JPS63270394A - 流動式ダイヤモンド合成方法及び合成装置 - Google Patents
流動式ダイヤモンド合成方法及び合成装置Info
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- JPS63270394A JPS63270394A JP62103240A JP10324087A JPS63270394A JP S63270394 A JPS63270394 A JP S63270394A JP 62103240 A JP62103240 A JP 62103240A JP 10324087 A JP10324087 A JP 10324087A JP S63270394 A JPS63270394 A JP S63270394A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野〉
本発明は気相法ダイヤモンド合成方法及び該方法を実施
するための合成装置に関する。
するための合成装置に関する。
（従来の技術〉
ダイヤモンドの合成に関して高圧法や爆発法等、炭素を
原料として合成する方法や、Ｃ，１１，Ｎ、０等含む有
機化合物と水素とを混合し、マイクロ波プラズマ、高周
波プラズマ、熱フィラメント、直流放電等の励起手段に
より、該混合物を分解合成する気相法等がある０本発明
は気相法に関するものである。従来気相法は固定された
基板上に、１５Ｉ上のダイヤモンドを析出させるが、生
成条件により粒状のダイヤモンドも得られる。
原料として合成する方法や、Ｃ，１１，Ｎ、０等含む有
機化合物と水素とを混合し、マイクロ波プラズマ、高周
波プラズマ、熱フィラメント、直流放電等の励起手段に
より、該混合物を分解合成する気相法等がある０本発明
は気相法に関するものである。従来気相法は固定された
基板上に、１５Ｉ上のダイヤモンドを析出させるが、生
成条件により粒状のダイヤモンドも得られる。
（発明が解決しようとする問題点）
前述の装置においてはダイヤモンドの収得量は基板の面
積に依存するものであり、収得量を増大するには装置を
増加する必要があった。
積に依存するものであり、収得量を増大するには装置を
増加する必要があった。
本発明者らはとくに装置を増大することなく収得量を増
加する目的で種々研究の結果、合成ダイヤモンド形成の
核となる粉を流動させることにより目的を達しうること
を確認して本発明を完成した。
加する目的で種々研究の結果、合成ダイヤモンド形成の
核となる粉を流動させることにより目的を達しうること
を確認して本発明を完成した。
く問題点を解決するための手段）
即ち本発明は気相法ダイヤモンド生成反応可能状態に励
起された空間において、ダイヤモンド析出用耐熱基材粉
を流動状態に保ち、該空間内にダイヤモンド析出原料で
ある有機化合物と水素との混合物を導入して該基材粉に
ダイヤモンドを析出させることを特徴とする流動式ダイ
ヤモンド合成方法および該合成方法を実施するための、
励起手段、流動手段および加熱手段を備えた反応槽、該
反応槽に対するダイヤモンド析出用原料供給手段および
ダイヤモンド析出用耐熱基材粉供給手段を含む流動式ダ
イヤモンド合成装置に関する。
起された空間において、ダイヤモンド析出用耐熱基材粉
を流動状態に保ち、該空間内にダイヤモンド析出原料で
ある有機化合物と水素との混合物を導入して該基材粉に
ダイヤモンドを析出させることを特徴とする流動式ダイ
ヤモンド合成方法および該合成方法を実施するための、
励起手段、流動手段および加熱手段を備えた反応槽、該
反応槽に対するダイヤモンド析出用原料供給手段および
ダイヤモンド析出用耐熱基材粉供給手段を含む流動式ダ
イヤモンド合成装置に関する。
まず流動式ダイヤモンド合成方法について説明する。
本方法に用いられるダイヤモンド析出材料は従来の気相
法に用いられる材料と全く同様である。即ち、Ｃ２１１
あるいはこれにＮ、０等を含む有機化合物と水素であり
、又励起方法はマイクロ波プラズマ、高周波プラズマ、
熱フィラメント、直流放電等の公知手段である０本発明
の特徴は前述のようにダイヤモンド結晶生成のための核
を流動させることにある。この核となる物質、即ち耐熱
基材粉としては、Ｗ、ＭＯｌＴｈ、等の耐熱金属、 Ｓ
ｉＣ。
法に用いられる材料と全く同様である。即ち、Ｃ２１１
あるいはこれにＮ、０等を含む有機化合物と水素であり
、又励起方法はマイクロ波プラズマ、高周波プラズマ、
