JPS63300412A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドの製造方法Info
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- JPS63300412A JPS63300412A JP13525087A JP13525087A JPS63300412A JP S63300412 A JPS63300412 A JP S63300412A JP 13525087 A JP13525087 A JP 13525087A JP 13525087 A JP13525087 A JP 13525087A JP S63300412 A JPS63300412 A JP S63300412A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/187—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はＶＴＲ用磁気ヘッド等の磁気ヘッドの製造方法
に関するものである。
に関するものである。
従来の技術
従来より磁気ヘッドのギャップ近傍が非晶質合金やＦｅ
−８ｔ−Ａｆｔより構成され、バックコアとしてフェラ
イトを用い念いわゆる「メタルインギャップ」タイプの
磁気ヘッドが検討されている。
−８ｔ−Ａｆｔより構成され、バックコアとしてフェラ
イトを用い念いわゆる「メタルインギャップ」タイプの
磁気ヘッドが検討されている。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、その高周波特性は上述の金属合金がどの
方向に磁化容易軸を持つかで異なり、特性上のばらつき
の原因となっている。特にキュリー温度が高く高飽和磁
化を有する非晶質合金を用いる場合はヘッド作製工程中
に熱処理により誘導磁気異方性が生じ易く安定した特性
を出すのが困難であった。
方向に磁化容易軸を持つかで異なり、特性上のばらつき
の原因となっている。特にキュリー温度が高く高飽和磁
化を有する非晶質合金を用いる場合はヘッド作製工程中
に熱処理により誘導磁気異方性が生じ易く安定した特性
を出すのが困難であった。
この問題を解決するため本発明は、すぐれた高周波特注
を有する磁気ヘッドを提供するものである。
を有する磁気ヘッドを提供するものである。
問題点を解決するための手段
上記目的を達成するため本発明の磁気ヘッドはギャップ
近傍が強磁性合金、その他のコア部がフェライトより構
成される磁気へ、ドの作製法において、フェライト基板
上に強磁性合金膜をスパッター法等により蒸着し、該合
金膜の磁気ギヤ、プ面となるべき面にほぼ平行に、かつ
磁気ギャップの深さ方向にほぼ直角となる方向に磁界を
印加し、該フェライト基板のキュリー温度以上で熱処理
した後、通常のへ、ド作製加工を行ない、該７工ライト
基板部がバックコア、該強磁性合金膜部が磁気ギャップ
面を含むフロントコアとなるように磁気ヘッドを構成す
るものである。
近傍が強磁性合金、その他のコア部がフェライトより構
成される磁気へ、ドの作製法において、フェライト基板
上に強磁性合金膜をスパッター法等により蒸着し、該合
金膜の磁気ギヤ、プ面となるべき面にほぼ平行に、かつ
磁気ギャップの深さ方向にほぼ直角となる方向に磁界を
印加し、該フェライト基板のキュリー温度以上で熱処理
した後、通常のへ、ド作製加工を行ない、該７工ライト
基板部がバックコア、該強磁性合金膜部が磁気ギャップ
面を含むフロントコアとなるように磁気ヘッドを構成す
るものである。
作 用
この方法により高性能の磁気ヘッドが得られる。
実施例
本発明の磁気ヘッドの製造法の一例を第１図を用いて説
明する事とする。通常メタルインギャップと呼ばれる構
造の磁気へ、ドは同図Ｃに示されたような構成をしてお
り、磁気ギャップ３の近傍を強磁性合金１で構成しバッ
クコア２は通常フェライトにより構成されている。磁気
へ、ドの磁路はこの場合、図に示したＸ−２面内を主に
通って構成され、Ｙ方向に磁化容易軸を有する事が特性
上好ましい。しかしながらこの形状でＹ方向に磁界を印
加して熱処理してもこの方向に磁化容易軸を向けるのは
困難である。何故ならば図に示した合金部１のｘ、ｙ、
