JPS63250559A - 超音波溶液濃度測定装置 - Google Patents

超音波溶液濃度測定装置

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JPS63250559A
JPS63250559A JP62085325A JP8532587A JPS63250559A JP S63250559 A JPS63250559 A JP S63250559A JP 62085325 A JP62085325 A JP 62085325A JP 8532587 A JP8532587 A JP 8532587A JP S63250559 A JPS63250559 A JP S63250559A
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楓 邦男
Koichi Takizawa
滝沢 耕一
Satoshi Nakajima
聡 中嶋
Akira Okuhara
奥原 章
Hironaga Hashiba
橋場 弘長
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SHOKUHIN SANGYO ONRAIN CENTER GIJUTSU KENKYU KUMIAI
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2291/00Indexing codes associated with group G01N29/00
    • G01N2291/02Indexing codes associated with the analysed material
    • G01N2291/028Material parameters
    • G01N2291/02809Concentration of a compound, e.g. measured by a surface mass change

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  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (イ)産業上の利用分野 この発明は、溶液中を伝わる超音波の速度を利用して、
溶液濃度を測定する超音波溶液濃度測定装置に関する6 (ロ)従来の技術 溶液濃度を測定する方法としては、屈折率法、電極法、
電磁誘導法等、種々考えられるが、比較的高濃度の溶液
を瞬時に測定できる方法としては、超音波法が適してい
る。
この超音波法は、溶液中を超音波が伝わる速度に基づい
て、溶液濃度を決定するものである。溶液中の音速は、
溶液濃度と溶液温度との関数になるから、溶液中の音速
と温度を測定して溶液濃度を知ることができる。
上記超音波法を適用して、溶液濃度を測定する装置とし
ては、例えば、本体にサーミスタ、超音波振動子及び回
路部を設けると共に、反射板を装着したものが知られて
いる。この反射板と超音波振動子間には所定の間隔dが
取られており、超音波振動子より発せられ、溶液中を伝
わる超音波が、反射板で反射され、同じ(又は他の)超
音波振動子に受信されるように構成されたものが知られ
ている。
この従来の測定装置においては、サーミスタにより溶液
温度を検出すると共に、超音波振動子により超音波が発
せられてから受信されるまでの時間を計り、溶液中の音
速を検出する。そして、この温度と音速に基づいて、溶
液濃度が決定される。
(ハ)発明が解決しようとする問題点 上記従来の溶液濃度測定装置は、溶液中に長時間置かれ
ると、検出される音速値が変動し、測定誤差が生じる不
都合があった。例えば、所定濃度の食塩水を製造し、こ
の食塩水の濃度を測定し続けると、第8図(a)に示す
ように、30時間経過後には、測定される音速が変動し
始める。この音速の変動のため、第8図Tb)に示すよ
うに、食塩水の濃度の測定値も変動することになる。
この音速測定値の変動は、測定装置表面に気泡が付着す
るためであると考えられる。この気泡の付着・消滅によ
り超音波の乱反射が生じ、正確な測定が行えなくなる。
この気泡は、かくはんにより生じるものもあるが、自然
発生するものが大半である。ちなみに、第8図fa)の
場合には、測定開始時に、一旦、付着した気泡を人手に
より取除いている。この気泡の付着は、測定装置の形状
等を変更することでは容易に防止できるものではなかっ
た。また、大きな振動を与えて気泡を取除くことは、超
音波振動子を破損するおそれがある。
この発明は、上記不都合に鑑みなされたもので、付着し
た気泡を超音波振動子に振動を与えることなく取除き、
長時間に亘り精度良く溶液濃度を測定することが可能な
超音波溶液濃度測定装置を提供することを目的としてい
る。
(ニ)問題点を解決するための手段 上記不都合を解決するための手段として、この発明の超
音波溶液濃度測定装置は、溶液中に超音波を発すると共
に、この超音波を受信し、溶液中の音速を検出する音速
検出手段と、溶液の温度を検出する温度検出手段と、前
