JPS63290289A - 光ディスク用スタンパの製造方法 - Google Patents
光ディスク用スタンパの製造方法Info
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- JPS63290289A JPS63290289A JP12351387A JP12351387A JPS63290289A JP S63290289 A JPS63290289 A JP S63290289A JP 12351387 A JP12351387 A JP 12351387A JP 12351387 A JP12351387 A JP 12351387A JP S63290289 A JPS63290289 A JP S63290289A
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Links
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Landscapes
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光ディスクの製造に用いられるスタンパの製
造方法に関する。
造方法に関する。
光ディスク用スタンパには、複製された光ディスク基板
を管理するために、内周の非記録領域へ第２図に示した
ごとく、製造番号等のｂＹ報を文字コードとして入れる
ことが多い、（たとえばコンパクトディスク等） 第３図ａ〜ｄはスタンパの製造プロセスを示した工程図
であるが、一般的なスタンパの製造方法としては、ａに
示したガラス原盤の片面を鏡面に仕上げ、ｂのようにフ
ォトレジストを均−辷塗付したものにレーザ光を部分的
に照射する。そして露光した部分を現像して除去したも
のがＣでありこのパターン形成面上に１０００人弱の導
電膜をスパッタリング等により形成し、これを電極とし
てｄのようにＮｉの電鋳を施すことによってスタンパが
形成される。
を管理するために、内周の非記録領域へ第２図に示した
ごとく、製造番号等のｂＹ報を文字コードとして入れる
ことが多い、（たとえばコンパクトディスク等） 第３図ａ〜ｄはスタンパの製造プロセスを示した工程図
であるが、一般的なスタンパの製造方法としては、ａに
示したガラス原盤の片面を鏡面に仕上げ、ｂのようにフ
ォトレジストを均−辷塗付したものにレーザ光を部分的
に照射する。そして露光した部分を現像して除去したも
のがＣでありこのパターン形成面上に１０００人弱の導
電膜をスパッタリング等により形成し、これを電極とし
てｄのようにＮｉの電鋳を施すことによってスタンパが
形成される。
従来、スタンパに文字コードを入れる方法としては、プ
ロセスのｂの段階において、文字コードもいっしょにレ
ーザ光で露光・形成するものと、プロセスｄが終了し、
ガラス原盤からスタンパを？す殖した後で、内周鏡面部
を文字コードの形に機械加工するものがある。
ロセスのｂの段階において、文字コードもいっしょにレ
ーザ光で露光・形成するものと、プロセスｄが終了し、
ガラス原盤からスタンパを？す殖した後で、内周鏡面部
を文字コードの形に機械加工するものがある。
しかしながら、前者のレーザ露光方式では、文字コード
の形にレーザ光のＯＮ・ＯＦＦを制御するための信号発
生器が必要となり、後者においても金属の機械加工を行
なうために彫刻機等の専用加工機か必要であるという問
題点を「する。そこで本発明はこのような間厘点を解決
するもので、その目的とするところは、スタンパの製造
プロセスにおいて、第３図のＣで示されたレーザ光での
露光部を現像した後に、内周部のレジスト層に文字パタ
ーンを仔する刻印を押しあてることによって、安価に文
字コードを形成する手段を提供するところにある。
の形にレーザ光のＯＮ・ＯＦＦを制御するための信号発
生器が必要となり、後者においても金属の機械加工を行
なうために彫刻機等の専用加工機か必要であるという問
題点を「する。そこで本発明はこのような間厘点を解決
するもので、その目的とするところは、スタンパの製造
プロセスにおいて、第３図のＣで示されたレーザ光での
露光部を現像した後に、内周部のレジスト層に文字パタ
ーンを仔する刻印を押しあてることによって、安価に文
字コードを形成する手段を提供するところにある。
本発明の光ディスク用スタンパの製造方法は、スタンパ
の製造工程において、ガラス原盤上にフォトレジストを
塗付し、レーザ光での露光部を現像した後、内周鏡面部
を形成するレジスト面に刻印を施すことを特徴とする。
の製造工程において、ガラス原盤上にフォトレジストを
塗付し、レーザ光での露光部を現像した後、内周鏡面部
を形成するレジスト面に刻印を施すことを特徴とする。
第１図は本発明の実施例における光ディスク用スタンパ
の刻印方法を示した断面図であり、１はガラス原盤、２
は現像後のフォトレジスト層を示す。このフォトレジス
ト付ガラス原盤に対して刻印したい文字の金型３をガイ
ド４にセットし、ガラス原盤１の中心穴で位置決めをし
ながらフォトレジスト層２に金型３を押しっけ、文字パ
ターンを転写させることにより、刻印がなされる。この
後、通常のスタンパ製造工程と同様に導電膜を形成し、
