JPS63304207A - 光導波路素子及びその製造方法 - Google Patents
光導波路素子及びその製造方法Info
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- JPS63304207A JPS63304207A JP62139840A JP13984087A JPS63304207A JP S63304207 A JPS63304207 A JP S63304207A JP 62139840 A JP62139840 A JP 62139840A JP 13984087 A JP13984087 A JP 13984087A JP S63304207 A JPS63304207 A JP S63304207A
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- optical waveguide
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- protective film
- light guide
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- Pending
Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
- G02B6/124—Geodesic lenses or integrated gratings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は高回折効率を実現でき、導波特性の安定な光導
波路素子及びその製造方法に関する。
波路素子及びその製造方法に関する。
（従来の技術）
従来光導波路上に回折格子を配置した導波路型分波器や
回折格子部以外にあっては、導波層上に保護膜を設けな
いと異物の付着１、雰囲気の変化等により、散乱光の増
大など導波特性に変動が生じ不具合であった。また、導
波層の全面に保護膜を被着するとこの問題を回避できる
が、導波層表面に設けられた回折格子の効率は減少する
。即ち回折格子上に屈折率ｎ＝１の空気があったものが
ｎ＝ｎ３＞１なる屈折率を持つ保護膜を被着することに
より導波層（ｎ＝ｎ２＞ｎ３ ）とその上部媒体との屈
折率差が小さくなり、回折効率を減じることになυ、不
都合であった。効率を確保する為に格子深さを大きくす
ることも考えられるが、 ｌｓｎ周期程度の場合、そ
の加工は甚だ困難であシ、亦、散乱光の増大を招くこと
となり、これも不都合であった。
回折格子部以外にあっては、導波層上に保護膜を設けな
いと異物の付着１、雰囲気の変化等により、散乱光の増
大など導波特性に変動が生じ不具合であった。また、導
波層の全面に保護膜を被着するとこの問題を回避できる
が、導波層表面に設けられた回折格子の効率は減少する
。即ち回折格子上に屈折率ｎ＝１の空気があったものが
ｎ＝ｎ３＞１なる屈折率を持つ保護膜を被着することに
より導波層（ｎ＝ｎ２＞ｎ３ ）とその上部媒体との屈
折率差が小さくなり、回折効率を減じることになυ、不
都合であった。効率を確保する為に格子深さを大きくす
ることも考えられるが、 ｌｓｎ周期程度の場合、そ
の加工は甚だ困難であシ、亦、散乱光の増大を招くこと
となり、これも不都合であった。
（発明が屏決しようとする問題点）
本発明は上記欠点に鑑みなされたものであシ。
導波特性が安定であって高回折効率の光導波路素子及び
その製造方法を提供せんとするものである。
その製造方法を提供せんとするものである。
（発明を屏決する為の手段）
導波層表面に設けられた回折格子領域上に薄膜を配置し
た後保護膜を被着し、その後薄膜を除去することにより
、高回折効率で安定動作の光導波路素子を実現する。
た後保護膜を被着し、その後薄膜を除去することにより
、高回折効率で安定動作の光導波路素子を実現する。
（作 用）
導波層の屈折率ｎをｎ２．保護膜のそれをｎｓ＞１、空
気のそれを１とする１回折格子領域上を空気とした場合
１両者の屈折率差ΔｌはΔ１＝ｎ２−１となシ、保護膜
を被着した場合はへ２＝ｎ２−ｎａ＜ｎ２−１＝Δｌと
なる。即ち保護膜をつけないと実効的に回折効率を大き
くできることになる。一方他の導波路には保護膜をつけ
ることができ安定な導波状態をもたらす。
気のそれを１とする１回折格子領域上を空気とした場合
１両者の屈折率差ΔｌはΔ１＝ｎ２−１となシ、保護膜
を被着した場合はへ２＝ｎ２−ｎａ＜ｎ２−１＝Δｌと
なる。即ち保護膜をつけないと実効的に回折効率を大き
くできることになる。一方他の導波路には保護膜をつけ
ることができ安定な導波状態をもたらす。
（実施例）
本発明の工程及び構成を試料断面図を用いて示す。第１
図（（）はＬｉＮｂＯ３結晶基板ｌ上にＴＩを被着後熱
拡散して先導波層２を３Ｒｎ程度形成した後写真蝕刻エ
ツチングにより、回折格子３を形成した状態を示す。次
にノボラック系レジスト膜４を格子部に設けた後保護膜
である５ｉＯ２５を全体上に被着する。（第１図（ロ）
）その手法はスパッタリングＥＣにプラズマＣＶＤなど
が可能であり、レジストを破壊しない温度以下であれば
よい。然る後全体をアセトンに浸漬し、レジストを除去
し、空隙６を設けて、工程を完了し所望の構造の素子を
得る（第１図（ハ）参照）。ここで第１の物質膜として
レジストを用いたが、液状ガラス（英名Ｓｐｕｎｏｎｇ
ｌａｓｇ）を用い、除去方法として有機溶剤浸漬という
組合せも可であシ、亦、窒化珪素膜を設け、フレオン系
ＣＤＥ （ケシカルドライエツチング）法を組合せても
よい、導波路としてはＴ１拡散ＬｉＮｂ０２のみならず
１石英、ガラス或は５ｉｏｘｔ上のガラス導波路例えば
