JPH01152783A - レーザのビームモード制御方式 - Google Patents
レーザのビームモード制御方式Info
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- JPH01152783A JPH01152783A JP62312479A JP31247987A JPH01152783A JP H01152783 A JPH01152783 A JP H01152783A JP 62312479 A JP62312479 A JP 62312479A JP 31247987 A JP31247987 A JP 31247987A JP H01152783 A JPH01152783 A JP H01152783A
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- Japan
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- laser beam
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- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 10
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims abstract description 24
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 10
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 7
- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 claims description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/101—Lasers provided with means to change the location from which, or the direction in which, laser radiation is emitted
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
- H01S3/139—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the mutual position or the reflecting properties of the reflectors of the cavity, e.g. by controlling the cavity length
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は数値制御装置（ＣＮＣ）によって制御されるレ
ーザ発振器のレーザのビームモード制＜Ｂ方式に関し、
特に自動的にアライメントを調整するようにしたレーザ
のビームモード制御方式に関する。
ーザ発振器のレーザのビームモード制＜Ｂ方式に関し、
特に自動的にアライメントを調整するようにしたレーザ
のビームモード制御方式に関する。
従来、レーザ発振器の重要なファクターであるビームモ
ードの調整方式はレーザビームをアクリル等に照射して
、照射レプリカを作成して、このレプリカをもとに人間
がモードの良否を判断して、レーザ発振器の調整を行っ
ていた。
ードの調整方式はレーザビームをアクリル等に照射して
、照射レプリカを作成して、このレプリカをもとに人間
がモードの良否を判断して、レーザ発振器の調整を行っ
ていた。
しかし、このような人間による判断は相当の熟練を必要
とし、そのための特別の熟練を有する人間しか調整する
ことができない。
とし、そのための特別の熟練を有する人間しか調整する
ことができない。
また、調整には何回も試行錯誤を必要とし、調整時間が
相当かかった。
相当かかった。
さらに、経年変化等に対しては一定期間ごとに、調整を
必要とし、保守上の問題となっている。
必要とし、保守上の問題となっている。
本発明の目的は上記問題点を解決し、自動的にアライメ
ントを調整するようにしたレーザのビームモード制御方
式を提供することにある。
ントを調整するようにしたレーザのビームモード制御方
式を提供することにある。
本発明では上記の問題点を解決するために、数値制御装
置（ＣＮＣ）によって制御されるレーザ発振器のレーザ
のビームモード制御方式において、 モード監視用レーザビームをリアルタイムで監視する検
出素子を有するモード監視装置と、該モード監視装置か
らの監視データを処理し、モードを補正するための調整
指令値を出力する監視データ処理手段と、 該調整指令値によって、光学部品の角度を調整するアラ
イメント調整機構と、 を具備することを特徴とするレーザのビームモード制御
方式が、 提供される。
置（ＣＮＣ）によって制御されるレーザ発振器のレーザ
のビームモード制御方式において、 モード監視用レーザビームをリアルタイムで監視する検
出素子を有するモード監視装置と、該モード監視装置か
らの監視データを処理し、モードを補正するための調整
指令値を出力する監視データ処理手段と、 該調整指令値によって、光学部品の角度を調整するアラ
イメント調整機構と、 を具備することを特徴とするレーザのビームモード制御
方式が、 提供される。
モード監視用のレーザビームをリアルタイムで検出でき
る検出素子で監視し、監視データを数値制御装置（ＣＮ
Ｃ）の監視処理手段で処理して、調整指令値を出力する
。この指令に従って、光学部品の角度をアライメント機
構で調整して、ビームモードを正常な値に維持する。
