JPS63297063A - 電極ヘッドの製造方法 - Google Patents
電極ヘッドの製造方法Info
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- JPS63297063A JPS63297063A JP13512487A JP13512487A JPS63297063A JP S63297063 A JPS63297063 A JP S63297063A JP 13512487 A JP13512487 A JP 13512487A JP 13512487 A JP13512487 A JP 13512487A JP S63297063 A JPS63297063 A JP S63297063A
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- JP
- Japan
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- electrode
- needles
- electrode head
- substrate
- boron nitride
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- Pending
Links
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/385—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective supply of electric current or selective application of magnetism to a printing or impression-transfer material
- B41J2/39—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective supply of electric current or selective application of magnetism to a printing or impression-transfer material using multi-stylus heads
- B41J2/395—Structure of multi-stylus heads
Landscapes
- Printers Or Recording Devices Using Electromagnetic And Radiation Means (AREA)
- Dot-Matrix Printers And Others (AREA)
- Electronic Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、電気信号を記録体上に記録する電極ヘッドに
関するものである。
関するものである。
従来の技術
近年、オフィスオートメ−シランにより種々の端末機が
要求されている。中でも、電気信号を可視像に変換する
記録装置、いわゆるプリンタの需要は大きなものがあり
、従来から種々の方式による記録装置が作られている。
要求されている。中でも、電気信号を可視像に変換する
記録装置、いわゆるプリンタの需要は大きなものがあり
、従来から種々の方式による記録装置が作られている。
放電記録装置や電解記録装置など電極針から通電するタ
イプき記録装置は高速性と記録の保存性、および経済性
について優れている。しかし、これらの装置は良いもの
ではなかった。すなわち、解像度があまりよくなく５〜
６ドツト／Ｕが一般的であった。
イプき記録装置は高速性と記録の保存性、および経済性
について優れている。しかし、これらの装置は良いもの
ではなかった。すなわち、解像度があまりよくなく５〜
６ドツト／Ｕが一般的であった。
この課題を解決する手段として六方晶系子）化硼素焼結
体を電極針の支持体として用いた電極ヘッド（特願昭５
８−１７８５３７号）が考案され高解像度の印字品質が
得られるようになった。さらには、電極針を形成する手
段としてポリイミドプラスチックシート上に銅箔をフォ
トエツチングし、六晶系チッ化硼素を含む材料から構成
した支持体で挾持する電極ヘッド（特願昭５８−２３３
３０９号）が考案されている。以下、図面を参照しなが
ら、上述した従来の記録装置について説明する。
体を電極針の支持体として用いた電極ヘッド（特願昭５
８−１７８５３７号）が考案され高解像度の印字品質が
得られるようになった。さらには、電極針を形成する手
段としてポリイミドプラスチックシート上に銅箔をフォ
トエツチングし、六晶系チッ化硼素を含む材料から構成
した支持体で挾持する電極ヘッド（特願昭５８−２３３
３０９号）が考案されている。以下、図面を参照しなが
ら、上述した従来の記録装置について説明する。
第２図は従来の放電式記録装置の記録電極部の斜視図で
ある。電極針１はシート状電気的絶縁板・４上にフォト
エツチングで８本／鵡の密度で形成されており、六方晶
