JPS63280411A - 半導体プロセスフロ−作成システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は複数個の単位工程を順次処理する手続きを規定
するプロセスフローを作成するシステムに関するもので
、特に半導体プロセスへの適用を主目的としたものであ
る。

従来の技術 半導体プロセスがその他一般の製造工程と異なる点は、
あるロフトの投入から完成までに何度も同一装置での処
理工程を繰返すことである。もしどの装置も１回だけし
か通らないのであれば、ロフトの動線は１本の単純な線
となる。しかし半導体プロセスに於てはロフトの動線は
極めて複雑であシ、しかも製品によシ変化する。

また設計寸法の微細化・高集積化に伴ないデバイスを完
成するまでのひとつのロフトの単位工程数が増加してお
りその数は１００〜２００工程にも達する。

製品開発の過程で多数のロフトを流す際にプロセスフロ
ーを作成するが、上述の背景により勘違い・不注意を引
起すことがち９０ソト不良につながる誤ったプロセスフ
ローが作成されることがある。

従来その対策としては主として技術者の注意力に頼って
いた。

発明が解決しようとする問題点 本発明は、誤ったプロセスフローが作成され。

そのロフトが不良になるだけでなく１例えばフォトレジ
ストを塗布した後で清浄度の要求される熱酸化工程に入
れて電気炉を汚染することで他のロットへも重大な悪影
響を及ばすといった従来の問題点を解決しようとするも
のである。

問題点を解決するための手段 本発明は、複数個の単位工程名が処理順に１ロット分格
納されたメモリーの集合であるプロセスフローメモリー
群と、特定の単位工程毎にその直前るるいは直後に存在
すべき必須工程名および存在してはならない禁止工程名
が格納されたメモリーの集合であるシーケンスルールメ
モリー群と。

上記プロセスフローメモリー群内の単位工程とシーケン
スルールメモリー群内の工程名との一致・不一致を検出
する存在検出回路と第１．第２の累算器を含むルール照
合回路を有しているシステム構成のものである。

作用 プロセスフローメモリー群（ＰＦＭ　＞内のあるメモリ
ーのｊ番目の単位工程に関するシーケンスルールメモリ
ー群（ＳＲＭ）内のメモリーが存在するか否かを検索し
、存在する場合そのメモリー内の必須工程名および禁止
工程名を順次読出し。

ＰＦＭ内の（ｊ−１）番目あるいは（ｊ＋１）番目の単
位工程と一致すれば１１′を不一致ならば１０′を上記
存在検出回路から出力し、上記ルール照合回路内の第１
の累算器には必須工程名のときのみ、第２の累算器には
禁止工程名のときのみ上記−数比力信号を加算し、上記
ｊ番目の単位工程に関する８１Ｍ内の上記゛メモリーの
全工程に関する加算の結果、上記第１の累算器の出力が
零なら必須工程欠落信号を、上記第２の累算器の出力が
零でなければ禁止工程削除信号を出力する。

実施例 本発明の一実施例システムの基本構成を第１図に示す。

単位工程毎の工程名（ＩＰ　　ＮＡＭＩＥ）、条件パラ
メータ塩やそのデオフオルト値等の工程情報を各レコー
ド（Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３・・・）毎に格納した単位工程メ
モリー１から任意のレコードを入力選択回路２によシ選
択してプロセスフローメモリー（ＰＦＭ）３へ転送する
。ＰＦＭ３はロフト毎の情報を格納するメモリー（ＰＦ
Ｍ）３１．３２゜３３・・・等から成っている。あるひ
とつのメモリー例えばＰＦＭｓｌには処理順に単位工程
名を格納していくことでプロセスフローを作成していく
。

ＰｉＦＭＳ内の指定されたレジスター内の単位工程名は
選択回路４によシ存在検出回路７に読出される。

特定の単位工程毎にシーケンスルールが書込まれたメモ
！Ｊ−５１，５２゜６３・・・等の集合であるシーケン
スルールメモ！Ｊ−（ＳＲＭ、群６の情報は選択回路６
によりルール存在検出回路７の他方の入力となる。

