JPS63236992A - 圧電素子微動機構 - Google Patents
圧電素子微動機構Info
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- JPS63236992A JPS63236992A JP7101487A JP7101487A JPS63236992A JP S63236992 A JPS63236992 A JP S63236992A JP 7101487 A JP7101487 A JP 7101487A JP 7101487 A JP7101487 A JP 7101487A JP S63236992 A JPS63236992 A JP S63236992A
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- hollow cylindrical
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- electrode
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- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 20
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 1
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Numerical Control (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、分析機器及び走査型トンネル顕微鏡の分野に
おいて、検出探針部の微小位置出しを行う微動機構に関
する。
おいて、検出探針部の微小位置出しを行う微動機構に関
する。
本発明番ヨ、中空円筒状圧電素子体の内側に一つの共通
電極を設け、外側に二段又は、三段からなるｘ、 ｙ
及びｚ軸に中空円筒状圧電素子体に固定した検出探針の
先端を動作させる為の各電極を設けたもので、高剛性で
微細な位置出しを可能にしたものであり、産業上を益な
圧電素子微動機構である。
電極を設け、外側に二段又は、三段からなるｘ、 ｙ
及びｚ軸に中空円筒状圧電素子体に固定した検出探針の
先端を動作させる為の各電極を設けたもので、高剛性で
微細な位置出しを可能にしたものであり、産業上を益な
圧電素子微動機構である。
試料表面と検出探針先端部間に流れるトンネル電流を検
出し、トンネル電流が一定になるように、試料表面と検
出探針先端部との間を制御して、原子構造を観察する走
査型トンネル顕微鏡においては、試料表面のｘ、 ｙ
方向及び試料表面の凹凸に添って動作する三次元の微動
機構が必要である。
出し、トンネル電流が一定になるように、試料表面と検
出探針先端部との間を制御して、原子構造を観察する走
査型トンネル顕微鏡においては、試料表面のｘ、 ｙ
方向及び試料表面の凹凸に添って動作する三次元の微動
機構が必要である。
そして、従来はｘ、ｙ軸を一体に形成した圧電素子体に
２軸角棒状圧電素子体を組合わせたもの（ＳＴＭ装置の
試作 第３３回応用物理学関連連合講演会予稿（１９８
Ｇ） 小野雅敏、他）やｘ、ｙ、ｚ軸を一体に形成し
たキュービック状圧電素子体からなるもの（第３２回応
用物理学関連連合講演会予稿（１９８５） 岡山重大
、他）や中空円筒状圧電素子体からなるもの（Ｓｉｎｇ
ｌｅ−ｔｕｂｅ ｔｈｒｅｅ−ｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌ
５ｃａｎｎｅｒ ｆｏｒ ｓｃａｎｎｉｎｇｔｕｎｎ
ｅｌｉｎｇ ｍ１ｃｒｏｓｃｏｐｙ、 Ｇ、 Ｂ１ｎ
ｎ１ｇ 他、 １９８６八ｍｅｒｉｃａｎ １ｎｓ
ｔｉｔｕｔｅ ｏｆ ｐｈｙｓｉｃｓ ＲｅＶ、
Ｓｃｉ、Ｉｎｓｔｒｕｍ。
２軸角棒状圧電素子体を組合わせたもの（ＳＴＭ装置の
