JPS63238276A - 連続真空蒸着めつき装置のロ−ル温度制御方法 - Google Patents
連続真空蒸着めつき装置のロ−ル温度制御方法Info
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- JPS63238276A JPS63238276A JP7189887A JP7189887A JPS63238276A JP S63238276 A JPS63238276 A JP S63238276A JP 7189887 A JP7189887 A JP 7189887A JP 7189887 A JP7189887 A JP 7189887A JP S63238276 A JPS63238276 A JP S63238276A
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D21/00—Arrangements of monitoring devices; Arrangements of safety devices
- F27D21/0014—Devices for monitoring temperature
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D3/00—Charging; Discharging; Manipulation of charge
- F27D3/02—Skids or tracks for heavy objects
- F27D3/026—Skids or tracks for heavy objects transport or conveyor rolls for furnaces; roller rails
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Rolls And Other Rotary Bodies (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は連続真空蒸着めっき装置において、真空系を真
空引きする際に、蒸着室内部の巻付はロールや蒸着室の
前後に連設されるシールロール室のロール温度を制御し
、これらロールの異常加熱ないし異常冷却を防止する方
法に関する。
空引きする際に、蒸着室内部の巻付はロールや蒸着室の
前後に連設されるシールロール室のロール温度を制御し
、これらロールの異常加熱ないし異常冷却を防止する方
法に関する。
［技術背景と問題点］
真空蒸着めっきは、金属帯（ストリップ）の表面にめっ
き金属蒸気を付着させてめっき層を形成する方法であり
、その装置構成の一例として第１図に示す装置が知られ
ている０図示するように該真空蒸着めっき装置のめっき
ラインには、ストリップ２０の進行方向に沿って、還元
前処理炉１０、入側シールロール室１１、真空蒸着室１
２．１３、出側シールロール室１４．冷却室１５が順次
配設されており、入側シールロール室１１の前方には賦
圧室１Ｂが設けられている。入側および出側のシールロ
ール室１１．１４は蒸着室１２．１３の真空を維持する
ためのものであり、蒸着室１２．１３に向って徐々に真
空度が高くなるよう複数の室に区画されている。蒸着室
１２．１３の内部にはストリップ２０が巻付けられる巻
付はロール１７．１８が設けられており、該巻付はロー
ル１７．１８にはヒータが内蔵されており、めっき金属
蒸気が付着しないように所定温度に加熱されている。一
方、シールロール室も亜鉛蒸気がシールロールに付着し
ないようにヒータが内蔵されており、該ヒータにより所
定のロール温度に加熱されている。
き金属蒸気を付着させてめっき層を形成する方法であり
、その装置構成の一例として第１図に示す装置が知られ
ている０図示するように該真空蒸着めっき装置のめっき
ラインには、ストリップ２０の進行方向に沿って、還元
前処理炉１０、入側シールロール室１１、真空蒸着室１
２．１３、出側シールロール室１４．冷却室１５が順次
配設されており、入側シールロール室１１の前方には賦
圧室１Ｂが設けられている。入側および出側のシールロ
ール室１１．１４は蒸着室１２．１３の真空を維持する
ためのものであり、蒸着室１２．１３に向って徐々に真
空度が高くなるよう複数の室に区画されている。蒸着室
