JPS63292474A - 光ディスク用スタンパの保管方法 - Google Patents
光ディスク用スタンパの保管方法Info
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- JPS63292474A JPS63292474A JP12870787A JP12870787A JPS63292474A JP S63292474 A JPS63292474 A JP S63292474A JP 12870787 A JP12870787 A JP 12870787A JP 12870787 A JP12870787 A JP 12870787A JP S63292474 A JPS63292474 A JP S63292474A
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- Japan
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- stamper
- optical disk
- cylindrical container
- inner diameter
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- Pending
Links
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Landscapes
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は光ディスク基板の製造に用いられるスタンパの
保管方法に関する。
保管方法に関する。
一般に、光ディスク基板の製造用の原盤としては、 基
板上のレジストをリングラフィ技術でバターニングして
凹凸パターンを形成し、更にその表面に形成したニッケ
ル薄膜を電極としてニッケル電鋳膜を形成、レジスト膜
からはく離したスタンパと呼ばれる金型を用いる。概寸
法は、厚さが0.25〜0.50mm5内径がφ30〜
φ50m m s外径がφ90〜φ350mmのニッケ
ル板である。
板上のレジストをリングラフィ技術でバターニングして
凹凸パターンを形成し、更にその表面に形成したニッケ
ル薄膜を電極としてニッケル電鋳膜を形成、レジスト膜
からはく離したスタンパと呼ばれる金型を用いる。概寸
法は、厚さが0.25〜0.50mm5内径がφ30〜
φ50m m s外径がφ90〜φ350mmのニッケ
ル板である。
光ディスク基板はこのスタンパを用いてプラスチックの
成形によった製造される。プラスチックの成形には、圧
縮成形や射出成形の他、光m合法(2P法)が利用され
る。
成形によった製造される。プラスチックの成形には、圧
縮成形や射出成形の他、光m合法(2P法)が利用され
る。
このスタンパの記録面には、例えば、コンパクトディス
ク(CD)の場合、幅が0.4〜0.6μm1長さが0
.80〜3.25μm1高さが1000〜1200人の
ピットと呼ばれる微小突起が約10億個形成されている
。また光ディスクの場合には、幅0.4〜1.0μm1
深さ500〜2000人、トラックピッチ1.4〜1,
8μmのスパイラルあるいは同心円の溝が形成されてい
る。
ク(CD)の場合、幅が0.4〜0.6μm1長さが0
.80〜3.25μm1高さが1000〜1200人の
ピットと呼ばれる微小突起が約10億個形成されている
。また光ディスクの場合には、幅0.4〜1.0μm1
深さ500〜2000人、トラックピッチ1.4〜1,
8μmのスパイラルあるいは同心円の溝が形成されてい
る。
このスタンパの記録面に形成されたピットあるいは溝に
傷、汚れ、サビ等が発生すると、このスタンパを用いて
製造される光ディスク基板の欠陥となり情報の記ti1
1再生時に情報の欠落で誤りが発生し大きな支障となる
。
傷、汚れ、サビ等が発生すると、このスタンパを用いて
製造される光ディスク基板の欠陥となり情報の記ti1
1再生時に情報の欠落で誤りが発生し大きな支障となる
。
またスタンパの裏面は、通常、鏡面あるいは全面均一な
スジ目吠に加工されている。
スジ目吠に加工されている。
このスタンパの裏面に傷が発生すると光ディスク基板製
造で特に圧縮成形や射出成形の際、スタンパ記録面と金
型の間に成形用のプラスチック樹脂が高圧力で注入され
るため、裏面の傷が光ディスク基板の記録面に転写され
逆バンプと呼ばれる外観欠点が発生する。
造で特に圧縮成形や射出成形の際、スタンパ記録面と金
型の間に成形用のプラスチック樹脂が高圧力で注入され
るため、裏面の傷が光ディスク基板の記録面に転写され
逆バンプと呼ばれる外観欠点が発生する。
従来、このような不具合を防ぐため、スタンパの運搬の
際やプラスチックの成形の前後の一時保管の際に、スタ
ンパの表・裏画面に、商品名5ILITEC’l’
(米国、Lontro、9yne社製)や商品名ファイ
ン・クリーンコート(ファインケミカルジャパン社製)
の有機膜の保Ni2を形成する方法がとられていた。
この有機膜は、スプレー法、スピニング法、ディッピン
グ法などのコーティング法で形成され、膜厚は数十〜数
百μmである。
際やプラスチックの成形の前後の一時保管の際に、スタ
ンパの表・裏画面に、商品名5ILITEC’l’
(米国、Lontro、9yne社製)や商品名ファイ
ン・クリーンコート(ファインケミカルジャパン社製)
の有機膜の保Ni2を形成する方法がとられていた。
この有機膜は、スプレー法、スピニング法、ディッピン
グ法などのコーティング法で形成され、膜厚は数十〜数
百μmである。