試作 第３３回応用物理学関連連合講演会予稿（１９８
Ｇ） 小野雅敏、他）やｘ、ｙ、ｚ軸を一体に形成し
たキュービック状圧電素子体からなるもの（第３２回応
用物理学関連連合講演会予稿（１９８５） 岡山重大
、他）や中空円筒状圧電素子体からなるもの（Ｓｉｎｇ
ｌｅ−ｔｕｂｅ ｔｈｒｅｅ−ｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌ
５ｃａｎｎｅｒ ｆｏｒ ｓｃａｎｎｉｎｇｔｕｎｎ
ｅｌｉｎｇ ｍ１ｃｒｏｓｃｏｐｙ、 Ｇ、 Ｂ１ｎ
ｎ１ｇ 他、 １９８６八ｍｅｒｉｃａｎ １ｎｓ
ｔｉｔｕｔｅ ｏｆ ｐｈｙｓｉｃｓ ＲｅＶ、
Ｓｃｉ、Ｉｎｓｔｒｕｍ。
５７ （８） 、Δｕｇｕｓｔ １９ＢＧ）が知られて
いる。
いる。
以上に示した従来の圧電素子微動機構において、Ｘ軸、
ｙ軸を一体に形成した圧電素子体に２軸角棒状圧電素子
体を組合わせたものは、構造上振動的観点からみると、
第５図に示す様に比較的共振周波数が低い位置にあり、
試料表面をゆっくり走査する上では問題はないが、試料
表面と検出探針先端部との間の制御の応答速度に限りが
ある。その点からすると、ｘ、ｙ、ｚ軸を一体に形成し
たキュービック状圧電素子体や中空円筒状圧電素子体か
らなるものは、よりリゲソトに形成されていることもあ
り、共振周波数を高くもっていける為、速い走査が可能
になる。又、キュービックタイプと中空円筒タイプを比
較すると、構造上、中空円筒タイプはｘ、ｙ、ｚ軸の干
渉がキュービックタイプより大きいが、原子レベルの小
さな領域に関しては大差はない。しかも、横応力に対し
ても強いので、破損の危険性からみると、中空円筒タイ
プの方が扱い易いといえる。
ｙ軸を一体に形成した圧電素子体に２軸角棒状圧電素子
体を組合わせたものは、構造上振動的観点からみると、
第５図に示す様に比較的共振周波数が低い位置にあり、
試料表面をゆっくり走査する上では問題はないが、試料
表面と検出探針先端部との間の制御の応答速度に限りが
ある。その点からすると、ｘ、ｙ、ｚ軸を一体に形成し
たキュービック状圧電素子体や中空円筒状圧電素子体か
らなるものは、よりリゲソトに形成されていることもあ
り、共振周波数を高くもっていける為、速い走査が可能
になる。又、キュービックタイプと中空円筒タイプを比
較すると、構造上、中空円筒タイプはｘ、ｙ、ｚ軸の干
渉がキュービックタイプより大きいが、原子レベルの小
さな領域に関しては大差はない。しかも、横応力に対し
ても強いので、破損の危険性からみると、中空円筒タイ
プの方が扱い易いといえる。
そこで、中空円筒タイプとして、第８図に示す様な電極
配置のものが考案されている。この中空円筒タイプは、
内側に共通電極５を設け、外側に４つの同面積からなる
電極配置となっている。このタイプの動作について説明
すると、まず、Ｘ及びｙ方向の動きは、それぞれ、７ａ
又は７ｂ１８ａ又は８ｂの一方に電圧を加えることによ
って動作する。次に２方向の動きは、７ａ、７ｂ、８ａ
。
配置のものが考案されている。この中空円筒タイプは、
内側に共通電極５を設け、外側に４つの同面積からなる
電極配置となっている。このタイプの動作について説明
すると、まず、Ｘ及びｙ方向の動きは、それぞれ、７ａ
又は７ｂ１８ａ又は８ｂの一方に電圧を加えることによ
って動作する。次に２方向の動きは、７ａ、７ｂ、８ａ
。
８ｂに同電圧を加えることにより動作するものである。
つまり、？ａ、７ｂ、８ａ、８ｂと内側電極５との電位
差をそれぞれ、Ｖｘ、、Ｖｘ□＋ｖｙＩ＋ＶＶｚとする
と、変位はそれぞれ次漬によって示される。
差をそれぞれ、Ｖｘ、、Ｖｘ□＋ｖｙＩ＋ＶＶｚとする
と、変位はそれぞれ次漬によって示される。
△ｘ＝ （Ｖｘｌ −Ｖｘｚ ） ・β△ｙ−（
■ｙ１−■ｙ２）・β △ｚ＝ （Ｖｘ、＋Ｖｘｚ ＋Ｖｙ、＋ＶＹｚ ）
・αここで、α、βは動作定数 この様に、このタイプの電極配置によると、△２の内容
に△Ｘ、△ｙの要素が加わり、干渉が大きくなる上、制
