JPS63263471A - 電子チツプ部品の電気特性計測装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、電子チップ部品の電気特性を効率良くかつ正
確に計測できる計測装置に関する。

［従来の技術］ たとえば、高周波特性を評価する必要のある電子チップ
部品において、特定周波数のインピーダンス測定やイン
ピーダンス特性の解析を必要とする場合、特に測定や解
析に正確さが要求される場合には、自動化されたシステ
ムを使用せず、測定者が手で被測定ワークを測定台に載
せ、手動で測定を行なっている。その測定に際しては、
被測定ワークを子端子と一端子間に１個ずつ手で挾み込
んで測定を行なっている。

［発明が解決しようとする問題点］ 前記従来の手動による測定では、高い測定制度が得られ
るのではあるが、被測定ワークを１個ずつ端子間に手で
挾み込む作業が必要となることから、測定速度が極めて
遅く、°そのままでは工業上の利用性に乏しい。

本発明の目的は、電子チップ部品の電気的特性を手動に
よる測定の場合とほぼ同等程度に正確に計測し、かつそ
の測定速度を向上することにより、生産性の向上と品質
の向上を図ることにある。

［問題点を解決するための手段］ 本発明に係る電子チップ部品の電気特性計測装置は： 電子チップ部品を、保持しかつ測定台へ搬送する電子チ
ップ部品保持手段と、 電子チップ部品保持手段によって電子チップ部品が押付
けられることにより、電子チップ部品の電気特性を検出
する測定台と、 測定台に電気的に接続され、ｎ１定台上の電子チップ部
品の電気特性を測定する電気特性測定器とを備え、 前記測定台が、電気特性測定用の１対の端子を有し、 両端子が、電子チップ部品の電極が押付けられる板ばね
をそれぞれ有しているものである。

［作用］ 電子チップ部品は、電子チップ部品保持手段により保持
され、測定台へ搬送される。次に、電子チップ部品は、
電子チップ部品保持手段によって測鎖台に押付けられる
。

その際、電子チップ部品の電極は測定台の板ばねに押付
けられる。板ばねを、電子チップ部品保持手段による電
子チップ押付は方向に対し、弾性を保持するよう傾斜姿
勢に配置すれば、電子チップ部品の電極は板ばねに弾性
的に圧接されるとともに、電子チップ部品の電極と板ば
ねとの表面に滑りが発生する。これによって、電子チッ
プ部品の電極表面および板ばねの表面には新たな面が露
出しその部分において電気的接続がなされるので、接触
不良が起こりにくい。

測定台に電気的に接続された電気特性測定器では、前記
板ばねに接続された電子チップ部品の電気特性を測定す
る。

［実施例］ 本実施例に係る電子チップ部品の電気特性計測装置は、
第３図に示すように、電子チップ部品（図示せず）を搬
送する搬送袋ｆ＆１と、搬送装置１に電子チップ部品を
１個ずつ供給するパーツフィーダ２と、搬送装置１によ
って搬送されてきた電子チップ部品の電気的特性を検出
する測定台３と、測定台３に電気的に接続され電子チッ
プ部品のインピーダンスを測定するインピーダンス測定
器４と、電気特性計測装置全体を総合的に制御するコン
トローラ５とを備えている。

搬送装置１は、円板状の搬送テーブル１０を有している
。搬送テーブル１０の中心部には、回転軸１１が固定さ
れており、回転軸１１の回転によって搬送テーブル１０
が回転するようになっている。またこの回転軸１１はモ
ータ１２によって駆動されようになっている。一方、搬
送テーブル１０の外周側端部下面には、下方に延びる吸
引チャック１３が、搬送テーブル円周方向等間隔に多数
設けられている。吸引チャック１３の下端には、電子チ
ップ部品を吸着保持するためのチャック部（図せず）が
設けられている。各吸引チャック１３には図示しないエ
ア吸引装置が連結されており、吸引チャック１３の吸引
・停止動作は前記コントローラ５によって制御されるよ
うになっている。

