JPS63298112A - 厚み計測装置 - Google Patents
厚み計測装置Info
- Publication number
- JPS63298112A JPS63298112A JP13637487A JP13637487A JPS63298112A JP S63298112 A JPS63298112 A JP S63298112A JP 13637487 A JP13637487 A JP 13637487A JP 13637487 A JP13637487 A JP 13637487A JP S63298112 A JPS63298112 A JP S63298112A
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- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 claims abstract description 18
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 22
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000005674 electromagnetic induction Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は例えば超音波又は電磁誘導等を利用する連続式
の厚み計測装置に関する。
の厚み計測装置に関する。
被測定物の厚みを計測する装置には超音波、電磁誘導若
しくは光を用いる手法、又は機械的接触手段を用いた偏
位計測方等、種々の方法を利用するものが開発されてい
る。
しくは光を用いる手法、又は機械的接触手段を用いた偏
位計測方等、種々の方法を利用するものが開発されてい
る。
ところで上述した計測装置においては計測途中に被測定
物とセンサ部との相対的位置関係が変動したり電気信号
又は被測定物自体からノイス信号が発生することによっ
て測定誤差を招くことがある。このため製品の検査等に
おいて、正常晶が不良品と判定されたり、再現性が低下
することにより全体の計測値の信軌性も低下するという
問題があった。本発明は斯かる事情に鑑みてなされたも
のであり、計測途中に大幅な計測値の変動を検出した場
合には計測値のそれ迄の移動平均値に基づいてその正常
、異常の別を判定することにより測定誤差を排除する厚
み計測装置の提供を目的とする。
物とセンサ部との相対的位置関係が変動したり電気信号
又は被測定物自体からノイス信号が発生することによっ
て測定誤差を招くことがある。このため製品の検査等に
おいて、正常晶が不良品と判定されたり、再現性が低下
することにより全体の計測値の信軌性も低下するという
問題があった。本発明は斯かる事情に鑑みてなされたも
のであり、計測途中に大幅な計測値の変動を検出した場
合には計測値のそれ迄の移動平均値に基づいてその正常
、異常の別を判定することにより測定誤差を排除する厚
み計測装置の提供を目的とする。
本発明に係る厚み計測装置は、被測定物を相対的に移動
させてその厚みを時系列的に測定する厚み計測装置にお
いて、１つ前の計測値以前の複数の計測値の平均値を算
出する移動平均算出部と、最新の計測値と前記平均値と
の差を求める偏差量算出部と、該偏差量算出部の算出結
果が所定値板」二である場合に最新の計測値を１つ前の
計測値で置換して出力する異常値置換部とを具備するこ
とを特徴とする。
させてその厚みを時系列的に測定する厚み計測装置にお
いて、１つ前の計測値以前の複数の計測値の平均値を算
出する移動平均算出部と、最新の計測値と前記平均値と
の差を求める偏差量算出部と、該偏差量算出部の算出結
果が所定値板」二である場合に最新の計測値を１つ前の
計測値で置換して出力する異常値置換部とを具備するこ
とを特徴とする。
最新の計測値が測定されると、移動平均算出部は１つ前
の計測値以前の複数の計測値の平均値を算出し、偏差量
算出部がこの平均値と最新の計測値との差を算出する。
の計測値以前の複数の計測値の平均値を算出し、偏差量
算出部がこの平均値と最新の計測値との差を算出する。
異常値置換部はその差が所定値未満の場合はそのまま最
新の計測値を出力し、所定値以上の場合は最新の計測値
を１つ前の計測値で置換して出力する。
新の計測値を出力し、所定値以上の場合は最新の計測値
を１つ前の計測値で置換して出力する。
以下、本発明をその実施例を示す図面に基づき具体的に
説明する。第１図は本発明に係る厚み計測装置の構成を
