JPS63280202A - 光部品 - Google Patents
光部品Info
- Publication number
- JPS63280202A JPS63280202A JP11469587A JP11469587A JPS63280202A JP S63280202 A JPS63280202 A JP S63280202A JP 11469587 A JP11469587 A JP 11469587A JP 11469587 A JP11469587 A JP 11469587A JP S63280202 A JPS63280202 A JP S63280202A
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- JP
- Japan
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- optical
- waveguide
- waveguides
- switch
- single mode
- Prior art date
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- Granted
Links
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- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims abstract description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 12
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 abstract description 6
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract description 5
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract description 5
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract description 5
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 abstract description 4
- 238000002347 injection Methods 0.000 abstract description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
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Landscapes
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光部品に係わり、特に製造容易な光部品に関
する。
する。
従来、光スイッチ等の光部品においては、光導波路が単
一モード導波路のものが数多く存在する(たとえば、ア
イ・イー・イー・イー ジャーナル・オブ・ファンタム
・エレクトロニクス、第QE−17巻、(1981年)
第946頁から第956頁(IEEE J、Quant
um Electron、 Q E −17。
一モード導波路のものが数多く存在する(たとえば、ア
イ・イー・イー・イー ジャーナル・オブ・ファンタム
・エレクトロニクス、第QE−17巻、(1981年)
第946頁から第956頁(IEEE J、Quant
um Electron、 Q E −17。
pp946〜956 (1981)参照)。
しかし、従来の単一モード光導波路は、その導波路幅が
数ミクロン以下と非常に狭く、作製上その制御性に問題
があった0本発明の目的は、その問題点を解決し、安定
に光スイッチ等の光部品を作製することにある。
数ミクロン以下と非常に狭く、作製上その制御性に問題
があった0本発明の目的は、その問題点を解決し、安定
に光スイッチ等の光部品を作製することにある。
上記目的は、第1図の光スイッチを形成する導波路のよ
うに光の入出力端1のみを単一モード光導波路にし、他
の大部分は導波路幅の広い多モード導波路2にすること
によって達成される。このようにすれば、これらの光ス
イッチを作製する際、導波路幅が大きいために、作製上
の制御性および製造歩留が大幅に向上するからである。
うに光の入出力端1のみを単一モード光導波路にし、他
の大部分は導波路幅の広い多モード導波路2にすること
によって達成される。このようにすれば、これらの光ス
イッチを作製する際、導波路幅が大きいために、作製上
の制御性および製造歩留が大幅に向上するからである。
光の入出力端は、導波路幅の狭い単一モード導波路であ
るが、その占める面積が非常に狭いため、作製の制御性
上なんら問題にならない。
るが、その占める面積が非常に狭いため、作製の制御性
上なんら問題にならない。
本発明の入出力端のみの一単モード導波路は、光スイッ
チ等の光部品中を伝搬してきた光を、外部の光ファイバ
等と有効に結合させる作用を有する。
チ等の光部品中を伝搬してきた光を、外部の光ファイバ
等と有効に結合させる作用を有する。
以下、本発明の詳細な説明する。
実施例1
第2,3図を用いて説明する@ I n P基板1上に
第2図に示すようなリッチ型導波路5(第3図にその断
面構造を示す、)−からなる4×4マトリツクス光スイ
ツチ(スイッチ部3は電流注入型全反射光スイッチ)を
形成した。この導波路幅Wは8μmと大きく、容易にウ
ェットエツチング等により作製できた。このマトリック
ス光スイッチの入出力部50μmは1幅4μmの単一モ
ード光導波路とした。この部分は、他の導波路部と同じ
くウェットエツチングにより作製されたが、その占める
面積が小さいため、作製の歩止まり等を劣化させること
はなかった。このようにして、入出力部のみ単一モード
先導波路としたことにより、単一モード光ファイ・バフ
との結合効率が80%と、従来の多モード光導波路のみ
使用した場合の20%に比べて大幅に向上した。
第2図に示すようなリッチ型導波路5(第3図にその断
面構造を示す、)−からなる4×4マトリツクス光スイ
ツチ(スイッチ部3は電流注入型全反射光スイッチ)を
形成した。この導波路幅Wは8μmと大きく、容易にウ
ェットエツチング等により作製できた。このマトリック
ス光スイッチの入出力部50μmは1幅4μmの単一モ
ード光導波路とした。この部分は、他の導波路部と同じ
くウェットエツチングにより作製されたが、その占める
面積が小さいため、作製の歩止まり等を劣化させること
はなかった。このようにして、入出力部のみ単一モード
先導波路としたことにより、単一モード光ファイ・バフ
との結合効率が80%と、従来の多モード光導波路のみ
使用した場合の20%に比べて大幅に向上した。
実施例2
実施例1における入出力部を幅6μmと擬似単一モード
光導波路としても、単一モード光ファイバとの結合効率
70%を得た。
光導波路としても、単一モード光ファイバとの結合効率
70%を得た。
実施例3
