JPS63275148A - ピングリッドアレイ半導体モジュ−ル - Google Patents
ピングリッドアレイ半導体モジュ−ルInfo
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- JPS63275148A JPS63275148A JP62111311A JP11131187A JPS63275148A JP S63275148 A JPS63275148 A JP S63275148A JP 62111311 A JP62111311 A JP 62111311A JP 11131187 A JP11131187 A JP 11131187A JP S63275148 A JPS63275148 A JP S63275148A
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- Japan
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- printed wiring
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- semiconductor chip
- epoxy resin
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
Landscapes
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はピングリッドアレイ半導体モジー−ルに関し、
特に印刷配線板を用いたプラスチック・ピングリッドア
レイ半導体モジー−ルに関する。
特に印刷配線板を用いたプラスチック・ピングリッドア
レイ半導体モジー−ルに関する。
第4図および第5図はそれぞれ従来のプラスチック・ピ
ングリッドアレイ半導体モジュール(以下PPGA半導
体モジーールという)を示す斜視図で、これらのモジー
−ルは第4図に示すように印刷配線板1上にICチップ
(図示しない)を搭載後このICチップのみを金属キャ
ップ7で封止するか、或いは第5図の如く全てをモール
ド樹脂10で封止した構造のものが一般に使用されてい
る。
ングリッドアレイ半導体モジュール(以下PPGA半導
体モジーールという)を示す斜視図で、これらのモジー
−ルは第4図に示すように印刷配線板1上にICチップ
(図示しない)を搭載後このICチップのみを金属キャ
ップ7で封止するか、或いは第5図の如く全てをモール
ド樹脂10で封止した構造のものが一般に使用されてい
る。
しかし、このように半導体チップのみを金属キャップで
封止しただけの構造とした場合は印刷配線板flの表面
およびスルー・ホール6からそれぞれ浸透する湿気を防
ぐことが出来ないため耐湿性に弱いという欠点があシ、
マた、半導体チップ搭載側の全面をモールド封止した構
造ではモールド封止した側からの湿気は防ぐことが出来
ても裏面からの浸透までは防ぐことが出来ない。す々わ
ち、従来のPPGA半導体モジー−ルは何れも耐湿性ち
さ分でない。
封止しただけの構造とした場合は印刷配線板flの表面
およびスルー・ホール6からそれぞれ浸透する湿気を防
ぐことが出来ないため耐湿性に弱いという欠点があシ、
マた、半導体チップ搭載側の全面をモールド封止した構
造ではモールド封止した側からの湿気は防ぐことが出来
ても裏面からの浸透までは防ぐことが出来ない。す々わ
ち、従来のPPGA半導体モジー−ルは何れも耐湿性ち
さ分でない。
本発明の目的は、上記の情況に鑑み、スルー・ホール部
番含む印刷配線板の全表面からの湿気浸透を有効に阻止
し得る耐湿性構造を備えたピングリッド・アレイ半導体
モジー−ルを提供することである。
番含む印刷配線板の全表面からの湿気浸透を有効に阻止
し得る耐湿性構造を備えたピングリッド・アレイ半導体
モジー−ルを提供することである。
すなわち、本発明によれば、封止処理は2度行われ、−
回目の封正によって印刷配線板面及びスルーホール部等
の封水処理が行われ、2回目の樹脂モールド化による封
正によって、電極端子実装時に破壊されたスルー・ホー
ル部の封水処理の補強および、全体の耐湿性強化が図ら
れるので半導体モジー−ルの耐湿性を著しく高めること
が出来る。
回目の封正によって印刷配線板面及びスルーホール部等
の封水処理が行われ、2回目の樹脂モールド化による封
正によって、電極端子実装時に破壊されたスルー・ホー
ル部の封水処理の補強および、全体の耐湿性強化が図ら
れるので半導体モジー−ルの耐湿性を著しく高めること
が出来る。
本発明によれはピングリッドアレイ半導体モジー−ルは
、半導体チップ搭載部およびピングリッドアレイを備え
る印刷配線板と、前記半導体チップ搭載部に載置される
半導体チップと、前記半導体チップを封止する金属キャ
ップと、前記印刷配線板のスルー・ホールの内面を被株
するワックス含浸層と、前記金属キャップおよびピング
リッドアレイ電極端子を除く印刷配線板上を被覆する前
記ワックス含浸層とエポキシ樹脂層の積層膜とを含んで
成る。
、半導体チップ搭載部およびピングリッドアレイを備え
る印刷配線板と、前記半導体チップ搭載部に載置される
半導体チップと、前記半導体チップを封止する金属キャ
ップと、前記印刷配線板のスルー・ホールの内面を被株
するワックス含浸層と、前記金属キャップおよびピング
リッドアレイ電極端子を除く印刷配線板上を被覆する前
記ワックス含浸層とエポキシ樹脂層の積層膜とを含んで
成る。
