JPS63253688A - ガスレ−ザ用数値制御装置 - Google Patents
ガスレ−ザ用数値制御装置Info
- Publication number
- JPS63253688A JPS63253688A JP8815187A JP8815187A JPS63253688A JP S63253688 A JPS63253688 A JP S63253688A JP 8815187 A JP8815187 A JP 8815187A JP 8815187 A JP8815187 A JP 8815187A JP S63253688 A JPS63253688 A JP S63253688A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- value
- pressure
- laser
- gas pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はガスレーザ発振器と数値制御装置が結合された
ガスレーザ用数値制御装置に関し、特にガスレーザ発振
器の圧力制御を数値制御装置で制御するように構成した
ガスレーザ用数値制御装置に関する。
ガスレーザ用数値制御装置に関し、特にガスレーザ発振
器の圧力制御を数値制御装置で制御するように構成した
ガスレーザ用数値制御装置に関する。
ガスレーザ発振器と数値制御装置が結合されたガスレー
ザ用数値制御装置が広く使用されている。
ザ用数値制御装置が広く使用されている。
ガスレーザ発振器では出力効率を一定に保つためにガス
圧の制御が重要な要素である。出力効率を一定値以上に
保つためにはレーザガスの圧力の変動幅をＩＴｏｒｒ程
度に望ましくは０．ＩＴｏｒｒ程度に保つ必要がある。
圧の制御が重要な要素である。出力効率を一定値以上に
保つためにはレーザガスの圧力の変動幅をＩＴｏｒｒ程
度に望ましくは０．ＩＴｏｒｒ程度に保つ必要がある。
このためには、単なる減圧弁等による設定のみでは、経
年変化等により、充分にガス圧力の精度を保つことは困
難である。
年変化等により、充分にガス圧力の精度を保つことは困
難である。
また、圧力のフィードバックをとってガス圧力を一定に
制御するための制御装置も使用されている。
制御するための制御装置も使用されている。
しかし、従来のガス圧力を一定に制御するガス圧力制御
装置は、それ専用の装置であり、ガス圧力を所定の値に
制御するためには数値制御装置とガス圧力制御装置との
間に特別のインターフェイスを必要とし、ガス圧力の変
更等もガス圧力制御装置の設定盤等を使用する必要があ
り、ハードウェアも複雑になり、数値制御装置による制
御も簡単ではないという問題点があった。
装置は、それ専用の装置であり、ガス圧力を所定の値に
制御するためには数値制御装置とガス圧力制御装置との
間に特別のインターフェイスを必要とし、ガス圧力の変
更等もガス圧力制御装置の設定盤等を使用する必要があ
り、ハードウェアも複雑になり、数値制御装置による制
御も簡単ではないという問題点があった。
本発明の目的は上記問題点を解決し、ガスレーザ発振器
のガス圧力制御を数値制御装置で制御するように構成し
たガスレーザ用数値制御装置を提供することにある。
のガス圧力制御を数値制御装置で制御するように構成し
たガスレーザ用数値制御装置を提供することにある。
本発明では上記の問題点を解決するために、第１図に示
すように、 ガスレーザ発振器（３）と数値制御装置（１０）が結合
されたガスレーザ用数値制御装置において、 レーザ管（３ａ）内のガス圧力を検出する圧力センサ（
６）と、 所定のレーザガスの圧力を設定するガス圧力設定手段（
１６）と、 該検出値と設定値を比較してガス圧力を一定に制御する
ための信号を出力するガス圧力制御手段（１２）と、 該信号よって駆動される可変制御弁（２）と、を有する
ことを特徴とするガスレーザ用数値制御装置、 が提供される。
すように、 ガスレーザ発振器（３）と数値制御装置（１０）が結合
されたガスレーザ用数値制御装置において、 レーザ管（３ａ）内のガス圧力を検出する圧力センサ（
６）と、 所定のレーザガスの圧力を設定するガス圧力設定手段（
１６）と、 該検出値と設定値を比較してガス圧力を一定に制御する
ための信号を出力するガス圧力制御手段（１２）と、 該信号よって駆動される可変制御弁（２）と、を有する
ことを特徴とするガスレーザ用数値制御装置、 が提供される。
レーザ管内のガス圧力は圧力センサによって測定され、
ガス圧設定手段によって予め設定された設定値と比較さ
れ、その偏差を零にするように制御され、その信号によ
って可変制御弁が駆動されてレーザ管内のガス圧力が設
定値に保たれるように保持される。
ガス圧設定手段によって予め設定された設定値と比較さ
れ、その偏差を零にするように制御され、その信号によ
って可変制御弁が駆動されてレーザ管内のガス圧力が設
定値に保たれるように保持される。
以下本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図に本発明の一実施例のブロック図を示す。
