ８００を支
持体に接着された薄板状酸化物焼結体上にスピンナーコ
ーティングを行なった。塗布条件は、５００回転×５秒
の後２０００回転Ｘ３０秒とし、膜厚は２．０即であっ
た。レジスト４は窒素中８５℃で３０分間乾燥後ガラス
マウクを用いて配線パターンを露光し、現像、水洗した
。

次いで、１３５℃で３０分間ボストベークを行ない。

硝酸：水＝３：１のエツチング液でエツチングして幅３
０−の配線パターンを形成した。

得られた配線の両端にインジウム−ガリウム合金を用い
て電極を取り出し、液体窒素中にて電気抵抗を測定した
ところ８２”　Ｋで電気抵抗がゼロとなり超電導性を示
すことを確認した。

〔発明の効果〕

本発明によれば、バルク状に形成した超電導性酸化物焼
結体を研磨し薄板状に成形した後にパターニングを行な
うため、組成が変わらず良好な超電性を保ちつつ容易に
微細な配線パターンを形成することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による超電導配線パターンの形成方法を
説明するための図であり超電導性酸化物焼結体を支持体
に接着させる工程以降を示している断面図である。 １・・・支持体 ２・・・超電導性酸化物焼結体 ３・・・接着剤 ４・・・レジスト

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）IIａ族より選ばれた少なくとも１つ以上の元素を
   含み、かつ、IIIａ族より選ばれた少なくとも１つ以上
   の元素を含み、かつ、銅を含む酸化物焼結体を支持体に
   接着させる第一の工程と、該酸化物焼結体を薄板状に研
   磨する第二の工程と、所望の配線部分以外を除去する第
   三の工程とを含むことを特徴とする超電導配線パターン
   の形成方法。
2. （２）IIａ族としてＳｒ、Ｂａより選ばれた少なくとも
   １つ以上の元素を含むことを特徴とする特許請求の範囲
   第１項記載の超電導配線パターンの形成方法。
3. （３）IIIａ族としてＳｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｇｄ、Ｄｙ、Ｈ
   ｏ、Ｌｕ、Ｙｂ、Ｔｍ、Ｅｒより選ばれた少なくとも１
   つ以上の元素を含むことを特徴とする特許請求の範囲第
   １項記載の超電導配線パターンの形成方法。