る検出素子で監視し、監視データを数値制御装置（ＣＮ
Ｃ）の監視処理手段で処理して、調整指令値を出力する
。この指令に従って、光学部品の角度をアライメント機
構で調整して、ビームモードを正常な値に維持する。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図に本発明の一実施例のレーザのビームモード制御
方式のブロック図を示す。図において、１はモード監視
装置であり、後述のモード監視用ビームを監視する。こ
のモード監視装置ｌは内部′ にＣＣＤ （電荷結合型
）素子を有し、高速で監視用ビームを観測することがで
きる。２は数値制御装置（ＣＮＣ）であり、レーザ発振
器の出力等を制御するとともに、レーザ加工機のテーブ
ル等を制御する。数値制御装置（ＣＮＣ）２内にはモー
ド監視装置１で得られた監視データを処理して、光学部
品の角度等を制御する調整指令値を出力する監視データ
処理手段がある。
方式のブロック図を示す。図において、１はモード監視
装置であり、後述のモード監視用ビームを監視する。こ
のモード監視装置ｌは内部′ にＣＣＤ （電荷結合型
）素子を有し、高速で監視用ビームを観測することがで
きる。２は数値制御装置（ＣＮＣ）であり、レーザ発振
器の出力等を制御するとともに、レーザ加工機のテーブ
ル等を制御する。数値制御装置（ＣＮＣ）２内にはモー
ド監視装置１で得られた監視データを処理して、光学部
品の角度等を制御する調整指令値を出力する監視データ
処理手段がある。
３ａ及び３ｂはアライメント機構機構であり、数値制御
装置（ＣＮＣ）１からの調整指令値に従って、光学部品
の調整を行う。
装置（ＣＮＣ）１からの調整指令値に従って、光学部品
の調整を行う。
４はリア鏡であり、５は出力鏡であり、６は放電管であ
り、レーザ発振器を構成している。放電管６の内部は図
示されていないレーザガスが循環され、やはり図示され
ていない高周波電源からの高周波電圧が印加され、レー
ザガスが励起され、レーザ光が発振増幅される。ここで
、リア鏡４の透過率は０．５％程度であり、透過したレ
ーザ光はモード監視用ビームとして、モード監視装置１
で監視される。また、出力鏡５の透過率は３５％程度で
あり、透過したレーザ光、すなわちレーザビーム８は、
加工レーザビームとして使用される。
り、レーザ発振器を構成している。放電管６の内部は図
示されていないレーザガスが循環され、やはり図示され
ていない高周波電源からの高周波電圧が印加され、レー
ザガスが励起され、レーザ光が発振増幅される。ここで
、リア鏡４の透過率は０．５％程度であり、透過したレ
ーザ光はモード監視用ビームとして、モード監視装置１
で監視される。また、出力鏡５の透過率は３５％程度で
あり、透過したレーザ光、すなわちレーザビーム８は、
加工レーザビームとして使用される。
９はモニタ装置であり、レーザ出力等を常時モニタして
いる。
いる。
次に動作について述べる。例えば、モード監視装置１で
モード監視用ビーム７のモードの中心位置がずれたとき
は、数値制御装置（ＣＮＣ）２内の監視データ処理手段
で、ずれを検出し、このずれを修正する調整指令値を出
力する。この指令値に従って、アライメント調整機構３
ａ或いハ３ｂ内の小型のサーボモータ等を駆動して、リ
ア鏡４或いは出力鏡５の角度を調整して、中心位置のず
れを補正する。
モード監視用ビーム７のモードの中心位置がずれたとき
は、数値制御装置（ＣＮＣ）２内の監視データ処理手段
で、ずれを検出し、このずれを修正する調整指令値を出
力する。この指令値に従って、アライメント調整機構３
ａ或いハ３ｂ内の小型のサーボモータ等を駆動して、リ
ア鏡４或いは出力鏡５の角度を調整して、中心位置のず
れを補正する。
このような動作は図示されていない操作盤等にビームモ
ード調整指令用の釦を設け、これを押すことによって指
令するようにすることもできる。
ード調整指令用の釦を設け、これを押すことによって指
令するようにすることもできる。
以上説明したように本発明では、モード監視装置によっ
てモード監視用ビームを監視し、これを処理してアライ
メント機構で光学部品の角度を調整するように構成した
ので、自動的にレーザのビームモード制御が可能になり
、人手による調整等が不要になる。
てモード監視用ビームを監視し、これを処理してアライ
メント機構で光学部品の角度を調整するように構成した
ので、自動的にレーザのビームモード制御が可能になり
、人手による調整等が不要になる。
第１図は本発明の一実施例のレーザのビームモード制御
方式のブロック図である。 １−・−・−・−・−・−モード監視装置２−一一一一
・−一−−−−・−数値制御装置（ＣＮＣ）３ａ−・・
−−−−−・・アライメント調整機構３ｂ・・−−−−
一・−アライメント調整機構４−・・−−一一一・−・
・−リア鏡 ５−−−−一・・−−−−−一−−出力鏡６−一−−−
・−・−一一〜−−放電管７−・−・・−−−−−−−
−−モード監視用ビーム８・−・−・・・・−レーザビ
ーム ９・−・−−ｍ−−・−・−モニタ
方式のブロック図である。 １−・−・−・−・−・−モード監視装置２−一一一一
・−一−−−−・−数値制御装置（ＣＮＣ）３ａ−・・
−−−−−・・アライメント調整機構３ｂ・・−−−−
一・−アライメント調整機構４−・・−−一一一・−・
・−リア鏡 ５−−−−一・・−−−−−一−−出力鏡６−一−−−
・−・−一一〜−−放電管７−・−・・−−−−−−−
−−モード監視用ビーム８・−・−・・・・−レーザビ
ーム ９・−・−−ｍ−−・−・−モニタ
Claims (2)
- （１）数値制御装置（ＣＮＣ）によって制御されるレー
ザ発振器のレーザのビームモード制御方式において、 モード監視用レーザビームをリアルタイムで監視する検
出素子を有するモード監視装置と、該モード監視装置か