系チン化硼素を含む支持体２．２１にて上下から樹脂系
接着材３．３１を用いて固定されている。また第３図は
使用状態を示し、電気信号源８からの電気信号エネルギ
ーが電極針ｌとアース電極７を通じ放電破壊記録紙５上
の蒸着層６を除去することにより印字記録をおこなうも
のである。
ある。電極針１はシート状電気的絶縁板・４上にフォト
エツチングで８本／鵡の密度で形成されており、六方晶
系チン化硼素を含む支持体２．２１にて上下から樹脂系
接着材３．３１を用いて固定されている。また第３図は
使用状態を示し、電気信号源８からの電気信号エネルギ
ーが電極針ｌとアース電極７を通じ放電破壊記録紙５上
の蒸着層６を除去することにより印字記録をおこなうも
のである。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら上記のような構成では、シート状電気的絶
縁板として、通常ポリイミドプラスチックシートを用い
るため、高価な電極ヘッドになるという問題があった。
縁板として、通常ポリイミドプラスチックシートを用い
るため、高価な電極ヘッドになるという問題があった。
問題点を解決するための手段
本発明は上記問題点に鑑み、六方晶系チン化硼素を含む
材料から構成した支持体に直接電極針となる電気導体材
料をメッキやスパッタ、蒸着により成膜しフォトリソグ
ラフィとエツチングで電極針を形成することにより安価
な電極ヘッドを得ようとするものである。
材料から構成した支持体に直接電極針となる電気導体材
料をメッキやスパッタ、蒸着により成膜しフォトリソグ
ラフィとエツチングで電極針を形成することにより安価
な電極ヘッドを得ようとするものである。
作用
本発明は上記した手段により支持体上へのメッキやスパ
ッタ、蒸着による電気導体材料の成膜とフォトリソグラ
フィおよびエツチングという１”＋ ｍ−なプロセスで
支持体と電極針が一体となった電極ヘッドが作成できる
ため材料コスト、製造コストともに小さくでき安価な電
極ヘッドを得ることができる。
ッタ、蒸着による電気導体材料の成膜とフォトリソグラ
フィおよびエツチングという１”＋ ｍ−なプロセスで
支持体と電極針が一体となった電極ヘッドが作成できる
ため材料コスト、製造コストともに小さくでき安価な電
極ヘッドを得ることができる。
実施例
以下本発明の一実施例の電極ヘッドについて、図面を参
照しながら説明する。
照しながら説明する。
第１図（Ｃ）は本発明の電極ヘッドの斜視図である。
第１図（Ｃ）において電極針１は電解銅、支持体２．２
１は六方晶系チッ化硼素（例えば、電気化学工業製のデ
ンカボロンナイトライド焼結体）、接着材３は有機物系
接着材（例えば、エポキシ樹脂接着材）で電極ヘッドを
構成したものである。
１は六方晶系チッ化硼素（例えば、電気化学工業製のデ
ンカボロンナイトライド焼結体）、接着材３は有機物系
接着材（例えば、エポキシ樹脂接着材）で電極ヘッドを
構成したものである。
第１図（ａ）において電極針ｌは支持体２上に銅導体を
メッキ等により所定の厚みに成膜したのちフォトリソグ
ラフィとエツチング処理にてストライプ状（線幅６３．
５μｍ、線間６３．５μｍ、すなわち８本／鶴の解像度
）の並行電、気導体としたものである。次に第１図（ａ
）の電極針１を構成した支持体２上に、第１図（ｂ）の
電極針保持溝を有する支持体２１を接着材３にて接着す
ることにより放電プリンタの電極ヘッドを作成した。こ
の電極ヘッドを用い記録電極の先端部を放電破壊記録紙
に押し当て記録した結果は、印字品質は良好で、放電破
壊記録紙への傷付きもなく、高解像度の放電プリンタの
電極ヘッドとしての基本的な性能を十分溝たしているこ
とを確認した。
メッキ等により所定の厚みに成膜したのちフォトリソグ
ラフィとエツチング処理にてストライプ状（線幅６３．
５μｍ、線間６３．５μｍ、すなわち８本／鶴の解像度
）の並行電、気導体としたものである。次に第１図（ａ
）の電極針１を構成した支持体２上に、第１図（ｂ）の
電極針保持溝を有する支持体２１を接着材３にて接着す
ることにより放電プリンタの電極ヘッドを作成した。こ
の電極ヘッドを用い記録電極の先端部を放電破壊記録紙
に押し当て記録した結果は、印字品質は良好で、放電破
壊記録紙への傷付きもなく、高解像度の放電プリンタの
電極ヘッドとしての基本的な性能を十分溝たしているこ
とを確認した。
発明の効果
以上のように本発明は六方晶系チソ化硼素を含有する支
持体上にメッキ等により電極針材料を成膜しフォトリソ
グラフィとエツチングプロセスによって電極針を得、該
電極針を保持溝により固定することで従来品と比較して
材料費が安（、かつ製造プロセスも簡単であるため良品
率も高くなり結果として安価な放電プリンタの電極ヘッ
ドが得られるという効果がある。
持体上にメッキ等により電極針材料を成膜しフォトリソ
グラフィとエツチングプロセスによって電極針を得、該
電極針を保持溝により固定することで従来品と比較して
材料費が安（、かつ製造プロセスも簡単であるため良品
率も高くなり結果として安価な放電プリンタの電極ヘッ
ドが得られるという効果がある。
なお、ここでは電気導体材料の成膜法としてメッキ法に