記音速検出手段及び前記温度検出手段の出力に基づいて
溶液濃度を決定する溶液濃度決定手段とを備えてなるも
のにおいて、前記音速検出手段近傍の溶液中に溶液流を
発生させ、この溶液流により前記音速検出手段に付着す
る気泡を除去する溶液流発生手段を特徴的に備えてなる
ものである。
(ホ)作用 この発明の超音波?8液濃度測定装置は、溶液濃度測定
前に、音速検出手段に付着した気泡を、溶液流を当てる
ことにより除去する。このように測定前に気泡を取除け
ば、溶液中に長時間置かれた場合でも、検出される音速
が変動することはない。
例えば、前記食塩水濃度の場合について示せば、第9図
(a)、第9図(b)のように、50時間以上経過して
も、検出される音速及び食塩水濃度は安定したものとな
る。また、溶液流を当てるだけなので、超音波振動子に
振動が加わることがなく、その破損が防止される。
(へ)実施例 〈実施例1〉 この発明の第1の実施例を、第1図乃至第5図に基づい
て以下に説明する。
この実施例超音波濃度測定装置1は、超音波センサ2と
かくはん器9とから構成されている。
第3図は、この実施例に使用される周知の超音波センサ
2の外観斜視図である。この超音波センサ2は、水密構
造の円柱状本体3を備えている。
本体3の前端面ば、発振面3aとされ、サーミスタ(温
度検出手段)4及び超音波振動子(音速検出手段)5と
が設けられている。
本体3には、支持棒6.6.6を介して、反射板7が装
着される。この反射板7は、発振面3aの前方に所定間
隔dをおいて位置し、これと対向する。前記超音波振動
子5から発せられた超音波は、この反射板7の反射面7
aで反射されることにより、発振面3aと反射面7a間
とを往復する。
本体3内部には、図示しない回路部(溶液濃度決定手段
)が収納されている。この回路部は、超音波振動子5を
駆動する機能、超音波振動子5の出力信号及びサーミス
タ4の出力信号に基づいて溶液濃度を決定する機能を含
んでいる。
なお、本体3には、タンク壁Wに取付けられるためのフ
ランジ3bが設けられている。また、本体3後部3Cは
、タンク外に突出し、前記回路部に接続されるリード8
が引出されている。
9は、超音波センサ2と共にタンクT内に併設されるか
くはん器(溶液流発生手段)である(第1図参照)。こ
のかくはん器9は、かくはんR11を備えている。この
かくはん翼11は、本体10内に収納されたモータ(図
示せず)により回転駆動される。本体10には、タンク
壁Wに取付けるためのフランジ10aが設けられ、また
、本体10後部よりは、電源コード12が引出されてい
る。
この超音波溶液濃度測定装置1は、測定の前に、かくは
ん器9を作動させる。このかくはん器9の作動により、
超音波センサ2近傍の溶液中に渦流が発生し、この渦流
により、超音波センサ2に付着している気泡が除去され
る。
かくはん器9が停止すると、測定が行われる。
先ず、超音波振動子5が駆動され、超音波が反射面7a
に向かって発せられる。反射面7aで反射れ、発振面2
aに返ってきた超音波は、同じ超音波振動子5で受信さ
れる。前記回路部は、超音波振動子5が駆動されてから
超音波を受信するまで時間tを計測し、溶液中の音速V
を算出する。
同時に、サーミスタ4の出力信号により、溶液温度θが
検出される。この音速Vと温度θとにより、前記回路部
は溶液濃度を決定し、これを出力する。なお、食塩水の
流れにより検出される音速■は影響を受けないので、気
泡除去後、直ちに測定可能である。
次に、この超音波溶液濃度測定装置1の使用例として、
食品製造工程において所定濃度の食塩水を自動的に製造
する場合を例に上げて説明する。
第4図は、この食塩水製造に使用される食塩水製造シス
テム13を説明する図である。タンク壁Wには、前述の
ように・、超音波センサ2とかくはん器9が取付けられ
ている。
タンクT底部には、か(はん器14が設けられ、タンク
T内に貯溜される食塩水Sがかくはんされる。タンクT
の上部には、超音波レベルメータ15が設けられ、食塩
水Sのレベルが測定される。
さらに、タンクTには、ポンプ16.17.18が付設
されている。ポンプ16は、タンクT内に高濃度食塩水
を送るためのものであり、ポンプ17は、タンクT内に
水を送るためのものである。
一方、ポンプ18は、タンクT内の食塩水Sを送出すた
めのものである。
超音波センサ2及びレベルメータ15の出力は、図示し
ないマイクロコンピュータ(以下MPUという)に入力
される。また、かくはん器14、ポンプ16.17.1
8は、このMPUにより制御される。      ′ 次に、この食塩水製造システムの動作を、第5図を参照
しながら説明する。
先ず、タンクT内に高濃度食塩水を注入するため、ポン
プ16が作動を開始する〔ステ・ノブ(以下STという
)1〕。高濃度食塩水注入中は、レベルメータ15によ
り水位が検出され、これが所定値!、に達したと判断さ
れた時には(Sr2)、ポンプ16を停止しく5T3)
 、高濃度食塩水の注入を停止する。
次に、かくはん器9を一定時間作動させて、超音波セン
