JPS63250002A - マイクロ波放電光源装置 - Google Patents
マイクロ波放電光源装置Info
- Publication number
- JPS63250002A JPS63250002A JP8511287A JP8511287A JPS63250002A JP S63250002 A JPS63250002 A JP S63250002A JP 8511287 A JP8511287 A JP 8511287A JP 8511287 A JP8511287 A JP 8511287A JP S63250002 A JPS63250002 A JP S63250002A
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- JP
- Japan
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- microwave
- light source
- electrodeless lamp
- waveguide
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、マイクロ波放電を利用したマイクロ波放電光
源装置に関するものである。
源装置に関するものである。
第２図（ａ）、（ｂ）は実開昭５８−３４３５６号公報
に示された従来のマイクロ波放電光源装置を示し、（１
）はマイクロ波を発振するマグネトロン、（２）はマグ
ネトロンアンチブー１３１はマグネトロン（１）を装着
した導波管、（４）は導波管（３）の一端に接続された
回転対称形状の光反射板、（５）は光反射板（４）の開
口部に配設した金属網であり、マイクロ波を遮断するが
光を透過させる。（６）は光反射板（４）と金属網（５
）とからなるマイクロ波共振空胴、（７）は導波管（３
）と光反射板（４）との接続部に配設された給電口、（
８）はマイクロ波共振空胴（６）内に配設された球形の
無電極ランプであり、石英ガラスのような透光体の内部
に、希ガスや水銀などの放電発光物質が封入されている
。（９ａ）、（９ｈ）は無電極ランプ（８）を左右から
支持する支持棒、α０）は金属網（５）を固定するため
の押さえリング、（１１）は無電極ランプ（８）を冷却
するためのブロワ−１（１２］ばブロワ−（１１）と導
波管（３）および光反射板（４）との間に配設されたマ
ニーホール）ぐ、（］ ３ａ）ば導波管（３）とマニー
ホールド（］２）との接続部に設けられた送風口、（１
３ｂ）は光反射板（４）とマニーホールド（１２）との
接続部に設けられた送風口である。
に示された従来のマイクロ波放電光源装置を示し、（１
）はマイクロ波を発振するマグネトロン、（２）はマグ
ネトロンアンチブー１３１はマグネトロン（１）を装着
した導波管、（４）は導波管（３）の一端に接続された
回転対称形状の光反射板、（５）は光反射板（４）の開
口部に配設した金属網であり、マイクロ波を遮断するが
光を透過させる。（６）は光反射板（４）と金属網（５
）とからなるマイクロ波共振空胴、（７）は導波管（３
）と光反射板（４）との接続部に配設された給電口、（
８）はマイクロ波共振空胴（６）内に配設された球形の
無電極ランプであり、石英ガラスのような透光体の内部
に、希ガスや水銀などの放電発光物質が封入されている
。（９ａ）、（９ｈ）は無電極ランプ（８）を左右から
支持する支持棒、α０）は金属網（５）を固定するため
の押さえリング、（１１）は無電極ランプ（８）を冷却
するためのブロワ−１（１２］ばブロワ−（１１）と導
波管（３）および光反射板（４）との間に配設されたマ
ニーホール）ぐ、（］ ３ａ）ば導波管（３）とマニー
ホールド（］２）との接続部に設けられた送風口、（１
３ｂ）は光反射板（４）とマニーホールド（１２）との
接続部に設けられた送風口である。
従来装置の動作について以下に説明する。マグネ）・ロ
ン（１）で発振されたマイクロ波は、マグネトロンアン
テナ（２）を介して導波管（３）内を通り、さらに給電
口（７）を介してマイクロ波共振空胴（６）内に放射さ
れる。このマイクロ波が形成するマイクロ波電磁界によ
って、無電極ランプ（８）内の希ガスが放電励起され、
発熱、発光する。光は金属網（５）を通って外部に放射
され、熱はブロワ−（１１）からマニーホールド（１２
）に送り出された冷却風が送風口（１３ｂ）から無電極
ランプ（８）の下面へ、と同時に送風口（１３ａｌを通
って給電口（７）から無電極ランプ（８）の上面へと吹