ｚ方向の寸法はほぼ同程度でＹ方向に対する反磁界係数
が極めて大きく数千への磁界が必要で、これは実際の工
程上困難だからである。しかしながら同図ａ −Ｃに示
したような工程を用いれば、容易にＹ方向に磁化容易軸
を有するメタルインギヤ、ブタイブの磁気へ、ドの作製
が可能である。即ち同図ｄに示したようなフェライト基
板２上にスパッター法等により合金膜１を蒸着し、Ｘ−
Ｙ面をギャップ面とすべく研磨して同図すのような形状
に加工した後、図中のＹ方向、即ちギャップ面に平行で
、ギャップの深さ方向Ｘと直角方向に磁界を印加してフ
ェライト基板２のキュリー温度以上で熱処理をすれば磁
化容易軸をＹ方向につける事が可能である。この時合金
部１のＸ及び２方向の寸法は数十μｍであるのに対しＹ
方向は数鵬あり、反磁界係数は小さく印加磁界は数百Ｏ
ｅで十分である。なおフェライトのキュリー温度は３０
０°Ｃ以下であるのでこれ以上の温度で熱処理する場合
フェライト基板部２の反磁界係数への寄与はままたくな
い。次に図すに示したバーの半分にｂ′に示したような
巻き線溝加工を施こしギャップ面に８１０２等の非磁性
材３を形成した後ガラス４によりｂ及びｂ′に示した形
状のコアを接合して磁気へ、ドが得られる。このガラス
ボンディングの際も、合金膜のＹ方向の磁気異方性の大
きさを所望の大きさとする為にＹ方向に磁界を印加しＹ
方向の異方性を維持したり、逆にｘ−２面内で磁界を回
転してＹ方向の異方性を減少させたりする事も可能であ
る。
明する事とする。通常メタルインギャップと呼ばれる構
造の磁気へ、ドは同図Ｃに示されたような構成をしてお
り、磁気ギャップ３の近傍を強磁性合金１で構成しバッ
クコア２は通常フェライトにより構成されている。磁気
へ、ドの磁路はこの場合、図に示したＸ−２面内を主に
通って構成され、Ｙ方向に磁化容易軸を有する事が特性
上好ましい。しかしながらこの形状でＹ方向に磁界を印
加して熱処理してもこの方向に磁化容易軸を向けるのは
困難である。何故ならば図に示した合金部１のｘ、ｙ、
ｚ方向の寸法はほぼ同程度でＹ方向に対する反磁界係数
が極めて大きく数千への磁界が必要で、これは実際の工
程上困難だからである。しかしながら同図ａ −Ｃに示
したような工程を用いれば、容易にＹ方向に磁化容易軸
を有するメタルインギヤ、ブタイブの磁気へ、ドの作製
が可能である。即ち同図ｄに示したようなフェライト基
板２上にスパッター法等により合金膜１を蒸着し、Ｘ−
Ｙ面をギャップ面とすべく研磨して同図すのような形状
に加工した後、図中のＹ方向、即ちギャップ面に平行で
、ギャップの深さ方向Ｘと直角方向に磁界を印加してフ
ェライト基板２のキュリー温度以上で熱処理をすれば磁
化容易軸をＹ方向につける事が可能である。この時合金
部１のＸ及び２方向の寸法は数十μｍであるのに対しＹ
方向は数鵬あり、反磁界係数は小さく印加磁界は数百Ｏ
ｅで十分である。なおフェライトのキュリー温度は３０
０°Ｃ以下であるのでこれ以上の温度で熱処理する場合
フェライト基板部２の反磁界係数への寄与はままたくな
い。次に図すに示したバーの半分にｂ′に示したような
巻き線溝加工を施こしギャップ面に８１０２等の非磁性
材３を形成した後ガラス４によりｂ及びｂ′に示した形
状のコアを接合して磁気へ、ドが得られる。このガラス
ボンディングの際も、合金膜のＹ方向の磁気異方性の大
きさを所望の大きさとする為にＹ方向に磁界を印加しＹ
方向の異方性を維持したり、逆にｘ−２面内で磁界を回
転してＹ方向の異方性を減少させたりする事も可能であ
る。
上述のようにして作製した磁気へ、ドは優れた特性を示
す。これはギヤ、プ近傍の合金部の磁化容易軸方向を制
御して理想的な磁気異方性を持たせる事が出来るからで
ある。この磁気異方性が大きすぎると高周波特性は良く
なるものの合金部の透磁率が低下してへ、ドの再生効率
が低下するので適当な大きさとなるように使用する合金
材料にあわせてヘッド炸裂時の磁界中熱処理の温度及び
熱処理時間を調整する必要がある。なお非晶質合金の場
合はＦｅ−３ｉ−Ａｌ（センダスト）合金に比べて比較
的容易に磁界中熱処理により誘導磁気異方性の方向、大
きさを制御出来るので、本発明方法の磁気へ、ドの構成
法が特に有効である。
す。これはギヤ、プ近傍の合金部の磁化容易軸方向を制
御して理想的な磁気異方性を持たせる事が出来るからで
