JPS63297815A - ラジアル磁気軸受の制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は、ラジアル磁気軸受の制御装置に関する。

従来の技術とその問題点 磁気軸受で非接触状態に支持された回転体（ロータ）を
高速で回転させる磁気軸受装置においては、運転速度を
回転体の危険速度以上に設定する場合があり、この場合
、従来のＰＩＤ制御による制御装置では、危険速度を通
過するときに問題が生じる。危険速度通過の難易度は、
回転体の残留バランスおよび磁気軸受の剛性に依存する
。残留アンバランスについては、回転体のバランスを良
くしても、弾性体である回転体が危険速度付近で大きく
撓むため、改善は難しい。このため、磁気軸受の剛性と
くに減衰力を大きくすることが考えられるが、周波数特
性を広帯域化すると、制御系の飽和という問題が生じ、
制御系に必要な電力が増大する この発明の目的は、上記の問題を解決し、制御系の飽和
を最小限に抑え、かつ危険速度通過に必要な高減衰力が
得られるラジアル磁気軸受の制御装置を提供することに
ある。

問題点を解決するための手段 この発明によるラジアル磁気軸受の制御装置は、 回転体の半径方向の位置を検出する位置センサーの出力
信号にもとづいてラジアル磁気軸受を制御する装置であ
って、 回転体の回転数に同期したふれ回り成分の振幅と位相を
検出し、回転体の回転数前後の狭い帯域でのみふれ回り
成分より位相の進んだ制御信号を発生する高減衰力発生
回路を備えていることを特徴とするものである。

作　　　　　用 振動している物体に振動に対して位相の進んだ制御力を
与えることにより減衰が得られることおよび位相の進み
が９０°のときに減衰力が最大となることは、知られて
いる。

回転体の回転数に同期した周波数成分で高減衰力を発生
させることにより、危険速度でのふれ回りを小さくして
、危険速度通過を容易にすることができる。また、回転
数前後の狭い帯域でのみ高減衰力を発生させるので、従
来のように周波数特性を広帯域化する場合のような制御
系の飽和の問題は生じない。

実　　施　　例 以下、図面を参照して、この発明の詳細な説明する。な
お、以下の説明において、回転体（図示路）の回転軸と
直角な固定座標系の２つの座標軸をＸ軸およびｙ軸とし
、回転体とともに回転する回転軸と直角な回転座標系の
２つの座標軸をＸ軸およびｙ軸とする。

制御装置（１０）は、Ｘ軸用位置センサー（ＩＩＸ）、
Ｘ軸用位置センサー（ｆｌｙ）および回転速度センサー
（１２）の出力信号にもとづいてＸ軸用ラジアル磁気軸
受（１３ｘ）およびＸ軸用ラジアル磁気軸受（１３ｙ）
を制御するものであり、第１図に示すように、Ｘ軸周Ｐ
ＩＤ制御回路（１４ｘ）　、Ｙ軸周ＰＩＤ制御回路（１
４ｙ）　、高減衰力発生回路（１５）、Ｘ軸周加算器（
１８ｘ）およびｙ軸用加算器（１８ｙ）より構成されて
いる。Ｘ軸用位置センサー（１１ｘ）は、回転体のＸ軸
方向の位置を検出してこれに比例する信号Ｓｉｘを出力
するものであり、Ｘ軸用位置センサー（ｆｌｙ）は、回
転体のｙ軸方向の位置を検出してこれに比例する信号ｓ
ｔｙを出力するものである。回転速度センサー（１２）
は、回転体の回転数に比例する周波数たとえば回転数と
同じ周波数のパルス信号Ｓ２を出力するものである。Ｘ
軸周ＰＩＤ制御回路（１４ｘ）は、Ｘ軸用位置センサー
（ｌｌｘ）の出力信号Ｓｉｘにもとづいて第１のＸ軸周
制御信号Ｓ３ｘを出力するものであり、ｙ軸周ＰＩＤ制
御回路（１４ｙ）は、Ｘ軸用位置センサー（ｌｌｙ）の
出力信号Ｓｌｙにもとづいて第１のｙ軸周制御信号Ｓ３
ｙを出力するものである。高減衰力発生回路（１５）は
、Ｘ軸用位置センサー（ＩＩＸ）の出力信号Ｓｉｘおよ
び回転速度センサー（１２）の出力信号Ｓ２にもとづき
、回転体の回転数に同期したふれ回り成分の振幅と位相
を検出して、回転体の回転数に一致する周波数でふれ回
り成分より位相の進んだ第２のＸ軸周制御信号Ｓ４ｘお
よびｙ軸周制御信号Ｓ４ｙを出力するものである。Ｘ軸
周加算器（１６ｘ）は第１および第２のＸ軸周制御信号
５８ｘＳＳ４Ｘを加算してＸ軸周制御信号Ｓ５ｙをＸ軸
用ラジアル磁気軸受（１３ｘ）の電力増幅器（１７Ｘ）
に出力するものであり、ｙ軸用加算器（ｌａｙ）は第１
および第２のｙ軸周制御信号５ａｙＳｓ４ｙを加算して
ｙ軸周制御信号Ｓ５ｙをＸ軸用ラジアル磁気軸受（１３
ｙ）の電力増幅器（１７ｙ）に出力するものである。な
お、位置センサー（ＩＩＸ）（ｆｌｙ）、回転速度セン
サー　（１２）、ＰＩＤ制御回路（１４ｘ）　（１４ｙ
）、加算器（１ｅｘ）　（ｌａｙ）、電力増幅器（１７
ｘ）　（１７ｙ）およびラジアル磁気軸受＜１３ｘ）　
（１３ｙ）は公知の任意の構成をとりうるちのであるか
ら、詳細な説明は省略する。

