JPS6326466A - 回転機のシ−ル装置 - Google Patents
回転機のシ−ル装置Info
- Publication number
- JPS6326466A JPS6326466A JP16765386A JP16765386A JPS6326466A JP S6326466 A JPS6326466 A JP S6326466A JP 16765386 A JP16765386 A JP 16765386A JP 16765386 A JP16765386 A JP 16765386A JP S6326466 A JPS6326466 A JP S6326466A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circumferential wall
- vessel
- water tank
- outer circumferential
- rotary shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 19
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 11
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- 239000003595 mist Substances 0.000 description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
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Landscapes
- Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、腐蝕性ガスないし腐蝕性ミストの駆動部側へ
の侵入を遮断しうる回転機のシール装置に関する。
の侵入を遮断しうる回転機のシール装置に関する。
(従来技術)
この種のシール装置として、例えば特開昭53−208
273号公報に記載された発明が知られている。
273号公報に記載された発明が知られている。
これは、第2図に示すように、固定部21側に液溜り2
2を設け、一方、回転部23側には、前記液溜り22に
その先端が浸漬される円環24を設けてなるもので、こ
れにより油槽25からの油煙をシールするものであった
。
2を設け、一方、回転部23側には、前記液溜り22に
その先端が浸漬される円環24を設けてなるもので、こ
れにより油槽25からの油煙をシールするものであった
。
(発明が解決しようとする問題点)
上記従来のシール装置は、上述のような油煙の吹き出し
を防止する場合は問題ないが、例えばエツチング処理な
どで用いるフッ酸のような強酸に対しては、換言すれば
RfA性ガスないし腐蝕性ミストに対する構造としては
、不十分であった。
を防止する場合は問題ないが、例えばエツチング処理な
どで用いるフッ酸のような強酸に対しては、換言すれば
RfA性ガスないし腐蝕性ミストに対する構造としては
、不十分であった。
すなわち、上記構成においては、液溜り中のPH変化が
顕著となり、酸によっては発熱を伴うものもあるので、
耐薬品性のシール装置として適用するにはその改善が望
まれていた。
顕著となり、酸によっては発熱を伴うものもあるので、
耐薬品性のシール装置として適用するにはその改善が望
まれていた。
(問題点を解決するための手段)
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、上記従来
のシール装置を一歩進めて、腐蝕性ガス(ミスト)に対
しても十分適用可能なシール装置を提案せんとするもの
である。
のシール装置を一歩進めて、腐蝕性ガス(ミスト)に対
しても十分適用可能なシール装置を提案せんとするもの
である。
上記目的を達成するために本発明は、回転軸を固定台に
回転自在に支持するとともに、該回転軸に下方開口の円
筒状の鍔を設け、前記固定台には、前記鍔の下端縁が嵌
入する円環状の水槽を設け、この水槽は、内周壁を外周
壁よりも高く形成する一方、給水口を設けて外部から不
活性液を該水槽に補給し、この不活性液を前記外周壁か
ら流出させるようにしてなる回転機のシール装置を提供
するものである。
回転自在に支持するとともに、該回転軸に下方開口の円
筒状の鍔を設け、前記固定台には、前記鍔の下端縁が嵌
入する円環状の水槽を設け、この水槽は、内周壁を外周
壁よりも高く形成する一方、給水口を設けて外部から不
活性液を該水槽に補給し、この不活性液を前記外周壁か
ら流出させるようにしてなる回転機のシール装置を提供
するものである。
このように構成した場合は、水槽には給水口を経由して
絶えず不活性液が供給され、これが外周壁から流れ出る
ので、水槽内のPI(変化を生じることがなく、又発熱
する事態も回避されることとなる。
絶えず不活性液が供給され、これが外周壁から流れ出る
ので、水槽内のPI(変化を生じることがなく、又発熱
する事態も回避されることとなる。