以下図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第1図および第2図はそれぞれ本発明の一実施例を示す
PPGA半導体モジュールの斜視図およびそのA−A’
断面図である。本実施例によれば、PPGAモジュール
は、印刷配線板1と、半導体チップ搭載部2と、その上
面に搭載された半導体チップ3と、この半導体チップ3
の電極とワイヤーボンディングにて接続される電極4と
、この電極4から印刷配線板上の配線とピングリッドア
レイ電極端子5とを接続するスルー・ホール6と半導体
チップ3を封止する金属キャップ7と、露出された印刷
配線板と・全面積層したワックス含浸層8とエポキシ樹
脂層9とを含む。本実施例のモジュールはつぎのように
して形成される。すなわち、印刷配線板1は電極端子5
を実装する前に半導体チップ搭載部2および電極4をそ
れぞれマスクして一度封穴剤で含浸される。含浸は低真
空含浸を用いる。これによシ半導体チップ搭載部2およ
び電極4を除きスルーホール6を含む印刷配線板l全面
の封水処理が出来る。封入剤にはワックス等を用い電極
端子5を印刷配線板lに打ち込んだ時、この電極端子5
が封入剤を削りと9スルー・ホール6の電導部と接触出
来る程度の厚さに形成する。
PPGA半導体モジュールの斜視図およびそのA−A’
断面図である。本実施例によれば、PPGAモジュール
は、印刷配線板1と、半導体チップ搭載部2と、その上
面に搭載された半導体チップ3と、この半導体チップ3
の電極とワイヤーボンディングにて接続される電極4と
、この電極4から印刷配線板上の配線とピングリッドア
レイ電極端子5とを接続するスルー・ホール6と半導体
チップ3を封止する金属キャップ7と、露出された印刷
配線板と・全面積層したワックス含浸層8とエポキシ樹
脂層9とを含む。本実施例のモジュールはつぎのように
して形成される。すなわち、印刷配線板1は電極端子5
を実装する前に半導体チップ搭載部2および電極4をそ
れぞれマスクして一度封穴剤で含浸される。含浸は低真
空含浸を用いる。これによシ半導体チップ搭載部2およ
び電極4を除きスルーホール6を含む印刷配線板l全面
の封水処理が出来る。封入剤にはワックス等を用い電極
端子5を印刷配線板lに打ち込んだ時、この電極端子5
が封入剤を削りと9スルー・ホール6の電導部と接触出
来る程度の厚さに形成する。
次に印刷配線板1に電極端子5を実装し半導体チップ3
を搭載したあと金属キャップ7で封止し、半導体チップ
実装部2へ浸透する湿気を防ぐ。ここで、再び金属キャ
ップ7および電極端子5を除く全面にエポキシ樹脂の粉
末蒸着を行う。
を搭載したあと金属キャップ7で封止し、半導体チップ
実装部2へ浸透する湿気を防ぐ。ここで、再び金属キャ
ップ7および電極端子5を除く全面にエポキシ樹脂の粉
末蒸着を行う。
粉末蒸着を行うに当っては、金属キャップ7には、予め
剥離剤を塗られ、また電極端子5にエポキシ樹脂が蒸着
されないように粉末蒸着面の液面調整が行われる。この
粉末蒸着法は当業者において容易なことである。この際
、金属キャップ7に蒸着したエポキシ樹脂は予め剥離剤
が塗っであるので、振動などを加えることによシ容易に
取シ去ることが出来る。
剥離剤を塗られ、また電極端子5にエポキシ樹脂が蒸着
されないように粉末蒸着面の液面調整が行われる。この
粉末蒸着法は当業者において容易なことである。この際
、金属キャップ7に蒸着したエポキシ樹脂は予め剥離剤
が塗っであるので、振動などを加えることによシ容易に
取シ去ることが出来る。
以上によ多金属キャップ7および電極端子5を除く印刷
配線板1の全面を均一にエポキシ樹脂層9で覆うことが
出来、ワックス含浸層8との積層によりモジュール全面
の耐湿性を殆んど完壁に近づけることができる。尚、金
属キャブ7を樹脂で覆わなかったのは放熱効果を損わな
いためである。
配線板1の全面を均一にエポキシ樹脂層9で覆うことが
出来、ワックス含浸層8との積層によりモジュール全面
の耐湿性を殆んど完壁に近づけることができる。尚、金
属キャブ7を樹脂で覆わなかったのは放熱効果を損わな
いためである。
第3図は本発明の他の実施例を示すPPGA半導体モジ
ュールの断面図である。
ュールの断面図である。
本実施例によれば、スルー・ホール6に対する封水処理
はエポキシ樹脂の粉末蒸着処理工程のあとに行われる3
、すなわち、ワックス含浸層8とエポキシ樹脂層9の積
層順序が前実施例と異なるだけである。しかし、これに
よって製造されるモジー−ルは、スルー・ホール6内を
ワックス含浸層8が被覆しその他をワックス含浸層8と
エポキシ樹脂層9の積層膜が被覆しているので、その耐
湿性は同様に完壁に近いものである。
はエポキシ樹脂の粉末蒸着処理工程のあとに行われる3
、すなわち、ワックス含浸層8とエポキシ樹脂層9の積
層順序が前実施例と異なるだけである。しかし、これに
よって製造されるモジー−ルは、スルー・ホール6内を
ワックス含浸層8が被覆しその他をワックス含浸層8と
エポキシ樹脂層9の積層膜が被覆しているので、その耐
湿性は同様に完壁に近いものである。
6一
〔発明の効果〕
以上詳細に説明したように、本発明のPPGA半導体モ
ジー−ルは印刷配線板を一度封穴処理し、さらに、半導
体チップ搭載後、半導体チップの放熱部および電極端子
部を除く印刷配線板全面をエポキシ樹脂でモールド化し
た2重封止構造がとられているので印刷配線板面および
スルー・ホールから浸透する湿気をほとんど完壁に近い
までに防ぐことが出来る。
ジー−ルは印刷配線板を一度封穴処理し、さらに、半導
体チップ搭載後、半導体チップの放熱部および電極端子
部を除く印刷配線板全面をエポキシ樹脂でモールド化し
