JPS63298120A - フロ−センサ - Google Patents
フロ−センサInfo
- Publication number
- JPS63298120A JPS63298120A JP62136624A JP13662487A JPS63298120A JP S63298120 A JPS63298120 A JP S63298120A JP 62136624 A JP62136624 A JP 62136624A JP 13662487 A JP13662487 A JP 13662487A JP S63298120 A JPS63298120 A JP S63298120A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature measuring
- flow sensor
- sensor chip
- chip
- flow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000012530 fluid Substances 0.000 abstract description 12
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 8
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 3
- 239000007767 bonding agent Substances 0.000 abstract 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
く技術分野〉
本発明は熱膜式フローセンサのセンサチップのマウント
構造に関するものである。
構造に関するものである。
〈発明の背景〉
従来より用いられている熱式フローセンサとして、流路
用主管にバイパヌ流路用の側路管を設け、この側路管へ
ヒーターを連結し、側路管を加熱した際の流体の流れに
より側路管の流れ方向に生じる温度分布から流量を検知
する方式を用いた流量計がある。この流量計は精度が良
り、半導体ガスの流量コントローラーとしてなど広く用
いられているが、構造上小型化や量産に不向きで、高価
であるため用途が限定されてし寸うという欠点がある。
用主管にバイパヌ流路用の側路管を設け、この側路管へ
ヒーターを連結し、側路管を加熱した際の流体の流れに
より側路管の流れ方向に生じる温度分布から流量を検知
する方式を用いた流量計がある。この流量計は精度が良
り、半導体ガスの流量コントローラーとしてなど広く用
いられているが、構造上小型化や量産に不向きで、高価
であるため用途が限定されてし寸うという欠点がある。
１だ他の熱式フロー七ンサとして、流体中に発熱抵抗体
と測温抵抗体を設け、上記発熱抵抗体を加熱し発熱抵抗
体から周囲の流体に伝達される熱量の変化を利用して流
速を測定する方式を用いたフローセンサもある。この方
式では測温抵抗体により流体の温度を検知し、流体と発
熱抵抗体の温度差を一定に保つことにより、流体温度の
影響を補償することができかつ発熱抵抗体の熱容量に関
係なく迅速な応答を得ることができる。唸た上記温度差
を大きく設定することにより、フローセンサの出力を増
大させることも可能となる。この方式を用いたフローセ
ンサには従来シリコンチップ上に形成さｎた発熱用トラ
ンジスタと測温用トランジスタを利用して構成されたフ
ローセンサがある。このフロー士ンサはシリコンプロセ
ヌ技術ヲ利用しているので量産性に優几るが、反面素子
間の温度特性のバラツキが大きく、また発熱温度を高く
設定することができないなどの欠点を有している。上記
方式で、発熱抵抗体と測温抵抗体に白金やタングヌテン
などの抵抗線を用いたものがあるが、抵抗随が小さく素
子間のバラツキも大きいので発熱温度の制御性や温度測
定の精度が悪くなるのみならず軸線を用いるため加工が
困難で量産性に欠けるなどの欠点を有する。
と測温抵抗体を設け、上記発熱抵抗体を加熱し発熱抵抗
体から周囲の流体に伝達される熱量の変化を利用して流
速を測定する方式を用いたフローセンサもある。この方
式では測温抵抗体により流体の温度を検知し、流体と発
熱抵抗体の温度差を一定に保つことにより、流体温度の
影響を補償することができかつ発熱抵抗体の熱容量に関
係なく迅速な応答を得ることができる。唸た上記温度差
を大きく設定することにより、フローセンサの出力を増
大させることも可能となる。この方式を用いたフローセ
ンサには従来シリコンチップ上に形成さｎた発熱用トラ
ンジスタと測温用トランジスタを利用して構成されたフ
ローセンサがある。このフロー士ンサはシリコンプロセ
ヌ技術ヲ利用しているので量産性に優几るが、反面素子
間の温度特性のバラツキが大きく、また発熱温度を高く
設定することができないなどの欠点を有している。上記
方式で、発熱抵抗体と測温抵抗体に白金やタングヌテン
などの抵抗線を用いたものがあるが、抵抗随が小さく素
子間のバラツキも大きいので発熱温度の制御性や温度測
