JPS63249004A - 干渉縞発生装置 - Google Patents
干渉縞発生装置Info
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- JPS63249004A JPS63249004A JP8266687A JP8266687A JPS63249004A JP S63249004 A JPS63249004 A JP S63249004A JP 8266687 A JP8266687 A JP 8266687A JP 8266687 A JP8266687 A JP 8266687A JP S63249004 A JPS63249004 A JP S63249004A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 12
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract 5
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 abstract 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
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- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、干渉縞発生装置に関する。
（従来の技術）
干渉縞発生装置は、単色光をハーフミラ−により第１．
第２光束に分離し、第１光束を試料に、第２光束を参照
ミラーに照射し、上記試料、参照ミラーによる反射光束
を互いに干渉させて干渉縞を発生させる装置であって、
近時、各種の製品検査等への適用が意図されている。
第２光束に分離し、第１光束を試料に、第２光束を参照
ミラーに照射し、上記試料、参照ミラーによる反射光束
を互いに干渉させて干渉縞を発生させる装置であって、
近時、各種の製品検査等への適用が意図されている。
このような干渉縞発生装置の具体例としては。
ミロ−型の顕微鏡をあげることができる。ミロ−型の顕
微鏡は、近来、磁気ヘッドの検査等に用いられている。
微鏡は、近来、磁気ヘッドの検査等に用いられている。
（発明が解決しようとする問題点）
しかし、ミロ−型の顕微鏡で例えば磁気ヘッドの最高部
とへラドギャップの位置とを測定しようとすると、最高
部は干渉縞の中心と対応するため時として最高部が黒い
部分となりヘッドギャップと上記黒い部分とが重なり合
ってヘッドギャップの位置を判断するのに困難な場合が
ある。
とへラドギャップの位置とを測定しようとすると、最高
部は干渉縞の中心と対応するため時として最高部が黒い
部分となりヘッドギャップと上記黒い部分とが重なり合
ってヘッドギャップの位置を判断するのに困難な場合が
ある。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであっ
て、第１．第２光束の干渉縞を必要に応じて容易に消去
しうる、新規な干渉縞発生装置の提供を目的とする。
て、第１．第２光束の干渉縞を必要に応じて容易に消去
しうる、新規な干渉縞発生装置の提供を目的とする。
（間層点を解決するための手段）
以下、本発明を説明する。
本発明の干渉縞発生装置は、単色光をハーフミラ−によ
り第１．第２光束に分離し、第１光束を試料に、第２光
束を参照ミラーに照射し、上記試料、参照ミラーによる
反射光束を互いに干渉させて干渉縞を発生させる装置で
あり、以下の如き特徴を有する。
り第１．第２光束に分離し、第１光束を試料に、第２光
束を参照ミラーに照射し、上記試料、参照ミラーによる
反射光束を互いに干渉させて干渉縞を発生させる装置で
あり、以下の如き特徴を有する。
即ち、本発明の装置は、上記ハーフミラ−と試料の間に
出入可能に配備された透明な平行平面板を有する。そし
て、この平行平面板の光学的厚さは、この平行平面板を
上記ハーフミラ−と試料の間に入れたとき、干渉縞が消
えるように定められている。
出入可能に配備された透明な平行平面板を有する。そし
て、この平行平面板の光学的厚さは、この平行平面板を
上記ハーフミラ−と試料の間に入れたとき、干渉縞が消
えるように定められている。
（作 用）
平行平面板を、ハーフミラ−と試料との間に入れると、
第１光束と第２光束との間に光路長差が生ずる。即ち、
第１光束の光路長が、平行平面板の透過により変化する
からである。そこで、平行平面板の光学的な厚さ、即ち