ＳＲＭのひとつのメモリー６１は、ある特定の単位工程
に関するクーケンスルール情報を有している。例えば第
１行（Ｒ１）には注目すべき単位工程名（注目工程名）
が書込まれている。その注目工程の直前あるいは直後に
存在すべき必須工程や存在してはならない禁止工程名が
第２行（Ｒ２）以下に書込まれている。第２行目以下の
各レコード（Ｒ２、Ｒｓ・・・）は少くとも２桁の数字
と単位工程名から成っている。この例では、各レコード
の第１・第２列（Ｃ１・０２）に２桁の数字があてであ
る。シーケンスルールを表現するためにこれらの桁０１
．Ｃ２を用いる。例えば。

Ｃ２＝’Ｏ’：注目工程の直前の工程に関する（　ＰＲ
ｌ　）１１′　：注目工程の直後の工程に関する（ＰＯ
８Ｔ）ことを表わし。

Ｃ２＝’Ｏ’　　：存在禁止工程である（ＮＯＴ）５１
′：存在必須工程である（ＭＵＳＴ）ことを表わす。こ
の組合せによる４個のルールを第２図に示す。

第２行以下の各レコード（Ｒ２、Ｒ３・・・）に於て第
１・第２列０１．Ｃ２でルールを表現し、第３列以降（
０３，０４・・・）でそのルール対象となる単位工程名
（ＥＰ　　ＮＡＭＥ）を表わす。例えば第１ｖコ−）’
Ｒ１：］ＥＰＯＯ７で、第２レコードＲ２＝１０ＥＰＯ
３６であるとき注目工程（Ｒ１）ＥＰＯＯ７にとって、
その直後にｘｐｏ３ｅｓが存在してはならない。すなわ
ち、プロセスフローの中Ｋ（ｍＰｏｏ７）−＋（ＫＰｏ
ｓｓ）という処理手順が含れることを禁止する。これは
例えば。

ＩＣＰＯ０７がレジスト現像工程で、ＩＣＰＯ３５が高
温酸化工程の様な場合に相当する。

さて、ＳＲＭ内に書込まれたこの様なシーケンスルール
に照らして、ＰＦＭ内に作成したプロセスフローが正し
いか否かをチェックするために。

ルール存在検出回路７および、それからの出力を累算す
るための累算器ムＣＣＭ１および累算器ムｃｃＭｏを含
むルール照合回路１２が本システムに含まれている。

ひとつのロフトを指定する。すなわちひとつのＰＦＭ例
えばＰＦＭ３１を指定する。次にＰＦＭ３１内のシーケ
ンス類に単位工程に注目し、その前後の工程がシーケン
スルールに合致しているか否かをチェックしていく。

今ＰＦＭ３１内のｊ番目の単位工程に注目する。

それがＳＲＭ内のＲ１に書込まれているか否かを全ＳＲ
Ｍについて調べ、それがＳＲＭｓｌに書込まれていた、
すなわちシーケンスルールがあったとする（もしなけれ
ば、次にｊ＋１番目の単位工程に注目する）。ｊ番目の
工程の直前と直後についてそれぞれ調べなければならな
いが、まず直後の′ルールについて調べることにする。

そこでＰＦＭ３１内の（ｊ＋１）番目の単位工程名を選
択回路４によシ検出回路７の一方へ入力する。その際。

８１Ｍ５１のレコードＲ２、Ｒ３、・・・を順次選択回
路６によシ検出回路７の他方へ入力し、相互の単位工程
名が一致すれば′１′、不一致ならば５０′を検出回路
７から出力する。但し、今は選択回路ｅで取シ出すレコ
ードはＣ１＝’１’のもののみである。検出回路７から
の出力信号は、スイッチトランジスタ８または１ｏを介
して累算器ムＣＣＭ１またはムＣＯＭ、ｏに加算される
。スイッチトランジスタ８および１ｏは、８１Ｍ５１の
第２列Ｃ２の値が′″１′のとき（存在必須）および１
０′のとき（存在禁止）のときにのみ開き。