付けられることによって失オ）れる。これにより、無電
極ランプ（８）が点灯中に過熱して破損することを防止
している。
ン（１）で発振されたマイクロ波は、マグネトロンアン
テナ（２）を介して導波管（３）内を通り、さらに給電
口（７）を介してマイクロ波共振空胴（６）内に放射さ
れる。このマイクロ波が形成するマイクロ波電磁界によ
って、無電極ランプ（８）内の希ガスが放電励起され、
発熱、発光する。光は金属網（５）を通って外部に放射
され、熱はブロワ−（１１）からマニーホールド（１２
）に送り出された冷却風が送風口（１３ｂ）から無電極
ランプ（８）の下面へ、と同時に送風口（１３ａｌを通
って給電口（７）から無電極ランプ（８）の上面へと吹
付けられることによって失オ）れる。これにより、無電
極ランプ（８）が点灯中に過熱して破損することを防止
している。
しかるに、マイクロ波共振空胴（６）内に配設された無
電極ランプ（８］の取付は高さは、光反射板（４）によ
って最適な反射効率を得る位置に決定され、また、給電
口（７）の形状および配設高さは、マグネトロン（１）
から発振されたマイクロ波がマイクロ波共振空胴（６）
に対し最適な整合状態を得るように決定されるので、無
電極ランプ（８）と給電口（７］の両者の高さは必ずし
も一致していない。
電極ランプ（８］の取付は高さは、光反射板（４）によ
って最適な反射効率を得る位置に決定され、また、給電
口（７）の形状および配設高さは、マグネトロン（１）
から発振されたマイクロ波がマイクロ波共振空胴（６）
に対し最適な整合状態を得るように決定されるので、無
電極ランプ（８）と給電口（７］の両者の高さは必ずし
も一致していない。
したがって、上記の従来装置においては、ブロワ−（］
］）からマニーホールド（１２）を介して送風口（１３
ａ）および導波管（３）を通って給電口（７）から吹き
出される冷却風が、無電極ランプ（８）に効率よく吹き
当たらないので、無電極ランプ（８）の一部例えば上面
が冷却不足となって、過熱による熱破損を起こすという
問題点があった。
］）からマニーホールド（１２）を介して送風口（１３
ａ）および導波管（３）を通って給電口（７）から吹き
出される冷却風が、無電極ランプ（８）に効率よく吹き
当たらないので、無電極ランプ（８）の一部例えば上面
が冷却不足となって、過熱による熱破損を起こすという
問題点があった。
本発明は上記のような問題点を解決するためになされた
ものであり、点灯中に無電極ランプの管壁に過熱部分を
生じさせないことによって、無電極ランプの熱破損を防
止する乙とができるマイクロ波放電光源装置を得ること
を目的とする。
ものであり、点灯中に無電極ランプの管壁に過熱部分を
生じさせないことによって、無電極ランプの熱破損を防
止する乙とができるマイクロ波放電光源装置を得ること
を目的とする。
本発明に係わるマイクロ波放電光源装置は、給電口の近
傍に誘電体からなる送風ガイドを設けたものである。
傍に誘電体からなる送風ガイドを設けたものである。
本発明においては、給電口近傍に設けた送風ガイドによ
って、給電口から吹き出される冷却風を無電極ランプへ
吹き当てろことがで与るので、無電極ランプの管壁に過
熱部分を生ぜず、無電極ランプが点灯中に破損しなくな
る。
って、給電口から吹き出される冷却風を無電極ランプへ
吹き当てろことがで与るので、無電極ランプの管壁に過
熱部分を生ぜず、無電極ランプが点灯中に破損しなくな
る。
第１図は本発明の一実施例を示す図であり、（１）〜（
１３ｈｌｌよ上記従来装置と全く同一のものである。（
１４）は導波管（３）内部に固定されたセラミックまた
は石英ガラスのような誘電体からなる送風ガイドである
。
１３ｈｌｌよ上記従来装置と全く同一のものである。（
１４）は導波管（３）内部に固定されたセラミックまた
は石英ガラスのような誘電体からなる送風ガイドである
。
上記のように構成されたマイクロ波放電光源装置におい
ては、従来と同様にマイクロ波によって無電極ランプ（
８）内の希ガスが放電励起され、発熱、発光する。ブＩ
７ワー（１１）からマニーホールド（１２）に送り出さ
れた冷却風は、送風口（１３ａ）を通ると送風ガイド（
１４）によって、給電口（７）から無電極ラップ（８）
へと吹き出される。このように、冷却風路が送風ガイド
（１４）によって規制できるので、無電極ランプは効果
的に冷却される。
ては、従来と同様にマイクロ波によって無電極ランプ（
８）内の希ガスが放電励起され、発熱、発光する。ブＩ
