JPH027869Y2

JPH027869Y2 -

Info

Publication number: JPH027869Y2
Application number: JP18801685U
Authority: JP
Priority date: 1985-12-06
Filing date: 1985-12-06
Publication date: 1990-02-26
Also published as: JPS6297168U

Description

【考案の詳細な説明】（産業上の利用分野）この考案は、電子ビームで蒸着材を加熱して蒸
着させ、基板等の目的物に当該蒸着材による薄膜
を形成する電子ビーム蒸着装置に関する。

（従来の技術）従来から知られている電子ビーム蒸着装置は、
第３図に示すように、陰極１２から放出した電子
ビーム１３の軌跡を、磁石１０の作る磁界で湾曲
させてるつぼ１５内に導き、当該電子ビーム１３
を蒸着材１４に照射させる。このときの電子ビー
ム１３の照射エネルギーで蒸着材を加熱して蒸発
させ、基板等の目的物に蒸着膜を形成する。

そして、この場合には、上記るつぼ１５におけ
る蒸着材１４の表面温度が均一であればあるほ
ど、基板等の目的物に形成される蒸着膜の膜質が
均一になる。特にこの傾向は、高分子の蒸着材を
用いた場合に顕著である。

そのためにこの従来の装置では、上記磁石１０
以外に電磁コイル７，８を設け、当該電子ビーム
を所定の方向に掃引するようにしている。すなわ
ち、一方の電磁コイル７で作られる磁界で、当該
電子ビーム１３を矢印５１方向に掃引し、他方の
電磁コイル８で作られる磁界で紙面に対して垂直
方向に掃引し、蒸着材１４の上記表面温度を均一
に保つようにしている。

そして、上記電磁コイル７，８で掃引磁界を発
生させるために、それぞれの電磁コイル７，８に
交流電源50，60を接続している。この交流電源
50，60の周波数は、蒸着材１４の種類や用途等に
よつて相違する。例えば、当該電子ビーム１３を
高速で掃引しなければ、蒸着材１４の表面温度を
均一にできないときには、上記交流電源50，60の
周波数を200Hz近辺の高周波数で使用することが
ある。

なを図中符号７０は陰極１２用のヒータ電源、
８０は電子ビーム１３の加速電源である。

（本考案が解決しようとする問題点）上記のようにした従来の装置では、交流電源
50，60を高い周波数で使用したときに、電磁コイ
ル７、のインダクタンスが増加して、そこに流れ
る電流が減少してしまう。そして、電磁コイル
７，８に流れる電流が減少すると、そのコイルに
よつて作られる磁界が弱くなり、結果的に電子ビ
ーム１３を掃引する力が弱くなつてしまう。

この点を解決するために、従来は、交流電源
50，60の電圧を上げていたが、そのために消費電
力が大きくなつて、エネルギーロスが多くなる欠
点があつた。また電源電圧をあげた分、電源容量
も大きくしなければならないので、当該装置が高
価になつてしまう問題もあつた。

この考案は電源容量が小さくてすむ電子ビーム
蒸着装置を提供することを目的とする。

（問題を解決するための手段）この考案は、上記の目的を達成するために、電
磁コイルにコンデンサを直列に接続したものであ
る。

（本考案の作用）電磁コイルにコンデンサを直列に接続したもの
であるから、交流電源からみたインピーダンスは
そのコンデンサによつて減少し、その減少分だけ
電磁コイルに流れる電流が増加する。

（本考案の効果）コンデンサの接続によつて電磁コイルに流れる
電流が増加するので、交流電源の電圧を上げる必
要がなく、したがつて電源容量が小さくてすみ、
安価な電子ビーム蒸着装置を提供することができ
る。

また当然のことであるが、電源容量を小さくし
た分だけ、消費電力も少なくてすむ。

（本考案の実施例）第１図において、１は掃引用の交流電源、２は
電子ビームを、第３図における矢印５１方向に掃
引するための電磁コイル、３は電磁コイル２に直
列に接続されたコンデンサである。

交流電源１からみた負荷インピーダンスＺは、Ｚ＝Ｒ＋jωL＋１／jωC ここでＲは電磁コイルの抵抗を示す。

周知の通り交流電源１の周波数が、＝１／2π√ の関係になるようにＣの値を設定すれば、上式は
共振してリアクタンス分が０になり、負荷インピ
ーダンスＺは最小値Ｒとなつて、電磁コイル２に
は、Ｉ＝Ｖ／Ｒの最大電流が流れ、電磁コイル２
のインダクタンスとは無関係に最大電流を流すこ
とができる。

したがつて、電磁コイル２に直列にコンデンサ
３を接続して共振させることにより、低電圧で電
磁コイル２に所定の強さの磁界を発生させること
ができる。またコンデンサ３の容量に過不足があ
つて共振が得られない場合も共振に準じた効果が
得られる。

第２図は、電子ビーム１３（第３図参照）を紙
面に対して垂直方向に掃引する電子ビーム掃引回
路を示したもので、４は掃引用の交流電源、５は
前記垂直方向に電子ビームを掃引する電磁コイ
ル、６は電磁コイル５に直列に接続されたコンデ
ンサであり、その作用効果は上記と全く同様なの
でその説明は省略する。

【図面の簡単な説明】

第１，２図はこの考案の実施例の電子ビーム掃
引回路図、第３図は従来の電子ビーム蒸着装置の
概略図である。１……交流電源、２……電磁コイル、３……コ
ンデンサ。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

電磁コイルに交流電流を流し、この交流電流に
よつて発生する磁界で、陰極から放出される電子
ビームを蒸着材の表面の所定区域に均一に掃引し
ながら照射させる電子ビーム蒸着装置において、
前記電磁コイルにコンデンサを直列に接続したこ
とを特徴とする電子ビーム蒸着装置。