JPS63245366A - ウエ−ハの加圧接着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ワックスによってウェーハをキャリアプレー
トに加圧して接着するウェーハの加圧接着装置に関する
。

〔従来の技術〕

一般に、ウェーハの表面を鏡面仕上げする場合には、ウ
ェーハをキャリアプレートの端面にワックスによって貼
着して行なうようにしている。例えば、ウニＬ−への表
面に溶融したワックスを塗布した後、該ウェーハをキャ
リアプレート上に押圧して接着して、全面均一な接着面
を得るようにしている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、ウェーハにはそのスライス加工時に多少
の反りが生じているため、このようにして、ウェーハを
キせリアプレートに押圧接着した状態のままで、ウェー
ハを研摩すると、研摩工程終了後、ウェーハをキャリア
プレートから剥離した際に、上記抑圧接着時にウェーハ
に加わった歪によって、ウェーハが変形して、鏡面仕上
げした面がゆがむという問題がある。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、その目的
とするところは、ウェーハをキャリアプレートに接着し
た際にウェーハに加わる歪を円滑に取り除くことができ
、かつウェーハをキャリアプレー１〜に確実に貼り付け
ることができて、全面均一な接着面を得ることができる
上に、後工程であるウェーハの研摩工程においてウェー
ハの表面を容易に鏡面仕上げすることができるウェーハ
の加圧接着装置ｖ１を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、本発明は、ウェーハを接着
したキャリアプレートを挟圧する一対の加圧定盤と、こ
れらの加圧定盤を、両加圧定盤によって挟圧されている
キャリアプレー１・の軸線を中心にして相対的に回転さ
せる回動機構とを備えたものである。

〔作用〕

本発明のウェーハの加圧接着装置にあっては、ウェーハ
を接着したキャリアプレー１・を一対の加圧定盤で挾ん
で加圧すると共に、これらの加圧定盤を回動機構によっ
てキャリアプレー１〜の軸線を中心にして相対的に回転
させてウェーハに加わった歪を除去する。

〔実施例〕 以下、第１図ないし第３図に基づいて本発明の一実施例
を説明する。

図中符号１は架台であり、この架台１上にリング状の支
持板２が取付けられている。そして、この支持板２には
、軸受３を介して回転円盤４が回転自在に支持されてお
り、この回転円盤４の上面には、セラミックプレー１・
５が係止ブロック６によって取付けられている。このセ
ラミックプレー１・５の上面には、キャリアプレートＣ
Ｐが載置されるようになっており、このキャリアプレー
トＣＰの上面には、第３図に示すように、キャリアプレ
ートＣＰの軸１ｉ１０　＋　まわりに等間隔に複数の（
図にＪ３いては６枚の）シリコンウェーハＷがワックス
によって貼着されている。また、上記回転円盤４の下面
には、上記架台１を貫通した状態で、回転軸７が連結さ
れており、この回転軸７の下端部には回動レバー８が固
定されている。ぞして、この回動レバー８の回動端には
、リンク部材９の一端が回転自在に連結されており、こ
のリンク部材９の他端は、モータ等により回転させられ
る回転板１０の上面に、その回転中心ｏ２がら偏心した
状態で回転自在に連結されている。これにより回転板１
０が回転すると、上記偏心重に応じて、−Ｆ記回動レバ
ー８がその揺動中心０３　　（キャリアプレートＣＰの
軸線０＋　）を中心にして所定角度（約５°〉揺動する
ようになっている。

上記回転円盤４の外方において、上記架台１には、真空
カバー１１がボルトによって着脱自在に取付けられてお
り、この真空カバー１１の中心部の筒状部１１ａには、
加圧ｌＮ１１２が上下に摺動自在に装着されている。そ
して、この加圧軸１２の下端には取付部材１３を介して
加圧プレート１４が固定されており、かっこの加圧プレ
ート１４の下面には、係止フック１５を介してセラミッ
クプレート１６が取付けられている。また、上記加圧プ
レート１４と真空カバー１１との間には、加圧プレート
１４及びセラミックプレート１６のつれ回りを防止する
回止め機構１７が設置されている。

なお、上記真空カバー１１と架台１との間、真空カバー
１１の筒状部１１ａと加圧軸１２との間及び支持板２と
回転円盤４との間にはそれぞれシール部材が装着されて
おり、これにより、真空カバー１１の内部が真空状ｒ）
に維持できるようになっている。

