JPS63300929A - 半導体式圧力変換器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体式圧力変換器に係り、特に、自動車に
使用する好適な半導体式圧力変換器に関する。

〔従来の技術〕

従来の半導体式圧力センサは、実開６０−３９９４９に
記載のように、歪ゲージを固定する第一の支持体、該支
持台を固定する第二の支持体、歪ゲージの電気信号を外
部に伝播するリードを有した第三の支持体の構造が示さ
れている。第二の支持体と第三の支持体は、その接合面
のみで、圧力に対してシールしている構造である。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記従来技術は、圧力に対する気密シール性については
配慮されておらず、ガソリン等の溶剤に対する耐シール
性の低下の問題があった。

本発明の目的は、ガソリン等の溶剤に対する耐液性を向
上させるとともに、気密シール性を向上させたことにあ
る。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的は、気密シール部のシール性向上させるため、
耐溶剤性、特にガソリンに対する耐性の強い酸無水物系
硬化剤を含む接着剤によって接着し、さらに、接着部の
シール性を向上させるため、接着部の外部をさらに接着
剤でシールすることにより、達成される。

〔作用〕

半導体式圧力センサの各部材の接着力の低下は。

圧力リークの発生原因である。この接着力の低下は、特
にガソリン等の溶剤によってもたらされるものであり、
接着力低下は除々に進行する。本発明に使用される酸無
水物系の硬化剤を含有した接着剤は、耐溶剤性かが良好
なため、ガソリン等によって接着面の接着力の低下は非
常に少ない。

この酸無水物系硬化剤を含有した接着剤は、接着面の接
着力を保持する。また、この接着面は、圧力のシールも
兼ねているので、接着面の他に。

さらに、この接着面の外部にも、接着剤を塗布すること
で耐リーク性を向上させている。

〔実施例〕

以下１本発明の一実施例を第１図、第２図、第３図を用
いて説明する。

まず、従来の技術について説明する。第３図は従来技術
を説明するため、の断面図である。半導体歪ゲージ９は
ガラスダイアに接合されており、該ガラスダイは接着剤
３０によって、ガラスウケ４に接着されている。該ガラ
スウケ４は、接着剤２０によって、ケーシング３と接着
され、該ケーシング３はポート２と接着剤２０で接着さ
れている。該ポートは、さらに、金属ベース１３に接着
剤３１で接着されて、プラスチック製ベース１に接着剤
３１で接着されている０本構造において、ガソリン等に
より、接着部の接着力が低下するとともに、特に接着剤
２０は、金属ベース１３と熱膨張係数が異なるので強い
熱応力も受けるため、接着強度が低下する。

本発明の一実施例を第１図、第２図を用いて説明する。

第１図は本発明の一実施例を示す部分断面図である。第
２図は本発明の一実施例を示す全体断面図である。

第１図に示すように、圧力を電気信号に変換する半導体
歪ゲージ９は、軟質絶縁材８で保護されており、さらに
、ガラスダイアに該歪ゲージ９は接合されている、該ガ
ラスダイアはガラスウケ４に金属製部材６を介して、酸
無水物系接着剤５で接着している。該金属製部材６は、
ガラスウケ４とガラスダイアの熱膨張を緩和するために
、その熱膨張係数を考慮して選定されている。前記ガラ
スウケ４は電気信号を増幅回路基板１６に伝えるための
リード１５がモールドされているケーシング３と酸無水
物系接着剤１２で接着されている。

また、ポート２は前記ケーシング３と酸無水物系接着剤
１２で接着されており、さらに、プラスチック製ベース
１に酸無水物系接着剤１２で接着されている。本構造に
おいて、ガソリン等の溶剤による接着力低下による気密
シールの低下の発生する部位はガラスウケ４とケーシン
グ３との接着面、ケーシング３とポート２との接着面、
ポート２とプラスチック製ベース１との界面である。特
に、ケーシング３とポート２の界面１４は、接着部材が
多く、熱応力も受けるため、気密性低下の発生しゃする
接着部である。したがって、ケーシング３とポート２を
酸無水物系接着剤１２で接着するとともに、ポート２と
プラスチック製ベース１を接着するための接着剤１２に
よって、界面１４をポート２．ケーシング３の外部から
２重にシールした構造とした。界面１４の接着力低下に
よる気密シール低下を、ポート２とケーシング３の外部
から酸無水物系接着剤１２で接着し、気密シール性を保
持するが、本発明の一実施例で示す如く、プラスチック
製ベース１とポート２の酸無水物系接着剤１２を利用し
て、界面１４の外部からシールしたことで、特に、作業
上、工程が増えることなく容易に２重シール構造が達成
できる。

〔発明の効果〕 本発明によれば、酸無水物系接着剤を使用して接着部を
２重にシールすることができるので、ガソリン等による
接着力低下に起因するシール性の低下を防止することが
できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図は本発明の一実施例を示す図、第３図は
従来技術の説明図である。 １・・・プラスチック製ベース、２・・・ポート、３・
・・ケーシング、４・・・ガラスウケ、５，１２・・・
酸無水物系接着剤、８・・・軟質絶縁材、９・・・半導
体歪ゲージ、１ｏ・・・金線、１４・・・接着界面。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、圧力を電気信号に変換する半導体歪ゲージ、該歪ゲ
   ージを固定するガラスダイ、及びガラスウケ、該歪ゲー
   ジの電気信号を外部に伝送するリードをモールドしたケ
   ーシング、圧力を伝播するための穴を設けたポート、該
   歪ゲージの電気信号を増幅するための回路基板が接着さ
   れているベースからなる半導体式圧力変換器において、
   前記ケーシングとポート間の接着部の外部を、前記ベー
   スと該ポートの接着剤によつて、２重にシールしたこと
   を特徴とする半導体式圧力変換器。 ２、特許請求の範囲第１項において、ケーシング、ポー
   ト、ベース間の接着剤に酸無水物系硬化剤を使用したこ
   とを特徴とする半導体式圧力変換器。