第２図に示すように、高減衰力発生回路（１５）は、ふ
れ回り成分検出回路（１８）と制御信号出力回路（１９
）とから構成されている。

高減衰力発生回路（１５）のふれ回り成分検出回路（１
８）は、増幅器（２０）、Ｘ軸周ＰＳＤ　（位相検波器
）　（２１ｘ）　、Ｙ軸周ＰＳＤ　（位相検波器）（２
ｔｙ）　、ｘ軸周ＬＰＦ（ｔｆｆ−バスフィルタ）　（
２２ｘ）、Ｙ軸周ＬＰＦ　（ローパスフィルタ）　（２
２ｙ）、波形整形回路（ｚ３）および位相制御回路（２
４）より構成されており、Ｘ軸用位置センサー（ｌｌｘ
）の出力信号Ｓｉｘと回転速度センサー（１２）の出力
信号Ｓ２にもとづいて回転体の回転数に同期したふれ回
り成分の振幅を検出する。

固定座標系における回転体のふれ回すリサージュ図形は
、第５図のようになる。同図において、ωは回転体の回
転角速度、ｔは時間、Ｒはふれ回りの振幅である。回転
座標系のＸ座標をふれ回りの方向に一致させると、第６
図に示すように、ふれ回りのＸ軸成分Ｘｏはふれ回りの
振幅Ｒに、Ｙ軸成分Ｙｏは０になる。

ふれ回り成分検出回路（１８）はこのような原理にもと
づいてふれ回りの振幅Ｒを求めるものである。すなわち
、Ｘ軸周Ｐ　Ｓ　Ｄ　（２１ｘ）とＸ軸周Ｌ　Ｐ　Ｆ　
（２２ｘ）は、Ｘ軸周位置センサー（ｌｌｘ）の出力信
号Ｓｌｘを増幅した信号（Ｘ軸位置信号）Ｓ６と後述す
る位相制御回路（２４）からのＸ軸周参照信号Ｓ７ｘに
もとづいて、ふれ回りのＸ軸成分Ｘｏに比例する信号Ｓ
８ｘを出力する。Ｙ軸周ｐ　Ｓ　Ｄ　（２１ｙ）とＹ軸
周Ｌ　Ｐ　Ｆ　（２２ｙ）は、Ｘ軸位置信号Ｓ６と後述
する位相制御回路（２４）からのＹ軸周参照信号Ｓ７ｙ
にもとづいて、ふれ回りのＹ軸成分Ｙｏに比例する信号
Ｓ８ｙを出力する。

波形整形回路（２３）は、回転速度センサー（１２）の
出力信号Ｓ２を方形波に整形した信号（回転速度信号）
Ｓ９を位相制御回路（２４）に出力する。

位相制御回路（２４）は、Ｙ軸周Ｌ　Ｐ　Ｆ　（２２ｙ
）の出力信号Ｓ８ｙと回転速度信号Ｓ９にもとづいて、
ふれ回りのＹ軸成分Ｙｏが０になるように、Ｘ軸周参照
信号Ｓ７ｘおよびＹ軸周参照信号Ｓ７ｙを制御する。