上記のように構成されたウェーハの加圧接着装置を用い
て、シリコンウェーハＷをキャリアプレートＣＰ上に加
圧接着する場合には、まず、あらかじめシリコンウェー
ハＷの接着面に溶融状態のワックスを塗布した後、これ
をキャリアプレートＣＰ上に第３図に示ずように等間隔
で接着しておく。また、上記加圧接着装置においては、
真空カバー１１を開いて、上下一対のセラミックプレー
ト１６．５間をあ番プでおく。この状態において、上記
シリコンウェーハＷを上面に接着したキャリアプレート
ＣＰをセラミックプレート５上に載置する。そして、真
空カバー１１を閉じ、両セラミックプレート５．１６間
にキャリアプレートＣＰを挾んだ状態で、加圧軸１２に
よって下方に所定圧力を加えてキャリアプレートＣＰを
加圧すると共に、真空カバー１１の内部を真空吸引する
。次いで、回転板１０を１回転することにより、リンク
部材９を介して回動レバー８を所定角度揺動させ、回転
円盤４をセラミックプレート５とともに揺動させる。こ
の結果、上記セラミックプレート５の揺動に伴い、キャ
リアプレートＣＰがつれ回る。これに対して、キャリア
プレー１−　ＣＰ上のシリコンウェーハＷは、上側のセ
ラミックプレート１６に摩擦力によって固定されるので
、結果としてシリコンウェーハＷはキせリアプレーｈ　
ＣＰの軸線０１を中心にしてキャリアプレートＣＰ上を
所定角度滑動する。

このようにして、シリコンウェーハＷとキャリアプレー
トＣＰとの脱気を行なうと共に、シリコノウ１−ハＷを
キャリアプレートＣＰにワックスによって全面均一な状
態で接着し、かつ加圧によるシソコンウェーハＷの歪を
円滑に除去する。なお、上記揺動操作は、シリコンウェ
ーハＷとキせリアプレートＣＰとの間に介在したワック
スが６月１され、粘度が増した時点からワックスが固化
する直前までに行なう。また、本実施例においては、下
側のセラミックプレート５を回動させて、キャリアプレ
ー１−　ＣＰ上のシリコンウェーハＷを移動させたが、
これに限らず、上側のセラミックプレート１６を回動さ
せでもよい。ざらに、−上記実施例では、回動レバー８
の揺動操作により、シリコンウェーハＷはキャリアプレ
ートＣＰ上を一旦移動した後、再び元の位置に戻すＪζ
うに説明したが、必ずしも元の位置に戻す必要（よなく
、要するに、シリコンウェーハＷに加わった歪が円滑に
除去されればよい。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明は、ｔウェーハを接着した
キャリアプレー１〜を挟圧する一対の加圧定盤と、これ
らの加圧定盤を、キャリアプレートの軸線を中心にして
相対的に回転させる回動機構とを漏えたものであるから
、ウェーハを接着したキャリアプレートを一対の加圧定
盤で挾んで加圧すると共に、回動機構によって両加圧定
盤をキャリアプレートの軸線を中心にして相対的に回転
させることにより、ウェーハに加わった歪を円滑に除去
することができ、かつウェーハをキャリアプレー１〜に
確実に貼り付けることができる上に、後工程であるウェ
ーハの研摩工程において、ウェーハの表面を容易に鏡面
仕上げすることができるという優れた効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第３図は本発明の一実施例を示すらので、
第１図は断面図、第２図は回動機構の説明図、第３図は
キャリアプレート上のウェーハの配置を説明する平面図
である。 ４・・・回転円盤、５・・・ヒラミックプレート、７・
・・回転軸、８・・・回動レバー、９・・・リンク部材
、１０・・・回転板、１４・・・加圧プレー１〜．１６
・・・セラミックプレート、ＣＰ・・・主１１リアプレ
ート、Ｗ・・・シリコンウェーハ、ＯＩ・・・軸線。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ワックスによって複数のウェーハをキャリアプレートの
   一面に、このキャリアプレートの軸線まわりに所定間隔
   で貼り付けるウェーハの加圧接着装置において、上記ウ
   ェーハを接着したキャリアプレートを挟圧する一対の加
   圧定盤と、これらの加圧定盤を、両加圧定盤によつて挟
   圧されているキャリアプレートの軸線を中心にして相対
   的に回転させる回動機構とを具備したことを特徴とする
   ウェーハの加圧接着装置。