サ2に付着した気泡を除去する(Sr1)。
さらに、超音波センサ2により食塩水濃度が測定される
(Sr5)。MPUは、この食塩水濃度より、目的の食
塩水濃度を得るため、タンクT内に注入される水の量を
算出し、水注入後の水位12を決定する。
次に、ポンプ17が作動を開始し、水がタンクT内に注
入される(Sr6)、この間、レベルメータ15により
水位が監視されており、これが先に決定された水位!、
に達したと判断されれば(Sr7)、ポンプ17を停止
し、水の注入を終了する(Sr8) 。
続いて、かくはん器14を一定時間作動させ、食塩水S
をかくはんする(Sr9)。そして、先と同様、気泡を
除去しく5TIO)、食塩水Sの濃度を測定する(ST
II)。
次の5T12では、5TIIで測定された食塩水濃度が
目的の濃度であるか否かが判断される。
目的の濃度とは異なる場合には、目的の濃度にするのに
必要な水(又は高濃度食塩水)の量が算出され、水位7
!3が決定される。そして、ポンプ17 (又は16)
が作動を開始する(ST13)。
この水(又は高濃度食塩水)の再注入の間も、レベルメ
ータ15により水位が監視され、所定の水位13に達し
たと判断された時は(ST 14)、ポンプ17(又は
16)を停止し、ST9の処理へ戻る。そして、再度、
濃度測定が行われる(ST9〜5T12)。
5T12で、所定の濃度であると判断された場合には、
5T16に進み、製造された食塩水Sを次の工程に供給
するため、ポンプ18が作動を開始する。この間も、レ
ベルメータ15により水位が検出される。この水位が所
定の14まで低下した時は、所定の量の食塩水が供給さ
れたと判断され(ST17)、ポンプ18が停止する。
第2図は、超音波溶液濃度測定装置1の変形例を示して
いる。
この変形超音波溶液濃度測定装置21は、がくはん器2
2のみが異なる。このかくはん器22は、本体23の前
端23aにかくはん翼24が設けられており、発振面3
a及び反射面7aに平行な溶液流を発生させて気泡を除
去する。なお、23bは、取付けのためのフランジ部、
25は、電源コードである。
なお、かくはん器の配置、かくはん翼の形状、数等は、
上記第1の実施例のものに限定されず、適宜設計変更可
能である。
〈実施例2〉 この発明の第2の実施例を、第6図及び第7図に基づい
て以下に説明する。
この第2の実施例の超音波溶液濃度測定装置31は、上
述の超音波センサ2にポンプ(溶液流発生手段)32を
備えてなるものである。超音波センサ2は、タンク底部
Tb近傍の壁Wに取付けられている(第6図参照)。
−4、ポンプ32は、吸込管33及びノズル34が接続
されている。吸込管33は、タンクT内の溶液を吸込む
ためのものである。ノズル34は、7字形状をしており
、吸込管33がら吸入された溶液を、発振面3a及び反
射面7aに向けて噴出する。このノズル34よりの溶液
流により、発振面3a及び反射面7aに付着した気泡が
除去される。溶液濃度測定に関しては、第1の実施例と
同様である。
第7図は、変形に係るノズル34゛を示している。
このノズル34″ は、発振面3aと反射面7aとの間
に、上方へ向かう溶液流を生じさせて、気−泡を除去す
るものである。
なお、ノズルの形状や配置等は、これに限定されるもの
ではなく、適宜設計変更可能である。
また、上記第1及び第2の実施例において、超音波セン
サ2は反射板7を備えた円柱状のものとしているが、こ
れに限定されるものではなく、適宜変更可能である。
さらに、測定対象となる溶液は、食塩水に限定されず、
アルコール、酸、#N類、油類等の各種溶液の濃度測定
に適用可能である。
(ト)発明の詳細 な説明したように、この発明の超音波溶液濃度測定装置
は、溶液流を発生させて付着気泡を取除くものであるか
ら、溶液中に長時間おかれる場合であっても、正確な測
定を行える利点を有している。また、超音波振動子を破
損するおそれもない。
【図面の簡単な説明】
第1図は、この発明の第1実施例に係る超音波溶液濃度
測定装置の取付状態を説明する図、第2図は、同超音波
溶液濃度測定装置の変形を示す図、第3図は、同超音波
溶液濃度測定装置の超音波センサの外観斜視図、第4図
は、同超音波溶液濃度測定装置が適用される食塩水製造
システムを説明する図、第5図は、同食塩水製造システ
ムの動作を説明するフロー図、第6図は、この発明の第
2の実施例に係る超音波溶液濃度測定装置の取付状態を
説明する図、第7図は、同超音波溶液濃度測定装置の変
形を示す図、第8図18)、第8図Tb)は、それぞれ
従来の超音波溶液濃度測定装置で検出された音速及び溶
液濃度の経時変化を示す図、第9図(a)及び第9図山
)は、それぞれ付着気泡を除去した時の同超音波溶液濃
度測定装置で検出された音速及び濃度の経時変化を示す
図である。 2:超音波センサ、  4:サーミスタ、5:超音波振
動子、 9・22:かくはん器、32:ポンプ。 特許出願人   食品産業オンラインセンサー技術研究
組合 代理人     弁理士  中 村 茂 信第 1 図 第2図 第5図 第6図 第7図 第8図(Q) 第8図<b> I]蓬v(nr)−

