JPS63268149A - 情報記録媒体用原盤 - Google Patents
情報記録媒体用原盤Info
- Publication number
- JPS63268149A JPS63268149A JP10181387A JP10181387A JPS63268149A JP S63268149 A JPS63268149 A JP S63268149A JP 10181387 A JP10181387 A JP 10181387A JP 10181387 A JP10181387 A JP 10181387A JP S63268149 A JPS63268149 A JP S63268149A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- master disk
- information recording
- base material
- recording medium
- hard alloy
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は情報記録媒体の製作時にそれに案内溝等の凹凸
を設けるために用いられる情報記録媒体用原盤に関する
。
を設けるために用いられる情報記録媒体用原盤に関する
。
［従来の技術］
これまでの情報記録媒体用原盤によると、ガラス基材上
にフォトレジスト膜を塗布し、この上にレーデビームを
用いてパターンを形成し、ついでこれを原型としてニッ
ケル電鋳することによシ、ノＪ？ターンの転写された電
鋳型を製造していた。
にフォトレジスト膜を塗布し、この上にレーデビームを
用いてパターンを形成し、ついでこれを原型としてニッ
ケル電鋳することによシ、ノＪ？ターンの転写された電
鋳型を製造していた。
また、特開昭６１−１７３７３６号公報には、Ａｔ。
Ｃｒ 、 Ｆ＠ 、 Ｇ＠ 、 Ｍｅ 、 Ｎｂ 、
Ｓｓ 、 Ｓｔ 、 Ｓｍ 、 Ｔａ。
Ｓｓ 、 Ｓｔ 、 Ｓｍ 、 Ｔａ。
Ｔ・、ＴＩ、Ｖ、Ｗおよびこれらの元素の酸化物、窒化
物、ハロダン化物からなる基材の片面に７オトレジスト
をスビンコートシ、この面にレーザー光線を用いてトラ
ッキングサーゲ用のプレグルーブを露光現像し、しかる
のちプラズマエツチング等の手法を用いて基材上にプレ
グルーブを形成するというスタンＡｌの製造方法が開示
されている。
物、ハロダン化物からなる基材の片面に７オトレジスト
をスビンコートシ、この面にレーザー光線を用いてトラ
ッキングサーゲ用のプレグルーブを露光現像し、しかる
のちプラズマエツチング等の手法を用いて基材上にプレ
グルーブを形成するというスタンＡｌの製造方法が開示
されている。
しかしながら、従来のニッケル電鋳型は、材質本来の硬
度が低いために、耐久性が低く、また製作時間も長いこ
とからコストが高くつく問題点がらる。
度が低いために、耐久性が低く、また製作時間も長いこ
とからコストが高くつく問題点がらる。
また上記公報に記載された基材にしても、耐久性の高い
と思われている材料のものは、スタンノ母−とじて使用
するための外径加工やネジ加工等の高精度機械加工が難
しいという問題点がおる。
と思われている材料のものは、スタンノ母−とじて使用
するための外径加工やネジ加工等の高精度機械加工が難
しいという問題点がおる。
［発明が解決しようとする問題点］
本発明の目的は、高精度機械加工等が容易に行なえ、耐
久性の高い低コストの情報記録媒体用原盤を提供するこ
とにある。
久性の高い低コストの情報記録媒体用原盤を提供するこ
とにある。
Ｅ問題点を解決するための手段及び作用コ本発明の情報
記録媒体用原盤は、スタンノや一基材が超硬合金からな
ることを特徴とする。
記録媒体用原盤は、スタンノや一基材が超硬合金からな
ることを特徴とする。
以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例に基づいて詳
しく説明する。
しく説明する。
［実施列］
第１図において、１は超硬合金製の基材、２はトラック
部、３は記録部であシ、トラック部２は光学的に鏡面も
しくは散乱面、記録部３は光学的に鏡面である。
部、３は記録部であシ、トラック部２は光学的に鏡面も
しくは散乱面、記録部３は光学的に鏡面である。
このような情報記録媒体用原盤は次に述べるような工程
によシ製作することができる。
によシ製作することができる。
まず、超硬合金製の基材１に対し鏡面研磨及び必要な外
径加工を施す。次にこの鏡面研磨面に７オトレジストを
塗布し、パターニング等を行なって、所定のレジスト・
母ターンを形成する。その際、レジストパターンはトラ
ック部２を形成する部位の上にはなく、記録部３を形成
する部位の上に存在する。パターンを形成したら反応ガ
