JPS63259073A

JPS63259073A - 電子ビ−ム蒸発源装置

Info

Publication number: JPS63259073A
Application number: JP9203887A
Authority: JP
Inventors: Koichi Okuma; 光一大熊
Original assignee: Ulvac Inc
Current assignee: Ulvac Inc
Priority date: 1987-04-16
Filing date: 1987-04-16
Publication date: 1988-10-26
Anticipated expiration: 2011-03-27
Also published as: JPH0830267B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明はるつぼ内の物質ｔ−電子銃の出力電子ビームに
より照射して加熱蒸発させる主として真空蒸着、用の蒸
発源装置に関する。

（従来の技術）従来、この種の蒸発源装置として、例えば特公昭５１−
６０２５号公報に見られるように、励磁体の左右の磁極
板間に、るつぼとその前方下側の電子銃とを設け、該電
子銃の出力電子ビームを両磁極板間の磁場作用により彎
曲させてるつぼ内にその前側上面から導くようにし、さ
らに該るつぼ内の物質に全体的な加熱を与えるために該
出力電子ビームの通路に沼って左右１対に補助励磁コイ
ルを設け、これらのコイルを交互に逆方向に励磁して該
出力電子ビームに左右交互の偏向を生じさせるようにし
たものが知られている、１（発明が解決しようとする問題点〕前記のものは、励磁体の電流値を変化させれば、出力電
子ビームがるつぼ内の前後に移動され、同時に補助励磁
コイルを交互に励磁することにより出力電子ビームを左
右に移動させ得るので、るつぼ内の物質に全体的に出力
電子ビームを照射することが可能であるが、これら励磁
コイル、補助励磁コイルのスイープ周波数は、鉄心に巻
線したことによりうず電流が多く流れたり、巻数が多い
ためリアクタンスが大きくなるので通常の交流電源では
２２Ｈｚ以下に低下する。従って出力電子ビームで蒸発
面上にスィーブした場合、蒸発面にエネルギー密度の濃
淡が出来、均一な蒸発を行なうことが難しく、蒸着膜厚
分布の再現性が悪くなる不都合を生じる。

とりわけ、　Ｏｒ等の昇華物を蒸着する場合、出力電子
ビームの照射点の物質が昇華するので、スイープ周波数
を大きくして蒸発の偏在を防ぐことが均一な膜厚分布を
得る上で望ましい。

本発明はこうしたスイープ周波数の低下の不都合のない
電子ビーム蒸発源装置を提供することを目的とするもの
である。

（問題点を解決するための手段）本発明では、励磁コイルその他の励磁体の両外側の左右
１対の磁極板間に、るつぼとその前方下側の電子銃とを
設け、該電子銃の出力電子ビームを両磁極板間の磁場の
作用により彎曲させてるつぼ内にその前面上側から導か
せるようにしたものに於て、環状鉄心に、左右の巻き線
方向を変えた第１コイルと、巻き始めを第１コイルのも
のとずらし且つ左右の巻き線方向を変えた第２コイルと
を設けて補助コイルを構成し、これの環状鉄心を介して
前記出力電子ビーム全るつぼへ導くと共に各第１、第２
コイルへ交流を通電することにより該出力電子ビームに
前後左右の偏向を生じさせて前記問題点を解決するよう
にした。

（作用）真空中に該蒸発源装置を設置し、電子銃を作動させると
、これよυ出力する電子ビームは励磁体の磁極板間の磁
場の作用によりるつぼ内へ導かれ、るつぼ内の一蒸発物
質が蒸発するが、その際補助電子コイルの第１、第２コ
イルに通電すると、その電源周波数とほぼ同周波数で出
力電子ビームが前後左右に迅速にるつぼ内で偏向し、蒸
発面のエネルギー密度の濃淡が少なくなり、均一な蒸発
を行なえ、均一な膜厚分布の蒸着膜を形成出来る。

（実施例）本発明の実施例を別紙図面に基づき説明すると、第１図
乃至第３図に於て符号（１）は励磁コイル或は永久磁石
から成る励磁体、（２）（２）は該励磁体（１）の両外
側に前後方向に設けられ該励磁体（１）によりＮ極とＳ
極とに励磁される１対の磁極板、（３）は蒸発物質（４
）全収容して該磁極板（２）　（２）間に設けられたる
つぼ、（５）は該るつぼ（３）の前方下側に設けられた
電子銃を示し、該電子銃（５）からの出力電子ビーム（
６）を両磁極板（２）　（２）の磁場の作用によυ彎曲
させてるつぼ（３）内へその前方上側から導き、蒸発物
質（４）の加熱蒸発が行なわれるようにした。こうした
構成は従来のものと同様であり、該出力電子ビーム（６
）で蒸発物質（４）を全体的に加熱するには、該出力電
子ビーム（６）に前後左右に偏向を与えてるつぼ（３）
内へ導く必要があるが、その際該偏向の周波数即ちスイ
ープ周波数が小さいと蒸発物質（４）の蒸発面にエネル
ギー密度の濃淡を生じ、均一な蒸発を行なうことが難し
くなるのでスイープ周波数を大きくすることが望ましい
。