７ワー（１１）からマニーホールド（１２）に送り出さ
れた冷却風は、送風口（１３ａ）を通ると送風ガイド（
１４）によって、給電口（７）から無電極ラップ（８）
へと吹き出される。このように、冷却風路が送風ガイド
（１４）によって規制できるので、無電極ランプは効果
的に冷却される。
なお、第１図においては給電口（７）の位置が無電極ラ
ンプ（８）の位置より高い場合の一実施例を示したが、
他の場合においても、本発明は有効である。
ンプ（８）の位置より高い場合の一実施例を示したが、
他の場合においても、本発明は有効である。
〔発明の効果〕
以上のように、本発明においては、給電口近傍の導波管
内に誘電体製の送風ガイドを設けたので、マイクロ波共
振空胴内のマイクロ波電磁界を乱すことなく、給電口か
ら無電極ランプへと吹き出される冷却風の方向を所望方
向に制御できるので、無電極ランプ管壁に過熱部分が生
じない。したがって、無電極ランプが点灯中に破損しな
くなるという効果がある。
内に誘電体製の送風ガイドを設けたので、マイクロ波共
振空胴内のマイクロ波電磁界を乱すことなく、給電口か
ら無電極ランプへと吹き出される冷却風の方向を所望方
向に制御できるので、無電極ランプ管壁に過熱部分が生
じない。したがって、無電極ランプが点灯中に破損しな
くなるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示す断面図、第２図（ａ）
、（ｂ）（ま従来のマイクロ波放電光源装置を示す平面
図、正面断面図である。 図において、（１）はマグネＩ・ロン、（３）は導波管
、（４） ＋、ｉ：光反射板、（８）はマイク０波共振
空胴、（７）は給電１」、（８）は無電極ランプ、（１
１）はブロワ−１（］２）はマシーホールド、（３１ａ
）、（１３ｂ）は送風口、（１４）は送風ガイドである
。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。
、（ｂ）（ま従来のマイクロ波放電光源装置を示す平面
図、正面断面図である。 図において、（１）はマグネＩ・ロン、（３）は導波管
、（４） ＋、ｉ：光反射板、（８）はマイク０波共振
空胴、（７）は給電１」、（８）は無電極ランプ、（１
１）はブロワ−１（］２）はマシーホールド、（３１ａ
）、（１３ｂ）は送風口、（１４）は送風ガイドである
。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- 壁面に給電口を備え、内部に無電極ランプを配設したマ
イクロ波空胴、マイクロ波エネルギーを発振するマイク
ロ波発振器、一端がこのマイクロ波発振器に接続され、
他端が上記給電口を有する空胴壁面に接続された導波管
、および上記導波管、上記給電口を介して上記ランプを
冷却するための冷却風路を有してなるマイクロ波放電光
源装置において、導波管側に誘電体よりなる冷却風路規
制手段を設けたことを特徴とするマイクロ波放電光源装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8511287A JPS63250002A (ja) | 1987-04-07 | 1987-04-07 | マイクロ波放電光源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8511287A JPS63250002A (ja) | 1987-04-07 | 1987-04-07 | マイクロ波放電光源装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63250002A true JPS63250002A (ja) | 1988-10-17 |
Family
ID=13849541
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8511287A Pending JPS63250002A (ja) | 1987-04-07 | 1987-04-07 | マイクロ波放電光源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63250002A (ja) |
-
1987
- 1987-04-07 JP JP8511287A patent/JPS63250002A/ja active Pending
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