ＰＳＤは、第７図に示すように、入力信号Ｅｓをこれと
同じ周波数の方形波である参照信号Ｅｒでスイッチング
を行なうものであり、その出力信号Ｅｏは入力信号Ｅｓ
と参照信号Ｅｒを乗算したものとなる。そして、ＰＳＤ
の出力信号ＥｏからＬＰＦにより交流成分を除去すると
、参照信号Ｅｒに同期した信号成分のみを検出すること
ができる。第７図（ａ）は入力信号ＥＳと参照信号Ｅ「
の位相差が０の場合であり、出力信号ＥｏをＬＰＦに通
した信号Ｅｐは正の値になる。第７図（ｂ）は入力信号
Ｅｓと参照信号Ｅｒの位相差が９０°の場合であり、出
力信号ＥｏをＬＰＦに通した信号Ｅｐは０になる。

第７図（ｅ）は入力信号Ｅｓと参照信号Ｅｒの位相差が
１８０°の場合であり、出力信号ＥｏをＬＰＦに通した
信号Ｅｐは負の値になる。なお、第８図は、ＰＳＤの入
力信号Ｅｓと参照信号Ｅｒの位相差θとＬＰＦの出力信
号Ｅｐとの関係を表わしたものである。

Ｘ軸位置信号Ｓ６はＰ　Ｓ　Ｄ　（２１ｘ）（２１ｙ）
の入力信号Ｅｓとなり、参照信号Ｓ７ｘ、Ｓ７ｙは参照
信号Ｅ「となる。Ｘ軸位置信号Ｓ６にはふれ回りの影響
が現われ、その周波数は回転速度信号Ｓ９の周波数に等
しい。また、参照信号３７Ｘ％Ｓ７ｙの周波数も、後述
するように、回転速度信号Ｓ９の周波数と等しいため、
Ｐ　Ｓ　Ｄ　（２１Ｘ）（２１ｙ）の入力信号Ｅｓと参
照信号Ｅｒの周波数は等しい。一方、回転座標系のＸ軸
とＹ軸の位相差は９０°である。したがって、・Ｘ軸周
Ｐ　Ｓ　Ｄ　（２１ｘ）に対する参照信号Ｓ７ｘとＹ軸
周Ｐ　Ｓ　Ｄ　（２１ｙ）に対する参照信号Ｓ７ｙの位
相差を９０°にすれば、Ｘ軸周Ｌ　Ｐ　Ｆ　（２２ｘ）
の出力信号Ｓ８ｘおよびＹ軸周Ｌ　Ｐ　Ｆ　（２２ｙ）
の出力信号ｓｇｙがそれぞれふれ回りのＸ軸成分Ｘｏお
よびＹ軸成分Ｙｏを表わすことになる。また、Ｙ軸周Ｌ
　Ｐ　Ｆ　（２２ｙ）の出力信号Ｓ８ｙすなわちふれ回
りのＹ軸成分ＹＯがＯになるように参照信号Ｓ７ｘ、、
Ｓ７ｙの位相を調整すれば、Ｘ軸周Ｌ　Ｐ　Ｆ　（２２
Ｋ）の出力信号Ｓ８ｘがふれ回りの振幅Ｒを表わすこと
になる。