それぞれの累算器ムＣＣＭ１およびムＣＣＭｏには、存
在必須ルールが満足された回数および存在禁止ルールが
違反された回数が記録されていく（第３図参照）。８１
Ｍ５１内の各レコードに書込まれた単位工程名は同一の
ものはない様にできるから、存在必須ルールが満足され
るのは最高１回しかないので、五〇〇Ｍ１のデータはＳ
ＲＭｓ１内の全ルール（全レコード）にわたる累算後も
１か０の値しかない。存在必須ルールが１４　、Ｒｓと
２工程書いてあっても、両方を同時に満たすことは不可
能であシ、どちらか一方を満たせばよいのである。他方
、存在禁止ルールについては、それがＲ２，Ｒ３と２工
程あればそのいずれにも違反してはならないのである。

従って、ＳＲＭｓ１内の全レコードについての累算結果
、ムＣＵＭ１が零でなければ、存在必須ルールは満足（
ＯＫ）され、五〇〇ＭＯが零ならば存在禁止ルールは満
足（ＯＫ）されるので、すべてのシーケンスルールが満
足された事になり。

次に注目工程の直前の工程（ＣＩ＝Ｏｉｊ−１）につい
て調べる。しかしもし、ムＧＯＭ１が零ならば存在必須
ルールは満足されないので、”必須工程の欠落警告信号
Ｗ１”を出力し、ムＣＣＭ。

が１以上ならば存在禁止ルールは満足されないので、°
９禁止工程の削除警告信号ＷＯ″を出力し。

ＰＦＭ３１の修正待ちの状態にはいる。あるいはその警
告信号を特定のルールチェック結果を格納するメモリー
を用意して書込んでもよい。

発明の効果 本発明によれば、プロセスフローにおける各単位工程間
の前後関係をシーケンスルールとして予め用意しておく
ことにょシ、任意の単位工程を直列に接続する際の不注
意によるミスを防止することが出来る。

従って正しいプロセスフローが作成され、単にそのロッ
トが間違いなく流れるだけでなく、ミスによる装置の汚
染を防止でき他のロフトもまた間違いなく流れるという
効果が生じ、工程全体の効率同上に寄与するものである
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の基本構成を示す一実施例のシステム図
、第２図はシーケンスルールを示す図、第３図はルール
照合条件を示す図である。 １・・・・・・単位工程メモリー、２・・・・・・入力
選択回路。 ３・・・・・・プロセスフローメモリー群、４．６・・
・・・・選択回路、６・・・・・・シーケンスルールメ
モリー群、７・・・・・・ルール存在検出回路、９．１
１・・・・・・累算器、１２・・・・・・ルール照合回
路。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名Ｉ−
禅１立ニス！メモリー　　　　　　　グー−２レリＬ７
８スＥＭＳ元葛、２−一人力爆訳笛隊　　　　　ｆ−一
一累専混３−−ブ’Ｑａ７℃−メ＋リ−％　　　Ｉｔ−
−−ｖ８Ｎ４−−−１ｆｔ１ｌ隊　　　　　　Ｕ−−ル
ール盗秦Σ豫第１図　６−＝　ｇ−択回罠

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 複数個の単位工程名が処理順に１ロット分格納されたメ
   モリーの集合であるプロセスフローメモリー群と、特定
   の単位工程に関しその直前あるいは直後の工程として存
   在すべき必須工程名および存在してはならない禁止工程
   名が格納されたメモリーの集合であるシーケンスルール
   メモリー群と、上記プロセスフローメモリー群内のある
   メモリーのｊ番目の単位工程に関しシーケンスルールメ
   モリー群内の工程名を検索し、（ｊ−１）番目または（
   ｊ＋１）番目の単位工程名との一致・不一致を検出する
   ルール存在検出回路と、上記存在検出回路からの一致出
   力信号を必須工程名のときのみ加算する第１の累算器と
   禁止工程名のときのみ加算する第２の累算器とを含むル
   ール照合回路を有し、上記ｊ番目の単位工程に関するシ
   ーケンスルールメモリー群内の全工程名に対する第１の
   累算器の出力が零なら必須工程欠落信号を第２の累算器
   の出力が零でなければ禁止工程削除信号を出力するよう
   に構成した半導体プロセスフロー作成システム。