本発明ではこうした要望を満足すべく、出力電子ビーム
（６）を補助コイル（７）の環状内を通してるつぼ（３
）へと導くようにし、該補助コイル（７）の第１コイル
（８）と第２コイル（９）に交流を通電するようにした
。該補助コイル（７）の詳細は第３図乃至第５図示の如
くであり、環状鉄心＋ｔ４に第４図に見られるように左
右半分ずつ巻線方向を変えて第１コイル（８）を巻き付
け、これに重ねて第５図に見られるように左右半分ずつ
巻線方向を変え且つ第１コイル（８）の巻き始めの位ｆ
Ｒ，ａ℃と位相で例えば９０°ずらして第２コイル（，
９）を巻き付けることによ多構成される。そして第１コ
イル（８）及び第２コイル（９）に１つ或は２つの電源
（２）（２）から例えば５０Ｈｚの交流を通電すると、
環状鉄心（ＩＱの環内全通して導かれた出力電子ビーム
（６）は両コイル（８）　（９）により発生する磁界に
より誘導され、るつぼ（３）内で前後左右に偏向し、そ
の磁界の方向は該環状鉄心Ｑ（＞に於けるうず電流が少
なくしかもコイル（８）　（９）の巻き数を少なくして
発生させることが出来るので該電源（２）（６）の周波
数とほぼ同周波数で磁界の方向に変化を生じさせ得る。

該るつぼ（３）の蒸発面に於て出力電子ビーム（６）を
第６図のＸ方向に偏向即ちスィーブさせるには補助コイ
ル（７）にＢ２の磁束密度が必要で、Ｙ方向にスィーブ
させるにはＢ１の磁束密度が必要になるが、前記のよう
な巻き方の２つのコイル（８）（９）を一つの環状鉄心
００に設けることにより、１つの補助コイル（７）でＢ
１、Ｂ２の磁束密度を得ることが出来、各コイル（８）
　（９）への電流値を変えればＸ方向、Ｙ方向のスイー
プ範囲を制御出来る。

該補助コイル（７）は、電子線照射装置の電子線偏向器
或はイオン注入装置のイオンビームの偏向器として使用
することも可能である。

（発明の効果・）以上のように本発明によるときは、電子銃からの出力電
子ビームを、環状鉄心に左右の巻き線方向を変えた第１
コイルと、巻き始めの位置をずらし且つ左右の巻き線方
向を変えた第２コイルとを巻いて構成した補助コイルを
介してるつぼへと導き、これら第１、第２コイルに交流
を通電するようにしたので、該交流の周波数とほぼ同周
波数で出力電子ビームをるつぼ内の前後左右【偏向させ
得、蒸発物をエネルギー濃淡を少なくして均一に加熱す
ることが出来、蒸着膜の膜厚分布が均一化され特に昇華
物の蒸発を均一に行なえて有利である等の効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例の全体斜視図、第２図は第１図
の■−■線断面図、第３図は補助コイルの平面図、第４
図及び第５図は補助コイルの第１コイル及び第２コイル
の巻き線状態の説明図、第６図は使用状態の説明図であ
る。（１）・・・励磁体　　　　　（２＞　（２）・・・磁
極板（３）・・・るつぼ　　　　　（５）・・・電子銃
（６）・・・出力電子ビーム　（７）・・・補助コイル
（８）・・・ＩＥＩ　：ｌル　　　（９）・・・瀉２コ
イルαＯ・・・環状鉄心外２名

Claims

【特許請求の範囲】

励磁コイルその他の励磁体の両外側の左右１対の磁極板
間に、るつぼとその前方下側の電子銃とを設け、該電子
銃の出力電子ビームを両磁極板間の磁場の作用により彎
曲させてるつぼ内にその前面上側から導かせるようにし
たものに於て、環状鉄心に、左右の巻き線方向を変えた
第１コイルと、巻き始めを第１コイルのものとずらし且
つ左右の巻き線方向を変えた第２コイルとを設けて補助
コイルを構成し、これの環状鉄心を介して前記出力電子
ビームをるつぼへ導くと共に各第１、第２コイルへ交流
を通電することにより該出力電子ビームに前後左右の偏
向を生じさせるようにしたことを特徴とする電子ビーム
蒸発源装置。