尚、本発明において、内周壁を外周壁よりも高く形成す
る構成は、不活性液が内周壁からでなく外周壁から流出
する構造一般を意味するものであり、したがって例えば
外観上内外周壁が同一面位置を有していても、外周壁に
流出用の溝が形成さえているような場合はその溝の位置
を以て高さ関係を考慮すべきこととなる。
る構成は、不活性液が内周壁からでなく外周壁から流出
する構造一般を意味するものであり、したがって例えば
外観上内外周壁が同一面位置を有していても、外周壁に
流出用の溝が形成さえているような場合はその溝の位置
を以て高さ関係を考慮すべきこととなる。
(実施例)
以下に本発明を図示の一実施例に基いて説明する。
第1図において、回転軸1は、固定台2にベアリングな
どの保持具3で支持され、図示を省略した駆動源により
回転駆動がなされる。この回転軸1には、下方開口の円
筒状の鍔4が設けである。
どの保持具3で支持され、図示を省略した駆動源により
回転駆動がなされる。この回転軸1には、下方開口の円
筒状の鍔4が設けである。
回転軸1及び鍔4は、耐薬品の観点から、例えば使用す
る薬品がエツチング用のフッ酸である場合は、全体をフ
ッ素樹脂で製作し、又、金属を用いるときは、iii後
にフッ素樹脂をコーティングするとよい。
る薬品がエツチング用のフッ酸である場合は、全体をフ
ッ素樹脂で製作し、又、金属を用いるときは、iii後
にフッ素樹脂をコーティングするとよい。
固定台2には、前記鍔4の下端縁が嵌入する円環状の水
槽5を設ける。実施例では、水槽5は固定台2にポルト
6で螺着されており、水槽5と固定台2どの間も腐蝕性
雰囲気の侵入を阻止するため、0リング7を介装しであ
る。この0リング7には摩擦が加わることがないので、
摩耗に対処する必要はなく、当該部分の気密性は十分と
なる。
槽5を設ける。実施例では、水槽5は固定台2にポルト
6で螺着されており、水槽5と固定台2どの間も腐蝕性
雰囲気の侵入を阻止するため、0リング7を介装しであ
る。この0リング7には摩擦が加わることがないので、
摩耗に対処する必要はなく、当該部分の気密性は十分と
なる。
前記水槽5は、内周壁8を外周壁9よりも高く形成し、
又、給水口10を設けて、外部から不活性液11を該水
槽に補給するものである。液11の補給は1例えば図示
を省略したポンプ装置によりなされ、絶えず供給されて
前記外周壁9から流れ出るようにする。これにより、水
槽5内の不活性液11は常に新しいものが補給されるこ
ととなり、腐蝕性ガス (ミスト)が水槽を通過するこ
とは不可能となる。
又、給水口10を設けて、外部から不活性液11を該水
槽に補給するものである。液11の補給は1例えば図示
を省略したポンプ装置によりなされ、絶えず供給されて
前記外周壁9から流れ出るようにする。これにより、水
槽5内の不活性液11は常に新しいものが補給されるこ
ととなり、腐蝕性ガス (ミスト)が水槽を通過するこ
とは不可能となる。
(発明の効果)
本発明は以上説明したように、回転軸を固定台に回転自
在に支持するとともに、該回転軸に下方開口の円筒状の
鍔を設け、前記固定台には、前記鍔の下端縁が嵌入する
円環状の水槽を設け、この水槽は、内周壁を外周壁より
も高く形成する一方、給水口を設けて外部から不活性液
を該水槽に補給し、この不活性液を前記外周壁から流出
させるようにしてなるので、水槽には給水口を経由して
絶えず不活性液が供給され、これが外周壁から流れ出る
こととなり、水槽内のPH変化を生じることがなく、又
発熱する事態も回避することができる。しかも、外周壁
からの掖の流出は、薬品雰囲気の侵入経路とは反対方向
であり、その遮断効率を高めることができる。又、回転
軸に加わる抵抗はベアリングなどのころがり摩擦と、水
槽中の液の粘性によるものだけであるから、小さな駆動
力でも回転軸は円滑に回転することができることとなる
。
在に支持するとともに、該回転軸に下方開口の円筒状の
鍔を設け、前記固定台には、前記鍔の下端縁が嵌入する
円環状の水槽を設け、この水槽は、内周壁を外周壁より
も高く形成する一方、給水口を設けて外部から不活性液
を該水槽に補給し、この不活性液を前記外周壁から流出
させるようにしてなるので、水槽には給水口を経由して
絶えず不活性液が供給され、これが外周壁から流れ出る
こととなり、水槽内のPH変化を生じることがなく、又
発熱する事態も回避することができる。しかも、外周壁
からの掖の流出は、薬品雰囲気の侵入経路とは反対方向
であり、その遮断効率を高めることができる。又、回転
軸に加わる抵抗はベアリングなどのころがり摩擦と、水
槽中の液の粘性によるものだけであるから、小さな駆動
力でも回転軸は円滑に回転することができることとなる
。
このように本発明によれば、簡単な装置でありながら薬
品雰囲気を完全に遮断することが可能であり、小さな駆
動力であっても回転軸の円滑な回転を期待でき、又保守
点検の手間が大幅に軽減されるので、作業者による危険
な雰囲気の中での作業を回避でき、したがって作業の安
全性と効率を向上させることができるものである。
品雰囲気を完全に遮断することが可能であり、小さな駆