熱フィラメント、直流放電等の公知手段である０本発明
の特徴は前述のようにダイヤモンド結晶生成のための核
を流動させることにある。この核となる物質、即ち耐熱
基材粉としては、Ｗ、ＭＯｌＴｈ、等の耐熱金属、 Ｓ
ｉＣ。
ＷＣ、ＨｆＣ、ＺｒＣ、Ｃｒ＝Ｃ，、ＶＣ、ＶＣ２、Ｍ
ｏＣ。
ｏＣ。
Ｗ、Ｃ％ ＭＯ□Ｃ、Ｃｒ＜Ｃ％ＦｅユＣ％ ８４Ｃ、
ＴｉＣ１Ｓｉ３Ｎ、 、ＡＮＮ ％ＴｉＮ 、 ＴａＮ
、ダイヤモンド等のセラミックスが用いられる。そし
て実用的にとくに好ましいのはＷ％ＳｉＣ％ＷＣ、Ｍｏ
Ｃ％Ｗ２Ｃ。
ＴｉＣ１Ｓｉ３Ｎ、 、ＡＮＮ ％ＴｉＮ 、 ＴａＮ
、ダイヤモンド等のセラミックスが用いられる。そし
て実用的にとくに好ましいのはＷ％ＳｉＣ％ＷＣ、Ｍｏ
Ｃ％Ｗ２Ｃ。
ＴｉＣダイヤモンドである。
その粉体の大きさはとくに限定されないが、粉体全表面
にダイヤモンドを粉体を包みこんで析出させる場合は、
粒径が０．２〜３０ｐｍのものが実用的に好ましい、又
基材の一部のみにダイヤモンドを析出させればよい場合
は３０ＩＬｍより大きな径のものを用いることができる
。又、その上限は実用的に２００ＪＬｍ程度である。
にダイヤモンドを粉体を包みこんで析出させる場合は、
粒径が０．２〜３０ｐｍのものが実用的に好ましい、又
基材の一部のみにダイヤモンドを析出させればよい場合
は３０ＩＬｍより大きな径のものを用いることができる
。又、その上限は実用的に２００ＪＬｍ程度である。
ダイヤモンド析出用耐熱基材粉を流動状態に保つ方法と
しては、流動法、振動床法、移動床法等公知の粉体流動
手段が適用できる。
しては、流動法、振動床法、移動床法等公知の粉体流動
手段が適用できる。
次に本発明の装置の実用的に好適な代表例を示す第１図
、第２図にもとづいて説明する。
、第２図にもとづいて説明する。
第１図においてｌは反応槽で、槽内上部にモリブデン振
動皿２が設けられ、振動皿２には加熱ヒーター３、励起
手段であるＷフィラメント４゜が設けられている。
動皿２が設けられ、振動皿２には加熱ヒーター３、励起
手段であるＷフィラメント４゜が設けられている。
そして振動皿２の下方には電磁振動器５が設けられ、振
動皿２を振動させることができる。なお振動皿２と電磁
振動器５との間には熱遮蔽板６が設けられ、電磁振動器
が振動皿上部の熱による影響をうけることを防いでいる
。７はダイヤモンド析出原料である有機化合物と水素と
の混合物供給管、８はダイヤモンド析出用耐熱基材粉供
給管、９は製品ダイヤモンド結晶排出管、１０は各供給
管よりのガス体用の排出管である。
動皿２を振動させることができる。なお振動皿２と電磁
振動器５との間には熱遮蔽板６が設けられ、電磁振動器
が振動皿上部の熱による影響をうけることを防いでいる
。７はダイヤモンド析出原料である有機化合物と水素と
の混合物供給管、８はダイヤモンド析出用耐熱基材粉供
給管、９は製品ダイヤモンド結晶排出管、１０は各供給
管よりのガス体用の排出管である。
第１図の本発明の装置を用いて本発明の方法を実施する
ための例を示す。
ための例を示す。
電磁振動器５によりモリブデン振動皿２を振動状態に保
持し、Ｗフィラメント４．加熱ヒーター３にそれぞれ通
電して振動皿２の上部空間を励起状態にする。この励起
状態の部分に、ダイヤモンド析出原料供給管７より有機
化合物と水素の混合物を、耐熱基材粉供給管より耐熱金
属又はセラミックス粉体な例えばエタノールに懸濁させ
て前記励起状態の空間に導入すると、エタノールは振動
皿に達する前、又は達した後に蒸発し粉体は振動皿上の
空間においてよく分散し、流動状態に保持された運動空
間を形成する。水素と有機化合物との混合物は前記の耐
熱基材粉が流動状態に保持されている励起状態の空間に
導入されると直ちに分解し、ダイヤモンドが合成され、
流動状態の粉体表面に析出し、ダイヤモンド粒子を生成
する。
持し、Ｗフィラメント４．加熱ヒーター３にそれぞれ通
電して振動皿２の上部空間を励起状態にする。この励起
状態の部分に、ダイヤモンド析出原料供給管７より有機
化合物と水素の混合物を、耐熱基材粉供給管より耐熱金
属又はセラミックス粉体な例えばエタノールに懸濁させ
て前記励起状態の空間に導入すると、エタノールは振動
皿に達する前、又は達した後に蒸発し粉体は振動皿上の
空間においてよく分散し、流動状態に保持された運動空
間を形成する。水素と有機化合物との混合物は前記の耐
熱基材粉が流動状態に保持されている励起状態の空間に
導入されると直ちに分解し、ダイヤモンドが合成され、