(発明が解決しようとする問題点)
しかし前述の従来技術では、以下に述べる問題点が生じ
ていた。
ていた。
即ち、プラスチックの成形の際、スタンパは両面の保N
膜をはがして使用するが、特に記録面には微細なピット
や溝が形成されており保護膜はがしの際にピットの側面
や溝の中に数ミクロン大の保護膜が残留することが発生
する。更に、保護膜のコーティングの際にコーティング
やその後の乾燥工程の作業条件を十分管理しないと記録
面の全面に保護膜が残留することがしばしば発生する。
膜をはがして使用するが、特に記録面には微細なピット
や溝が形成されており保護膜はがしの際にピットの側面
や溝の中に数ミクロン大の保護膜が残留することが発生
する。更に、保護膜のコーティングの際にコーティング
やその後の乾燥工程の作業条件を十分管理しないと記録
面の全面に保護膜が残留することがしばしば発生する。
このように、記録面に保II膜が残留するとプラスチッ
クの成形の際に光ディスク基板の欠陥となり、情報の記
録・再生の時に情報の欠落となり誤り率が増加し、高品
質の光ディスクを得ることができない。
クの成形の際に光ディスク基板の欠陥となり、情報の記
録・再生の時に情報の欠落となり誤り率が増加し、高品
質の光ディスクを得ることができない。
更には保lI膜の形成の際、コーティング及び乾燥に時
間を要し工数増となった。また保N膜材料が高価が1枚
のスタンバ当に数千円〜数千円のコストが掛った。
間を要し工数増となった。また保N膜材料が高価が1枚
のスタンバ当に数千円〜数千円のコストが掛った。
そこで本発明はこのような問題点を解決するものでその
目的とするところは、保W1膜の残留で光ディスク基板
の誤り率の増加するのを防ぎ、更には工M及びコストの
掛らないスタンパの保管方法を提供することにある。
目的とするところは、保W1膜の残留で光ディスク基板
の誤り率の増加するのを防ぎ、更には工M及びコストの
掛らないスタンパの保管方法を提供することにある。
(問題点を解決するための手段)
本発明の光ディスク用スタンパの保管方法は、光ディス
ク用スタンパの外道により大きい径の内径を育する有底
円筒形容器と蓄により形成される密封空間に収納するこ
とを特徴とする。 すなわちスタンパと、内径がスタン
パを用いて成形される光ディスク基板の外径より大きく
、外径が円筒形容器の内径より小さいスペーサーリング
分割して収納する。
ク用スタンパの外道により大きい径の内径を育する有底
円筒形容器と蓄により形成される密封空間に収納するこ
とを特徴とする。 すなわちスタンパと、内径がスタン
パを用いて成形される光ディスク基板の外径より大きく
、外径が円筒形容器の内径より小さいスペーサーリング
分割して収納する。
以下、本発明の実施例を図面を参照にしながら説明する
。
。
第1図は本発明の一実施例における光ディスク用スタゾ
パの保管方法を示す断面図である。
パの保管方法を示す断面図である。
$1図で、保管するスタンパの外径よりやや大きい径の
内径を育する有底円筒形容器1に′E2がセットされ、
固定用ネジ3によって固定されている。この中に底面か
らまず内径が光ディスク基板の外径より大きく、外径が
円筒形容器の内径より小さいスペーサーリング(たとえ
ば弾性体の0リング)4が挿入される。この上に保管す
るスタンパ5が入り、順次スペーサーリングとスタンパ
が積層され、最後にスペーサーリングがセットされる。
内径を育する有底円筒形容器1に′E2がセットされ、
固定用ネジ3によって固定されている。この中に底面か
らまず内径が光ディスク基板の外径より大きく、外径が
円筒形容器の内径より小さいスペーサーリング(たとえ
ば弾性体の0リング)4が挿入される。この上に保管す
るスタンパ5が入り、順次スペーサーリングとスタンパ
が積層され、最後にスペーサーリングがセットされる。
との状態で蓄がセットされ固定ネ9を締めると円筒形容
器の底面と蓄の下面及びスペーサーリングの内側でスタ
ンパは完全な密封状態に保たれる。
器の底面と蓄の下面及びスペーサーリングの内側でスタ
ンパは完全な密封状態に保たれる。
このような構成でスタンパを保管するとスタンパは円筒
形容器の内径側面とスペーサーリングによって移動が阻
害され、紀O面及び裏面が他の部材と摩擦して傷がつく
ことがない、但し、スペーサーリングの接触する部分に
は若干の汚れが付看することがあるが、この部分はプラ
スチックの成形の際光ディスクの外径より外側になるた
め、光ディスク基板へ影響を及ぼすことはない。
形容器の内径側面とスペーサーリングによって移動が阻
害され、紀O面及び裏面が他の部材と摩擦して傷がつく
ことがない、但し、スペーサーリングの接触する部分に
は若干の汚れが付看することがあるが、この部分はプラ
スチックの成形の際光ディスクの外径より外側になるた
め、光ディスク基板へ影響を及ぼすことはない。
また、容器内は密封状歯となっており、ダストの管理さ
れたクリーンルームでスタンパを収納スれば、スタンパ
の表面にダストが付廿することもない。且つ、スタンパ
が空気中の湿気及び酸素で酸化する心配がある場合には
この容器にN、の注入口を設け%NRをパージしておけ
ば酸化を防止できる。
れたクリーンルームでスタンパを収納スれば、スタンパ
の表面にダストが付廿することもない。且つ、スタンパ
が空気中の湿気及び酸素で酸化する心配がある場合には
この容器にN、の注入口を設け%NRをパージしておけ
ば酸化を防止できる。
ここでこの容器に、スタンパを挿入したり取り出したり
する際の作業性が悪いことが心配されるが、 第2図に
示すような専用治具6を用いてスタンパの内径を持って
取り扱えば作業性は向上する。