御方法が従来用いていたものとは異なるものを必要とす
るといった問題があった。
■ｙ１−■ｙ２）・β △ｚ＝ （Ｖｘ、＋Ｖｘｚ ＋Ｖｙ、＋ＶＹｚ ）
・αここで、α、βは動作定数 この様に、このタイプの電極配置によると、△２の内容
に△Ｘ、△ｙの要素が加わり、干渉が大きくなる上、制
御方法が従来用いていたものとは異なるものを必要とす
るといった問題があった。
上記の問題点を解決するために、本発明では中空円筒圧
電素子体の内側に一つの共通電極を設け、ｘ、 ｙ及
びｚ軸に動作させる為の各電極を二段又は三段で外側に
設け、中空円筒圧電素子体の円筒中心部に固定された探
針先端部のｘ、 ｙ、 ｚ軸の三次元の微細位置出
しを可能にした。
電素子体の内側に一つの共通電極を設け、ｘ、 ｙ及
びｚ軸に動作させる為の各電極を二段又は三段で外側に
設け、中空円筒圧電素子体の円筒中心部に固定された探
針先端部のｘ、 ｙ、 ｚ軸の三次元の微細位置出
しを可能にした。
上記に示した方法により、中空円筒圧電素子体上に各動
作電極を形成することにより、内側電極と各電極間の電
位差をそれぞれｖｘｌ、Ｖｘ２・。
作電極を形成することにより、内側電極と各電極間の電
位差をそれぞれｖｘｌ、Ｖｘ２・。
Ｖｙｌ 、Ｖ３’２ ＋ Ｖｚとすると、各変位は以
下の様になる。
下の様になる。
△ｘ＝ （Ｖｘ＋ −Ｖｘｚ ） ・β△ｙ＝ （ｖ
ｙ＋ ｖｙ、） ・βΔＺ ” （Ｖｘ＋ ＋
Ｖｘ２ ＋Ｖｙ、 十Ｖｙｔ）Ｏｔ＋Ｖ Ｚ Ｔここ
で、α、β、γは動作定数である。この様に、従来品と
違い単独にＺのみ動かす事ができ、しかもαのかかる項
よりもγがかかる項が大きく、電気的干渉要因を減らず
ことができる上、従来の激動機構に用いられた制御系に
より、探針先端部の三次元の微細位置出しを高速ででき
ることが可能になる。
ｙ＋ ｖｙ、） ・βΔＺ ” （Ｖｘ＋ ＋
Ｖｘ２ ＋Ｖｙ、 十Ｖｙｔ）Ｏｔ＋Ｖ Ｚ Ｔここ
で、α、β、γは動作定数である。この様に、従来品と
違い単独にＺのみ動かす事ができ、しかもαのかかる項
よりもγがかかる項が大きく、電気的干渉要因を減らず
ことができる上、従来の激動機構に用いられた制御系に
より、探針先端部の三次元の微細位置出しを高速ででき
ることが可能になる。
本実施例は、走査型トンネル顕微鏡の検出探針部を微細
に位置決めする微動機構に関するもので、以下、図面に
基づいて説明していくこととする。
に位置決めする微動機構に関するもので、以下、図面に
基づいて説明していくこととする。
〔第１実施例〕
第１図、第２図（ａｌ及び第２図（ｂｌは本発明、第１
実施例の？ｉｌｔ極配置による微動機構の概観とその電
極配置を展開図で示したものである。中空円筒圧電素子
体１の上部には絶縁性材料で形成された探針ホルダー２
が固定され、探針ホルダー２の中央部に探針３がバネ４
により固定されている。そして、中空円筒圧電素子体１
の内側には共通電極（ＧＮＤ）５が形成され、外側には
２軸動作用電極６及びＸ軸動作用型ｉ７ａ、７ｂが形成
されており、７ａと７ｂは同面積からなる。又、Ｘ軸動
作ｍ電４ｆｔ７ａ、７ｂに対し、９０°ずらした位置に
Ｘ軸動作用電極８ａ、８ｂが形成され、８ａと８ｂは同
面積からなる三段構造の電極配置を形成した。次に、動
作について説明すると、Ｚ軸方向は内側７を極に対し十
又は−電圧を加えることにより圧電素子が厚み方向に変
位することで結果としてｚ軸方向の変位が生じる。Ｘ及
びｙ軸方向は、第７図（ａｌ、第７図（ｂｌに示す様に
相対する電極の一方に内側電極に対し十の電圧を加え、
又、他方には−の電圧を加えることにより、一方は縮む
方向に圧電素子が変形し、他方は延びる方向に変形する
ことで第７図（ｂ）に示す様に傾きが生じ結果として、
第７図（Ｉｌｌ）に示す圧電を加えていない状態から第
７図中）に示す様に探針先端部を矢印Ｏｌの方向に変位
させ、Ｘ及びｙ軸方向に動作させるものである。
実施例の？ｉｌｔ極配置による微動機構の概観とその電
