JPH0281487A - 微動機構 - Google Patents
微動機構Info
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- JPH0281487A JPH0281487A JP63232930A JP23293088A JPH0281487A JP H0281487 A JPH0281487 A JP H0281487A JP 63232930 A JP63232930 A JP 63232930A JP 23293088 A JP23293088 A JP 23293088A JP H0281487 A JPH0281487 A JP H0281487A
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- Japan
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- electrodes
- axis
- drive member
- piezoelectric drive
- voltage
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- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 34
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 7
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 abstract description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 35
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 18
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 238000009924 canning Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、分析機器及び走査型トンネル顕微鏡の分野に
おいて、検出探針と試料表面間を高精度に位置決めしな
がら試料表面を高精度に走査する微動機構に関する。
おいて、検出探針と試料表面間を高精度に位置決めしな
がら試料表面を高精度に走査する微動機構に関する。
本発明は、少なくとも一部が中空状に形成されており、
その外面と内面に複数の動作電極を有する圧電駆動部材
において、その先端に固定した検・出探針を三次元方向
に動作可能にする微動機構であって、少なくともｌ軸以
上に２組以上の動作電極を有し、高精度多段駆動を可能
にする。
その外面と内面に複数の動作電極を有する圧電駆動部材
において、その先端に固定した検・出探針を三次元方向
に動作可能にする微動機構であって、少なくともｌ軸以
上に２組以上の動作電極を有し、高精度多段駆動を可能
にする。
試料表面と検出探針先端部間に流れるトン名ル電流を検
出し、トン矛ル電流が一定になるように試料表面と検出
探針先端部との間をサブナノメータオーダーという高精
度で制御して原子構造を観察する走査型トンネル顕微鏡
においては、試料表面の面内方向（Ｘ −Ｖ）及び試料
表面の凹凸に沿って動作する三次元の微動機構が必要で
ある。従来公知の微動機構としては、ｘ−ｙ軸を一体に
形成した圧電駆動部材に２軸周棒状圧電駆動部材を組合
わせたもの（ＳＴＭ装置の試作・第３３回応用物理学関
連連合講演会予稿（１９８６）、小野雅敏、他）。
出し、トン矛ル電流が一定になるように試料表面と検出
探針先端部との間をサブナノメータオーダーという高精
度で制御して原子構造を観察する走査型トンネル顕微鏡
においては、試料表面の面内方向（Ｘ −Ｖ）及び試料
表面の凹凸に沿って動作する三次元の微動機構が必要で
ある。従来公知の微動機構としては、ｘ−ｙ軸を一体に
形成した圧電駆動部材に２軸周棒状圧電駆動部材を組合
わせたもの（ＳＴＭ装置の試作・第３３回応用物理学関
連連合講演会予稿（１９８６）、小野雅敏、他）。
Ｘ＋ ｙ＋２軸を一体に形成したキュービック状圧電
駆動部材からなるもの（真空トンネル顕微鏡用微動素子
の特性評価・第３２回応用物理学関連連合講演会予稿（
１９８５）、岡山重大、他）及び中空円筒状圧電駆動部
材からなるもの（Ｓｉｎｇｌｅ−Ｌｕｂｅ ｔｈｒｅｅ
ｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌ ５ｃａｎｎｅｒ ｆｏｒ ｓ