位相制御回路（２４）はこのようなフィードバック制御
を行なうものであり、その１例が第３図に示されている
。また、その各部の信号が第４図に示されている。

位相制御回路（２４）は、一定周波数のクロックパルス
信号ＣＬＫを発生する発振器（２５）、Ｙ軸周Ｌ　Ｐ　
Ｆ　（２２ｙ）の出力信号Ｓ８ｙが正であることを判別
する第１の比較器（２６）、この信号Ｓ８ｙが負である
ことを判別する第２の比較器（２７）、発振器（２５）
のクロックパルス信号ＣＬＫと第１の比較器（２６）の
出力信号Ｓ１０を入力信号とする第１のＡＮＤ回路（２
８）、発振器（２５）のクロックパルス信号ＣＬＫと第
２の比較器（２７）の出力信号Ｓｌｌを入力信号とする
第２のＡＮＤ回路（２９）、第１のＡＮＤ回路（２８）
の出力信号をアップカウント端子（３０ｕ）の入力信号
とし第２のＡＮＤ回路（２９）の出力信号をダウンカウ
ント端子（３０ｄ）の入力信号とするアップダウンカウ
ンタ（３０）、波形整形回路（２３）からの回転速度信
号Ｓ９の立上りを検出するしてリセット信号Ｒ８Ｉを出
力するリセット回路（３１）、回転速度信号Ｓ９の１パ
ルスをたとえば１０２４倍した角度信号ＳＬ２を出力す
るＰＬＬ逓倍回路（３２）、リセット回路（３１）のリ
セット信号Ｒ８Ｉによりリセットされて逓倍回路（３２
）の角度信号ＳＬ２をカウントする第１の１０ビツトカ
ウンタ（３３）、第１のカウンタ（３３）の出力信号Ｓ
１３とアップダウンカウンタ（３０）の出力信号ＳＬ４
を比較するデジタル比較器（３４）、逓倍回路（３２）
の角度信号Ｓ１２とデジタル比較器（３４）の出力信号
Ｓ１５を入力信号とする第３のＡＮＤ回路（３５）、リ
セット回路（３１）のリセット信号Ｒ８１によりリセッ
トされて第３のＡＮＤ回路（３５）の出力信号をカウン
トする第２の１０ビツトカウンタ（３Ｂ）、第２のカウ
ンタ（３Ｂ）の１０ビツト目の出力信号ＱＩＯからＸ軸
周参照信号Ｓ７ｘを作るためのＮ０７回路（３７）およ
び第４のＡＮＤ回路（４８）ならびに第２のカウンタ（
３Ｂ）の９ビツト目の出力信号Ｑ９と１０ビツト目の出
力信号ＱｌＯからＹ軸周参照信号Ｓ７ｙを作るためのＥ
ＯＲ回路（３８）より構成されている。

第８図の点Ａで示すように、Ｙ軸周Ｌ　Ｐ　Ｆ　（２２
ｙ）の出力信号Ｓ８ｙすなわちＹｏが０の場合、２つの
比較器（２６）　（２７）の出力信号ＳＩＱ、Ｓｉｔは
Ｌ　（Ｌｏｗ）であり、クロックパルス信号ＣＬＫはア
ップダウンカウンタ（３０）に入力しない。このため、
アップダウンカウンタ（３０）の出力信号ＳＬ４は一定
である。一方、第１および第２のカウンタ（３３）（１
Ｂ）は回転速度信号Ｓ９の立上り（第４図のｔｏ）と同
期したリセット信号Ｒ８Ｉによりリセットされ、第１の
カウンタ（３３）は角度信号Ｓ１２をカウントする。第
１のカウンタ（３３）の出力信号Ｓ１３がアップダウン
カウンタ（３０）の出力信号Ｓ１４より小さい間はデジ
タル比較器（３４）の出力信号Ｓ１５はＬであるが、第
１のカウンタ（３３）の出力信号８１Ｂがアップダウン
カウンタ（３０）の出力信号Ｓ１４以上になるとデジタ
ル比較器（３４）の出力信号Ｓ１５がＨ（Ｈｌｇｈ）に
なる（第４図のｔｌ）。このため、第２のカウンタ（３
６）が角度信号Ｓ１２のカウントを開始する。第２のカ
ウンタ（３６）がカウントを開始してからＴ／２　（Ｔ
は回転速度信号Ｓ９の周期）経過すると１０ビツト目の
出力信号ＱＩＯはＬからＨにかわり（第４図のｔ２）、
第４図のように変化する。この信号ＱＩＯを反転するＮ
０７回路（３７）の出力信号８１６は第４図のように変
化する。そして、この信号８１６とデジタル比較器（３
４）の出力信号Ｓ１５とを第４のＡＮＤ回路（４８）に
入力することにより、第４図に示すように、回転速度信
号Ｓ９すなわちＸ軸位置信号Ｓ６と周波数の等しいＸ軸
周参照信号Ｓ７ｘが得られる。第２のカウンタ（３Ｂ）
の９ビツト目の出力信号Ｑ９は、第４図のように変化す
る。そして、この信号Ｑ９と１０ビツト目の出力信号Ｑ
ＩＯをＥＯＲ回路（３８）に人力することにより、Ｘ軸
周参照信号Ｓ７ｘと位相差が９０″のＹ軸周参照信号Ｓ
７ｙが得られる。