極配置を展開図で示したものである。中空円筒圧電素子
体１の上部には絶縁性材料で形成された探針ホルダー２
が固定され、探針ホルダー２の中央部に探針３がバネ４
により固定されている。そして、中空円筒圧電素子体１
の内側には共通電極（ＧＮＤ）５が形成され、外側には
２軸動作用電極６及びＸ軸動作用型ｉ７ａ、７ｂが形成
されており、７ａと７ｂは同面積からなる。又、Ｘ軸動
作ｍ電４ｆｔ７ａ、７ｂに対し、９０°ずらした位置に
Ｘ軸動作用電極８ａ、８ｂが形成され、８ａと８ｂは同
面積からなる三段構造の電極配置を形成した。次に、動
作について説明すると、Ｚ軸方向は内側７を極に対し十
又は−電圧を加えることにより圧電素子が厚み方向に変
位することで結果としてｚ軸方向の変位が生じる。Ｘ及
びｙ軸方向は、第７図（ａｌ、第７図（ｂｌに示す様に
相対する電極の一方に内側電極に対し十の電圧を加え、
又、他方には−の電圧を加えることにより、一方は縮む
方向に圧電素子が変形し、他方は延びる方向に変形する
ことで第７図（ｂ）に示す様に傾きが生じ結果として、
第７図（Ｉｌｌ）に示す圧電を加えていない状態から第
７図中）に示す様に探針先端部を矢印Ｏｌの方向に変位
させ、Ｘ及びｙ軸方向に動作させるものである。
本実施例では、外径５ｕ、内径３１）．高さ１０１）Ｉ
のＰＺＴ圧電素子体にｘ、ｙ、ｚ軸電極の幅をそれぞれ
２ ｍ、 １．５ ｍ＠、３．５ｍｓにしたものを作製
した。
のＰＺＴ圧電素子体にｘ、ｙ、ｚ軸電極の幅をそれぞれ
２ ｍ、 １．５ ｍ＠、３．５ｍｓにしたものを作製
した。
この様に構成した中空円筒型微動機構の周波数特性を測
定したところ、第６図に示す様な結果が得られ、共振周
波数を従来より高い値にすることができ、高速走査が可
能になった。
定したところ、第６図に示す様な結果が得られ、共振周
波数を従来より高い値にすることができ、高速走査が可
能になった。
〔第２実施例〕
第３図ｆａｔ及び第３図（ｂｌは、本発明第２実施例の
電極配置を示したものであり、中空円筒圧電素子体１の
内側には共ｉ１）！電極（ＧＮＤ）５が形成され、外側
には、Ｚ軸動作用電極６及びＸ軸動作用電極７ａ、７ｂ
及びＸ軸動作用電極８ａ、８ｂが形成されている。７ａ
、７ｂ、８ａ、８ｂは同面積からなり、隣り合う電極が
他の動作軸用電極となる様に設定された二段構造の電極
配置を形成した。
電極配置を示したものであり、中空円筒圧電素子体１の
内側には共ｉ１）！電極（ＧＮＤ）５が形成され、外側
には、Ｚ軸動作用電極６及びＸ軸動作用電極７ａ、７ｂ
及びＸ軸動作用電極８ａ、８ｂが形成されている。７ａ
、７ｂ、８ａ、８ｂは同面積からなり、隣り合う電極が
他の動作軸用電極となる様に設定された二段構造の電極
配置を形成した。
本実施例では、外径５關５内径３＋ｎ、高さ１０ｍ＋ｉ
のＰＺＴ圧電素子体にｘ、 ｙ、 ｚＩｉＩＩＩ電
極の幅をそれぞれ１．５龍、 １．５１ｍ、 ６．５■
謙にしたものを作製した結果、第１実施例と同等な特性
を得ることができた。
のＰＺＴ圧電素子体にｘ、 ｙ、 ｚＩｉＩＩＩ電
極の幅をそれぞれ１．５龍、 １．５１ｍ、 ６．５■
謙にしたものを作製した結果、第１実施例と同等な特性
を得ることができた。
〔第３実施例〕
第４図（ａｌ及び第４図（ｂＪは、本発明第３実施例の
電極配置を示したものであり、中空円筒圧電素子体１の
内側には共通電極（ＧＮＤ）５が形成され、外側にはＺ
軸動作用電極６及びＸ軸動作用？ｉｔ極７ａ、７ｂ及び
Ｘ軸動作用電極８ａ、８ｂが形成されている。７．．７
□、ａｌ、８ｔは同面積の正弦曲線及び直線からなり、
隣り合う電極の向きが１８０ ′異なる様に配列して
あり、しかも、隣り合う電極が異なる動作軸用電極とな
る様に設定された二段構造の電極配置を形成した。本実
施例では、外径５鰭、内径３餞、高さｌＯ■■のＩ’Ｚ
Ｔ圧電素子体に、Ｚ軸電極の幅を４龍に、ｘ、 ｙ軸
の電極の底辺の長さを約６ｍ箇、高さ約３ 、５１ｍに
したものを作製した結果、第１実施例と同等な特性を得