ｃａｎｎｉｎｇ ｔｕｎｎｅｌｉｎｇｍｉｃｒｏｓｃｏ
ｐｙ、Ｇ、Ｂｉｎｎｉｇ（ｆｉｌ １９８６ Ａｍｅｒ
ｉｃａｎ Ｉｎ５ｔｉｔｕｔｅｏｆ ｐｈｙｓｉｃｓ
Ｒｅｖ、５ｃｉ−１ｎｓｔｒｕｎ＋、５７（８）、＾ｕ
ｇｎｓｔ １９８６）などが知られている。
駆動部材からなるもの（真空トンネル顕微鏡用微動素子
の特性評価・第３２回応用物理学関連連合講演会予稿（
１９８５）、岡山重大、他）及び中空円筒状圧電駆動部
材からなるもの（Ｓｉｎｇｌｅ−Ｌｕｂｅ ｔｈｒｅｅ
ｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌ ５ｃａｎｎｅｒ ｆｏｒ ｓ
ｃａｎｎｉｎｇ ｔｕｎｎｅｌｉｎｇｍｉｃｒｏｓｃｏ
ｐｙ、Ｇ、Ｂｉｎｎｉｇ（ｆｉｌ １９８６ Ａｍｅｒ
ｉｃａｎ Ｉｎ５ｔｉｔｕｔｅｏｆ ｐｈｙｓｉｃｓ
Ｒｅｖ、５ｃｉ−１ｎｓｔｒｕｎ＋、５７（８）、＾ｕ
ｇｎｓｔ １９８６）などが知られている。
ｘ−ｙ軸を一体に形成した圧電駆動部材に２軸周棒状圧
電駆動部材を組合わせたものは、構造上剛性が低く共振
周波数も低いため、制御応答速度に問題がある。またキ
エービノク状圧電駆（す３部材からなるものは、前記形
状のものに比べ剛性が高く共振周波数も高くできるが、
加工が難しいという欠点がある。
電駆動部材を組合わせたものは、構造上剛性が低く共振
周波数も低いため、制御応答速度に問題がある。またキ
エービノク状圧電駆（す３部材からなるものは、前記形
状のものに比べ剛性が高く共振周波数も高くできるが、
加工が難しいという欠点がある。
前記２つの形状のものに比べ中空円筒状圧電駆動部材か
らなるものは、剛性が高く共振用０１敗も高くでき、加
工及び取扱い上も容易である。しかし、ｚ軸方向動作の
ための電極は第２図に示すように１＆１ｌ（６，７）Ｌ
、か有していない。この場合、圧電駆動部材の２軸方向
への変位量Δｌは電極間の厚みｔ、電極７の長さ１．素
材からくる圧電定数ｄ、１．印加電圧の変化量ΔＶによ
り定まり、次の碌な関係式となる。
らなるものは、剛性が高く共振用０１敗も高くでき、加
工及び取扱い上も容易である。しかし、ｚ軸方向動作の
ための電極は第２図に示すように１＆１ｌ（６，７）Ｌ
、か有していない。この場合、圧電駆動部材の２軸方向
への変位量Δｌは電極間の厚みｔ、電極７の長さ１．素
材からくる圧電定数ｄ、１．印加電圧の変化量ΔＶによ
り定まり、次の碌な関係式となる。
Δｅ２ｄ、ｌ＋ （７！／ｌ）ΔＶ
この関係式より単位電圧当たりの２軸方向への変位量を
小さくし、ｚ軸方向の動作分解能を原子レベルよりも小
さく （０，０１＝０．００Ｉｎｓ）するためには、
印加電圧の変動を押え、電極長さｌを短くする必要があ
る。一方、検出探針をトンネル電流領域まで試料表面に
近づける際、検出探針とｊ工（ネ４表面との衝突を避け
るためには、２方向の可動量は大きくする必要がある。
小さくし、ｚ軸方向の動作分解能を原子レベルよりも小
さく （０，０１＝０．００Ｉｎｓ）するためには、
印加電圧の変動を押え、電極長さｌを短くする必要があ
る。一方、検出探針をトンネル電流領域まで試料表面に
近づける際、検出探針とｊ工（ネ４表面との衝突を避け
るためには、２方向の可動量は大きくする必要がある。
上記した従来の、中空状圧電駆動部材からなる微動ａ横
は、Ｚ軸方向動作のための電極が１組しかないので、高
電圧まで印加できる、極めて電圧変動の少ない電源が必
要になるという欠点があった。また、ｘ−ｙ軸方向に走
査する場合においても、微小領域を高分解能で走査し、
なおかつ大領域の走査も可能にするには、ｔＵの動作電
極しかないときは、前記と同様にＴ！！、源に問題があ
る。
は、Ｚ軸方向動作のための電極が１組しかないので、高
電圧まで印加できる、極めて電圧変動の少ない電源が必
要になるという欠点があった。また、ｘ−ｙ軸方向に走
査する場合においても、微小領域を高分解能で走査し、
なおかつ大領域の走査も可能にするには、ｔＵの動作電
極しかないときは、前記と同様にＴ！！、源に問題があ
る。
Ｃ？Ｒ８を解決するための手段〕
上記従来の課題を解決する本発明は少なくとも一部が中
空状に形成されており、その外面と内面にそれぞれ１つ
以上の動作電極を有する圧電駆動部材において、少なく
ともｌ軸以上の動作電極を２組以上有する構成としてい
る。
空状に形成されており、その外面と内面にそれぞれ１つ
以上の動作電極を有する圧電駆動部材において、少なく
ともｌ軸以上の動作電極を２組以上有する構成としてい
る。
上記に示したように、複数、徂設けたＺ軸動作電橋につ
いては、検出探針をトンネル電流領域まで試料表面に近
づける時は、単位電圧当たりの変位量が大きくなるよう
に、１組又は複数組の動作電極に電圧を印加して、検出