図において、レーザガス供給装置であり、ガスボンベが
使用される。２は可変制御弁であり、後述する数値制御
装置からの電流信号によって弁の開閉度が制御される。
使用される。２は可変制御弁であり、後述する数値制御
装置からの電流信号によって弁の開閉度が制御される。
詳しくは、４〜２０ｍＡ程度の電流によって、電流に比
例して弁を開く。３はガスレーザ発振器であり、レーザ
管３ａ及び反射鏡３ｂ等から構成され、レーザ管３ａ内
はレーザガスが高速で循環されて、レーザ光が発振増幅
されている。４は排気弁であり、レーザ放電によって汚
染されたレーザガスを通過させる。５は排気装置であり
、排気弁４からのレーザガスを排気する。６は圧力セン
サであり、レーザ管内のガス圧力を検出し、これを電圧
信号として出力する。この値は詳しくはＯ〜１００Ｔｏ
ｒ ｒのガス圧力がθ〜ＩＯＶの電圧として出力され
る。
例して弁を開く。３はガスレーザ発振器であり、レーザ
管３ａ及び反射鏡３ｂ等から構成され、レーザ管３ａ内
はレーザガスが高速で循環されて、レーザ光が発振増幅
されている。４は排気弁であり、レーザ放電によって汚
染されたレーザガスを通過させる。５は排気装置であり
、排気弁４からのレーザガスを排気する。６は圧力セン
サであり、レーザ管内のガス圧力を検出し、これを電圧
信号として出力する。この値は詳しくはＯ〜１００Ｔｏ
ｒ ｒのガス圧力がθ〜ＩＯＶの電圧として出力され
る。
１０は数値制御装置であり、ガスレーザ発振器の出力制
御及びレーザ加工機のテーブル等を制御する。但しここ
では、テーブル等を制御するためのサーボアンプ、サー
ボモータ等は省略しである。
御及びレーザ加工機のテーブル等を制御する。但しここ
では、テーブル等を制御するためのサーボアンプ、サー
ボモータ等は省略しである。
１１はＡＤコンバータであり、圧力センサ６のアナログ
電圧出力をディジタル信号に変換する。１２はガス圧力
制御手段であり、ＡＤコンバータｌｌからのガス圧力を
示すディジタル信号と後述のガス圧力の設定値とを比較
し、その偏差が零になるような制御信号を出力する。１
３はＤＡコンバータであり、ガス圧力制御手段１２から
のディジタルの制御信号をアナログ値に変換する。１４
はドライバであり、ＤＡコンバータのアナログ信号を電
流値に増幅変換し、前述の可変制御弁２の弁の開きを制
御する。
電圧出力をディジタル信号に変換する。１２はガス圧力
制御手段であり、ＡＤコンバータｌｌからのガス圧力を
示すディジタル信号と後述のガス圧力の設定値とを比較
し、その偏差が零になるような制御信号を出力する。１
３はＤＡコンバータであり、ガス圧力制御手段１２から
のディジタルの制御信号をアナログ値に変換する。１４
はドライバであり、ＤＡコンバータのアナログ信号を電
流値に増幅変換し、前述の可変制御弁２の弁の開きを制
御する。
１５は表示制御回路であり、ガス圧力制御手段１２の内
部のディジタル値を表示信号に変換する。
部のディジタル値を表示信号に変換する。
１６は表示器であり、ＣＲＴ及び液晶表示装置等が使用
される。１７はガス圧設定手段であり、所定のガス圧力
がディジタル値として、非揮発性のメモリに記憶されて
いる。１８はキーボードであり、各種のデータ、パラメ
ータ等を設定入力する。
される。１７はガス圧設定手段であり、所定のガス圧力
がディジタル値として、非揮発性のメモリに記憶されて
いる。１８はキーボードであり、各種のデータ、パラメ
ータ等を設定入力する。
次に本実施例の動作について述＼る。まず所定の加工に
必要なレーザ出力に必要なガス圧力をキーボード１８か
ら入力する。入力されたガス圧力はガス圧力設定手段１
７内の不揮発性メモリ、例えばバブルメモリまたはＣ−
ＭＯＳ等のメモリに記憶される。レーザ管３ａの圧力は
圧力センサ６によって計測され、アナログ電圧値として
ＡＤコンバータ１１へ送うれる。ＡＤコンバータ１１は
このアナログ値をディジタルに変換し、ガス圧力制御手
段に送る。ガス圧力制御手段は設定値と測定値を比較し
その偏差が零になるような信号をディジタルな値として
出力する。この出力信号はＤＡコンバーク１３でアナロ
グ出力信号に変換され、ドライバーＩ４に送られる。ド
ライバー１４はこのアナログ値を入力に比例した電流値
に変換し、可変制御弁２の開きを制御する。これによっ
てレーザ管内のガス圧力が一定に保たれる。
必要なレーザ出力に必要なガス圧力をキーボード１８か
ら入力する。入力されたガス圧力はガス圧力設定手段１
７内の不揮発性メモリ、例えばバブルメモリまたはＣ−
ＭＯＳ等のメモリに記憶される。レーザ管３ａの圧力は
圧力センサ６によって計測され、アナログ電圧値として
ＡＤコンバータ１１へ送うれる。ＡＤコンバータ１１は
このアナログ値をディジタルに変換し、ガス圧力制御手
段に送る。ガス圧力制御手段は設定値と測定値を比較し
その偏差が零になるような信号をディジタルな値として
出力する。この出力信号はＤＡコンバーク１３でアナロ
グ出力信号に変換され、ドライバーＩ４に送られる。ド
ライバー１４はこのアナログ値を入力に比例した電流値
に変換し、可変制御弁２の開きを制御する。これによっ
てレーザ管内のガス圧力が一定に保たれる。