示すブロック図であり、超音波発振器を用いてなるセン
サ部１は被測定板６の板面に対向して配置され、被測定
板６を矢符方向に搬送させることにより、その板厚を走
査するように構成されている。
説明する。第１図は本発明に係る厚み計測装置の構成を
示すブロック図であり、超音波発振器を用いてなるセン
サ部１は被測定板６の板面に対向して配置され、被測定
板６を矢符方向に搬送させることにより、その板厚を走
査するように構成されている。
センサ部１は検出部２に接続されており、これらによっ
て一定時間毎に板厚が検出されて、この計測値が移動平
均算出部３へ送られる。移動平均算出部３は送られる計
測値の１つ前の計測値からｍ個前の計測値までを集計し
て移動平均値ＭＮを算出し、その平均値が偏差量算出部
４−１送られる。
て一定時間毎に板厚が検出されて、この計測値が移動平
均算出部３へ送られる。移動平均算出部３は送られる計
測値の１つ前の計測値からｍ個前の計測値までを集計し
て移動平均値ＭＮを算出し、その平均値が偏差量算出部
４−１送られる。
偏差量算出部４は異常値置換部５に接続され、これらに
よって最新の計測値と前記平均値との差が算出され、そ
の値と所定値との大小関係によって計測値が判定され決
定される。
よって最新の計測値と前記平均値との差が算出され、そ
の値と所定値との大小関係によって計測値が判定され決
定される。
第２図はその制御内容を示すフローチャートである。ま
ず計測開始と共にセンサ部１によって計測値ＤＨが検出
される（ステップ■）。ここでＮは検出点の番号を表し
ており、Ｎ−ｍｈｏ （ｍ；移動平均値Ｍｌｌを算出す
るための検出点数）となる計測値Ｄ９が検出されるとＤ
Ｈ−１からＤＨ−１１までの、即ち１つ前の計測値から
ｍ個前までの計測値の平均値、つまり移動平均値Ｍ０を
算出する（ステップ■）６ 次にＤＨ−ＭＮを算出し、これの絶対値と予め設定しで
ある比較基準値αとを比較しくステップ■） 、ＤＮ
ＭＮの絶対値がαより小さい場合、即ち今回検出され
た最新の計測値ＤＮと移動平均値Ｍｓとの差が比較基準
値α未満の場合にはそのまＤＮを最新の計測値としくス
テップ■）、逆にＤ ＮＭ Ｎの絶対値がα以上の場合
には１つ前の計測値ＤＨ−１を最新の計測値として（ス
テップ■）夫々出力する。
ず計測開始と共にセンサ部１によって計測値ＤＨが検出
される（ステップ■）。ここでＮは検出点の番号を表し
ており、Ｎ−ｍｈｏ （ｍ；移動平均値Ｍｌｌを算出す
るための検出点数）となる計測値Ｄ９が検出されるとＤ
Ｈ−１からＤＨ−１１までの、即ち１つ前の計測値から
ｍ個前までの計測値の平均値、つまり移動平均値Ｍ０を
算出する（ステップ■）６ 次にＤＨ−ＭＮを算出し、これの絶対値と予め設定しで
ある比較基準値αとを比較しくステップ■） 、ＤＮ
ＭＮの絶対値がαより小さい場合、即ち今回検出され
た最新の計測値ＤＮと移動平均値Ｍｓとの差が比較基準
値α未満の場合にはそのまＤＮを最新の計測値としくス
テップ■）、逆にＤ ＮＭ Ｎの絶対値がα以上の場合
には１つ前の計測値ＤＨ−１を最新の計測値として（ス
テップ■）夫々出力する。
以下同様にしてステップ■によって処理が終了されるま
で計測値ＤＮを読み込む都度に移動平均値Ｍ、との比較
が行われ、計測値が決定され出方される。
で計測値ＤＮを読み込む都度に移動平均値Ｍ、との比較
が行われ、計測値が決定され出方される。
なお、ステップ■がらステップ■へ戻り、ステップ■の
移動平均値の算出に使用される計測値はステップ■によ
って置換された値ではなく元の計測値が用いられる。
移動平均値の算出に使用される計測値はステップ■によ
って置換された値ではなく元の計測値が用いられる。
第３図は上述のようにして求められる計測値の動きを説
明するためのグラフであり、縦軸に計測ち、横軸に時間
を表している。計測値・は移動平均値○と比較されて決
定された値であり、計測値が■の異常値を検出した場合
には計測値は１つ前の計測値を修正計測値◎とする。
明するためのグラフであり、縦軸に計測ち、横軸に時間
を表している。計測値・は移動平均値○と比較されて決
定された値であり、計測値が■の異常値を検出した場合
には計測値は１つ前の計測値を修正計測値◎とする。
なお、本実施例においてはセンサ部を超音波式としてい
るが、これに代えて電磁誘導式等、他の手法によるもの
としても良く、また被測定物を仮以外の他の形状物とし
ても良いのは言うまでもない。
るが、これに代えて電磁誘導式等、他の手法によるもの
としても良く、また被測定物を仮以外の他の形状物とし
ても良いのは言うまでもない。
更に本実施例においては万−異常値検出後、連続して異
