JPS63280202A - 光部品 - Google Patents

光部品

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JPS63280202A
JPS63280202A JP11469587A JP11469587A JPS63280202A JP S63280202 A JPS63280202 A JP S63280202A JP 11469587 A JP11469587 A JP 11469587A JP 11469587 A JP11469587 A JP 11469587A JP S63280202 A JPS63280202 A JP S63280202A
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JP
Japan
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optical
waveguide
waveguides
switch
single mode
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JP11469587A
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Toshio Katsuyama
俊夫 勝山
Hiroaki Inoue
宏明 井上
Hitoshi Nakamura
均 中村
Kenichi Morosawa
諸沢 健一
Naoki Kayane
茅根 直樹
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Hitachi Cable Ltd
Hitachi Ltd
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Hitachi Cable Ltd
Hitachi Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光部品に係わり、特に製造容易な光部品に関
する。
〔従来の技術〕
従来、光スイッチ等の光部品においては、光導波路が単
一モード導波路のものが数多く存在する(たとえば、ア
イ・イー・イー・イー ジャーナル・オブ・ファンタム
・エレクトロニクス、第QE−17巻、(1981年)
第946頁から第956頁(IEEE J、Quant
um Electron、 Q E −17。
pp946〜956 (1981)参照)。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかし、従来の単一モード光導波路は、その導波路幅が
数ミクロン以下と非常に狭く、作製上その制御性に問題
があった0本発明の目的は、その問題点を解決し、安定
に光スイッチ等の光部品を作製することにある。
〔問題点を解決するための手段〕
上記目的は、第1図の光スイッチを形成する導波路のよ
うに光の入出力端1のみを単一モード光導波路にし、他
の大部分は導波路幅の広い多モード導波路2にすること
によって達成される。このようにすれば、これらの光ス
イッチを作製する際、導波路幅が大きいために、作製上
の制御性および製造歩留が大幅に向上するからである。
光の入出力端は、導波路幅の狭い単一モード導波路であ
るが、その占める面積が非常に狭いため、作製の制御性
上なんら問題にならない。
〔作用〕
本発明の入出力端のみの一単モード導波路は、光スイッ
チ等の光部品中を伝搬してきた光を、外部の光ファイバ
等と有効に結合させる作用を有する。
〔実施例〕
以下、本発明の詳細な説明する。
実施例1 第2,3図を用いて説明する@ I n P基板1上に
第2図に示すようなリッチ型導波路5(第3図にその断
面構造を示す、)−からなる4×4マトリツクス光スイ
ツチ(スイッチ部3は電流注入型全反射光スイッチ)を
形成した。この導波路幅Wは8μmと大きく、容易にウ
ェットエツチング等により作製できた。このマトリック
ス光スイッチの入出力部50μmは1幅4μmの単一モ
ード光導波路とした。この部分は、他の導波路部と同じ
くウェットエツチングにより作製されたが、その占める
面積が小さいため、作製の歩止まり等を劣化させること
はなかった。このようにして、入出力部のみ単一モード
先導波路としたことにより、単一モード光ファイ・バフ
との結合効率が80%と、従来の多モード光導波路のみ
使用した場合の20%に比べて大幅に向上した。
実施例2 実施例1における入出力部を幅6μmと擬似単一モード
光導波路としても、単一モード光ファイバとの結合効率
70%を得た。
実施例3 実施例1の8×9マトリツクス光スイツチにおいて、各
光スイッチの入出力端すべてを幅4μmの単一モード光
スイッチにしても、実施例1と同様、80%の単一モー
ド光ファイバとの結合効率が得られた。
[発明の効果] 本発明によれば、大部分の光導波路の幅を太きくし、先
入出力端近傍の光導波路の幅のみを狭くしたので、光部
品の性能を低下させることなく。
その生産歩留の向上が図れ、また、光部品の安定性も向
上する。
【図面の簡単な説明】
第1図は、4×4マトリツクス光スイツチの構成を示す
図、第2図はりッジ型光導波路の平面図。 および第3図は、リッジ型光導波路の断面を示す図であ
る。 1・・・先入出力端近傍部(単一モード光導波路)。 2・・・多モード光導波路、4・・・基板、5・・・光
導波路。 6・・・光スイツチ部。 第 1 図 第 2 図 第3図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、光導波路を有する光部品において、その光入出力部
    あるいはその近傍の光導波路のみを他の光導波路の導波
    路幅より狭くしたことを特徴とする光部品。 2、特許請求の範囲第1項記載の光部品において、上記
    入出力部あるいはその近傍の光導波路を単一モード光導
    波路としたことを特徴とする光部品。 3、特許請求の範囲第1項記載の光部品において、上記
    光部品が光スイッチあるいはマトリックス光スイッチで
    あることを特徴とする光部品。
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US6937797B2 (en) 2000-09-13 2005-08-30 Nippon Telegraph And Telephone Corporation Planar lightwave circuit and optical circuit

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