ある。この磁気異方性が大きすぎると高周波特性は良く
なるものの合金部の透磁率が低下してへ、ドの再生効率
が低下するので適当な大きさとなるように使用する合金
材料にあわせてヘッド炸裂時の磁界中熱処理の温度及び
熱処理時間を調整する必要がある。なお非晶質合金の場
合はＦｅ−３ｉ−Ａｌ（センダスト）合金に比べて比較
的容易に磁界中熱処理により誘導磁気異方性の方向、大
きさを制御出来るので、本発明方法の磁気へ、ドの構成
法が特に有効である。
なお第１図は本発明磁気ヘッドの作製法の一例でろって
、第１図ａに示したようなステ、プ形状の基板を用いる
必要は必ずしもないし、又フェライトコアと合金膜との
接合面に波状の凹凸を設けたり、この接合面とギャップ
面を平行にしないようにして疑似ギヤ、プによるゴース
トの改善をするなど種々の改善も可能である事は言うま
でもない◇ 以下具体的実施例により本発明の詳細な説明する事にす
る。
、第１図ａに示したようなステ、プ形状の基板を用いる
必要は必ずしもないし、又フェライトコアと合金膜との
接合面に波状の凹凸を設けたり、この接合面とギャップ
面を平行にしないようにして疑似ギヤ、プによるゴース
トの改善をするなど種々の改善も可能である事は言うま
でもない◇ 以下具体的実施例により本発明の詳細な説明する事にす
る。
〈実施例１〉
Ｍｎ−Ｚｎフェライト基板上に厚さ約２０μｍのＦｅ−
５ｉ−Ａ１合金膜をスパッター法により形成し、この膜
面に平行にかつ磁気ギャップの深さ方向となるべき方向
に直方にｓ ｏ ｏ Ｏｅの磁界を印加してＳＯＯ″Ｃ
１時間熱処理し、磁界中徐冷した。これを第１図す、ｂ
’のように加工し、４８０°Ｃでガラスボンディングを
行ない０図のような磁気ヘッドを作製した。比較の為上
述のような磁界中熱処理を用いずに同じ形状の磁気へ、
ドを作製しその特性を比較した、比較方法としてはこれ
らのへ。
５ｉ−Ａ１合金膜をスパッター法により形成し、この膜
面に平行にかつ磁気ギャップの深さ方向となるべき方向
に直方にｓ ｏ ｏ Ｏｅの磁界を印加してＳＯＯ″Ｃ
１時間熱処理し、磁界中徐冷した。これを第１図す、ｂ
’のように加工し、４８０°Ｃでガラスボンディングを
行ない０図のような磁気ヘッドを作製した。比較の為上
述のような磁界中熱処理を用いずに同じ形状の磁気へ、
ドを作製しその特性を比較した、比較方法としてはこれ
らのへ。
ドをＶＴＲデ、キに取り付はメタルチーブを用いてその
自己録再特性の相対出方値（ｄＢ表示）を比較した結果
を下表に示す。
自己録再特性の相対出方値（ｄＢ表示）を比較した結果
を下表に示す。
表−１
実験結果より明らかなように本発明法による磁気ヘッド
は従来法のものに比べて高周波特性が改善されている事
がわかる。
は従来法のものに比べて高周波特性が改善されている事
がわかる。
〈実施例２）
Ｍｎ−Ｚｎフェライト基板上に厚さ約２０μｍのＣｏ
−Ｎｂ −Ｈｆ非晶質合金膜をスパッター法により形成
した。この合金膜の４πＭ８は約９０００Ｇａｕｓｓで
キュリー温度はその結晶化温度より高＜ｅｏ。
−Ｎｂ −Ｈｆ非晶質合金膜をスパッター法により形成
した。この合金膜の４πＭ８は約９０００Ｇａｕｓｓで
キュリー温度はその結晶化温度より高＜ｅｏ。
°Ｃ以上であった。この膜面に平行に、かつ磁気ギャッ
プの深さ方向と直角となるように３０００ｅの磁界を印
加して４８０°Ｃ１時間熱処理した。次にこれらを第１
図ｂ 、 ｂ’に示した形状に加工し、４８０°Ｃでガ
ラスボンディングにより接合したか、この時一方のヘッ
ドは同じ方向に同様の磁界を印加して行ない他方のへ、
ドは、これと直角方向の面内で磁界を回転させてガラス
ボンディングを行なった。又比較の為、磁界を印加しな
い従来法によっても同様の加工を行なって磁気へ、ドを
作製した。実施例１と同様の方法でこれらヘッドの自己
録再出力の比較を行ない結果を表−２に示した。
プの深さ方向と直角となるように３０００ｅの磁界を印
加して４８０°Ｃ１時間熱処理した。次にこれらを第１
図ｂ 、 ｂ’に示した形状に加工し、４８０°Ｃでガ
ラスボンディングにより接合したか、この時一方のヘッ
ドは同じ方向に同様の磁界を印加して行ない他方のへ、
ドは、これと直角方向の面内で磁界を回転させてガラス
ボンディングを行なった。又比較の為、磁界を印加しな