第８図の点Ｂで示すようにＹＯが正になると、第１の比
較器（２Ｂ）の出力信号８１０がＨになり、クロックパ
ルス信号ＣＬｋが第１のＡＮＤ回路（２８）を通ってア
ップダウンカウンタ（３ｏ）のアップカウント端子（３
０ｕ）に入力するため、アップダウンカウンタ（３０）
の出力信号Ｓ１４は、大きくなる。したがって、回転速
度信号ｓ９が立上ってからＸ軸周参照信号Ｓ７ｘが立上
るまでの時間（ｔｌ−ｔｏ）が長くなる。このことは、
回転速度信号Ｓ９に対する参照信号ＳＴｘ、Ｓ７ｙの位
相差が大きくなったことを意味し、Ｙｏは点Ｂがら点Ａ
すなわちＯに近づく。逆に、第８図の点Ｃで示すようＹ
ｏが負になると、第２の比較器（２７）の出力信号Ｓｌ
ｌがＨになり、クロックパルス信号ＣＬＫが第２のＡＮ
Ｄ回路（２９）を通ってアップダウンカウンタ（３０）
のダウンカウント端子（３０ｄ）に入力するため、アッ
プダウンカウンタ（３ｏ）の出力信号Ｓ１４は、小さく
なる。したがって、回転速度信号Ｓ９が立上ってからＸ
軸用参照信号Ｓ７ｘが立上るまでの時間（ｔｌ−ｔｏ）
が短くなる。

このことは、回転速度信号Ｓ９に対する参照信号Ｓ７ｘ
、Ｓ７ｙの位相差が小さくなったことを意味し、Ｙｏは
点Ｃから点ＡすなわちＯに近づく。

このように、位相制御回路（２４）では、Ｙｏが０にな
るようにＸ軸周参照信号Ｓ７ｘおよびＹ軸周参照信号Ｓ
７ｙが制御され、その結果、前述のように、Ｘ軸周Ｌ　
Ｐ　Ｆ　（２２ｘ）の出力信号Ｓ８ｘによって回転体の
ふれ回りの振幅Ｒが検出される。

高減衰発生回路（１５）の制御信号出力回路（１９）は
、回転体のふれ回り成分の位相ωｔを検出して、回転体
の回転数に一致する周波数でふれ回り成分より所定角度
φだけ位相の進んだ第２のＸ軸周制御信号Ｓ４ｘおよび
ｙ軸周制御信号Ｓ４ｙを出力するものであり、第２図に
示すように、Ｘ軸周参照信号Ｓ７ｘの立上りを検出して
リセット信号Ｒ８２を出力するリセット回路（４７）と
、このリセット信号Ｒ３２によりリセットされて角度信
号ＳＬ２をカウントする第３の１０ビツトカウンタ（３
９）を備えている。角度信号ＳＬ２は回転速度信号Ｓ９
の周期Ｔをたとえば１０２４分割したパルス信号であり
、回転速度信号Ｓ９の周期ＴはＸ軸位置信号Ｓ６および
Ｘ軸周参照信号Ｓ７ｘのそれと同じであるから、第３の
カウンタ（３９）の出力信号Ｓ１７は回転体のふれ回り
の位相ωｔを表わすことになる。制御信号出力回路（１
９）には、ＦＲＯＭを用いた４個のテーブル（４０ａ）
（４０ｂ）　（４０ｃ）　（４０ｄ）とこれらに対応す
る４個の乗算器型Ｄ／Ａコンバータ（４１ａ）　（４１
ｂ）　（４１ｃ）　（４１ｄ）が設けられている。第１
のテーブル（４０ａ）には、第３のカウンタ（３９）の
出力信号Ｓ１７すなわちωｔのたとえば１０２４の値に
ついてＣＯＳφ・ｅ。

Ｓωｔの値が記憶されている。同様に、第２のテーブル
（４０ｂ）にはｓｉｎφ・ｓ１ｎωｔの値、第３のテー
ブル（４０ｃ）にはｃｏｓφ・ｓｌｎωｔの値、第４の
テーブル（４０ｄ）にはｓｉｎφ’ｅＯ８ωｊの値が記
憶されている。そして、第３のカウンタ（３９）の出力
信号Ｓ１７にもとづき、各テーブル（４０ａ）　（４０
ｂ）　（４０ｃ）　（４０ｄ）内のデータがそれぞれラ
ッチ回路（４２ａ）　（４２ｂ）　（４２ｃ）　（４２
ｄ）を介して対応する乗算器型Ｄ／Ａ：Ｉンバータ（４
１ａ）　（４１ｂ）　（４１ｃ）　（４１ｄ）に送られ
る。４個のラッチ回路（４２ａ）　（４２ｂ）　（４２
ｃ）　（４２ｄ）は角度信号８１２と同期したラッチパ
ルスを発生するラッチパルス発生回路（４３）により制
御される。また、ふれ回り成分発生回路（１８）のＸ軸
周Ｌ　Ｐ　Ｆ　（２２Ｘ）の出力信号Ｓ８Ｘを増幅器（
４４）で増幅した信号（ふれ回り振幅信号）８１８が４
個の乗算器（４１ａ）　（４１ｂ）　（４１ｃ）　（４
１ｄ）に入力する。その結果、第１の乗算器（４１ａ）
では、時々刻々変化するふれ回りの位相ωｔに対して、
ＸＯ・ＣＯＳφ・ＣＯＳωｔが演算されて出力される。

