JPS63270430A - ガリウム含有物の真空熱分解方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は、半導体工場等において、廃棄物やスクラップ
等として副生されるガリウム含有物から金属ガリウムを
液体として回収するガリウム含有物の真空熱分解方法に
関するものである。

〔従来技術〕

半導体製造工場においては、砒化ガリウムやリン化ガリ
ウムの如きガリウム化合物の種々のスクラップが副生さ
れる。このようなスクラップには、ガリウム化合物の不
良単結晶の他、単結晶切削屑、研磨層等が含まれる。ま
たこれらのスクラップとしてリン砒化ガリウム（ＧａＡ
ｓＰ）、ガリウムアンチモン、砒化ガリウムアルミニウ
ム（ＧａＡ　ｊ！　Ａ１１）、リン砒化ガリウムインジ
ウム（ＧａＩｎＡｇＰ）、砒化インジウム、リン化イン
ジウム、リン砒化ガリウムインジウム（ＧａＩｎＡｓＰ
）、等が含まれる場合もある。

このようなガリウム含有スクラップの量は多く、ガリウ
ムの供給不足を補うためには、これらのスクラップをガ
リウム資源として有効利用することが重要である。

従来、砒化ガリウム含有物からガリウム及び砒素を回収
するために種々の方法が提案されているが、それらのう
ちで、工業的に見て比較的有効な方法として、特開昭５
７−１０１６２５号公報に記載されているものを挙げる
ことができる。この方法は、ガリウム−砒素含有層を真
空熱分解して、それに含まれる砒素分はこれを昇華させ
た後凝縮して回収し、一方、ガリウム分は溶融金属ガリ
ウムとし、これを冷却して炉内から回収した後、得られ
た溶融ガリウムを濾過した後、水相化学処理を施し、多
段分画再結晶化する方法である。しかし、この方法では
、炉内において高温の溶融ガリウムを冷却する工程を含
むため、工業的に操業しようとすると、バッチ操業によ
らざるを得なくなり、装置利用効率が低下するという欠
点がある他、分解炉の昇温と降温を繰返し行うために、
多量のエネルギーを必要とし、かつ炉壁材料の劣化が促
進されるという欠点もあり、その上、バッチ操業である
ことから、原料供給をその操業毎に炉内を常圧に戻して
行う必要があり、そのため真空系が汚染されやすく、ま
た操業に際し、高真空度までの到達時間が長くなり、生
産性が悪い等の欠点がある。

本発明者らは、このような従来技術の欠点の克服された
砒化ガリウム含有物の真空熱分解方法として、先に、真
空分解容器を用いて砒化ガリウム含有物を高温熱分解し
て気体状砒素と液体ガリウムを生成させると共に、該容
器内で該砒化ガリウムの高温熱分解を行いながら、該生
成した液体ガリウムを該容器外へ抜出し、かつ該生成し
た気体状砒素を別の真空砒素回収容器内に導入し、ここ
で冷却固化させた後、該容器外へ抜出し、さらに、該砒
化ガリウム含有物を該真空分解容器に供給する方法を提
案した。

この方法によれば、熱分解で生成した砒素は気体状で真
空容器から抜出されることから、砒化ガリウムの連続的
熱分解は可能であるものの、原料砒化ガリウムの熱分解
が進み、熱分解反応率が高くなると、砒化ガリウムの熱
分解速度が抑制され、効率的な熱分解の実施が困難にな
るという問題を含むことが判明した。また、このような
問題は。

リン化ガリウムの熱分解にも同様に生じることが見出さ
れた。

〔目　　　的〕

そこで、本発明の目的は、砒化ガリウム及び／又はリン
化ガリウム含有物の真空熱分解に見られる前記ガリウム
化合物の熱分解速度の低下の問題を解決することにある
。

〔構　　成〕

本発明者らは、前記問題を解決すべく鋭意研究を重ねた
結果、ガリウム化合物の熱分解により生成した液体ガリ
ウムは、原料ガリウム化合物を溶解するために、熱分解
で生じる気体状の砒素やリンは、ガリウム液体相を拡散
して気相に放散されるようになり、その結果、ガリウム
化合物の熱分解反応率が高くなって液体ガリウム中に溶
解している未反応ガリウム化合物に対する液体ガリウム
の割合が高くなると、熱分解で生成した気体状の砒素や
リンの液体ガリウム中拡散速度が遅くなり、このために
、ガリウム化合物の熱分解が抑制されることを見出すと
共に、この熱分解抑制の問題を解決するには、液体ガリ
ウムを撹拌することが有効であることを見出した０本発
明はこのような知見に基づいてなされたものである。