物理的な厚さと屈折率との積を調整することにより、上
記光路長差が可干渉距離を越えるようにし、単色光の空
間的コヒーレンスを崩して干渉縞を消去するのである。
第１光束と第２光束との間に光路長差が生ずる。即ち、
第１光束の光路長が、平行平面板の透過により変化する
からである。そこで、平行平面板の光学的な厚さ、即ち
物理的な厚さと屈折率との積を調整することにより、上
記光路長差が可干渉距離を越えるようにし、単色光の空
間的コヒーレンスを崩して干渉縞を消去するのである。
（実施例）
以下、具体的な実施例に即して説明する。
第１図の実施例は、本発明の干渉縞発生袋装置を顕微鏡
として実施したものを示している。
として実施したものを示している。
光源１０から放射された単色光はレンズ１２により平行
光束化されて、半透鏡１４に入射し、同半透鏡１４によ
り反射された光束は、対物レンズ１６に入射し、集束光
となってハーフミラ−１８に入射する。
光束化されて、半透鏡１４に入射し、同半透鏡１４によ
り反射された光束は、対物レンズ１６に入射し、集束光
となってハーフミラ−１８に入射する。
ハーフミラ−１８を透過した光束は第１光束として試料
１００例えば磁気ヘッドに入射する。このとき第１光束
は対物レンズ１６の作用により試料１００の表面に焦点
を結ぶようにする。
１００例えば磁気ヘッドに入射する。このとき第１光束
は対物レンズ１６の作用により試料１００の表面に焦点
を結ぶようにする。
ハーフミラ−１８に反射された光束は第２光束として参
照ミラー２０に入射する。参照ミラー２０は図示の如く
対物レンズ１６に蒸着形成されている。
照ミラー２０に入射する。参照ミラー２０は図示の如く
対物レンズ１６に蒸着形成されている。
試料１００に反射された第１光束はハーフミラ−１８を
透過し、また参照ミラー２０に反射された第２光束はハ
ーフミラ−１８に反射されて、再び互いに合流され、対
物レンズ１６．半透鏡１４．結像レンズ２４を介してテ
レビカメラ２６に入射し、その受光面上に干渉縞を生ず
る。テレビモニター２８はこの干渉縞を表示する。対物
レンズ１６を、その光軸方向へ微小変位させて位置微調
整を行うことにより干渉縞を明確にすることが出来る。
透過し、また参照ミラー２０に反射された第２光束はハ
ーフミラ−１８に反射されて、再び互いに合流され、対
物レンズ１６．半透鏡１４．結像レンズ２４を介してテ
レビカメラ２６に入射し、その受光面上に干渉縞を生ず
る。テレビモニター２８はこの干渉縞を表示する。対物
レンズ１６を、その光軸方向へ微小変位させて位置微調
整を行うことにより干渉縞を明確にすることが出来る。
試料１００が磁気ヘッドの場合には上記干渉縞の中心と
して、磁気ヘッドの最高部を知ることができる。
して、磁気ヘッドの最高部を知ることができる。
次に、上のようにして発生した干渉縞を消去するには、
透明な平行平面板３０を第１図で実線の位置から破線の
位置まで移動させて、これをハーフミラ−１８と試料１
００の間に入れる。第２図は、この状態を示している。
透明な平行平面板３０を第１図で実線の位置から破線の
位置まで移動させて、これをハーフミラ−１８と試料１
００の間に入れる。第２図は、この状態を示している。
第１光束は平行平面板３０を透過する事で、その集束点
が図のようにΔｌだけずれる。このΔ１は平行平面板３
０の物理的な厚さｄと屈折率ｎとを用いて Δｌ ＝ｄ （１−１／ｎ ） で与えられる。Δｌの大きさが単色光の可干渉距離、即
ち第１．第２光束の干渉が生ずるための光路長差の限界
値をこえるように平行平面板３０の光学的厚さを設定し
て置くことにより、干渉縞を消去することができる。
が図のようにΔｌだけずれる。このΔ１は平行平面板３
０の物理的な厚さｄと屈折率ｎとを用いて Δｌ ＝ｄ （１−１／ｎ ） で与えられる。Δｌの大きさが単色光の可干渉距離、即
ち第１．第２光束の干渉が生ずるための光路長差の限界
値をこえるように平行平面板３０の光学的厚さを設定し
て置くことにより、干渉縞を消去することができる。
このようにして、干渉縞を消去した状態では、試料１０
０の表面がピンぼけ状態でテレビモニター２８に映し出
されるが、対物レンズ１６を光軸方向に移動させて第１
光束の焦点位置を改めて試料１００の表面に合わせるこ
とにより、試料１００の表面をテレビモニター２８で観
察できる。
０の表面がピンぼけ状態でテレビモニター２８に映し出
されるが、対物レンズ１６を光軸方向に移動させて第１
光束の焦点位置を改めて試料１００の表面に合わせるこ
とにより、試料１００の表面をテレビモニター２８で観
察できる。
また、平行平面板３０をハーフミラ−１８と、試料１０