スとしてたとえばＣＦ４を用いたドライエツチング法に
よシ、所定のトラック深さにエツチングする。
径加工を施す。次にこの鏡面研磨面に７オトレジストを
塗布し、パターニング等を行なって、所定のレジスト・
母ターンを形成する。その際、レジストパターンはトラ
ック部２を形成する部位の上にはなく、記録部３を形成
する部位の上に存在する。パターンを形成したら反応ガ
スとしてたとえばＣＦ４を用いたドライエツチング法に
よシ、所定のトラック深さにエツチングする。
しかるのち記録部３上に残在するレジストをレジスト剥
離剤あるいは酸素プラズマによるアッシング等により除
去すると、第１図に示す情報記録媒体用原盤を得ること
ができる。
離剤あるいは酸素プラズマによるアッシング等により除
去すると、第１図に示す情報記録媒体用原盤を得ること
ができる。
本発明で用いる超硬合金とは、Ｗ、炭化物の粉体を、Ｎ
ｌ 、 Ｃｏなどを結合剤として高温で焼結したものを
指し、その硬度は一般に１７００ ｋｇ７ｘｍ２前後と
高い。他の材料としてはマルエージング鋼などの金型用
鋼があシ、これは焼入れをしても、硬度が６００東−２
程度と低い。
ｌ 、 Ｃｏなどを結合剤として高温で焼結したものを
指し、その硬度は一般に１７００ ｋｇ７ｘｍ２前後と
高い。他の材料としてはマルエージング鋼などの金型用
鋼があシ、これは焼入れをしても、硬度が６００東−２
程度と低い。
超硬合金の硬度は上述した如く高いため、これをスタン
パ−基材として用いた情報記録媒体用原盤は高耐久性を
有するばかシか精密機械加工も微細加工技術の適用も容
易で、ダイセットに取付けるための加工もトラッキング
サーブ用プレグルーブの形成も可能である。そしてニッ
ケル電鋳型に比べ短時間で製作することができる。
パ−基材として用いた情報記録媒体用原盤は高耐久性を
有するばかシか精密機械加工も微細加工技術の適用も容
易で、ダイセットに取付けるための加工もトラッキング
サーブ用プレグルーブの形成も可能である。そしてニッ
ケル電鋳型に比べ短時間で製作することができる。
［発明の効果コ
以上説明したように、本発明の情報記録媒体用原盤はス
タン／４−基材として超硬合金を用いるので、スタンパ
−に必要な鏡面加工および高精密機械加工が可能であ！
＋、１ｆｃ硬度も高いことから高耐久性を誇り、さらに
微細加工技術によるトラッキングサーゲ用プレグルーブ
の形成が容易で、しかも製作コストが安くつくという顕
著な効果を奏することができる。
タン／４−基材として超硬合金を用いるので、スタンパ
−に必要な鏡面加工および高精密機械加工が可能であ！
＋、１ｆｃ硬度も高いことから高耐久性を誇り、さらに
微細加工技術によるトラッキングサーゲ用プレグルーブ
の形成が容易で、しかも製作コストが安くつくという顕
著な効果を奏することができる。
第１図は本発明の一実施例を示す情報記録媒体用原盤の
縦断面図である。 １・・・超硬合金製基材、２・・・トラック部、３・・
・記録部。
縦断面図である。 １・・・超硬合金製基材、２・・・トラック部、３・・
・記録部。
Claims (1)
- スタンパー基材が超硬合金からなることを特徴とする情
報記録媒体用原盤。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10181387A JPS63268149A (ja) | 1987-04-27 | 1987-04-27 | 情報記録媒体用原盤 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10181387A JPS63268149A (ja) | 1987-04-27 | 1987-04-27 | 情報記録媒体用原盤 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63268149A true JPS63268149A (ja) | 1988-11-04 |
Family
ID=14310568
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10181387A Pending JPS63268149A (ja) | 1987-04-27 | 1987-04-27 | 情報記録媒体用原盤 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63268149A (ja) |
-
1987
- 1987-04-27 JP JP10181387A patent/JPS63268149A/ja active Pending
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