ＡＳｚＳ３．コーニング７０５９等でも勿論よく、保護
膜も導波路に合せ、Ａノ２０３．オキシナイトライド、
窒化珪素、 Ｔａ２０５等でもよい。
図（（）はＬｉＮｂＯ３結晶基板ｌ上にＴＩを被着後熱
拡散して先導波層２を３Ｒｎ程度形成した後写真蝕刻エ
ツチングにより、回折格子３を形成した状態を示す。次
にノボラック系レジスト膜４を格子部に設けた後保護膜
である５ｉＯ２５を全体上に被着する。（第１図（ロ）
）その手法はスパッタリングＥＣにプラズマＣＶＤなど
が可能であり、レジストを破壊しない温度以下であれば
よい。然る後全体をアセトンに浸漬し、レジストを除去
し、空隙６を設けて、工程を完了し所望の構造の素子を
得る（第１図（ハ）参照）。ここで第１の物質膜として
レジストを用いたが、液状ガラス（英名Ｓｐｕｎｏｎｇ
ｌａｓｇ）を用い、除去方法として有機溶剤浸漬という
組合せも可であシ、亦、窒化珪素膜を設け、フレオン系
ＣＤＥ （ケシカルドライエツチング）法を組合せても
よい、導波路としてはＴ１拡散ＬｉＮｂ０２のみならず
１石英、ガラス或は５ｉｏｘｔ上のガラス導波路例えば
ＡＳｚＳ３．コーニング７０５９等でも勿論よく、保護
膜も導波路に合せ、Ａノ２０３．オキシナイトライド、
窒化珪素、 Ｔａ２０５等でもよい。
このようにして得た回折格子を用い、導波路レンズ、合
分波機能電子の効率劣化をきたすことなく表面保護膜を
備え九光導波路素子を実現できる。
分波機能電子の効率劣化をきたすことなく表面保護膜を
備え九光導波路素子を実現できる。
物質膜等の材料の選択１組合せ、或は応用素子は以上の
実施例に示したもののみならず、本発明の主旨を逸脱し
ない範囲に於て種々の材料及びその組合せを選ぶことが
でき、亦徨々の光導波路素子に適用できるのは勿論であ
る。′ 〔発明の効果〕 本発明によれば、高回折効率で、導波特性の安定な光導
波路素子を実現できる。
実施例に示したもののみならず、本発明の主旨を逸脱し
ない範囲に於て種々の材料及びその組合せを選ぶことが
でき、亦徨々の光導波路素子に適用できるのは勿論であ
る。′ 〔発明の効果〕 本発明によれば、高回折効率で、導波特性の安定な光導
波路素子を実現できる。
菌１図は本発明の工程を示す光導波路素子の断面図であ
る。 ２・・・光導波層、３・・・回折格子、４・・・第１物
質ｆｆ！Ｘ％５・・・保護膜（Ｓｉ０２）。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 四 松ム 釦文 第１図
る。 ２・・・光導波層、３・・・回折格子、４・・・第１物
質ｆｆ！Ｘ％５・・・保護膜（Ｓｉ０２）。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 四 松ム 釦文 第１図
Claims (2)
- （１）光導波路表面に回折格子を設けた光導波路素子構
成に於て、該回折格子部表面に接することなく、前記回
折格子部以外の光導波路表面に接する前記光導波路より
も小さい屈折率をもつ保護膜を配置したことを特徴とす
る光導波路素子。 - （２）基板表面に光導波路を設ける工程、前記光導波路
表面に回折格子を設ける工程、前記回折格子部上に基板
と異なる蝕刻速度をもつ第１の物質膜を配置する工程、
続いてその全体上に前記光導波路より屈折率が小さく、
且つ基板及び第１の物質膜と異なる蝕刻速度を持つ第２
の物質膜を被着する工程、然る後第１の物質膜を除去す
る工程を具備してなる光導波路素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62139840A JPS63304207A (ja) | 1987-06-05 | 1987-06-05 | 光導波路素子及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62139840A JPS63304207A (ja) | 1987-06-05 | 1987-06-05 | 光導波路素子及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63304207A true JPS63304207A (ja) | 1988-12-12 |
Family
ID=15254731
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62139840A Pending JPS63304207A (ja) | 1987-06-05 | 1987-06-05 | 光導波路素子及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63304207A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AU661890B2 (en) * | 1992-02-24 | 1995-08-10 | Corning Incorporated | Planar optical waveguides with planar optical elements |
-
1987
- 1987-06-05 JP JP62139840A patent/JPS63304207A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AU661890B2 (en) * | 1992-02-24 | 1995-08-10 | Corning Incorporated | Planar optical waveguides with planar optical elements |
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