０との間に介在させたままの状態で干渉縞を発生させる
こともでき、その場合は対物レンズ１６とハーフミラ−
１８の一方もしくは双方を変移させて第１．第２光束の
光路長差を再び可干渉距離内にすればよい。
０との間に介在させたままの状態で干渉縞を発生させる
こともでき、その場合は対物レンズ１６とハーフミラ−
１８の一方もしくは双方を変移させて第１．第２光束の
光路長差を再び可干渉距離内にすればよい。
第３図に示す実施例は１本発明の干渉縞発生装置をマイ
ケルソン型干渉測定装置として実現したものである。
ケルソン型干渉測定装置として実現したものである。
光源１０からの単色光はレンズ１２で平行光束化されハ
ーフミラ−１８で第１．第２光束に分離され、それぞれ
試料１００．参照ミラー２１に入射し、各々反射される
とハーフミラ−１８により互いに合流して結像レンズ２
４によりテレビカメラ２６上に干渉縞を生ずる。平行平
面板３０を試料１００とハーフミラ−１８との間に入れ
ることにより、干渉縞を消去する事ができる。
ーフミラ−１８で第１．第２光束に分離され、それぞれ
試料１００．参照ミラー２１に入射し、各々反射される
とハーフミラ−１８により互いに合流して結像レンズ２
４によりテレビカメラ２６上に干渉縞を生ずる。平行平
面板３０を試料１００とハーフミラ−１８との間に入れ
ることにより、干渉縞を消去する事ができる。
なお、平行平面板をハーフミラ−と試料の間に出入させ
る操作は手動で行っても良いし、自動的に行うようにし
ても良い。
る操作は手動で行っても良いし、自動的に行うようにし
ても良い。
（発明の効果）
以上、本発明に依れば、新規な干渉縞発生装置を提供で
きる。この装置は発生させた干渉縞を必要に応じて消去
出来るので、干渉縞を用いた試料ａ察と、干渉縞を消し
た状態での試料観察とを容易に行うことができる。また
、平行、平面板の挿入位置はハーフミラ−と試料の間な
らどこでも良いので、装置の設計条件も簡単である。
きる。この装置は発生させた干渉縞を必要に応じて消去
出来るので、干渉縞を用いた試料ａ察と、干渉縞を消し
た状態での試料観察とを容易に行うことができる。また
、平行、平面板の挿入位置はハーフミラ−と試料の間な
らどこでも良いので、装置の設計条件も簡単である。
第１図は１本発明の１実施例を要部のみ示す図、第２図
は、上記実施例を説明するための図、第３図は、別の実
施例を要部のみ示す図である。 １０、、、単色光用の光源、１８．、、 Ａ−フミラー
、２゜、２１．、、参照ミラー、 １００．、、試料、
３０．、、平行平面板 最７日 手続補正書 昭和６２年９月Ｉｆ日 昭和６２年特許願第８２６６６号 ２、発明の名称 干渉縞発生装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名 称 （２２３）株式会社三協精機製作所４、代理人 住 所 東京都世田谷区経堂４−５−４明細書の「特許
請求の範囲」 「発明の詳細６、補正の内容 （１）特許請求の範囲を別紙の通り補正する。 、（２）明細書第３頁第１０行中の「透明な平行平面板
」を「光を透過する平行平面板」と補正する。 （３）同第５頁第１１行中の「透明な平行平面板」を「
光を透過する平行平面板」と補正する。 （４）同第７頁第９行末尾の「良い、」の次に、次の文
章を加入する。 ［また、平行平面板は、光の全ての波長や全光量を透過
するものだけではなく、特定の波長の光だけを透過する
ものであっても良いし、ハーフミラ−等の半分の光量を
透過させるものであってもよい、」 （５）同第７頁第１５行の「平行平面板」をｒ平行平面
板」と補正する。 特許請求の範囲 単色光をハーフミラ−により第１．第２光束に分離し、
第１光束を試料に、第２光束を参照ミラーに照射し、上
記試料、参照ミラーによる反射光束を互いに干渉させて
干渉縞を発生させる装置であって、 上記ハーフミラ−と試料の間に出入可能に配備された、
光を透過する平行平面板を有し、上記平行平面板の光学
的厚さが、この平行平面板を上記ハーフミラ−と試料の
間に入れたとき、干渉縞が消えるように定められたこと
を特徴とする、干渉縞発生装置。
は、上記実施例を説明するための図、第３図は、別の実
施例を要部のみ示す図である。 １０、、、単色光用の光源、１８．、、 Ａ−フミラー
、２゜、２１．、、参照ミラー、 １００．、、試料、
３０．、、平行平面板 最７日 手続補正書 昭和６２年９月Ｉｆ日 昭和６２年特許願第８２６６６号 ２、発明の名称 干渉縞発生装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名 称 （２２３）株式会社三協精機製作所４、代理人 住 所 東京都世田谷区経堂４−５−４明細書の「特許