定の精度が悪くなるのみならず軸線を用いるため加工が
困難で量産性に欠けるなどの欠点を有する。
抵抗線の代わりに絶縁基板上にパターン化さ几た金属薄
膜を用いた熱膜式フローセンサは、パターンの微細化に
より小型化することができ、一枚の基板内に多数の素子
を並べて作製できるので量産性に優れバラツキも小さい
、など多くの長所を有しており、近年開発がζかんであ
る。また、熱膜式フローセンサの長所を利用して絶縁基
板上に発熱体と測温体を同一基板上に一体化したフロー
センサがある。この一体化したフローセンサを支持台に
マウントする場合、支持台等に発熱体からの熱が伝わら
ないように、測温体側を支持台に接着していた。しかし
、測温体部位を接着すると、接着剤等にまり測温体が歪
み、本来の特性が得られなかったり、チップ間でバラツ
ギが生じる等の問題がある。
膜を用いた熱膜式フローセンサは、パターンの微細化に
より小型化することができ、一枚の基板内に多数の素子
を並べて作製できるので量産性に優れバラツキも小さい
、など多くの長所を有しており、近年開発がζかんであ
る。また、熱膜式フローセンサの長所を利用して絶縁基
板上に発熱体と測温体を同一基板上に一体化したフロー
センサがある。この一体化したフローセンサを支持台に
マウントする場合、支持台等に発熱体からの熱が伝わら
ないように、測温体側を支持台に接着していた。しかし
、測温体部位を接着すると、接着剤等にまり測温体が歪
み、本来の特性が得られなかったり、チップ間でバラツ
ギが生じる等の問題がある。
〈発明の目的〉
本発明は以上のような間萌点を有効に解決するものであ
り、本発明のマウント法を用いることにより、測温体部
分が歪むことなく、チップ本来の特性か得られるフロー
センサを提供することを目的とするものである。
り、本発明のマウント法を用いることにより、測温体部
分が歪むことなく、チップ本来の特性か得られるフロー
センサを提供することを目的とするものである。
〈実施例〉
第１図及び汚２図は本発明の１実施例を示すフローセン
サの模式平面図及び断面図である。絶縁基板１の上部両
端で熱絶縁される位置に白金、タングヌテン等の金属薄
膜を蒸着した後パターン化して成る発熱体２及び測温体
３を形成して流体の流速を検知するセンサチップとする
。センサチップの測温体３の部分が加工した支持台４の
穴又は溝の上になるようにセンサチップをマウントし、
支持台４の両側に配設されたり一ト５と接続する。
サの模式平面図及び断面図である。絶縁基板１の上部両
端で熱絶縁される位置に白金、タングヌテン等の金属薄
膜を蒸着した後パターン化して成る発熱体２及び測温体
３を形成して流体の流速を検知するセンサチップとする
。センサチップの測温体３の部分が加工した支持台４の
穴又は溝の上になるようにセンサチップをマウントし、
支持台４の両側に配設されたり一ト５と接続する。
これによって測温体３の部位は支持台４に対して浮いた
状態になり、接着さ几ていないため、接着剤等による歪
みを受けず、チップ本来の特性を得ることのできるフロ
ーセンサが作製できる。表１にはｌ１Ｉ１１温体３に白
金薄膜を用いて測温体３の部位を支持台４に接着した場
合と、接着しなかった場合の抵抗温度係数の例を示す。
状態になり、接着さ几ていないため、接着剤等による歪
みを受けず、チップ本来の特性を得ることのできるフロ
ーセンサが作製できる。表１にはｌ１Ｉ１１温体３に白
金薄膜を用いて測温体３の部位を支持台４に接着した場
合と、接着しなかった場合の抵抗温度係数の例を示す。
表 １
上記フローセンサを流体中に配置し、発熱体２に通電し
て発熱体２で流体に奪ゎｎる熱量を測温体で求めること
により流体の流速を検出することができる。
て発熱体２で流体に奪ゎｎる熱量を測温体で求めること
により流体の流速を検出することができる。
〈発明の効果〉
以上詳述したように、本発明の熱膜式フローセンサは、
次のような実用上版めで有用な利点を有する。
次のような実用上版めで有用な利点を有する。
（１）センサチップの測温体部分で接着しないため、接
着剤による歪みをなくし、チップ本来の特性を得ること
ができる。
着剤による歪みをなくし、チップ本来の特性を得ること
ができる。
（２）測温体部分が支持台より離れているため、流体温
度の変化にも速く応答する。
度の変化にも速く応答する。
第１図及び第２図は本発明の１実施例を示すフローセン
サの模式平面図及び断面図である。 １・・絶縁基板、 ２ ・発熱体、 ３・・・測温体、
４・・・支持台、 ５ リード。
サの模式平面図及び断面図である。 １・・絶縁基板、 ２ ・発熱体、 ３・・・測温体、
４・・・支持台、 ５ リード。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、発熱体と測温体とを同一基板上に一体化したセンサ
チップを支持台上に搭載して成るフローセンサにおいて
、前記センサチップを前記測温体部位以外の領域で固着
したことを特徴とするフローセンサ。 ２、センサチップの測温体部位が支持台に接触しないよ