即ち、本発明によれば、砒化ガリウム及び／又はリン化
ガリウムを含むガリウム含有物を真空熱分解して、液体
ガリウムと気体状の砒素及び／又はリンを生成させるに
際し、該液体ガリウムを撹拌し、該液体ガリウム中に含
まれる砒素及び／又はリンの気相へ放散を促進させるこ
とを特徴とするガリウム含有物の真空熱分解方法が提供
される。

本発明におけるガリウム含有物とは、砒化ガリウムやリ
ン化ガリウムを含む種々のスクラップ、廃棄物、不良品
等を意味するもので、このようなものには、例えば、砒
化ガリウムやリン化ガリウムの不良単結晶、単結晶切削
屑、研磨層及びそれらを含む混合物等がある。

次に本発明を図面により詳述する。第１図は、砒化ガリ
ウム含有物からガリウム及び砒素を回収するための装置
系統図の１例を示すもので、ａは真空分解容器、ｂは真
空砒素回収容器、Ｃは砒素輸送管を示す。

真空分解容器ａは、その下部に高温加熱炉１３を有し、
高温加熱し得るようになっている。また。

この真空分解容器ａの気相部には、真空バルブ２，３で
区画された予備真空保持室４を介して原料投入口１が連
結され、真空分解容器ａ内を高真空及び高温に保持した
まま、即ち、砒化ガリウム含有物の熱分解を行いながら
、原料としての砒化ガリウム含有物（以下、単に原料と
も言う）を真空分解容器ａ内に装入し得るようになって
いる。即ち、真空分解容器ａを操業しながら原料をその
容器ａ内に供給するには、真空バルブ３を閉及び真空バ
ルブ２を開にした状態で原料を投入口１から予備真空保
持室４内に装入した後、真空バルブ２を閉にし、真空バ
ルブ５を開にして真空装置６により予備真空保持室４を
真空にする。その後、真空バルブ５を閉じ、真空バルブ
３を開にして、原料を予備真空保持室４から真空分解容
器ａ内に移す。このようにして、原料を操業状態にある
真空分解容器ａ内に供給することができる。真空分解容
器ａは、石英ガラス製のものでも使用可能であるが、石
英ガラスの場合、耐蝕性が悪く、反応に際し、その石英
ガラスが原料中の不純物（アルカリ分）と反応して失透
現象を生じ、強度が低下する。本発明者らの研究によれ
ば１本発明で用いる真空分解容器ａの材質としては、ボ
ロンナイトライドを表面材質とするもの、例えば、ボロ
ンナイトライド自体や、ボロンナイトライドを表面にコ
ーティングしたセラミックス等の使用が好適であること
が見出された。

真空分解容器ａの気相部には、砒素輸送管Ｃを介して真
空砒素回収容器すが連結され、さらに真空分解容器ａの
液相部には、液体ガリウム抜出管１０が連結されている
。第１図においては、液体ガリウム抜出管１０はガリウ
ム貯溜容器１１内に導入され、真空分解容器ａとガリウ
ム貯溜容器１１との間には。

大気圧以上の圧力を与える長さく約１７０ｃｍ以上）の
ガリウム液体柱が形成されている。このようなガリウム
液体柱を用いることにより、真空分解容器ａを操業状態
にしたまま真空分解容器ａ内で生成した液体ガリウムを
容器外へ抜出すことができる。