常値を検出した場合には、後に検出された異常値処理に
おいて１つ前の計測値、即ち先に検出された異常値で置
換されるが、これを先の異常値処理で置換され出力され
た修正値で再び置換するようにしても良い。
常値を検出した場合には、後に検出された異常値処理に
おいて１つ前の計測値、即ち先に検出された異常値で置
換されるが、これを先の異常値処理で置換され出力され
た修正値で再び置換するようにしても良い。
本発明に係る厚み計測装置においては、センサ部によっ
て検出される計測値をそれ迄の移動平均値と比較しその
差が比較基準値以上の場合には異常値として処理し、１
つ前の計測値を新たな計測値として出力するので、測定
条件の変動又は電気信号系統の異常等によって生しる急
激な変動値、即ち異常値が実際の計測値にならないため
、測定誤差を招くことがなく、また再現性が低下しない
ので計測値の信頼性も低下しない。更に本発明装置にお
いては被測定物の厚みが不連続の例えば段が形成されて
いる形状物の測定も可能であり、またこれの異常値処理
を計測値に変えて出力値で置換するように構成した場合
においても検出間隔を微小に設定することにより、段部
の厚みの変化にも測定対処可能である等、本発明は優れ
た効果を奏する。
て検出される計測値をそれ迄の移動平均値と比較しその
差が比較基準値以上の場合には異常値として処理し、１
つ前の計測値を新たな計測値として出力するので、測定
条件の変動又は電気信号系統の異常等によって生しる急
激な変動値、即ち異常値が実際の計測値にならないため
、測定誤差を招くことがなく、また再現性が低下しない
ので計測値の信頼性も低下しない。更に本発明装置にお
いては被測定物の厚みが不連続の例えば段が形成されて
いる形状物の測定も可能であり、またこれの異常値処理
を計測値に変えて出力値で置換するように構成した場合
においても検出間隔を微小に設定することにより、段部
の厚みの変化にも測定対処可能である等、本発明は優れ
た効果を奏する。
第１図は本発明に係る厚み計測装置の構成を示すブロッ
ク図、第２図はその制御内容を示すフローチャート、第
３図は計測値と時間との関係を示すグラフである。 ■・・・センサ部 ３・・・移動平均算出部４・・・偏
差量算出部 ５・・・異常ｌｉｔ置装部６・・・被測定
板
ク図、第２図はその制御内容を示すフローチャート、第
３図は計測値と時間との関係を示すグラフである。 ■・・・センサ部 ３・・・移動平均算出部４・・・偏
差量算出部 ５・・・異常ｌｉｔ置装部６・・・被測定
板
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、被測定物を相対的に移動させてその厚みを時系列的
に測定する厚み計測装置において、１つ前の計測値以前
の複数の計測値の平均 値を算出する移動平均算出部と、 最新の計測値と前記平均値との差を求める 偏差量算出部と、 該偏差量算出部の算出結果が所定値以上で ある場合に最新の計測値を１つ前の計測値で置換して出
力する異常値置換部と を具備することを特徴とする厚み計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13637487A JPH0792377B2 (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | 厚み計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13637487A JPH0792377B2 (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | 厚み計測装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63298112A true JPS63298112A (ja) | 1988-12-05 |
| JPH0792377B2 JPH0792377B2 (ja) | 1995-10-09 |
Family
ID=15173669
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13637487A Expired - Fee Related JPH0792377B2 (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | 厚み計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0792377B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004171314A (ja) * | 2002-11-21 | 2004-06-17 | Akira Taguchi | 設備機器の監視装置及び設備機器の監視システム |