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)溶液中に超音波を発すると共に、この超音波を受
    信し、溶液中の音速を検出する音速検出手段と、溶液の
    温度を検出する温度検出手段と、前記音速検出手段及び
    前記温度検出手段の出力に基づいて溶液濃度を決定する
    溶液濃度決定手段とを備えてなる超音波溶液濃度測定装
    置において、前記音速検出手段近傍の溶液中に溶液流を
    発生させ、この溶液流によりこの音速検出手段に付着す
    る気泡を除去する溶液流発生手段を備えてなることを特
    徴とする超音波溶液濃度測定装置。
  2. (2)前記溶液流発生手段は、前記音速検出手段近傍に
    配置されるかくはん器である特許請求の範囲第1項記載
    の超音波溶液濃度測定装置。
  3. (3)前記溶液流発生手段は、前記音速検出手段に溶液
    流を噴付けるノズルを備えたポンプである特許請求の範
    囲第1項記載の超音波溶液濃度測定装置。
JP62085325A 1987-04-07 1987-04-07 超音波溶液濃度測定装置 Expired - Lifetime JP2604742B2 (ja)

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Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0257060U (ja) * 1988-10-20 1990-04-25
US5473934A (en) * 1993-10-13 1995-12-12 Cobb; Wesley Ultrasonic fluid composition monitor
JPH11118774A (ja) * 1997-10-14 1999-04-30 Toyota Motor Corp オイル劣化センサ
US20160018363A1 (en) * 2013-10-02 2016-01-21 Ssi Technologies, Inc. Reduction of aeration interference in an ultrasonic fluid sensing system
WO2017082087A1 (ja) * 2015-11-09 2017-05-18 日立建機株式会社 作業機械の排気ガス浄化装置
CN106896155A (zh) * 2017-04-14 2017-06-27 深圳市盛泽森科技有限公司 震荡与除气泡结构及超声波液体浓度测试装置
US9804004B1 (en) 2016-05-13 2017-10-31 Deere & Company Fluid quality sensor and cover assembly
US10012121B2 (en) 2014-05-20 2018-07-03 Ssi Technologies, Inc. Reduction of aeration interference via tortuous path and sensor boot
CN110660708A (zh) * 2018-06-29 2020-01-07 东京毅力科创株式会社 基板处理装置和基板处理方法