い従来法によっても同様の加工を行なって磁気へ、ドを
作製した。実施例１と同様の方法でこれらヘッドの自己
録再出力の比較を行ない結果を表−２に示した。
（１，１丁余后〕
表−２
実験結果から明らかなように本発明作製法による磁気ヘ
ッドは従来作製法によるものと比較して大幅に特性が改
善されており特に固定磁界のみ印加のものは高域特性に
優れ、固定磁界十回転磁界印加のものは低域特性に優れ
ている事かわかる。
ッドは従来作製法によるものと比較して大幅に特性が改
善されており特に固定磁界のみ印加のものは高域特性に
優れ、固定磁界十回転磁界印加のものは低域特性に優れ
ている事かわかる。
以上実施例により説明したように本発明磁気ヘッドの作
製法は高性能のメタルインギャップタイプのへ、ドの作
製法として極めて有効なものである。
製法は高性能のメタルインギャップタイプのへ、ドの作
製法として極めて有効なものである。
発明の効果
以上のように本発明によれば高性能のメタルインギャッ
プタイプの磁気ヘッドが得られるという効果を有する。
プタイプの磁気ヘッドが得られるという効果を有する。
第１図は本発明の一実施例における磁気ヘッドの製造方
法を示す工程図である。 １・・・・・・合金膜、２・・・・・・フェライト基板
、３・・・・・・磁気ギャップ材、４・・・・・・ボン
ディングガラス。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 ！
法を示す工程図である。 １・・・・・・合金膜、２・・・・・・フェライト基板
、３・・・・・・磁気ギャップ材、４・・・・・・ボン
ディングガラス。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 ！
Claims (4)
- （１）ギャップ近傍が強磁性合金、その他コア部がフェ
ライトより構成される磁気ヘッドの作製法において、フ
ェライト基板上に強磁性合金膜をスパッター法等により
蒸着し、該合金膜の磁気ギャップ面となるべき面にほぼ
平行に、かつ磁気ギャップの深さ方向にほぼ直角となる
方向に磁界を印加し、該フェライト基板のキュリー温度
以上で熱処理した後、通常のヘッド作製加工を行ない、
該フェライト基板部がバックコア、該強磁性合金膜部が
磁気ギャップ面を含むフロントコアとなるように磁気ヘ
ッドを構成する事を特徴とする磁気ヘッドの製造方法。 - （２）強磁性合金膜が非晶質合金より成る事を特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の磁気ヘッドの製造方法。 - （３）ガラスボンディングによるギャップ面接合工程を
も磁界を該ギャップ面にほぼ平行でかつギャップの深さ
方向に対しほぼ直角方向に印加して行なう事を特徴とす
る特許請求の範囲第２項記載の磁気ヘッドの製造方法。 - （４）ガラスボンディングによるギャップ面接合工程時
は、前段の固定磁界中熱処理印加磁界方法に直角な面内
で磁界を回転させながら行なう事を特徴とする特許請求
の範囲第２項記載の磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13525087A JPS63300412A (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13525087A JPS63300412A (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63300412A true JPS63300412A (ja) | 1988-12-07 |
Family
ID=15147319
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13525087A Pending JPS63300412A (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63300412A (ja) |
-
1987
- 1987-05-29 JP JP13525087A patent/JPS63300412A/ja active Pending
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