らの監視データを処理し、モードを補正するための調整
指令値を出力する監視データ処理手段と、 該調整指令値によって、光学部品の角度を調整するアラ
イメント調整機構と、 を具備することを特徴とするレーザのビームモード制御
方式。 - （２）前記検出素子はＣＣＤ素子であることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載のレーザのビームモード制
御方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62312479A JPH01152783A (ja) | 1987-12-10 | 1987-12-10 | レーザのビームモード制御方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62312479A JPH01152783A (ja) | 1987-12-10 | 1987-12-10 | レーザのビームモード制御方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01152783A true JPH01152783A (ja) | 1989-06-15 |
Family
ID=18029705
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62312479A Pending JPH01152783A (ja) | 1987-12-10 | 1987-12-10 | レーザのビームモード制御方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01152783A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5463202A (en) * | 1992-12-28 | 1995-10-31 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Laser machining apparatus and method |
| JPH08236847A (ja) * | 1995-02-23 | 1996-09-13 | Shinozaki Seisakusho:Kk | レーザ発振光オートアラインメント装置 |
| JP2010137264A (ja) * | 2008-12-12 | 2010-06-24 | Fanuc Ltd | レーザ発振器を備えたレーザ加工機 |
| CN102761054A (zh) * | 2011-07-07 | 2012-10-31 | 武汉晶石光电技术有限公司 | 金属密封射频二氧化碳激光器光模式优化控制系统 |
| CN102761055A (zh) * | 2011-07-07 | 2012-10-31 | 武汉晶石光电技术有限公司 | 金属密封射频二氧化碳激光器光功率优化控制系统 |
| JP2017208557A (ja) * | 2011-06-13 | 2017-11-24 | ワイ−チャージ リミテッド | 空間分布レーザ共振器 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6148351A (ja) * | 1984-08-16 | 1986-03-10 | キヤノン株式会社 | レ−ザ−装置 |
| JPS628584A (ja) * | 1985-07-05 | 1987-01-16 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ装置 |
| JPS6265489A (ja) * | 1985-09-18 | 1987-03-24 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ装置 |
-
1987
- 1987-12-10 JP JP62312479A patent/JPH01152783A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6148351A (ja) * | 1984-08-16 | 1986-03-10 | キヤノン株式会社 | レ−ザ−装置 |
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| US5463202A (en) * | 1992-12-28 | 1995-10-31 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Laser machining apparatus and method |
| JPH08236847A (ja) * | 1995-02-23 | 1996-09-13 | Shinozaki Seisakusho:Kk | レーザ発振光オートアラインメント装置 |
| JP2010137264A (ja) * | 2008-12-12 | 2010-06-24 | Fanuc Ltd | レーザ発振器を備えたレーザ加工機 |
| JP2017208557A (ja) * | 2011-06-13 | 2017-11-24 | ワイ−チャージ リミテッド | 空間分布レーザ共振器 |
| CN102761054A (zh) * | 2011-07-07 | 2012-10-31 | 武汉晶石光电技术有限公司 | 金属密封射频二氧化碳激光器光模式优化控制系统 |
| CN102761055A (zh) * | 2011-07-07 | 2012-10-31 | 武汉晶石光电技术有限公司 | 金属密封射频二氧化碳激光器光功率优化控制系统 |
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