流動状態の粉体表面に析出し、ダイヤモンド粒子を生成
する。
第２図は励起手段がマイクロ波等である本発明の装置で
ある。
ある。
図においてｌａは反応槽、槽内上部にモリシデン振動皿
２ａが設けられているのは第１図と同様である。２１は
マイクロ波導入管、２２はプラズマの位置を調節可能に
設けられたブランクャーである。
２ａが設けられているのは第１図と同様である。２１は
マイクロ波導入管、２２はプラズマの位置を調節可能に
設けられたブランクャーである。
そして振動皿２ａの下方には第１図と同様熱遮蔽板６ａ
を介して電磁振動器５ａが設けられ振動皿を振動させる
。 ７ａは有機化合物と水素との混合物供給管、８ａは
ダイヤモンド析出用基材供給管、１０ａはガス体排出管
、なおモリブデン振動皿は石英ガラス管により支持され
ている。
を介して電磁振動器５ａが設けられ振動皿を振動させる
。 ７ａは有機化合物と水素との混合物供給管、８ａは
ダイヤモンド析出用基材供給管、１０ａはガス体排出管
、なおモリブデン振動皿は石英ガラス管により支持され
ている。
この装置による場合は励起手段がマ・イクロ波の導入で
ある以外、第１図の装置と同様に本発明の方法を実施す
ることができる。
ある以外、第１図の装置と同様に本発明の方法を実施す
ることができる。
（発明の効果〉
本発明におけるダイヤモンドの収得率は、従来の固定皿
式気相法に比して、同−皿面積において、収得量、収得
率も著しく増大している。
式気相法に比して、同−皿面積において、収得量、収得
率も著しく増大している。
実施例１
第１図に示す装置を用いてダイヤモンド結晶を合成した
。
。
装置の仕様
反応槽 高さ１８０■、半径６０冒■、内容１１１２リ
ツトル、モリブデン製蒸発皿（長方形）８０謹■×３０
ｍｍ、Ｗヒラメントと振動皿との距離１０ｍｍ。
ツトル、モリブデン製蒸発皿（長方形）８０謹■×３０
ｍｍ、Ｗヒラメントと振動皿との距離１０ｍｍ。
電磁振動器を０．７０ ＫＨ，で振動させる。
加熱ヒーター、石英管にニクロム線を用いたもの。
以上の装置を用いフィラメント温度を２１００℃、加熱
ヒータ一温度を７００°Ｃに保ち、反応槽の反応圧力を
１５０Ｔｏｒｒとし、（Ｃ１ｌｉ） ｔ ＣＯ／Ｈａ
２． ＯＶＯｌ、％の混合＄ （Ｈｚ ２００ ｃｃ／
ｗｉｎ）を供給、一方５ｉｃ（平均粒径３ｐｍ）の粉体
５０■ｇを振動させた。
ヒータ一温度を７００°Ｃに保ち、反応槽の反応圧力を
１５０Ｔｏｒｒとし、（Ｃ１ｌｉ） ｔ ＣＯ／Ｈａ
２． ＯＶＯｌ、％の混合＄ （Ｈｚ ２００ ｃｃ／
ｗｉｎ）を供給、一方５ｉｃ（平均粒径３ｐｍ）の粉体
５０■ｇを振動させた。
５時間反応させ、生成物を得た。生成物は平均粒径５．
７．Ｂｍのダイヤモンド多結晶体約３５０ｇであった。
７．Ｂｍのダイヤモンド多結晶体約３５０ｇであった。
なおＸ線回析の測定により生成物はダイヤモンドである
ことを確認した。
ことを確認した。
実施例２
反応管の直径が５０閣膳φであり、マイクロ波導入管が
接合しており、かつ、振動皿底が：１０ｍ−φであって
反応部高さ１００ ｍｍφ内に振動器が収容されている
第２図に示す本発明の装置を用い次の如くダイヤモンド
を合成した。
接合しており、かつ、振動皿底が：１０ｍ−φであって
反応部高さ１００ ｍｍφ内に振動器が収容されている
第２図に示す本発明の装置を用い次の如くダイヤモンド
を合成した。
即ち振動皿の振動数を０．４ ＫＨｚ 、真空度を６０
Ｔｏｒｒ、入力３５０Ｗ、２．４５ ＧＨｚのマイクロ
波を導入、ダイヤモンド析出原料としてＣＨ４／Ｈｚ
（水素流量２００ ｃｃ／ｗｉｎ ） 、 １．５ ｖ
ｏ１％を供給、基材粉として平均粒径１０．４ｇ、ｍの
Ｗ８０鳳ｇを振動させた。
Ｔｏｒｒ、入力３５０Ｗ、２．４５ ＧＨｚのマイクロ
波を導入、ダイヤモンド析出原料としてＣＨ４／Ｈｚ
（水素流量２００ ｃｃ／ｗｉｎ ） 、 １．５ ｖ
ｏ１％を供給、基材粉として平均粒径１０．４ｇ、ｍの
Ｗ８０鳳ｇを振動させた。
１４時間反応させた結果、平均粒径１８．２ｇｍの多結
晶ダイヤモンド粒８７．３ ｔａｇを得た。
晶ダイヤモンド粒８７．３ ｔａｇを得た。
生成物をレザーラマン分光法で測定し、１３３４ｃｍ−
’に鋭いピークを検出し、ダイヤモンドの生成を確認し
た。
’に鋭いピークを検出し、ダイヤモンドの生成を確認し
た。
第１図、第２図はそれぞれ本発明方法を実施するための
本発明の装置の代表的な例を示す。 図中１．ｌａ−反応槽、２．２ａ−振動皿、３−・・加