請求の範囲」 「発明の詳細６、補正の内容 （１）特許請求の範囲を別紙の通り補正する。 、（２）明細書第３頁第１０行中の「透明な平行平面板
」を「光を透過する平行平面板」と補正する。 （３）同第５頁第１１行中の「透明な平行平面板」を「
光を透過する平行平面板」と補正する。 （４）同第７頁第９行末尾の「良い、」の次に、次の文
章を加入する。 ［また、平行平面板は、光の全ての波長や全光量を透過
するものだけではなく、特定の波長の光だけを透過する
ものであっても良いし、ハーフミラ−等の半分の光量を
透過させるものであってもよい、」 （５）同第７頁第１５行の「平行平面板」をｒ平行平面
板」と補正する。 特許請求の範囲 単色光をハーフミラ−により第１．第２光束に分離し、
第１光束を試料に、第２光束を参照ミラーに照射し、上
記試料、参照ミラーによる反射光束を互いに干渉させて
干渉縞を発生させる装置であって、 上記ハーフミラ−と試料の間に出入可能に配備された、
光を透過する平行平面板を有し、上記平行平面板の光学
的厚さが、この平行平面板を上記ハーフミラ−と試料の
間に入れたとき、干渉縞が消えるように定められたこと
を特徴とする、干渉縞発生装置。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 単色光をハーフミラーにより第１、第２光束に分離し、
第１光束を試料に、第２光束を参照ミラーに照射し、上
記試料、参照ミラーによる反射光束を互いに干渉させて
干渉縞を発生させる装置であって、 上記ハーフミラーと試料の間に出入可能に配備された透
明な平行平面板を有し、 上記平行平面板の光学的厚さが、この平行平面板を上記
ハーフミラーと試料の間に入れたとき、干渉縞が消える
ように定められたことを特徴とする、干渉縞発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8266687A JP2507409B2 (ja) | 1987-04-03 | 1987-04-03 | 干渉縞発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8266687A JP2507409B2 (ja) | 1987-04-03 | 1987-04-03 | 干渉縞発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63249004A true JPS63249004A (ja) | 1988-10-17 |
| JP2507409B2 JP2507409B2 (ja) | 1996-06-12 |
Family
ID=13780754
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8266687A Expired - Lifetime JP2507409B2 (ja) | 1987-04-03 | 1987-04-03 | 干渉縞発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2507409B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102313524A (zh) * | 2010-07-05 | 2012-01-11 | 致茂电子(苏州)有限公司 | 一种取像装置与方法 |
| CN104316462A (zh) * | 2014-10-14 | 2015-01-28 | 安徽皖仪科技股份有限公司 | 一种m形长光程气室 |
-
1987
- 1987-04-03 JP JP8266687A patent/JP2507409B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102313524A (zh) * | 2010-07-05 | 2012-01-11 | 致茂电子(苏州)有限公司 | 一种取像装置与方法 |
| CN104316462A (zh) * | 2014-10-14 | 2015-01-28 | 安徽皖仪科技股份有限公司 | 一种m形长光程气室 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2507409B2 (ja) | 1996-06-12 |
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