液体ガリウムの抜出は、第１図に示す液体ガリウム柱を
用いる方式の他、第２図に示すように、予備真空保持室
４０を介して行うことができる。即ち、真空分解容器ａ
に連結する液体ガリウム抜出管１゜を、真空バルブ４１
及び４２で区画された予備真空保持室４０を介して液体
ガリウム受は容器１２内に導入する。このような抜出装
置を用いて液体ガリウムの抜出しを行うには、真空バル
ブ４１．４２及び大気バルブ４６を閉にし、真空バルブ
４４を開にして、排気管４３を介して予備真空保持室４
０内を排気し、真空にした後、真空バルブ４４を閉にし
、真空バルブ４１を開にすることにより液体ガリウムを
容器ａから予備真空保持室４０に移す。次に、大気バル
ブ４６を開にし、さらに真空バルブ４２を開にすること
により、予備真空保持室４０内の液体ガリウムをガリウ
ム受は容器１２に回収することができる。４７は目皿板
又はフィルターであり、未分解の固体砒化ガリウム相と
液体ガリウム相とを分離するものである。

配管５０は、ガリウム化合物の熱分解により生成した液
体ガリウム相９を撹拌するための不活性ガス配管であり
、バルブ５１を介して、液体ガリウム抜出管１０の管壁
に接続開口している。

真空砒素回収容器すは砒素析出室１６を有し、砒素輸送
管Ｃを介して真空分解容器ａから抜出された気体状の砒
素を冷却固形化する機能を有するものである。第１図に
示したものにおいては、その外周に水冷ジャケット２０
を有して、ｉｏｏ’ｃ以下の温度に冷却された砒素析出
室１６が形成され、この部分の容器内壁が冷却面となり
、この冷却面上で気体状砒素が冷却され、その冷却面に
固形物として析出される。この容器内壁に析出した固体
状砒素はモータＩ９によって回転されるスクレーパー１
８によって内壁から剥離させることができる。また、こ
の真空砒素回収容器すは、フィルター３０を有する排気
管３１を介して真空装！ｉ！２１に連結する。この真空
装置２１は、真空分解容器ａ及び真空砒素回収容器す内
を真空にするためのものである。この真空砒素回収容器
すの下部には、真空バルブ２２及び２３で区画された予
備真空保持室２４を介して砒素抜出管２８が連結する。

また、予備真空保持室２４は、真空バルブ２５を介して
真空装置２７に連絡すると共に、大気バルブ２６を介し
て大気に連絡する。真空砒素回収容器す内に回収された
固体状砒素を系外へ抜出すためには、真空バルブ２２．
２３及び大気バルブ２６を閉にし、真空バルブ２５を開
にして真空装Ｍ２７により予備真空保持室２４を真空に
した後、真空バルブ２５を閉にし、次に真空バルブ２２
を開いて固体状砒素を予備真空保持室２４内に移した後
、真空バルブ２２を閉にし１次いで大気バルブ２６を開
にして予備真空保持室２４内を大気圧にした後真空バル
ブ２３を開にして、予備真空保持室２４内の固体状砒素
を砒素抜出管２８を介して砒素受は容器２９に移す。こ
のようにして、真空砒素回収容器す内を真空にしたまま
その内部に回収された固体状砒素を受は容器２９に抜出
すことができる。

なお、第１図に示した装置において、真空分解容器ａの
放熱部以外の部分、砒素輸送管Ｃ及び真空砒素回収容器
すの冷却部以外の部分には保温又は加熱部材を用いて、
気体状砒素の器壁への析出を防止する。

原料の予備真空保持室４から容器ａ内への供給は、第１
図に示すように、自然落下方式でもよいが、マニュプレ
ータを用いて行うこともできる。また、容器ａから真空
バルブ３への高温輻射熱を遮断するために、真空バルブ
３と蓉器ａとの間に、輻射熱遮断スクリーンを配設し、
原料供給時のみこのスクリーンを開くようにすることが
できる。さらに、真空分解容器ａは、第１図に示す如き
縦型の他、傾斜型のものとすることも可能である。

次に、前記した装置系を用いて砒化ガリウム含有物から
ガリウムと砒素の回収方法について説明する。

装置の操業開始に先立ち、先ず、液体ガリウムを原料投
入口１から、真空バルブ２、予備真空保持室４及び真空
バルブ３を介して真空分解容器ａ内に装入し、第１図に
示す如きガリウム液体柱を形成する６次いで、原料砒化
ガリウム含有物を同様にして真空分解容器ａ内に装入す
る。この場合、液体ガリウム貯溜容器１１に付設された
バルブ１５を閉じておく。

次に、真空分解容器ａに連結する真空バルブ２゜３及び
真空砒素回収容器すに連結する真空バルブ２２゜２３を
閉じ、真空装置２１を駆動させて、それら真空容器ａ、
　ｂ内′□を真空に保持した後、加熱炉１３により真空
分解容器ａの加熱を開始し、容器ａ内の原料を高温に加
熱する。この原料の加熱は、温度１０００〜１３００℃
、砒素析出窒出ロ圧力１００＋ｍｍＨｇ以下で行われる
。また、配管５０から不活性ガスを導入し、不活性ガス
をガリウム液体中を上昇させ、ガリウム液相に導き、こ
こでガリウム液相を撹拌させた後、気相部へ放出させる
。

このようにして砒化ガリウム含有物の真空熱分解を行う
と、それに含まれる砒素受は昇華し、気体となって輸送
管Ｃを通って真空砒素回収容器す内に拡散する。また、
砒化ガリウム含有物に含まれるガリウム分は液体ガリウ
ムとなる。この液体ガリウムは、高温においては砒化ガ
リウム含有物からなる固相８はガリウム液相９の上に形
成され、両者は明確に相分離される。この真空熱分解で
生成した液体ガリウムは、配管５０から圧入された不活
性ガスにより撹拌され、液体ガリウム中に含まれる気体
状の砒素の気相への放散が、この撹拌により促進される
。その結果、液体ガリウム中に溶解していた砒化ガリウ
ムの円滑な熱分解が達成される。ガリウム抜出管１０を
通ってガリウム貯蔵容器１１に抜出され、ここから開放
したバルブ１５を介してガリウム受は容器１２にオーバ
ーフローされ１回収される。

真空砒素回収容器す内に拡散した気体状砒素、水冷ジャ
ケット２０を周囲に有する砒素析出室１６の冷却周壁面
に固形物として析出する。この周壁に析出した固体状砒
素はスクレーバー１８で周壁からかき落され、真空容器
すの底部に溜まる。そして、必要に応じ、前記で詳述し
たようにして、予備真空保持室２４内にいったん移され
た後、砒素抜出管２８を通して抜出され、砒素受は容器
２９に回収される。

前記のようにして、一定時間砒化ガリウム含有物の真空
熱分解を行い、真空容器ａ内の砒化ガリウム含有物の量
が少なくなると、前記で詳述したようにして、新しい砒
化ガリウム含有物を原料投入口１から、予備真空保持室
４を介して真空容器ａ内に供給し、真空熱分解を継続す
る。

以上１Ｍ料として砒化ガリウム含有物を用いた例につい
て示したが、第１図に示した装置系は、原料としてリン
化ガリウム含有物を用いる場合にもそのまま適用される
もので、この場合には、ｂは真空リン回収容器、Ｃは気
体状リン輸送管、１６はリン析出室、２８は固体状リン
抜出管、２９はリン受は容器を構成する。

本発明で用いる被処理原料は、砒化ガリウム及び／又は
リン化ガリウムを含むガリウム含有物であり、例えば、
（１）ウェーハースクラップ、（２）テールやその他の
塊状物、（３）切削又は切断くずを切削油と共に含む泥
状物又はその乾燥物、（４）ＬＰＥ工程からの廃ガリウ
ム、（５）砒化ガリウムやリン化ガリウムを熱分解して
得られた分解残液物から液体金属ガリウムを分離した後
の残液物等がある。

これらの被処理原料のうち、（１）、（２）、（４）及
び（５）の被処理原料は、特別な予備処理を施さずに直
接真空分解容器に供給することができるが、前記（３）
の被処理原料は真空熱分解を行うに先立って適当な予備
処理を施すことが望ましい。