| JP2010204090A (ja) * | 2009-03-04 | 2010-09-16 | Honeywell Internatl Inc | 誤りのあるセンサ出力を特定するための方法及び装置 |
| WO2016046905A1 (ja) * | 2014-09-24 | 2016-03-31 | パイオニア株式会社 | 測定装置及び測定方法、並びにコンピュータプログラム及び記録媒体 |
| JP2016142670A (ja) * | 2015-02-04 | 2016-08-08 | 大和製罐株式会社 | レーザー式検査装置 |
| EP2296272A3 (en) * | 2009-09-14 | 2017-05-24 | Soonhan Engineering Corp. | Method for detecting and filtering a random noise signal |
| JP2019122990A (ja) * | 2018-01-17 | 2019-07-25 | 蛇の目ミシン工業株式会社 | プレス装置、荷重補正方法およびプログラム |
| WO2023032877A1 (ja) * | 2021-09-06 | 2023-03-09 | Wota株式会社 | プログラム、方法、情報処理装置、システム |
-
1987
- 1987-05-29 JP JP13637487A patent/JPH0792377B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004171314A (ja) * | 2002-11-21 | 2004-06-17 | Akira Taguchi | 設備機器の監視装置及び設備機器の監視システム |
| JP2010204090A (ja) * | 2009-03-04 | 2010-09-16 | Honeywell Internatl Inc | 誤りのあるセンサ出力を特定するための方法及び装置 |
| EP2296272A3 (en) * | 2009-09-14 | 2017-05-24 | Soonhan Engineering Corp. | Method for detecting and filtering a random noise signal |
| WO2016046905A1 (ja) * | 2014-09-24 | 2016-03-31 | パイオニア株式会社 | 測定装置及び測定方法、並びにコンピュータプログラム及び記録媒体 |
| JPWO2016046905A1 (ja) * | 2014-09-24 | 2017-08-10 | パイオニア株式会社 | 測定装置及び測定方法、並びにコンピュータプログラム及び記録媒体 |
| JP2016142670A (ja) * | 2015-02-04 | 2016-08-08 | 大和製罐株式会社 | レーザー式検査装置 |
| JP2019122990A (ja) * | 2018-01-17 | 2019-07-25 | 蛇の目ミシン工業株式会社 | プレス装置、荷重補正方法およびプログラム |
| WO2019142027A1 (ja) * | 2018-01-17 | 2019-07-25 | 蛇の目ミシン工業株式会社 | プレス装置、荷重補正方法およびプログラム |
| US11772350B2 (en) | 2018-01-17 | 2023-10-03 | Janome Sewing Machine Co., Ltd. | Press device, load correction method, and recording medium |
| WO2023032877A1 (ja) * | 2021-09-06 | 2023-03-09 | Wota株式会社 | プログラム、方法、情報処理装置、システム |
| JP2023037743A (ja) * | 2021-09-06 | 2023-03-16 | Wota株式会社 | プログラム、方法、情報処理装置、システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0792377B2 (ja) | 1995-10-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |