JPS63308201A - ロツドレスシリンダ - Google Patents
ロツドレスシリンダInfo
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- JPS63308201A JPS63308201A JP14243387A JP14243387A JPS63308201A JP S63308201 A JPS63308201 A JP S63308201A JP 14243387 A JP14243387 A JP 14243387A JP 14243387 A JP14243387 A JP 14243387A JP S63308201 A JPS63308201 A JP S63308201A
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- bellows
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- fluid chamber
- rodless cylinder
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- Pending
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 25
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims abstract 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 6
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 5
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 3
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 241000220317 Rosa Species 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000004321 preservation Methods 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Actuator (AREA)
- Diaphragms And Bellows (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、比較的大きな内部圧力の変化に対しても耐え
るとともに、規則的な波形及び正しい伸縮方向を保持し
つつ柔軟に伸縮し得るロッドレスシリンダに関する。
るとともに、規則的な波形及び正しい伸縮方向を保持し
つつ柔軟に伸縮し得るロッドレスシリンダに関する。
〈従来例および問題点〉
一般にロッドレスシリンダは、左右の流体室の圧力差に
よって負圧の方向に移動せしめられるピストンを作動部
材とし、その往復移動時の作動力をシリンダの側方にお
いて出力するものである。
よって負圧の方向に移動せしめられるピストンを作動部
材とし、その往復移動時の作動力をシリンダの側方にお
いて出力するものである。
すなわち、ピストンに固定されてシリンダ端部で出没す
るピストンロッドを設けずにピストンの移動力を外部に
作動力を出力するものである。
るピストンロッドを設けずにピストンの移動力を外部に
作動力を出力するものである。
この場合の出力の方式としては、
■非磁性体のシリンダ内に磁性体製ピストンを配置し、
かつピストンに対向してシリンダの外周にドーナツ型の
作動体たる出力部材を滑動自在に嵌め付けることにより
、両者をマグネットカプリング方式で連結するもの、 ■左右流体室の端部付近においてシリンダ壁に穿設した
ベルト孔に、屈曲自在なスチールベルトを挿通し、その
端部なピストンに固定することにより、シリンダの外周
でスチールベルトが長手方向に摺動往復するように設け
たもの、 が知られている。
かつピストンに対向してシリンダの外周にドーナツ型の
作動体たる出力部材を滑動自在に嵌め付けることにより
、両者をマグネットカプリング方式で連結するもの、 ■左右流体室の端部付近においてシリンダ壁に穿設した
ベルト孔に、屈曲自在なスチールベルトを挿通し、その
端部なピストンに固定することにより、シリンダの外周
でスチールベルトが長手方向に摺動往復するように設け
たもの、 が知られている。
しかるに、上記■の方式では、ピストンと外部の出力部
材とは機械的連結でなく、磁気的な連結であるため大き
な荷重不可に耐えるだけのカップリング力がない。そこ
で、より強力なカップリング力を生じさせるにはピスト
ンと出力部材の素材として非常に高価な希土類マグネッ
トを使用しなければない。
材とは機械的連結でなく、磁気的な連結であるため大き
な荷重不可に耐えるだけのカップリング力がない。そこ
で、より強力なカップリング力を生じさせるにはピスト
ンと出力部材の素材として非常に高価な希土類マグネッ
トを使用しなければない。
しかも、出力部材の慴動時にシリンダと大きなｆｆｆｉ
を生じるので、その一方または両方からの摩耗粉が周囲
に飛散することとなり、例えばクリーンルーム工場での
使用は全く不通である。
を生じるので、その一方または両方からの摩耗粉が周囲
に飛散することとなり、例えばクリーンルーム工場での
使用は全く不通である。
次に、上記■の方式では、流体室の壁にベルト孔があっ
て気密性が保持されないため、作動不良を生じたり、作
動の正確性を欠くものである。しかも、このベルト孔に
おけるスチールベルトの慴動摩擦が大きいので摩耗によ
り孔径が徐々に拡大する欠点がある。
て気密性が保持されないため、作動不良を生じたり、作
動の正確性を欠くものである。しかも、このベルト孔に
おけるスチールベルトの慴動摩擦が大きいので摩耗によ
り孔径が徐々に拡大する欠点がある。
〈問題点を解決するための手段〉
本発明者は、上記の欠点を除去するために、ベローズの
伸縮を利用したロッドレスシリンダを開発提案するもの
であり、 その目的は、ベローズの形状および姿勢を正常に保持し
て作動させ、伸縮耐久性を向上し得るとものに、他部材
との摩擦による劣化を防止することのできる新規な構造
を提供することにある。
伸縮を利用したロッドレスシリンダを開発提案するもの
であり、 その目的は、ベローズの形状および姿勢を正常に保持し
て作動させ、伸縮耐久性を向上し得るとものに、他部材
との摩擦による劣化を防止することのできる新規な構造
を提供することにある。
本発明の他の目的は、作動中に摩耗粉等の塵芥の発生し
ないロッドレスシリンダを提供することにある。
ないロッドレスシリンダを提供することにある。
本発明の更に他の目的は、流体室の気密性を保持しなが
らピストンとシリンダの外周部材とを直接機械的に連結
することのできるロッドレスシリンダを提供することに
ある。
らピストンとシリンダの外周部材とを直接機械的に連結
することのできるロッドレスシリンダを提供することに
ある。
本発明の更に他の目的は、製造コストの安価なロッドレ
スシリンダを提供することにある。
スシリンダを提供することにある。
〈実施例〉
次に、本発明を第１〜３図に示された実施例に従って更
に詳しく説明することとする。
に詳しく説明することとする。
第１〜２図には、第１の実施例が示されており、（Ｓ）
は本発明に係るロッドレスシリンダであり、（：］０）
（３１）は該シリンダ（Ｓ）の両端を気密に閉成するた
めの端部材。（１０） （１１）は剛体の金属棒からな
る支持軸であり、該端部材（３０） （３１）を所定の
間隔で対面固定するとともに、ピストン（１）を摺動自
在に支持している。
は本発明に係るロッドレスシリンダであり、（：］０）
（３１）は該シリンダ（Ｓ）の両端を気密に閉成するた
めの端部材。（１０） （１１）は剛体の金属棒からな
る支持軸であり、該端部材（３０） （３１）を所定の
間隔で対面固定するとともに、ピストン（１）を摺動自
在に支持している。
（Ｉ６）はピストン（１）の内部に装填された流体シー
ル用のパツキン。（２）は柔軟かつ強靭な耐圧ベローズ
であり、第１図に示すようにその両端部は端部材（３０
） （３］）に気密に連設固定されているとともに、そ
の略中央部にはピストン（１）が気密に取付けられてい
る。（２５）は該耐圧へローズ（２）の外周の波形凹部
に取付けられた補強用のリング部材であり、内部圧力の
変化や軸方向への伸縮に対して常に規則的な波形を保持
させるために、必要に応じて取り付けるものである。
ル用のパツキン。（２）は柔軟かつ強靭な耐圧ベローズ
であり、第１図に示すようにその両端部は端部材（３０
） （３］）に気密に連設固定されているとともに、そ
の略中央部にはピストン（１）が気密に取付けられてい
る。（２５）は該耐圧へローズ（２）の外周の波形凹部
に取付けられた補強用のリング部材であり、内部圧力の
変化や軸方向への伸縮に対して常に規則的な波形を保持
させるために、必要に応じて取り付けるものである。
（１２）は支持部材（１０） （１１）上においてそれ
ぞれ独立して自由慴動可能に配設された保形ガイドであ
り、その移動に伴ってベローの内側凹部に係合してベロ
ー波形の規則性に保形しながら支持部材（ｔｏ） （１
１）上をスライドして案内移動する。該保形ガイド（１
２）は第２図に示すようにリング状外周部（＋２１．）
、円筒状のスライド基部（＋２２） （＋２３）
、およびフレーム部（＋２４）からなっている。
ぞれ独立して自由慴動可能に配設された保形ガイドであ
り、その移動に伴ってベローの内側凹部に係合してベロ
ー波形の規則性に保形しながら支持部材（ｔｏ） （１
１）上をスライドして案内移動する。該保形ガイド（１
２）は第２図に示すようにリング状外周部（＋２１．）
、円筒状のスライド基部（＋２２） （＋２３）
、およびフレーム部（＋２４）からなっている。
（６１） （６２）は端部材（３０） （３１）に設け
られたエア給υト孔である。
られたエア給υト孔である。
而して、エア給排孔（６２）よりエアを圧送供給してシ
リンダの右流体室（５）を加圧モートとするとともに、
エア給排孔（６１）を開放してシリンダの左流体室（４
）を脱気モードとすると、ピストン（１）は支持！ （
１０） （ＩＩ）上をスライドして負圧の左流体室（４
） （ＩＩに移動せしめられる。このピストンの移動に
伴って右流体室（５） （１１のへローズは伸張し、左
流体室（４）のベローズは収縮する。従って、右流体室
（５）および左流体室（４ンは各々独立した密閉室を保
持したままピストン（１）の移動か可能となっているも
のであり、しかもピストン（］）と被作動物たるワーク
（７）とをピストン外周部材（１７）を介して機械的に
固定することかできるものである。