前記（３）の被処理原料は、半導体単結晶を真円柱化す
るための切削工程や、その半導体真円柱をウェハーへ切
断するための切断工程において発生した微粉と切削液と
の混合物からなる泥状物であり、通常、ドロスと呼称さ
れる。このようなドロスは、切削工程や切断工程におい
て混入した多量かつ多種類の不純物を含む他に、鉱油タ
イプ又は水溶性タイプの切削液や切削助剤を含むために
非常に取扱いの困麺なものである。このような被処理原
料は、真空熱分解に先立ち、これを予備処理し、微粉末
が相互に結合した焼結物とする。このような焼結物を得
るには、被処理原料を、そのまま又は無機系もしくは有
機系バインダーと混合して乾燥し１次いで焼成すること
によって得ることができる。この場合、被処理原料は、
その乾燥工程に先立ち、成形処理を施すことができる。

乾燥温度は５０〜３００℃であり、焼成温度は３００〜
１０００℃であり、乾燥工程及び焼成工程は、真空条件
及び／又は不活性ガス雰囲気中で実施される。このよう
な焼結物は、切削屑や切断屑の微粉が相互に結合した塊
状物や成形物であることから、微粉やドロスの場合とは
異なり、非常に取扱いやすいものであり、真空分解処理
に付すことができる。また、前記の予備処理は、ドロス
に限らず、ドロスの乾燥微粉末物、その他の微粒子状の
ガリウム含有物に対しても適用し得るものである。

前記の無機系や有機系バインダーとしては、従来微粉末
粒子相互の結合化のために用いられている従来公知の各
種の物質を用いることができる。

このようなものとしては、無機系バインダーとして、例
えば、アルミナとドロゾル、アルミナシリカヒドロシル
、シリカヒドロシル、マグネシアヒドロシル、チタニア
ヒドロル等の無機酸化物ヒドロシル及びその先駆体、ア
タパルジャイト等の粘土鉱物、硅酸アルカリ、アルミン
酸化アルカリ、アルミニウム塩、セメント、石灰等があ
る。本発明では、ガリウムや砒素、リン等も用いること
ができ、さらに、ウェーハーの研摩工程において発生す
る泥状スクラップやこの泥状スクラップから得られたヒ
ドロシル等を用いることができる。また、有機系バイン
ダーとして、例えば、殿粉、ポリビニルアルコール、カ
ルボキシメチルセルロース、アルギン酸等の有機高分子
の他、ポリエチレングリコール、グリセリン、ピッチ、
グラファイト等も用いることができる。バインダーとし
ては。

ガリウム含有物の高温真空分解に際し、液体となるもの
の使用が好ましく、金属ガリウムの使用が有利である。

本発明で用いる被処理原料としては、ガリウム含有物の
真空熱分解工程で生成した分解生成物から液体ガリウム
を分離した後の分解残渣物の使用が有利である。このよ
うな残液物は被処理原料であるガリウム含有物よりもガ
リウム含有率が高く、融点が低いので、本発明で用いる
被処理原料として好適なものであり、そのまま被処理原
料として用いられる他、他の被処理原料と混合して用い
ることもできる。

本発明において、液体ガリウム９の撹拌は種々の方法で
行うことができ、第１図に示すように、不活性ガスをガ
リウム液体の下部から導入する方法の他、撹拌翼等を用
いる方法、原料保持容器を振動させたり、ゆさぶる方法
等を単独又は組合せて用いて実施することができる。不
活性ガスを液体ガリウムへ導入する場合、各種の方法が
あり、第１図に示すように、ガリウム液体柱へ導入する
方法の他、真空分解容器ａの底部から導入する方法及び
真空分解容器ａの底部にガス分配器を配設し、このガス
分配器を介して導入する方法等がある。不活性ガスとし
ては、液体ガリウムと反応しないものであればどのよう
なものでも使用できるが、通常は、窒素ガス、水素ガス
、ヘリウムガス、ネオンガス、アルゴンガス等が用いら
れる。不活性ガスの液体ガリウムに対する送入速度は、
不活性ガス分圧が１００ｍｍＨｇ以下、好ましくは２０
ｍｍＨｇ以下になるように調節する。この調節は１分解
炉内における不活性ガス導入バルブの開度や、真空排気
速度を変えることにより行われる。