ることができた。しかも、各ｘ、 ｙ電極はくさび形
の伸縮領域を形成する。
電極配置を示したものであり、中空円筒圧電素子体１の
内側には共通電極（ＧＮＤ）５が形成され、外側にはＺ
軸動作用電極６及びＸ軸動作用？ｉｔ極７ａ、７ｂ及び
Ｘ軸動作用電極８ａ、８ｂが形成されている。７．．７
□、ａｌ、８ｔは同面積の正弦曲線及び直線からなり、
隣り合う電極の向きが１８０ ′異なる様に配列して
あり、しかも、隣り合う電極が異なる動作軸用電極とな
る様に設定された二段構造の電極配置を形成した。本実
施例では、外径５鰭、内径３餞、高さｌＯ■■のＩ’Ｚ
Ｔ圧電素子体に、Ｚ軸電極の幅を４龍に、ｘ、 ｙ軸
の電極の底辺の長さを約６ｍ箇、高さ約３ 、５１ｍに
したものを作製した結果、第１実施例と同等な特性を得
ることができた。しかも、各ｘ、 ｙ電極はくさび形
の伸縮領域を形成する。
従って、本電掻配置にすることにより、電極中心から両
端に至る間の変形量を変化させることにより、隣り合う
変形していない部分との境界に生じる剪断応力を矩形の
ものより減らすことが可能になる。
端に至る間の変形量を変化させることにより、隣り合う
変形していない部分との境界に生じる剪断応力を矩形の
ものより減らすことが可能になる。
この発明によると以上説明した様に、中空円筒圧電素子
体の内側に一つの共通電極を設け、外側にｘ、 ｙ及
び２軸に動作させる為の各電極を二段又は三段で設ける
ことにより、本質的に従来の微動機構に用いられていた
制御系を用いて、中空円筒圧電素子体の円筒中心部に固
定された探針先端部のｘ、ｙ、ｚ軸、三次元の微細位置
出しを行うことが可能になった。
体の内側に一つの共通電極を設け、外側にｘ、 ｙ及
び２軸に動作させる為の各電極を二段又は三段で設ける
ことにより、本質的に従来の微動機構に用いられていた
制御系を用いて、中空円筒圧電素子体の円筒中心部に固
定された探針先端部のｘ、ｙ、ｚ軸、三次元の微細位置
出しを行うことが可能になった。
第１図は、本発明の第１実施例の電極配置による微動機
構の概観図、第２図（ａｌ及び第２図（ｂｌは、第１実
施例の電極配置展開図、第３図（ａｌ及び第３図ｆｂｌ
は、第２実施例の電極配置展開図、第４図ｆａｌ及び第
４図＋ｂｌは、第３実施例の電極配置展開図、第５図は
、従来の微動機構の周波数特性図、第６図は、本発明の
中空円筒型微動機構の周波数特性図、第７図（ａｌ及び
第７図ｆｂ）ば、本発明の中空円筒型微動機構の一軸動
作を示す図、第８図は、従来の電極配置による中空円筒
型微動機構を示す図である。 ｌ・・・・・・中空円筒圧電素子体 ２・・・・・・探針ホルダー ３・・・・・・探針 ４・・・・・・バネ ５・・・・・・内側共通電極（ＧＮＤ）６・・・・・・
２軸動作用電極 ７□７．・・・Ｘ軸動作用電極 ８１．８□ ・・・ｙ軸動作用電極 以上 出 願 人 工業技術院長 セイコー電子工業株式会社
構の概観図、第２図（ａｌ及び第２図（ｂｌは、第１実
施例の電極配置展開図、第３図（ａｌ及び第３図ｆｂｌ
は、第２実施例の電極配置展開図、第４図ｆａｌ及び第
４図＋ｂｌは、第３実施例の電極配置展開図、第５図は
、従来の微動機構の周波数特性図、第６図は、本発明の
中空円筒型微動機構の周波数特性図、第７図（ａｌ及び
第７図ｆｂ）ば、本発明の中空円筒型微動機構の一軸動
作を示す図、第８図は、従来の電極配置による中空円筒
型微動機構を示す図である。 ｌ・・・・・・中空円筒圧電素子体 ２・・・・・・探針ホルダー ３・・・・・・探針 ４・・・・・・バネ ５・・・・・・内側共通電極（ＧＮＤ）６・・・・・・
２軸動作用電極 ７□７．・・・Ｘ軸動作用電極 ８１．８□ ・・・ｙ軸動作用電極 以上 出 願 人 工業技術院長 セイコー電子工業株式会社
Claims (4)
- （１）中空円筒状に形成された圧電素子体の円筒中心部
に固定された探針の先端部をｘ、ｙ、ｚ軸、三次元に微
動位置出しする機構において、中空円筒圧電素子体の内
側に共通電極を設け、外側にｘ、ｙ及びｚ軸方向に動作