リンダの右流体室（５）を加圧モートとするとともに、
エア給排孔（６１）を開放してシリンダの左流体室（４
）を脱気モードとすると、ピストン（１）は支持！ （
１０） （ＩＩ）上をスライドして負圧の左流体室（４
） （ＩＩに移動せしめられる。このピストンの移動に
伴って右流体室（５） （１１のへローズは伸張し、左
流体室（４）のベローズは収縮する。従って、右流体室
（５）および左流体室（４ンは各々独立した密閉室を保
持したままピストン（１）の移動か可能となっているも
のであり、しかもピストン（］）と被作動物たるワーク
（７）とをピストン外周部材（１７）を介して機械的に
固定することかできるものである。
このとき、双方の流体室（４） （５）の内部にはベロ
ー波形の凹部ごとにそれぞれ保形ガイド（Ｉ２）が移動
方向に対して係合しているので、このベロー波形が伸縮
に伴って深浅の変化を生じても、所定の規則的な波形が
乱されることなくストローク方向へ直線的に伸縮移動す
ることができるものである。特に、加圧モートとなる側
の流体室において、大きな内圧が作用してもペロー上部
が軸に対して直角な方向に変移湾曲したりすることがな
く、正しい姿勢および波形が保形維持されてストローク
方向に直線的に伸縮できるものである。
ー波形の凹部ごとにそれぞれ保形ガイド（Ｉ２）が移動
方向に対して係合しているので、このベロー波形が伸縮
に伴って深浅の変化を生じても、所定の規則的な波形が
乱されることなくストローク方向へ直線的に伸縮移動す
ることができるものである。特に、加圧モートとなる側
の流体室において、大きな内圧が作用してもペロー上部
が軸に対して直角な方向に変移湾曲したりすることがな
く、正しい姿勢および波形が保形維持されてストローク
方向に直線的に伸縮できるものである。
従って、異形屈曲によるペロー材質の劣化や、湾曲伸縮
による他部材との摩擦接触を防止することかできる。
による他部材との摩擦接触を防止することかできる。
（１８）はピストン外周部材（１７）をベローズ（２）
の外方に露出した状態でピストン（１）本体に固定する
ためのネジである。なお、このネジ（１８）に代えて他
の適宜の手段たとえば接着剤等により、ピストン（１）
本体、ピストン外周部材（１７）およびベローズ（２）
を固定してもよいこと勿論である。
の外方に露出した状態でピストン（１）本体に固定する
ためのネジである。なお、このネジ（１８）に代えて他
の適宜の手段たとえば接着剤等により、ピストン（１）
本体、ピストン外周部材（１７）およびベローズ（２）
を固定してもよいこと勿論である。
上記のように、ベローズ（２）正しい波形で且つ湾曲変
移することなく伸縮するように保型案内されるので、ベ
ローズ（２）の素材としては、通常の柔軟なゴム製のベ
ローズを用いても十分な耐久性を持たせることかでき、
敢えて二重・三重に積層する等による補強構造のベロー
ズを使用する必要がないものである。
移することなく伸縮するように保型案内されるので、ベ
ローズ（２）の素材としては、通常の柔軟なゴム製のベ
ローズを用いても十分な耐久性を持たせることかでき、
敢えて二重・三重に積層する等による補強構造のベロー
ズを使用する必要がないものである。
第３図には、エア給排孔の他の実施例が示されている。
すなわち、支持軸（１０） （１１）を中空バイブに形
成し、それぞれの一端は端部材（３１）を貫通せしめて
外部給排機構（図示せず）との連結部としている。
成し、それぞれの一端は端部材（３１）を貫通せしめて
外部給排機構（図示せず）との連結部としている。
而して、一方の支持軸（ｌＯ）のエア給排孔（１０２）
は流体室（４）に開口せしめるとともに、他方の支持軸
（１１）のエア給排孔（１１２）は流体室（５）に開口
せしめている。なお、（８）（９）は保形ガイド（１２
）用のストッパであり、端部材（３０） （３１）内側
において各支持軸（ｌＯ）（１１）に固定されていると
ともに、各エア給排孔（１０２） （１１２）を各流体
室に連通せしめている。
は流体室（４）に開口せしめるとともに、他方の支持軸
（１１）のエア給排孔（１１２）は流体室（５）に開口
せしめている。なお、（８）（９）は保形ガイド（１２
）用のストッパであり、端部材（３０） （３１）内側
において各支持軸（ｌＯ）（１１）に固定されていると
ともに、各エア給排孔（１０２） （１１２）を各流体
室に連通せしめている。
ここで、エア給排孔（１０２） （１１２）からエアを
交互に給排気して流体室（４） （５）の圧力モートを
切り換ることにより、第１．２図に示すものと同様にベ
ローズ（２）の伸縮作動が行なわれるものでる。
交互に給排気して流体室（４） （５）の圧力モートを
切り換ることにより、第１．２図に示すものと同様にベ
ローズ（２）の伸縮作動が行なわれるものでる。
なお、この場合には端部材（３０） （３１）にはエア
ー給排孔を形成する必要がないことは勿論である。
ー給排孔を形成する必要がないことは勿論である。
また、保形ガイド（１２）の外径を補強用リング（２５
）の内径以上の寸法とすることにより、両者の交互配置
関係が常に保持されるようにすることが望ましい。
）の内径以上の寸法とすることにより、両者の交互配置
関係が常に保持されるようにすることが望ましい。
く効 果〉
本発明によれば、ベローズの伸縮時において規則的な波
形を保持しつつ、軸に対して直角方向への膨張偏倚が発
生しないので、ベローズの変形耐久性がよいとともに、