第２図に本実施例によるガス圧力の変化の例を示す。図
において、横軸は時間軸であり、数値は時間を示す。縦
軸はレーザ管３ａ内の圧力を示す。
において、横軸は時間軸であり、数値は時間を示す。縦
軸はレーザ管３ａ内の圧力を示す。
図かられかるようにその変化の度合は０．５Ｔ。
ｒｒ程度の範囲に保たれている。
上記の実施例ではガス圧力を設定するのにキーボードか
らパラメータとして入力、設定する例を示したが、加工
データとして、加工プログラムのなかでガス圧力を設定
するように構成することもできる。
らパラメータとして入力、設定する例を示したが、加工
データとして、加工プログラムのなかでガス圧力を設定
するように構成することもできる。
さらに、ガス圧力を一定に保つのみではなく、その値を
表示装置に表示することもできるし、ガス圧力が一定の
危険な値をこえたときはアラームとして、これを表示装
置に表示し、或いは加工の運転を停止し、ガスレーザ発
振器の発振を停止するように構成することもできる。
表示装置に表示することもできるし、ガス圧力が一定の
危険な値をこえたときはアラームとして、これを表示装
置に表示し、或いは加工の運転を停止し、ガスレーザ発
振器の発振を停止するように構成することもできる。
以上説明したように本発明では、ガス圧力の制御を数値
制御装置で直接制御するように構成したので、特別のガ
ス圧力制御装置を必要とせず、勿論特別のインターフェ
イスを必要とせず構成が簡単になり制御も高速に行うこ
とができる。さらに、数値制御装置の表示装置にガス圧
力の値を表示し、ガス圧力が一定値を越えたときは、ア
ラーム表示が可能となり、加工の停止、レーザ発振器の
停止等の制御も容易にできる。
制御装置で直接制御するように構成したので、特別のガ
ス圧力制御装置を必要とせず、勿論特別のインターフェ
イスを必要とせず構成が簡単になり制御も高速に行うこ
とができる。さらに、数値制御装置の表示装置にガス圧
力の値を表示し、ガス圧力が一定値を越えたときは、ア
ラーム表示が可能となり、加工の停止、レーザ発振器の
停止等の制御も容易にできる。
第１図は本発明の一実施例のブロック図、第２図は本発
明の一実施例のガス圧力の変化を示す図である。 ■−・−−−−−−−一・−レーザガス供給装置２−・
−・−−−一−−−・・可動制御弁３−−−−・−・−
・−・−ガスレーザ発振器３ａ−・−・−・−レーザ管 ３ｂ−・−−−一反射鏡 ４−−−−−・−・−排気弁
明の一実施例のガス圧力の変化を示す図である。 ■−・−−−−−−−一・−レーザガス供給装置２−・
−・−−−一−−−・・可動制御弁３−−−−・−・−
・−・−ガスレーザ発振器３ａ−・−・−・−レーザ管 ３ｂ−・−−−一反射鏡 ４−−−−−・−・−排気弁
Claims (6)
- （１）ガスレーザ発振器と数値制御装置が結合されたガ
スレーザ用数値制御装置において、 レーザ管内のガス圧力を検出する圧力センサと、所定の
レーザガスの圧力を設定するガス圧力設定手段と、 該検出値と設定値を比較してガス圧力を一定に制御する
ための信号を出力するガス圧力制御手段と、 該信号よって駆動される可変制御弁とを、 有することを特徴とするガスレーザ用数値制御装置。 - （２）前記圧力センサの値をアナログ値からディジィタ
ル値に変換して、ディジィタル値とガス圧設定手段から
の設定値と比較制御するように構成したことを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載のガスレーザ用数値制御装
置。 - （３）前記ガス圧設定手段は数値制御装置のキーボード
からパラメータとして設定するように構成したことを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載のガスレーザ用数値
制御装置。 - （４）前記ガス圧設定手段は数値制御装置の加工プログ
ラムとして入力するように構成したことを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載のガスレーザ用数値制御装置。 - （５）前記圧力センサの値と設定値との差が一定値を越
えたときにアラームとして、これを表示装置に表示する
ように構成したことを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載のガスレーザ用数値制御装置。 - （６）前記圧力センサの値と設定値との差が一定値を越
えたときレーザ発振器の発振を停止するように構成した
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のガスレー
ザ用数値制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8815187A JPS63253688A (ja) | 1987-04-10 | 1987-04-10 | ガスレ−ザ用数値制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8815187A JPS63253688A (ja) | 1987-04-10 | 1987-04-10 | ガスレ−ザ用数値制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63253688A true JPS63253688A (ja) | 1988-10-20 |