Ｎｉ電鋳をすることによってスタンパの内周部には凸状
の文字パターンが形成される。ただし、形成される文字
パターンの高さはガラス原盤に膚付されたフォトレジス
トの厚みによって決定されるために、たかだか１０００
λ程度であり、視認性が悪い。そこで金型３の文字パタ
ーン表面は、０．１ｓ以上の表面粗さとなるように加工
してお（と、文字面での反射光が散乱されるため、良好
な視認性を得ることができる。
の刻印方法を示した断面図であり、１はガラス原盤、２
は現像後のフォトレジスト層を示す。このフォトレジス
ト付ガラス原盤に対して刻印したい文字の金型３をガイ
ド４にセットし、ガラス原盤１の中心穴で位置決めをし
ながらフォトレジスト層２に金型３を押しっけ、文字パ
ターンを転写させることにより、刻印がなされる。この
後、通常のスタンパ製造工程と同様に導電膜を形成し、
Ｎｉ電鋳をすることによってスタンパの内周部には凸状
の文字パターンが形成される。ただし、形成される文字
パターンの高さはガラス原盤に膚付されたフォトレジス
トの厚みによって決定されるために、たかだか１０００
λ程度であり、視認性が悪い。そこで金型３の文字パタ
ーン表面は、０．１ｓ以上の表面粗さとなるように加工
してお（と、文字面での反射光が散乱されるため、良好
な視認性を得ることができる。
以上述べたように本発明によれば、スタンパの製造工程
において、ガラス原盤上にフォトレジストを塗付し、レ
ーザ光での電光部を現像した後、内周鏡面部を形成する
レジスト面に、刻印を施すことにより、 簡単な方法で
安価にスタンパの職別コードをつけることができるとい
う効果を育する。
において、ガラス原盤上にフォトレジストを塗付し、レ
ーザ光での電光部を現像した後、内周鏡面部を形成する
レジスト面に、刻印を施すことにより、 簡単な方法で
安価にスタンパの職別コードをつけることができるとい
う効果を育する。
第１図は本発明の実施例における光ディスク用スタンパ
の刻印方法を示した断面図。 １・・・ガラス原盤 ２・・・現像後のフォトレジスト層 ３・・・文字の金型 ４・・・ガイド 第２図はスタンパへの文字コード記人例を示した正面図
。 第３図ａ〜ｄはスタンパの製造プロセスを示した工程図
。 以 上
の刻印方法を示した断面図。 １・・・ガラス原盤 ２・・・現像後のフォトレジスト層 ３・・・文字の金型 ４・・・ガイド 第２図はスタンパへの文字コード記人例を示した正面図
。 第３図ａ〜ｄはスタンパの製造プロセスを示した工程図
。 以 上
Claims (1)
- スタンパの製造工程において、ガラス原盤上にフォトレ
ジストを塗付し、レーザ光での露光部を現像した後、内
周鏡面部を形成するレジスト面に刻印を施すことを特徴
とする光ディスク用スタンパの製造方法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12351387A JPS63290289A (ja) | 1987-05-20 | 1987-05-20 | 光ディスク用スタンパの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12351387A JPS63290289A (ja) | 1987-05-20 | 1987-05-20 | 光ディスク用スタンパの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63290289A true JPS63290289A (ja) | 1988-11-28 |
Family
ID=14862468
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12351387A Pending JPS63290289A (ja) | 1987-05-20 | 1987-05-20 | 光ディスク用スタンパの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63290289A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998033958A1 (de) * | 1997-01-29 | 1998-08-06 | Robert Bosch Gmbh | Mikrogalvanisch hergestelltes bauteil |
-
1987
- 1987-05-20 JP JP12351387A patent/JPS63290289A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998033958A1 (de) * | 1997-01-29 | 1998-08-06 | Robert Bosch Gmbh | Mikrogalvanisch hergestelltes bauteil |
| KR100752060B1 (ko) * | 1997-01-29 | 2008-11-06 | 로베르트 보쉬 게엠베하 | 마이크로도금된부품 |
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