同様に、第２の乗算器（４１ｂ）ではＸｏ　壷ｓ１ｎφ
’Ｓ１ｎωｔ％第３の乗算器（４１ｃ）ではＸｏｅｃ。

Ｓφ・ｓ１ｎωｔ、第４の乗算器（４１ｄ）ではＸ。

・ｓｉｎφ・ｅＯ８ωｔが演算されて出力される。

第１の乗算器（４１ａ）の出力信号８１９と第２の乗算
器（４１ｂ）の出力信号Ｓ２０は減算器（４５）に入力
し、第３の乗算器（４１ｃ）の出力信号Ｓ２１と第４の
乗算器（４１ｄ）の出力信号Ｓ２２は加算器（４Ｂ）に
入力する。減算器（４５）の出力５４ｘ（−Ｘｏ　−ｃ
。

ＳφｌＩＣＯ８ωｔ−ＸｏＩｌｓｌｎφｅｓｌｎωｔ）
は次の式（１）のように、加算器（４Ｂ）の出力５４ｙ
（−Ｘｏ　・ｃｏｓφ・Ｓ１ｎωｔ＋Ｘｏ　ｓｌｎ　φ
・ＣＯＳωｔ）は次の式（２）のように書きかえられる
。

５４ｘ−Ｘｏ　　壷ｅｏｓ　　（ωｔ　＋φ）　　　　
　　−（１）Ｓ４ｙ−Ｘｏ　　Φｓｉｎ　　（ωｔ　　
＋φ）・（２）したがって、これらの出力信号Ｓ４ｘ％
ｓ４ｙは、回転体のふれ回りに対して角度φだけ位相が
進んだ信号になっている。そして、これらの信号Ｓ４ｘ
、Ｓ４ｙが第１の制御信号Ｓ３ｘ、Ｓ３ｙに加えられる
ため、回転体の回転数に同期した周波数成分で高減衰力
を発生させることができる。

発明の効果 この発明のラジアル磁気軸受の制御装置によれば、上述
のように、回転体の回転数に同期した周波数成分で高減
衰力を発生させることにより、危険速度でのふれ回りを
小さくして、危険速度通過を容易にすることができる。

また、回転数前後の狭い帯域でのみ高減衰力を発生させ
るので、制御系の飽和の問題は生じない。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の実施例を示すラジアル磁気軸受の制
御装置のブロック図、第２図は高減衰力発生回路のブロ
ック図、第３図は位相制御回路のブロック図、第４図は
第３図の位相制御回路の各部の信号を表わすタイムチャ
ート、第５図は固定座標系での回転体のふれ回りリサー
ジュ図形を表わすグラフ、第６図は回転座標系での回転
体のふれ回りを表わすグラフ、第７図はＰＳＤの信号を
表わすタイムチャート、第８図は位相差とＰＳＤおよび
ＬＰＦの出力との関係を表わすグツである。 （１０）・・・制御装置、（Ｌｌｘ）（ｌｌｙ）−位置
センサー、（１２）・・・回転速度センサー、（１３ｘ
）　（１３ｙ）・・・ラジアル磁気軸受、（１５）・・
・高減衰力発生回路。 以上 第４図 第８図 ｔ／）＄−０α −−ω　　　　田

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 回転体の半径方向の位置を検出する位置センサーの出力
   信号にもとづいてラジアル磁気軸受を制御する装置であ
   って、 回転体の回転数に同期したふれ回り成分の振幅と位相を
   検出し、回転体の回転数前後の狭い帯域でのみふれ回り
   成分より位相の進んだ制御信号を発生する高減衰力発生
   回路を備えていることを特徴とするラジアル磁気軸受の
   制御装置。