真分解容器ａにおける真空熱分解温度は、ガリウム化合
物の熱分解温度以上であり、砒化ガリウムの場合は、１
０００〜１３００℃程度であり、リン化ガリウムの場合
は、　１０００〜１２００℃程度である。真空条件は、
砒素やリンの蒸気圧を除く圧力が１００＋ａ＋＋＋Ｈｇ
以下、好ましくは２０ｍａ＋Ｈｇ以下になるような条件
が採用される。

真空熱分解残渣物は、液体ガリウムと共に、被処理原料
中の不純物や未反応のガリウム化合物を含み、液体ガリ
ウムを回収するために、濾過処理される。この濾過処理
は、５０メツシユより小さな網目を持つフィルター、例
えば、濾布、濾紙、メタルフィルター、セラミックフィ
ルターを用いて行うことができる。この濾過処理は、第
１図に示すような連続分解装置では、真空分解容器底部
にあらかじめ配置したフィルター４７で行われ、バッチ
方式の熱分解装置では、真空熱分解後、別の濾過装置を
用いて行われる。このようにして得られる金属ガリウム
は、被処理原料中に由来するインジウムを除くと、純度
が極めて高く、通常、９９．９９％以上の純度を有する
。また、濾過残渣物は、主としてガリウム比率の高いガ
リウム化合物からなるので、再び被処理原料として真空
熱分解工程へ循環使用されるが、この場合、その一部は
、頁物熱分解工程へ供給する被処理原料の不純物濃度が
一定値以下となるように、系外へ分離される。

〔効　　果〕

本発明によれば、砒化ガリウムやリン化ガリウムからな
る被処理原料を真空熱分解する際に液体ガリウム中から
の砒素やリンの分相への放散が促進され、被処理原料の
熱分解率を向上させることができる。

本発明の方法は、第１図に示した連続式に限らず、バッ
チ式、あるいは竪型、横型の装置を問わず、任意の装置
系に対する被処理原料の熱分解率向上方法として適用し
得るものである。

〔実施例〕

次に本発明を実施例によりさらに詳細に説明する。

実施例１ 沸点５０〜２００℃の軽質油分を約１８％含む砒化ガリ
ウム切削微粉からなるドロス（泥状スクラップ）を被処
理原料として用い、以下の処理を行った。

まず、原料３００ｇを外径５０ｍｍで底部と中央部にガ
ス導入管を備えた石英製反応管に入れて中央部のガス導
入管から常圧下にて窒素を１００ｃｃ／ｌｌｌ１ｎの割
合で通じながら反応管を１５０”Ｃに加熱して油分を除
去した。反応管は内径３０ｍ＋＋＋を有し、氷で冷却さ
れたトラップ（油蒸気凝縮回収管）に接続され、さらに
３方コツクを通じて大気又は真空排気装置に接続されて
いる１反応管出口からトラップ入口までは１００〜５０
０℃に加熱保温した。この油分の除去過程において、窒
素と油蒸気は１００〜１５０”Ｃに保温した配管を通っ
た後、トラップに導入され、ここで油蒸気を凝縮分離さ
れ、残りの窒素は大気に接続する３方コツクを通って大
気放散された。

このようにして反応管を約２時間、１５０”Ｃに保って
油分を除去した後、窒素を通じながら約８５０℃に昇温
しで２時間保ち、乾燥物コーキングと焼結を行った。こ
のコーキング焼結過程においては、反応管の上部及びト
ラップ入口に分解蒸気が付着するのが見られ、反応管出
口の付着物（液状）はやがて黒色物に変化することが認
められた。なお、別の実験によると、同一原料を上記と
同様の条件で乾燥・コーキング・焼結処理したものには
、炭素２．６％、ガリウム４６％、砒素４５％、その他
の不純物としてＩｎ％Ｐ、Ｓｉ、　Ｆｅ、Ａｌｌ　、　
Ｎａ、Ｃａ、　Ｍｇ、　Ｃｕ、　ＣＱ等が金属換算で約
５ｚ含まれていた。