うに支持台が加工されていることを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載のフローセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62136624A JPS63298120A (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | フロ−センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62136624A JPS63298120A (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | フロ−センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63298120A true JPS63298120A (ja) | 1988-12-05 |
Family
ID=15179653
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62136624A Pending JPS63298120A (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | フロ−センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63298120A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04145372A (ja) * | 1990-10-08 | 1992-05-19 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 流速センサ |
| JP2003142743A (ja) * | 2002-08-06 | 2003-05-16 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 素 子 |
-
1987
- 1987-05-29 JP JP62136624A patent/JPS63298120A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04145372A (ja) * | 1990-10-08 | 1992-05-19 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 流速センサ |
| JPH0830709B2 (ja) * | 1990-10-08 | 1996-03-27 | 山武ハネウエル株式会社 | 流速センサ |
| JP2003142743A (ja) * | 2002-08-06 | 2003-05-16 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 素 子 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN104482971B (zh) | 一种基于mems技术的热式流量传感器 | |
| EP1059517A4 (en) | PRESSURE DETECTOR | |
| JPH0349050B2 (ja) | ||
| JPS63298120A (ja) | フロ−センサ | |
| JPH0328741A (ja) | 湿度検出装置 | |
| WO2002006786A1 (fr) | Capteur de pression | |
| JP2002296121A (ja) | 温度測定装置 | |
| JPH0428023Y2 (ja) | ||
| JPH0422269Y2 (ja) | ||
| JP2516277Y2 (ja) | センサ | |
| JPH0428022Y2 (ja) | ||
| JPH0384425A (ja) | 感熱式流量センサ | |
| JPH0428021Y2 (ja) | ||
| JPS63241313A (ja) | フロ−センサ | |
| JPH0522849B2 (ja) | ||
| JPH0441291Y2 (ja) | ||
| JPS62203019A (ja) | フロ−センサ | |
| JP3070283B2 (ja) | 空気流量測定装置 | |
| JPS6243522A (ja) | 流量センサ | |
| JPS6385364A (ja) | フローセンサ | |
| JPH0643906B2 (ja) | フローセンサ | |
| SU1437698A1 (ru) | Интегральный преобразователь давлени и температуры | |
| JPH04343023A (ja) | 流量センサ | |
| JPH0222516A (ja) | フローセンサ | |
| JPS62147319A (ja) | 直熱型流量センサ |