た2重封止構造がとられているので印刷配線板面および
スルー・ホールから浸透する湿気をほとんど完壁に近い
までに防ぐことが出来る。
第1図および第2図はそれぞれ本発明の一実施例を示す
PPGA半導体モジー−ルの斜視図およびそのA−A’
断面図、第3図は本発明の他の実施例を示すPPGA半
導体モジー−ルの断面図、第4図および第5図はそれぞ
れ従来のプラスチック・ピングリッドアレイ半導体モジ
ュールを示す斜視図である。 1・・・・・・印刷配線板、2・・・・・・半導体チッ
プ搭載部、3・・・・・・半導体チップ、4・−・・・
・電極、5・・・・・・ピングリッドアレイ電極端子、
6・・・・・・スルー・ホール、7・・・・・・金属キ
ャップ、8・・・・・・ワックス杏浸層、9・・・・・
・エポキシ樹脂層。 茅 /1!I (A−A’餅而面) 千 2 回 茅 3 図 茅 5 M
PPGA半導体モジー−ルの斜視図およびそのA−A’
断面図、第3図は本発明の他の実施例を示すPPGA半
導体モジー−ルの断面図、第4図および第5図はそれぞ
れ従来のプラスチック・ピングリッドアレイ半導体モジ
ュールを示す斜視図である。 1・・・・・・印刷配線板、2・・・・・・半導体チッ
プ搭載部、3・・・・・・半導体チップ、4・−・・・
・電極、5・・・・・・ピングリッドアレイ電極端子、
6・・・・・・スルー・ホール、7・・・・・・金属キ
ャップ、8・・・・・・ワックス杏浸層、9・・・・・
・エポキシ樹脂層。 茅 /1!I (A−A’餅而面) 千 2 回 茅 3 図 茅 5 M
Claims (1)
- 半導体チップ搭載部およびピングリッドアレイを備える
印刷配線板と、前記半導体チップ搭載部に載置される半
導体チップと、前記半導体チップを封止する金属キャッ
プと、前記印刷配線板のスルー・ホールの内面を被覆す
るワックス含浸層と、前記金属キャップおよびピングリ
ッドアレイ電極端子を除く印刷配線板上を被覆する前記
ワックス含浸層とエポキシ樹脂層の積層膜とを含むこと
を特徴とするピングリッドアレイ半導体モジュール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62111311A JP2550991B2 (ja) | 1987-05-06 | 1987-05-06 | ピングリッドアレイ半導体モジュ−ル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62111311A JP2550991B2 (ja) | 1987-05-06 | 1987-05-06 | ピングリッドアレイ半導体モジュ−ル |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63275148A true JPS63275148A (ja) | 1988-11-11 |
JP2550991B2 JP2550991B2 (ja) | 1996-11-06 |
Family
ID=14558009
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62111311A Expired - Lifetime JP2550991B2 (ja) | 1987-05-06 | 1987-05-06 | ピングリッドアレイ半導体モジュ−ル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2550991B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0779657A3 (en) * | 1995-12-13 | 1998-11-11 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Surface-mounted semiconductor package and its manufacturing method |
US6165816A (en) * | 1996-06-13 | 2000-12-26 | Nikko Company | Fabrication of electronic components having a hollow package structure with a ceramic lid |
-
1987
- 1987-05-06 JP JP62111311A patent/JP2550991B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0779657A3 (en) * | 1995-12-13 | 1998-11-11 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Surface-mounted semiconductor package and its manufacturing method |
US6165816A (en) * | 1996-06-13 | 2000-12-26 | Nikko Company | Fabrication of electronic components having a hollow package structure with a ceramic lid |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2550991B2 (ja) | 1996-11-06 |
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