前記パーツフィーダ２は搬送装置１側に延びる供給ガイ
ド２０を有している。パーツフィーダ２は多数の電子チ
ップ部品を供給ガイド２０に供給し、供給ガイド２０は
電子チップ部品を１列にして搬送装置１側に搬送するよ
うになっている。な゛お、供給ガイド２０の先端部は吸
引チャック１３のチャック部に対応し得るようになって
おり、これによって供給ガイド２０から電子部品が１個
ずつ吸引チャック１３に吸引保持されるようになってい
る。

測定台３は前記搬送装置１の吸引チャック１３の回転軌
跡の下方に配置されている。第１図に示すように、測定
台３は、主として外周側のマイナス端子３０と内周側の
プラス端子３１とからなっている。また、両端子３０．
３１はＬ形のコネクタ３２の先端部に固定されている。

前記マイナス端子３０は、第２図でも明らかなように、
概ね円板状の真鍮製部材である。マイナス端子３０の外
周部には上方に突出する円環状の突起３３が形成されて
いる。また、マイナス端子３０の中心部には上下方向に
貫通する孔３４が形成されている。前記突起３３の上端
面には、板ばね３５の基部がボルト３６によって固定さ
れている。板ばね３５の先端部は、マイナス端子３０の
′中心側に行くに従って斜め下方に延びており、概ね上
下方向に撓み得るようになっている。

マイナス端子３０の孔３４には、４フツ化エチレン樹脂
製の絶縁部材３７が同心に配置されている。絶縁部材３
７の外径は、孔３４よりもわずかに小さく、その結果マ
イナス端子３０と絶縁部材３７との間には、わずかな間
隙３８が形成されている。絶縁部材３７の上端に同心に
形成された窪み３９には、真鍮製の前記プラス端子３１
が嵌め込まれている。

プラス端子３１は、上方に突出する突出部４０を有して
いる。突出部４０の上端面には、板ばね４１の基部がボ
ルト４２によって固定されている。

板ばね４１も板ばね３５と同様に真鍮製あるいはリン青
銅製であり、その先端部は板ばね３５側に行くに従って
下方となるように斜めに形成されている。この結果、板
ばね３５，４１の配置は、第１図の方向にみて、上方に
開いた逆へ字状となっている。

前記マイナス端子３０は、前記コネクタ３２の先端部に
形成された外向きフランジ４３に載置されており、また
フランジ４３は固定台４４にＪＩＩｔ置されており、図
示しないボルトによってマイナス端子３０およびフラン
ジ４３は固定台４４に一体的に固定されている。また、
絶縁部材３７の下部には、同心に窪み４５が形成されて
おり、窪み４５がコネクタ３２の先端部に同心に外嵌さ
れている。

前記コネクタ３２は、たとえば特性インピーダンスが５
０Ω、測定範囲がθ〜４０００ＭＨｚのコネクタである
。コネクタ３２は、円筒状の真鍮製外部導体５０と、外
部導体５０内に充填された４フツ化エチレン樹脂製の絶
縁体５１と、絶縁体５１の中心に配置された真鍮製の内
部導体５２とから形成されている。内部導体５２の先端
部は、絶縁部材３７の中心部に形成された孔を貫通して
プラス端子３１の中心に形成された孔５３に嵌合され、
半田付けによって接続されている。コネクタ３２の他端
には、同軸ケーブル５４が接続されており、コネクタ３
２は同軸ケーブル５４を介してインピーダンス測定ｒＡ
４　（第３図）に電気的に接続されている。なお、板ば
ね３５，４１の上面には、吸引チャック１３に吸引され
たワーク６０の両端の電極が、たとえば３００ｇの荷重
で圧接されるようになっている。

次に、本実施例の作用を説明する。

第３図において、パーツフィーダ２の供給ガイド２０か
ら供給されるワーク（図示路）は、１個ずつ搬送装置１
の吸引チャック１３の下端部に吸引されて測定台３側に
搬送される。この搬送動作は、モータ１２による搬送テ
ーブル１０の回転動作と、吸引チャック１３の吸引動作
とによって行なわれる。吸引チャック１３に吸引固定さ
れたワークが測定台３の上方に至ると、吸引チャック１
３が下方に移動して、第１図に示すように、ワーク６０
を板ばね３５．４１に圧接させる。このとき、板ばね３
５．４１にはワーク６０の両端に形成された電極が圧接
され、両板ばね３５．４１と電気的に接続された状態に
なる。このとき、板ばね３５，４１は下方にわずかに撓
み、ワーク６０の両電極と板ばね３５．４１の表面間に
はわずかな滑りが生じて接触面を掻き下ろすことになる
。