実施例1の8×9マトリツクス光スイツチにおいて、各
光スイッチの入出力端すべてを幅4μmの単一モード光
スイッチにしても、実施例1と同様、80%の単一モー
ド光ファイバとの結合効率が得られた。
光スイッチの入出力端すべてを幅4μmの単一モード光
スイッチにしても、実施例1と同様、80%の単一モー
ド光ファイバとの結合効率が得られた。
[発明の効果]
本発明によれば、大部分の光導波路の幅を太きくし、先
入出力端近傍の光導波路の幅のみを狭くしたので、光部
品の性能を低下させることなく。
入出力端近傍の光導波路の幅のみを狭くしたので、光部
品の性能を低下させることなく。
その生産歩留の向上が図れ、また、光部品の安定性も向
上する。
上する。
第1図は、4×4マトリツクス光スイツチの構成を示す
図、第2図はりッジ型光導波路の平面図。 および第3図は、リッジ型光導波路の断面を示す図であ
る。 1・・・先入出力端近傍部(単一モード光導波路)。 2・・・多モード光導波路、4・・・基板、5・・・光
導波路。 6・・・光スイツチ部。 第 1 図 第 2 図 第3図
図、第2図はりッジ型光導波路の平面図。 および第3図は、リッジ型光導波路の断面を示す図であ
る。 1・・・先入出力端近傍部(単一モード光導波路)。 2・・・多モード光導波路、4・・・基板、5・・・光
導波路。 6・・・光スイツチ部。 第 1 図 第 2 図 第3図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、光導波路を有する光部品において、その光入出力部
あるいはその近傍の光導波路のみを他の光導波路の導波
路幅より狭くしたことを特徴とする光部品。 2、特許請求の範囲第1項記載の光部品において、上記
入出力部あるいはその近傍の光導波路を単一モード光導
波路としたことを特徴とする光部品。 3、特許請求の範囲第1項記載の光部品において、上記
光部品が光スイッチあるいはマトリックス光スイッチで
あることを特徴とする光部品。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62114695A JP2771162B2 (ja) | 1987-05-13 | 1987-05-13 | 光導波路の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62114695A JP2771162B2 (ja) | 1987-05-13 | 1987-05-13 | 光導波路の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63280202A true JPS63280202A (ja) | 1988-11-17 |
JP2771162B2 JP2771162B2 (ja) | 1998-07-02 |
Family
ID=14644317
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62114695A Expired - Lifetime JP2771162B2 (ja) | 1987-05-13 | 1987-05-13 | 光導波路の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2771162B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6937797B2 (en) | 2000-09-13 | 2005-08-30 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Planar lightwave circuit and optical circuit |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61250627A (ja) * | 1985-04-30 | 1986-11-07 | Omron Tateisi Electronics Co | 光偏向装置 |
JPS6269204A (ja) * | 1985-09-20 | 1987-03-30 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 分岐・結合器 |
JPS6269205A (ja) * | 1985-09-20 | 1987-03-30 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 分岐・結合器 |
JPS62183405A (ja) * | 1986-02-08 | 1987-08-11 | Agency Of Ind Science & Technol | テ−パ付光導波回路及びその製造方法 |
JPS62184332A (ja) * | 1986-02-08 | 1987-08-12 | Agency Of Ind Science & Technol | テ−パ導波路型液体検知器 |
-
1987
- 1987-05-13 JP JP62114695A patent/JP2771162B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61250627A (ja) * | 1985-04-30 | 1986-11-07 | Omron Tateisi Electronics Co | 光偏向装置 |
JPS6269204A (ja) * | 1985-09-20 | 1987-03-30 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 分岐・結合器 |
JPS6269205A (ja) * | 1985-09-20 | 1987-03-30 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 分岐・結合器 |
JPS62183405A (ja) * | 1986-02-08 | 1987-08-11 | Agency Of Ind Science & Technol | テ−パ付光導波回路及びその製造方法 |
JPS62184332A (ja) * | 1986-02-08 | 1987-08-12 | Agency Of Ind Science & Technol | テ−パ導波路型液体検知器 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6937797B2 (en) | 2000-09-13 | 2005-08-30 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Planar lightwave circuit and optical circuit |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2771162B2 (ja) | 1998-07-02 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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