熱ヒーター、４・−ｗフィラメント、５．５ａ・・・電
磁振動器、７．７ａ・・・ダイヤモンド析出原料供給管
、８．８ａ−ダイヤモンド析出用基材供給管、２１・・
・マイクロ波導入管。 第１図 電膵振動尋
本発明の装置の代表的な例を示す。 図中１．ｌａ−反応槽、２．２ａ−振動皿、３−・・加
熱ヒーター、４・−ｗフィラメント、５．５ａ・・・電
磁振動器、７．７ａ・・・ダイヤモンド析出原料供給管
、８．８ａ−ダイヤモンド析出用基材供給管、２１・・
・マイクロ波導入管。 第１図 電膵振動尋
Claims (3)
- （１）気相法ダイヤモンド生成反応可能状態に励起させ
た空間において、ダイヤモンド析出用耐熱基材粉を流動
状態に保ち、該空間内にダイヤモンド析出原料である有
機化合物と水素との混合物を導入して該基材粉にダイヤ
モンドを析出させることを特徴とする流動式ダイヤモン
ド合成方法。 - （２）励起手段、流動手段および加熱手段を備えた反応
槽、 該反応槽に対するダイヤモンド析出用原料供給手段およ
びダイヤモンド析出用耐熱基材粉供給手段 を含む流動式ダイヤモンド合成装置。 - （３）励起手段はマイクロ波プラズマ、高周波プラズマ
、熱フィラメント、および直流放電である特許請求の範
囲第２項の流動式ダイヤモンド合成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62103240A JPS63270394A (ja) | 1987-04-28 | 1987-04-28 | 流動式ダイヤモンド合成方法及び合成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62103240A JPS63270394A (ja) | 1987-04-28 | 1987-04-28 | 流動式ダイヤモンド合成方法及び合成装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63270394A true JPS63270394A (ja) | 1988-11-08 |
Family
ID=14348919
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62103240A Pending JPS63270394A (ja) | 1987-04-28 | 1987-04-28 | 流動式ダイヤモンド合成方法及び合成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63270394A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5110405A (en) * | 1988-06-09 | 1992-05-05 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method of manufacturing single-crystal diamond particles |
| US6015597A (en) * | 1997-11-26 | 2000-01-18 | 3M Innovative Properties Company | Method for coating diamond-like networks onto particles |
| US6265068B1 (en) | 1997-11-26 | 2001-07-24 | 3M Innovative Properties Company | Diamond-like carbon coatings on inorganic phosphors |
| US20120085284A1 (en) * | 2010-10-07 | 2012-04-12 | Dassel Mark W | Mechanically fluidized reactor systems and methods, suitable for production of silicon |
| US9365929B2 (en) | 2012-05-25 | 2016-06-14 | Rokstar Technologies Llc | Mechanically fluidized silicon deposition systems and methods |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59137311A (ja) * | 1983-01-21 | 1984-08-07 | Natl Inst For Res In Inorg Mater | 多結晶質ダイヤモンドの合成法 |