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004317288A (ja) * 2003-04-16 2004-11-11 Kyoto Electron Mfg Co Ltd 超音波音速測定装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60222763A (ja) * 1984-04-20 1985-11-07 Sumitomo Bakelite Co Ltd 血清総蛋白質濃度測定方法及びその装置
JPS61206851U (ja) * 1985-06-17 1986-12-27

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60222763A (ja) * 1984-04-20 1985-11-07 Sumitomo Bakelite Co Ltd 血清総蛋白質濃度測定方法及びその装置
JPS61206851U (ja) * 1985-06-17 1986-12-27

Cited By (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0257060U (ja) * 1988-10-20 1990-04-25
US5473934A (en) * 1993-10-13 1995-12-12 Cobb; Wesley Ultrasonic fluid composition monitor
JPH11118774A (ja) * 1997-10-14 1999-04-30 Toyota Motor Corp オイル劣化センサ
US20160018363A1 (en) * 2013-10-02 2016-01-21 Ssi Technologies, Inc. Reduction of aeration interference in an ultrasonic fluid sensing system
US9377441B2 (en) 2013-10-02 2016-06-28 Ssi Technologies, Inc. Reduction of aeration interference in an ultrasonic fluid sensing system
US9535038B2 (en) * 2013-10-02 2017-01-03 Ssi Technologies, Inc. Reduction of aeration interference in an ultrasonic fluid sensing system
US10012121B2 (en) 2014-05-20 2018-07-03 Ssi Technologies, Inc. Reduction of aeration interference via tortuous path and sensor boot
CN108350780B (zh) * 2015-11-09 2020-06-19 日立建机株式会社 工程机械的废气净化装置
US10865680B2 (en) 2015-11-09 2020-12-15 Hitachi Construction Machinery Co., Ltd. Exhaust gas purifying device of work machine
US20200256230A1 (en) * 2015-11-09 2020-08-13 Hitachi Construction Machinery Co., Ltd. Exhaust Gas Purifying Device of Work Machine
WO2017082087A1 (ja) * 2015-11-09 2017-05-18 日立建機株式会社 作業機械の排気ガス浄化装置
JP2017089475A (ja) * 2015-11-09 2017-05-25 日立建機株式会社 作業機械の排気ガス浄化装置
CN108350780A (zh) * 2015-11-09 2018-07-31 日立建机株式会社 工程机械的废气净化装置
CN107367545A (zh) * 2016-05-13 2017-11-21 迪尔公司 流体品质传感器和盖组件
US9804004B1 (en) 2016-05-13 2017-10-31 Deere & Company Fluid quality sensor and cover assembly
CN107367545B (zh) * 2016-05-13 2021-09-07 迪尔公司 传感器组件和柴油机排气流体箱体组件
WO2018188665A1 (zh) * 2017-04-14 2018-10-18 深圳市盛泽森科技有限公司 震荡与除气泡结构及超声波液体浓度测试装置
CN106896155A (zh) * 2017-04-14 2017-06-27 深圳市盛泽森科技有限公司 震荡与除气泡结构及超声波液体浓度测试装置
US11143622B2 (en) 2017-04-14 2021-10-12 Dongguan Zhengyan Electronic Mechanical Co., Ltd. Vibrating structure, bubble removing structure, and ultrasonic liquid concentration detecting device
CN106896155B (zh) * 2017-04-14 2023-09-12 广东正扬传感科技股份有限公司 震荡与除气泡结构及超声波液体浓度测试装置
CN110660708A (zh) * 2018-06-29 2020-01-07 东京毅力科创株式会社 基板处理装置和基板处理方法
CN110660708B (zh) * 2018-06-29 2024-05-03 东京毅力科创株式会社 基板处理装置和基板处理方法

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JP2604742B2 (ja) 1997-04-30

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