これによって、両者間は新しい接触面で電気的に接続さ
れることになるので、板ばね３５．４１とワーク６０と
の電気的接続は常に良好となって接触不良は生じない。

しかも、測定時において、ワーク６０は突起３３で囲ま
れた空間内に配置されることから、外部からのノイズお
よび誘導の影響を受けにくい。

両板ばね３５，４１にワーク６０が接続されると、第３
図のインピーダンス測定器４によって当該ワーク６０の
インピーダンスが測定される。測定が終了すれば、ワー
ク６０はさらに搬送テーブル１０の回転によって搬送さ
れ、図示しない良品・不良品分別装置に分別される。

なお、上記実施例によれば、両端子３０．３１がコネク
タ３２と直結されていることから、誤差要因が少なく、
正確なインピーダンス測定が行なえる。両端子３０．３
１間の隙間は、概ね絶縁部材３７によって埋められてい
ることから、仮にワーク６０が吸引チャック１３から離
れたとしても、ワーク６０が狭い隙間に入り込んでしま
って取出しが困難となるような不具合は生じない。一方
、絶縁部材３７とマイナス端子３０との間には間隙＆８
が形成されていることから、ワーク６０と板ばね３５．
４１との接触面で生じたごみはそこに入り込むことにな
り、長期の連続運転が可能となる。しかも、板ばね３５
，４１を上開き逆へ字状に配置したことから、ワーク６
０のサイズが変わってもそのまま測定することができ、
またワーク６０の吸引チャック１３による押圧位置が少
々ずれても正確な測定が可能となる。しかも、板ばね３
５．４１はワーク６０に対して瞬時的な加圧による衝撃
を緩和するクッション的役目を果たすことから、ワーク
６０のクラックを防止できる。また、板ばね３５，４１
は容易に交換できることからメンテナンス作業性が高い
。

従来の手動によるインピーダンス測定と上記実施例によ
るインピーダンス測定との相関性を実験により得た結果
、ＩＭＨｚ、１００ＭＨｚにおいてそれぞれ９９．９％
以上の高い相関性が得られた。一方、上記実施例によれ
ば、従来の手動の場合に比べて時間あたり８倍もの作業
スピードになった。

「発明の効果］ 本発明に係る電子チップ部品の電気特性計測装置によれ
ば、電子チップ部品の電極が押付けられる板ばねを有し
ていることから、自動化を図っても、接触不良が起こら
ない。したがって、本発明によれば、手動の計測による
場合とほとんど変わらない精度で電子チップ部品の電気
特性を計測でき、しかも高速度で計測をすることができ
るようになる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る電子チップ部品の電気特性計測装
置の一部縦断側面図、第２図はその平面部分図、第３図
は全体構成の斜視概略図である。 ３は測定台、４はインピーダンス測定器、１３は吸引チ
ャック、３０．３１は端子、３５．４１は板ばね、６０
は電子チップ部品である。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）電子チップ部品を、保持しかつ測定台へ搬送する
   電子チップ部品保持手段と、 電子チップ部品保持手段によって電子チップ部品が押付
   けられることにより、電子チップ部品の電気特性を検出
   する測定台と、 測定台に電気的に接続され、測定台上の電子チップ部品
   の電気特性を測定する電気特性測定器とを備え、 前記測定台が、電気特性測定用の１対の端子を有し、 両端子が、電子チップ部品の電極が押付けられる板ばね
   をそれぞれ有していることを特徴とする電子チップ部品
   の電気特性計測装置。
2. （２）前記板ばねが、前記電子チップ部品保持手段によ
   る電子チップ押付け方向に対して弾性を保持するよう傾
   斜姿勢に配置されている特許請求の範囲第１項記載の電
   子チップ部品の電気特性計測装置。