動力であっても回転軸の円滑な回転を期待でき、又保守
点検の手間が大幅に軽減されるので、作業者による危険
な雰囲気の中での作業を回避でき、したがって作業の安
全性と効率を向上させることができるものである。
第1図は本発明のシール装置を示す縦断面図、第2図は
従来のシール装置の縦断面図である。 1・・・回転軸 2・・・固定台4・・・鍔
5・・・水槽8・−・内周壁
9・・・外周壁10・・・給水口 11・
・・不活性液特許出願人 九州電子金属株式会社 代 理 人 弁理士 森
正 澄第1図
従来のシール装置の縦断面図である。 1・・・回転軸 2・・・固定台4・・・鍔
5・・・水槽8・−・内周壁
9・・・外周壁10・・・給水口 11・
・・不活性液特許出願人 九州電子金属株式会社 代 理 人 弁理士 森
正 澄第1図
Claims (1)
- 回転軸を固定台に回転自在に支持するとともに、該回転
軸に下方開口の円筒状の鍔を設け、前記固定台には、前
記鍔の下端縁が嵌入する円環状の水槽を設け、この水槽
は、内周壁を外周壁よりも高く形成する一方、給水口を
設けて外部から不活性液を該水槽に補給し、この不活性
液を前記外周壁から流出させるようにしたことを特徴と
する回転機のシール装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16765386A JPS6326466A (ja) | 1986-07-16 | 1986-07-16 | 回転機のシ−ル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16765386A JPS6326466A (ja) | 1986-07-16 | 1986-07-16 | 回転機のシ−ル装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6326466A true JPS6326466A (ja) | 1988-02-04 |
Family
ID=15853747
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16765386A Pending JPS6326466A (ja) | 1986-07-16 | 1986-07-16 | 回転機のシ−ル装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6326466A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0239531A (ja) * | 1988-07-29 | 1990-02-08 | Tokyo Electron Ltd | 回転処理装置及び回転処理方法 |
JP2009023744A (ja) * | 2007-07-17 | 2009-02-05 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | 旋回部の気密構造、バラ積み貨物荷役装置及び旋回部の気密保持方法 |
US8002071B2 (en) | 2004-07-30 | 2011-08-23 | Ts Tech Co., Ltd. | Passenger's weight measurement device for vehicle seat |
US8051941B2 (en) | 2005-09-30 | 2011-11-08 | Ts Tech Co., Ltd. | Passenger's weight measurement device for vehicle seat |
-
1986
- 1986-07-16 JP JP16765386A patent/JPS6326466A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0239531A (ja) * | 1988-07-29 | 1990-02-08 | Tokyo Electron Ltd | 回転処理装置及び回転処理方法 |
US8002071B2 (en) | 2004-07-30 | 2011-08-23 | Ts Tech Co., Ltd. | Passenger's weight measurement device for vehicle seat |
US8051941B2 (en) | 2005-09-30 | 2011-11-08 | Ts Tech Co., Ltd. | Passenger's weight measurement device for vehicle seat |
JP2009023744A (ja) * | 2007-07-17 | 2009-02-05 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | 旋回部の気密構造、バラ積み貨物荷役装置及び旋回部の気密保持方法 |
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