他部材との摩擦による損傷のおそれがないものである。
形を保持しつつ、軸に対して直角方向への膨張偏倚が発
生しないので、ベローズの変形耐久性がよいとともに、
他部材との摩擦による損傷のおそれがないものである。
。
また、シリンダ（Ｓ）の外面に摺動部分がなく、かつ流
体室から外部にエアの漏出がないので、作動中に摩耗粉
等の塵芥がシリンダ外部に放散するおそれがない。従っ
て、厳密な塵芥コントロールが求められるクリーンルー
ム等における駆動装置として最適のものである。
体室から外部にエアの漏出がないので、作動中に摩耗粉
等の塵芥がシリンダ外部に放散するおそれがない。従っ
て、厳密な塵芥コントロールが求められるクリーンルー
ム等における駆動装置として最適のものである。
更に、流体室の気密性を保持しながらピストンとシリン
ダの外周部材とが直接機械的に連結されているので、大
きな荷重・負荷用のロッドレスシリンダとすることがで
きるものである。
ダの外周部材とが直接機械的に連結されているので、大
きな荷重・負荷用のロッドレスシリンダとすることがで
きるものである。
更に、構成が簡単であり、組立も容易であるので、安価
なコストで製造することができる。
なコストで製造することができる。
第１図は本発明に係るロッドレスシリンダ゛の中央径断
面図、第２図は保形ガイド部材を示す正面図、第３図は
他の実施例を示す一部省略拡大断面図、である。 （１）・−・−ピストン、 （２）−−−ベローズ、 （：ｌＱ） （３１）−一 端部材、 （４） （５） −一 流体室、 （＋２）−−−一 保形ガイド （２５）−−−一 補強用リング。
面図、第２図は保形ガイド部材を示す正面図、第３図は
他の実施例を示す一部省略拡大断面図、である。 （１）・−・−ピストン、 （２）−−−ベローズ、 （：ｌＱ） （３１）−一 端部材、 （４） （５） −一 流体室、 （＋２）−−−一 保形ガイド （２５）−−−一 補強用リング。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、左右の流体室の圧力差によって負圧の方向に移動せ
しめられるピストンを作動部材 とするロッドレスシリンダにおいて、 シリンダの端部材とピストンとの間に配 設したベローズにより、左右独立に形成さ れた流体室と、 該流体室を貫通して両端部材間に配設さ れた１以上の支持部材と、 該支持部材上でそれぞれ独立して自由摺 動可能に配設され、かつベローズの内側凹 部に常に位置してベローズを保持するため の保形ガイドと、 からなるロッドレスシリンダ。 ２、ベローズの外周面凹部に、補強用リングが配設され
てなる前記特許請求の範囲第１ 項または第１項に記載のロッドレスシリン ダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14243387A JPS63308201A (ja) | 1987-06-09 | 1987-06-09 | ロツドレスシリンダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14243387A JPS63308201A (ja) | 1987-06-09 | 1987-06-09 | ロツドレスシリンダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63308201A true JPS63308201A (ja) | 1988-12-15 |
Family
ID=15315196
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14243387A Pending JPS63308201A (ja) | 1987-06-09 | 1987-06-09 | ロツドレスシリンダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63308201A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0360658U (ja) * | 1989-10-17 | 1991-06-14 | ||
| JPH04210104A (ja) * | 1990-12-11 | 1992-07-31 | Aiwa Sangyo Kk | エヤシリンダ |
| WO2024005053A1 (ja) * | 2022-06-29 | 2024-01-04 | 三井化学株式会社 | ロボットハンドおよびロボットハンドの製造方法 |
-
1987
- 1987-06-09 JP JP14243387A patent/JPS63308201A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0360658U (ja) * | 1989-10-17 | 1991-06-14 | ||
| JPH04210104A (ja) * | 1990-12-11 | 1992-07-31 | Aiwa Sangyo Kk | エヤシリンダ |
| WO2024005053A1 (ja) * | 2022-06-29 | 2024-01-04 | 三井化学株式会社 | ロボットハンドおよびロボットハンドの製造方法 |
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