次に、前記焼結処理を終了したのち、中央部の窒素導入
管入口を閉じ、トラップを３方コツクを介して真空排気
装置に接続して真空排気しつつ反応管加熱温度を１１０
０℃に昇温しで焼結処理物を熱分解した。この場合、反
応管からトラップまでの配管は４５０〜５００℃に昇温
しで配管途中への砒素の析出を防止した。また、この工
程では真空度を上げるためにトラップを液体窒素で冷却
した。真空排気とともに真空度が０．ｌｍｍＨｇ以下に
到達するのが認められ、砒素の析出は１０５０℃付近か
ら著しくなることが認められた。

前記実験において、反応管温度が１１００℃に達してか
ら１時間後に反応管底部への窒素吹込み管入口バルブを
開けたところ、窒素ガスが容易に流れることから導入原
料が反応管内で液状物となっていることを確認したので
、ガス導入バルブの開度を調節して反応管内の窒素ガス
分圧が５〜２０ａｕａＨｇとなるように窒素ガスを流し
て液状物を撹拌しつつ。

さらに２時間反応させた。反応終了後、反応管内の分解
残渣物を２００メツシユのナイロン濾布を用いて２回濾
過して金属ガリウムを１０９．０ｇ回収した。

この金属ガリウムを発光分光分析法により半定量分析し
たところ１、Ｆｅのみ１〜１０ｐｐｍ＋認められた。他
に原子吸光分析によりＩｎが２．４％、比色分析により
Ａｓが０．４ｐｐｍ認められた。

比較例 実施例で示した実験において１１００℃において原料を
ガス撹拌することなく　１１００℃にて３時間反応させ
たところ、回収ガリウム量は９２．８ｇであった。

またこれを分析したところ、Ｆｅ、　Ｃａ、　Ｍｇが１
〜１０ｐｐｒｓ、　Ａｓが０．６ｐｐａ＋、Ｉｎが２．
８％含まれていることが認められた。これより原料の液
状物をガス撹拌しない場合においてはガリウム回収率が
明らかに小さいことが認められる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による砒化ガリウム及び／又はリン化ガ
リウム含有物からのガリウム及び砒素及び／又はリン回
収装置系の説明図である。第２図は真空分解容器ａから
の液体ガリウムの抜出しにおいて、第１図に示したもの
とは別の実施例を示す装置説明図である。 ２．３，２２，２３，４１，４２・・・真空バルブ、４
，２４．４０・・・予備真空保持室、１０・・・液体ガ
リウム抜出管、２８・・・固体状砒素（又はリン）抜出
管、１３・・・加熱炉、１８・・スクレーパー、ａ・・
・真空分解容器、ｂ・・・真空砒素（又はリン）回収容
器、Ｃ・・・気体状砒素（又はリン）輸送管。 特許出願人　千代田化工建設株式会社 手続補正書 昭和６３年　７月　１２日 特許庁長官　　吉　１）　文　毅　　殿１、事件の表示 昭和６２年特許願第１０２７５１号 ２、発−明の名称 ガリウム含有物の真空熱分解方法 ３、補正をする者 事件との関係　　特許出願人 住　所　　神奈川県横浜市鶴見区鶴見中央二丁目１２番
１号 氏　名　　（３２８）　　千代田化工建設株式会社代表
者　玉置正和 ４、代理人〒１５１ 住　所　　東京都渋谷区代々木１丁目５８番１０号第−
西脇ビル１１３号 氏名　（７４５０）弁理士　池浦敏明 電話（３７０）　２５３３番 ５、補正命令の日付　　　　　　　　自発６、補正によ
り増加する発明の数　　　０７、補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄 ≧　７，１つ　４ ８、補正の内容 本願明細書中において、以下の通り補正を行います。 （１）第１３頁第１０行乃至第１ｆ行の「この液体ガリ
ウムは、」を削除します。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）砒化ガリウム及び／又はリン化ガリウムを含むガ
   リウム含有物を真空熱分解して、液体ガリウムと気体状
   の砒素及び／又はリンを生成させるに際し、該液体ガリ
   ウムを撹拌し、該液体ガリウム中に含まれる砒素及び／
   又はリンの気相へ放散を促進させることを特徴とするガ
   リウム含有物の真空熱分解方法。