１２．１３の内部にはストリップ２０が巻付けられる巻
付はロール１７．１８が設けられており、該巻付はロー
ル１７．１８にはヒータが内蔵されており、めっき金属
蒸気が付着しないように所定温度に加熱されている。一
方、シールロール室も亜鉛蒸気がシールロールに付着し
ないようにヒータが内蔵されており、該ヒータにより所
定のロール温度に加熱されている。
上記真空蒸着めっき装置において、めっき操業開始時に
、蒸着室およびシールロール室を真空引きする前に予め
大気中で巻付はロールが加熱され、ストリップとの接触
により持去られる以上の熱量を与えるように昇温される
。その後、蒸着室ないしシールロール室をｉ空引きす−
ることによりこれら各室がめつき操業に適する真空状態
に保たれる。
、蒸着室およびシールロール室を真空引きする前に予め
大気中で巻付はロールが加熱され、ストリップとの接触
により持去られる以上の熱量を与えるように昇温される
。その後、蒸着室ないしシールロール室をｉ空引きす−
ることによりこれら各室がめつき操業に適する真空状態
に保たれる。
このように予め巻付はロールが加熱された状態で真空引
きが行なわれ、短時間で蒸着室内部が真空状態に達する
ので、ストリップと巻付はロール間の熱伝達率が真空度
が進むにつれて小さくなり、大気中での加熱温度のまま
では異常加熱を生じ、ロール形状が外側に膨らむような
変形をきたす虞がある。
きが行なわれ、短時間で蒸着室内部が真空状態に達する
ので、ストリップと巻付はロール間の熱伝達率が真空度
が進むにつれて小さくなり、大気中での加熱温度のまま
では異常加熱を生じ、ロール形状が外側に膨らむような
変形をきたす虞がある。
一方、真空引きを停止すると、瞬間的に真空雰囲気から
大気状態に戻るので熱伝達率が急激に大きくなり、スト
リップによって持去られる熱量が増大する結果、巻付は
ロールが異常冷却され、ロール形状が内側に凹む問題が
ある。
大気状態に戻るので熱伝達率が急激に大きくなり、スト
リップによって持去られる熱量が増大する結果、巻付は
ロールが異常冷却され、ロール形状が内側に凹む問題が
ある。
同様の問題はシールロールについても見られる。
このようなロール形状の変形は、ストリップ表面に疵を
生じる原因となるだけでなく巻付はロールとロールカバ
ーとの接触よるトラブルやストリップの蛇行運動を招き
、ストリップエツジの損傷あるいは板切れ等の不都合を
生じる原因となる。
生じる原因となるだけでなく巻付はロールとロールカバ
ーとの接触よるトラブルやストリップの蛇行運動を招き
、ストリップエツジの損傷あるいは板切れ等の不都合を
生じる原因となる。
［問題解決の知見］
本発明者等は、上記真空引きの際に巻付はロール等の温
度制御について上述の問題が存在することを見出し、真
空引き開始信号ないし停止信号にもとづいて巻付はロー
ル等の加熱温度を調整することにより上記問題を解消し
うる知見を得た。
度制御について上述の問題が存在することを見出し、真
空引き開始信号ないし停止信号にもとづいて巻付はロー
ル等の加熱温度を調整することにより上記問題を解消し
うる知見を得た。
［発明の構成］
本発明によれば、真空蒸着装置の蒸着室およびシールロ
ール室からなる真空系を真空引きする際、真空引き開始
信号又は停止信号に基づいてシールロール及び又は蒸着
室内部の巻付はロールの温度を増減する連続真空蒸着め
っき装置のロール温度制御方法が提供される。
ール室からなる真空系を真空引きする際、真空引き開始
信号又は停止信号に基づいてシールロール及び又は蒸着
室内部の巻付はロールの温度を増減する連続真空蒸着め
っき装置のロール温度制御方法が提供される。
またその好適な実施態様として、真空引き開始信号に基
づいて、巻付はロールまたはシールロールのヒータ出力
を低下させ、真空引き停止信号に基すいて該ヒータ出力
を高める制御方法が提供される。
づいて、巻付はロールまたはシールロールのヒータ出力
を低下させ、真空引き停止信号に基すいて該ヒータ出力
を高める制御方法が提供される。
蒸着室の内部に配設される巻付はロールの内部には、そ
の周面に沿ってヒータが配列されており、めっき金属蒸
気が付着しないよう及びストリップの板温を蒸着めっき
に適する温度に保つため所定温度に加熱されている。亜
鉛めっきの場合、蒸着室内部の蒸発槽は約５００℃に加
熱される。これに伴ない亜鉛蒸気が巻付ロールに付着し