Family
ID=13934931
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8815187A Pending JPS63253688A (ja) | 1987-04-10 | 1987-04-10 | ガスレ−ザ用数値制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63253688A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1747837A1 (en) * | 2005-07-25 | 2007-01-31 | Fanuc Ltd | Gas laser processing device with control means for adapting the laser gas pressure to the work to be processed |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5343494A (en) * | 1976-10-01 | 1978-04-19 | Kinmon Denki Kk | Vapour laser discharge tube of helium metal |
-
1987
- 1987-04-10 JP JP8815187A patent/JPS63253688A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5343494A (en) * | 1976-10-01 | 1978-04-19 | Kinmon Denki Kk | Vapour laser discharge tube of helium metal |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1747837A1 (en) * | 2005-07-25 | 2007-01-31 | Fanuc Ltd | Gas laser processing device with control means for adapting the laser gas pressure to the work to be processed |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4937422A (en) | Method of correcting laser output power | |
| WO1989001386A1 (en) | Assist gas control system | |
| EP1577990A2 (en) | Laser unit | |
| US3940593A (en) | Automatic process controller with digital memory | |
| KR910007787B1 (ko) | 레이저 발진 제어장치 | |
| JPS62104088A (ja) | レ−ザ出力制御装置 | |
| JPS63253688A (ja) | ガスレ−ザ用数値制御装置 | |
| JPS59218505A (ja) | 閉ル−プによる油圧制御装置 | |
| JPH01152783A (ja) | レーザのビームモード制御方式 | |
| JPH06131029A (ja) | 加速度定数切り換え方式 | |
| JPS63288081A (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JPH0225017A (ja) | レジスト塗布装置 | |
| JPH02147167A (ja) | はんだ付け装置 | |
| JPH0223686A (ja) | Ｎｃレーザ装置 | |
| JPH0467209A (ja) | 産業用ロボット異常検出方法 | |
| JPS62205401A (ja) | 数値制御装置 | |
| JPS6380986A (ja) | レ−ザ加工機におけるレ−ザ出力補正装置 | |
| JPS63214812A (ja) | サ−ボモ−タの位置決め制御装置 | |
| JPS6355992A (ja) | レ−ザ加工装置 | |
| JPH01148484A (ja) | レーザのパワー制御方法 | |
| JPH0567831A (ja) | レーザ発振制御装置 | |
| JPS59194218A (ja) | ロボツトの制御装置 | |
| JPH0275487A (ja) | レーザ出力制御方法 | |
| JPS6413783A (en) | Excimer laser system | |
| JPH0255686A (ja) | Ｎｃレーザ装置の運転方法 |