ついて述べたが、スパッタや蒸着法についても同様の結
果が得られることを確認した。
ついて述べたが、スパッタや蒸着法についても同様の結
果が得られることを確認した。
第１図は本発明の実施例における電極ヘッドの工程図及
び斜視図、第２図は従来例の斜視図、第３図は放電プリ
ンタの動作原理図である。 １・・・・・・電極針、２，２１・・・・・・六方晶系
チン化硼素の支持体、３・・・・・・接着材、４・・・
・・・シート状電気絶縁板、５・・・・・・放電破壊記
録紙、６・・・・・・蒸着層、７・・・・・・アース電
極、８・・・・・・電気信号源、３０・・・・・・電極
針支持溝。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 はか１名第１図 １−電柩針 ２．２ｆ−一一支持俸 ３．３１− 接着材 Ｓ−、を電″ａ液記銖紙
び斜視図、第２図は従来例の斜視図、第３図は放電プリ
ンタの動作原理図である。 １・・・・・・電極針、２，２１・・・・・・六方晶系
チン化硼素の支持体、３・・・・・・接着材、４・・・
・・・シート状電気絶縁板、５・・・・・・放電破壊記
録紙、６・・・・・・蒸着層、７・・・・・・アース電
極、８・・・・・・電気信号源、３０・・・・・・電極
針支持溝。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 はか１名第１図 １−電柩針 ２．２ｆ−一一支持俸 ３．３１− 接着材 Ｓ−、を電″ａ液記銖紙
Claims (2)
- （１）六方晶系チッ化硼素を含有する材料から構成した
第１の支持体の両主面または両主面の一方に電気導体材
料をメッキまたはスパッタ、蒸着により成膜し、エッチ
ングにより複数の電極針を形成した後、六方晶系チッ化
硼素を含有する材料から構成した第２の支持体を接着し
、電極針を挾持することを特徴とする電極ヘッドの製造
方法。 - （２）六方晶系チッ化硼素を含有する材料から構成した
第２の支持体面に電極針支持溝を形成し、前記溝で六方
晶系チッ化硼素を含有する材料から構成した第１の支持
体の両主面または両主面に形成した前記電極針に蓋をす
るように挾持したことを特徴とする特許請求の範囲第（
１）項記載の電極ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13512487A JPS63297063A (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | 電極ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13512487A JPS63297063A (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | 電極ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63297063A true JPS63297063A (ja) | 1988-12-05 |
Family
ID=15144382
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13512487A Pending JPS63297063A (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | 電極ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63297063A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1022146A1 (en) * | 1999-01-21 | 2000-07-26 | Yamaha Corporation | Fine-pitch electrode, process for producing the same, and fine-pitch electrode unit |
-
1987
- 1987-05-29 JP JP13512487A patent/JPS63297063A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1022146A1 (en) * | 1999-01-21 | 2000-07-26 | Yamaha Corporation | Fine-pitch electrode, process for producing the same, and fine-pitch electrode unit |
| US6233819B1 (en) | 1999-01-21 | 2001-05-22 | Yamaha Corporation | Fine-pitch electrode, process for producing the same, and fine-pitch electrode unit |
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