する際の作業性が悪いことが心配されるが、 第2図に
示すような専用治具6を用いてスタンパの内径を持って
取り扱えば作業性は向上する。
また、本方法は、容器を含め必要な部材を何回も繰り返
して使用できるため、−回部材を製作すればそれ以降は
費用が発生しない。
して使用できるため、−回部材を製作すればそれ以降は
費用が発生しない。
C発明の効果〕
本発明の光ディスク用スタンバの保管方法によれば、保
Naの残留で光ディスクの誤り率が増加することを防止
できると共に運搬の際に両面に傷がつくことを防止でき
るため高品質の光ディスクを得ることができる。更には
、保獲膜を形成する際発生する工数及びコストを削減す
ることができる効果を有する。
Naの残留で光ディスクの誤り率が増加することを防止
できると共に運搬の際に両面に傷がつくことを防止でき
るため高品質の光ディスクを得ることができる。更には
、保獲膜を形成する際発生する工数及びコストを削減す
ることができる効果を有する。
第1図は本発明の一実例における光ディスク用スタンパ
の保管方法を示す断面図。 第2図は本発明で専用治具でスタンパを取り扱う概念図
。 1・・・円筒形容器 2・・・冨 3・・・固定用ネジ 4・・・スペーサーリング 5・・・スタンパ 6・・・専用治具 以 上 出願人 セイコーエブンン株式会社 第z1コ
の保管方法を示す断面図。 第2図は本発明で専用治具でスタンパを取り扱う概念図
。 1・・・円筒形容器 2・・・冨 3・・・固定用ネジ 4・・・スペーサーリング 5・・・スタンパ 6・・・専用治具 以 上 出願人 セイコーエブンン株式会社 第z1コ
Claims (2)
- (1)光ディスク用スタンパの外径より大きい径の内径
を有する有底円筒形容器と蓄により形成される密封空間
に収納することを特徴とする光ディスク用スタンパの保
管方法。 - (2)前記密封空間の断面が、スタンパと内径がスタン
パを用いてプラスチック成形される光ディスク基板の外
径より大きく、外径が前記円筒形容器の内径より小さい
スペーサーリングで分割されていることを特徴とする特
許請求の範囲第1項記載の、光ディスク用スタンパの保
管方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12870787A JPS63292474A (ja) | 1987-05-26 | 1987-05-26 | 光ディスク用スタンパの保管方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12870787A JPS63292474A (ja) | 1987-05-26 | 1987-05-26 | 光ディスク用スタンパの保管方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63292474A true JPS63292474A (ja) | 1988-11-29 |
Family
ID=14991438
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12870787A Pending JPS63292474A (ja) | 1987-05-26 | 1987-05-26 | 光ディスク用スタンパの保管方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63292474A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02235349A (ja) * | 1989-03-09 | 1990-09-18 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
EP0495281A2 (en) * | 1991-01-16 | 1992-07-22 | Del Mar Avionics | Method and apparatus for recording on optical discs |
JPH0741770U (ja) * | 1993-03-04 | 1995-07-21 | 株式会社川田模型 | ホイール又はホイールを持つ物品のホルダ |
JP2002324835A (ja) * | 2001-04-26 | 2002-11-08 | Fuji Electric Co Ltd | 薄板搬送治具 |
-
1987
- 1987-05-26 JP JP12870787A patent/JPS63292474A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02235349A (ja) * | 1989-03-09 | 1990-09-18 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
EP0495281A2 (en) * | 1991-01-16 | 1992-07-22 | Del Mar Avionics | Method and apparatus for recording on optical discs |
JPH0741770U (ja) * | 1993-03-04 | 1995-07-21 | 株式会社川田模型 | ホイール又はホイールを持つ物品のホルダ |
JP2002324835A (ja) * | 2001-04-26 | 2002-11-08 | Fuji Electric Co Ltd | 薄板搬送治具 |
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