| JPS60231494A (ja) * | 1984-04-27 | 1985-11-18 | Showa Denko Kk | ダイヤモンド超微粉の製造法 |
| JPS62278197A (ja) * | 1986-05-27 | 1987-12-03 | Yoichi Hirose | ダイヤモンド合成方法 |
| JPS63156009A (ja) * | 1986-12-19 | 1988-06-29 | Natl Inst For Res In Inorg Mater | ダイヤモンド微粉末の合成法 |
-
1987
- 1987-04-28 JP JP62103240A patent/JPS63270394A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59137311A (ja) * | 1983-01-21 | 1984-08-07 | Natl Inst For Res In Inorg Mater | 多結晶質ダイヤモンドの合成法 |
| JPS60231494A (ja) * | 1984-04-27 | 1985-11-18 | Showa Denko Kk | ダイヤモンド超微粉の製造法 |
| JPS62278197A (ja) * | 1986-05-27 | 1987-12-03 | Yoichi Hirose | ダイヤモンド合成方法 |
| JPS63156009A (ja) * | 1986-12-19 | 1988-06-29 | Natl Inst For Res In Inorg Mater | ダイヤモンド微粉末の合成法 |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5110405A (en) * | 1988-06-09 | 1992-05-05 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method of manufacturing single-crystal diamond particles |
| US6015597A (en) * | 1997-11-26 | 2000-01-18 | 3M Innovative Properties Company | Method for coating diamond-like networks onto particles |
| US6197120B1 (en) | 1997-11-26 | 2001-03-06 | 3M Innovative Properties Company | Apparatus for coating diamond-like networks onto particles |
| US6265068B1 (en) | 1997-11-26 | 2001-07-24 | 3M Innovative Properties Company | Diamond-like carbon coatings on inorganic phosphors |
| US6548172B2 (en) | 1997-11-26 | 2003-04-15 | 3M Innovative Properties Company | Diamond-like carbon coatings on inorganic phosphors |
| US20120085284A1 (en) * | 2010-10-07 | 2012-04-12 | Dassel Mark W | Mechanically fluidized reactor systems and methods, suitable for production of silicon |
| US9365929B2 (en) | 2012-05-25 | 2016-06-14 | Rokstar Technologies Llc | Mechanically fluidized silicon deposition systems and methods |
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