ないように巻付はロールは約５００℃に加熱される。
の周面に沿ってヒータが配列されており、めっき金属蒸
気が付着しないよう及びストリップの板温を蒸着めっき
に適する温度に保つため所定温度に加熱されている。亜
鉛めっきの場合、蒸着室内部の蒸発槽は約５００℃に加
熱される。これに伴ない亜鉛蒸気が巻付ロールに付着し
ないように巻付はロールは約５００℃に加熱される。
めっき操業開始時等に巻付はロールを内部のヒータによ
り５００℃まで加熱する際、真空引き開始信号あるいは
真空引き停止信号に基づきヒータ出力を調整して、加熱
温度を増減する。具体的には該ヒータの出力を予め定め
た量α１、α２、例えば、α１を出力５０〜８０％、α
２を出力１００％に設定し、真空引き開始信号を受信し
た場合には該ヒータ出力をα凰に切替え、真空引き停止
信号を受けた場合にはα２に切替える。勿論、上記ヒー
タ出力量α！、α２は種々のめっき条件によって適宜定
められる。
り５００℃まで加熱する際、真空引き開始信号あるいは
真空引き停止信号に基づきヒータ出力を調整して、加熱
温度を増減する。具体的には該ヒータの出力を予め定め
た量α１、α２、例えば、α１を出力５０〜８０％、α
２を出力１００％に設定し、真空引き開始信号を受信し
た場合には該ヒータ出力をα凰に切替え、真空引き停止
信号を受けた場合にはα２に切替える。勿論、上記ヒー
タ出力量α！、α２は種々のめっき条件によって適宜定
められる。
ロール内部にヒータを有する加熱型シールロールの場合
にも同様にヒータ出力の切替えが行なわれる。
にも同様にヒータ出力の切替えが行なわれる。
［実施例１
第２図に本発明に係るロール温度制御の具体的な−例を
示す。
示す。
図示するように蒸着室内部の巻付はロール３０には、そ
の周面に沿ってシースヒータ３１が配設されており、ま
たロール温度を検出する温度計３２が設けられており、
該温度計３２は該ロール温度を制御するための制御部３
３に電気的に接続されている。
の周面に沿ってシースヒータ３１が配設されており、ま
たロール温度を検出する温度計３２が設けられており、
該温度計３２は該ロール温度を制御するための制御部３
３に電気的に接続されている。
該制御部３３には真空引きの開始信号Ｐ１および停止信
号Ｐ２が受信される。ヒータ３１への通電回路には通電
量を制御する可変抵抗器等を具えた出力調整部３４が介
設されており、該出力調整部３４は上記制御部３３に接
続しており、該制御部からのパルス信号ｐ、、ｐ２によ
りヒータ３１への通電量が調整され出力が増減される。
号Ｐ２が受信される。ヒータ３１への通電回路には通電
量を制御する可変抵抗器等を具えた出力調整部３４が介
設されており、該出力調整部３４は上記制御部３３に接
続しており、該制御部からのパルス信号ｐ、、ｐ２によ
りヒータ３１への通電量が調整され出力が増減される。
真空引きを開始するパルス信号Ｐ１が制御部３３に伝達
されると第３図に示すようにヒータ３１への通電量を減
少させる指令が制御部３６から出力調整部３３に伝達さ
れ、ヒータ３１の出力をα１に切替える。その後、真空
引きを停止するパルス信号Ｐ２を受けて制御部３３から
出力調整部３４にヒータ３１への通電量を増加する指令
が伝達され、ヒータ３１の出力をα２に切替える。
されると第３図に示すようにヒータ３１への通電量を減
少させる指令が制御部３６から出力調整部３３に伝達さ
れ、ヒータ３１の出力をα１に切替える。その後、真空
引きを停止するパルス信号Ｐ２を受けて制御部３３から
出力調整部３４にヒータ３１への通電量を増加する指令
が伝達され、ヒータ３１の出力をα２に切替える。
真空引きが終了した後は、上記温度計３２による温度検
出信号が制御部３３にフィードバックされ、巻付はロー
ル温度が一定温度を保つようにヒータ出力が調整される
。
出信号が制御部３３にフィードバックされ、巻付はロー
ル温度が一定温度を保つようにヒータ出力が調整される
。
［発明の効果］
本発明によれば、めっき操業開始時、あるいは片面めっ
きを両面めっきに切替える場合等に蒸着室およびシール
ロール室を真空雰囲気に保つため真空引きが行なわれる
際に、巻付はロールないしシールロールの異常加熱や異
常冷却が防止されるので、これに起因するロールの変形
を生ぜず、巻付はロールとロールカバーとの接触よるト
ラブルやストリップの蛇行によるストリップエツジの損