させる為の各電極を設けたことを特徴とする圧電素子微
動機構。 - （２）前記中空円筒圧電素子体の外側に、一周にわたる
帯状のｚ軸用電極と、一周を二等分した一対の相対する
帯状電極を互いに９０°ずらした位置に二段形成し、各
々ｘ及びｙ軸用電極にし、三段構造としたことを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の圧電素子微動機構。 - （３）前記中空円筒圧電素子体の外側に、一周にわたる
帯状のｚ軸用電極と、一周を四等分した四つの帯状電極
の各々隣り合う電極が異なる動作軸電極となる様に設定
し、二段構造としたことを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載の圧電素子微動機構。 - （４）外側電極が二段構造からなる中空円筒圧電素子体
で、ｘ、ｙ動作軸用電極が一周を四等分した、四つの正
弦曲線及び直線よりなる形状をもち隣り合う電極の向き
が１８０°異なる様に配列してある特許請求の範囲第３
項記載の圧電素子微動機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62071014A JPH067042B2 (ja) | 1987-03-25 | 1987-03-25 | 圧電素子微動機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62071014A JPH067042B2 (ja) | 1987-03-25 | 1987-03-25 | 圧電素子微動機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63236992A true JPS63236992A (ja) | 1988-10-03 |
| JPH067042B2 JPH067042B2 (ja) | 1994-01-26 |
Family
ID=13448228
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62071014A Expired - Lifetime JPH067042B2 (ja) | 1987-03-25 | 1987-03-25 | 圧電素子微動機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH067042B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02163982A (ja) * | 1988-12-17 | 1990-06-25 | Tokin Corp | 圧電捩り変位素子，圧電伸縮変位素子，及び圧電複合変位素子 |
| JPH02284015A (ja) * | 1989-03-13 | 1990-11-21 | Univ California | 原子間力顕微鏡 |
| JPH0318704A (ja) * | 1989-06-16 | 1991-01-28 | Jeol Ltd | 走査形トンネル顕微鏡 |
| JPH03175302A (ja) * | 1989-12-05 | 1991-07-30 | Canon Inc | トンネル電流検出装置 |
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| JPS491223A (ja) * | 1972-04-17 | 1974-01-08 |
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1987
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH067042B2 (ja) | 1994-01-26 |
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