傷あるいは板切れ等の不都合を生じる虞がなく、良好な
めっき操業を実施出来る。
きを両面めっきに切替える場合等に蒸着室およびシール
ロール室を真空雰囲気に保つため真空引きが行なわれる
際に、巻付はロールないしシールロールの異常加熱や異
常冷却が防止されるので、これに起因するロールの変形
を生ぜず、巻付はロールとロールカバーとの接触よるト
ラブルやストリップの蛇行によるストリップエツジの損
傷あるいは板切れ等の不都合を生じる虞がなく、良好な
めっき操業を実施出来る。
第１図は真空蒸着めっき装置の概略図、第２図は本発明
の一実施例を示す概略図、第３図は第２図の制御系にお
ける制御ダイヤグラムである。 図面中 ３０−巻付はロール、３１−シースヒータ、
３２一温度計、 ３３−制御部、 ３４−出力調整部
。 特許出願人 日新製鋼株式会社 三菱重工業株式会社 代理人 弁理士 松井政広 化１名第１図 第２図
の一実施例を示す概略図、第３図は第２図の制御系にお
ける制御ダイヤグラムである。 図面中 ３０−巻付はロール、３１−シースヒータ、
３２一温度計、 ３３−制御部、 ３４−出力調整部
。 特許出願人 日新製鋼株式会社 三菱重工業株式会社 代理人 弁理士 松井政広 化１名第１図 第２図
Claims (2)
- （１）真空蒸着装置の蒸着室およびシールロール室から
なる真空系を真空引きする際、真空引き開始信号又は停
止信号に基づいてシールロール及び又は蒸着室内部の巻
付けロールの温度を増減する連続真空蒸着めっき装置の
ロール温度制御方法。 - （２）真空引き開始信号に基づいて巻付けロールまたは
シールロールのヒータ出力を低下させ、真空引き停止信
号に基づいて該ヒータ出力を高める特許請求の範囲第１
項の方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7189887A JPS63238276A (ja) | 1987-03-27 | 1987-03-27 | 連続真空蒸着めつき装置のロ−ル温度制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7189887A JPS63238276A (ja) | 1987-03-27 | 1987-03-27 | 連続真空蒸着めつき装置のロ−ル温度制御方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63238276A true JPS63238276A (ja) | 1988-10-04 |
Family
ID=13473812
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7189887A Pending JPS63238276A (ja) | 1987-03-27 | 1987-03-27 | 連続真空蒸着めつき装置のロ−ル温度制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63238276A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58130273A (ja) * | 1982-01-29 | 1983-08-03 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 真空蒸着装置 |
| JPS60151031A (ja) * | 1984-01-20 | 1985-08-08 | Hitachi Ltd | 真空連続処理装置 |
-
1987
- 1987-03-27 JP JP7189887A patent/JPS63238276A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58130273A (ja) * | 1982-01-29 | 1983-08-03 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 真空蒸着装置 |
| JPS60151031A (ja) * | 1984-01-20 | 1985-08-08 | Hitachi Ltd | 真空連続処理装置 |
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