探針と試料表面との衝突を避ける。トンネル電流領域で
試料表面内（Ｘ・ｙ）を走査する時は、所望の動作分解
能に応して、ｌ＆Ｉｌの動作電極又は複数組の動作電極
に電圧を印加して制御する。ｘ’ｙ軸動作電掘を複数有
する場合も同様である。
いては、検出探針をトンネル電流領域まで試料表面に近
づける時は、単位電圧当たりの変位量が大きくなるよう
に、１組又は複数組の動作電極に電圧を印加して、検出
探針と試料表面との衝突を避ける。トンネル電流領域で
試料表面内（Ｘ・ｙ）を走査する時は、所望の動作分解
能に応して、ｌ＆Ｉｌの動作電極又は複数組の動作電極
に電圧を印加して制御する。ｘ’ｙ軸動作電掘を複数有
する場合も同様である。
次に、本発明の実施例について図面に基づいて説明する
。
。
（第一実施例）
第１図ｔａｒ及び第１図ｉｂｌは、本発明の第一実施例
の倣動ｉ構及び動作電極の配置を示したものである。中
空円筒形状圧電駆動部材は、圧電材料例えばＰＺＴから
成り、その寸法は例えば外径ｌｏｓｇ、内径４慮曽、高
さ２３−である、電極構成は、中空円筒の軸方向（２軸
）に２段階に動作できるよう乙こ２宿の電極７ａ、 ７
ｂを有し、さらにｘ ｙ方向にも動作できるように、電
極８ａ、 ８ｂ、 ９ａ、 ９１＋を有している。そし
て中空円筒の内面には、共通電極６を有している。この
共通電極６は、配線を容易にするために外面に折り返し
て形成されている。また、ｘ’ｙ動作電ｉ８ａ、 ８ｂ
、 ９ａ、 ９ｂは外面に等分Ｓ！１で配置され、Ｘ軸
動作電極８ａと８ｂ及び、Ｘ軸動作電極９ａと９ｂはそ
れぞれ対向した位置に配置されており、それらの面積及
び形状はすべて同しである。
の倣動ｉ構及び動作電極の配置を示したものである。中
空円筒形状圧電駆動部材は、圧電材料例えばＰＺＴから
成り、その寸法は例えば外径ｌｏｓｇ、内径４慮曽、高
さ２３−である、電極構成は、中空円筒の軸方向（２軸
）に２段階に動作できるよう乙こ２宿の電極７ａ、 ７
ｂを有し、さらにｘ ｙ方向にも動作できるように、電
極８ａ、 ８ｂ、 ９ａ、 ９１＋を有している。そし
て中空円筒の内面には、共通電極６を有している。この
共通電極６は、配線を容易にするために外面に折り返し
て形成されている。また、ｘ’ｙ動作電ｉ８ａ、 ８ｂ
、 ９ａ、 ９ｂは外面に等分Ｓ！１で配置され、Ｘ軸
動作電極８ａと８ｂ及び、Ｘ軸動作電極９ａと９ｂはそ
れぞれ対向した位置に配置されており、それらの面積及
び形状はすべて同しである。
２軸動作電極７ａと７ｂは、電圧に対する動作量を変え
るために、幅を変えて形成されている。
るために、幅を変えて形成されている。
動作について説明すると、Ｚ軸方向は、共通電極６に対
し、７軸動作電１１ｊ１１ａおよび７ｂに、又はそのい
ずれかに、正又は負の電圧を印加することにより圧電駆
動部材が厚み方向に変位することで結果としてｚ軸方向
に２段階の変位を生じる。Ｘ及びｙ軸方向は、それぞれ
の相対向する電極の一方に共ｉＩ電極に対し正の電圧を
印加し、他方には負の電圧を印加することにより、一方
は縮む方向に圧電駆動部材が変形し、他方は延びる方向
に変形することで圧電駆動部材全体として傾きが生じ、
結果としてＸ及びｙ軸方向に変位が生しる。
し、７軸動作電１１ｊ１１ａおよび７ｂに、又はそのい
ずれかに、正又は負の電圧を印加することにより圧電駆
動部材が厚み方向に変位することで結果としてｚ軸方向
に２段階の変位を生じる。Ｘ及びｙ軸方向は、それぞれ
の相対向する電極の一方に共ｉＩ電極に対し正の電圧を
印加し、他方には負の電圧を印加することにより、一方
は縮む方向に圧電駆動部材が変形し、他方は延びる方向
に変形することで圧電駆動部材全体として傾きが生じ、
結果としてＸ及びｙ軸方向に変位が生しる。
（第二実施例）
第３図は、本発明による第二実施例の微動機構を示した
もので、段付中空円筒形状の圧電駆動部材１２の上端に
、絶縁性材料５及びメネジが切られた検出探針台４が取
付けられ、オネジが切られた検出探針ホルダー３に固定
された検出探針２が前記検出探針台４に組み込まれてい
る。動作電極の構成は第一実施例と同様になっている。
もので、段付中空円筒形状の圧電駆動部材１２の上端に
、絶縁性材料５及びメネジが切られた検出探針台４が取
付けられ、オネジが切られた検出探針ホルダー３に固定
された検出探針２が前記検出探針台４に組み込まれてい
る。動作電極の構成は第一実施例と同様になっている。
以下第４図から第６図まで、本発明による他の実施例を
示す。第４図は中空円錐台形状、第５図は段付中空円錐
台形状、第６図は中空角柱形状の圧電駆動部材からなる
微動機構であり、それらの動作電極構成は基本的に第一
実施例と同様である。
示す。第４図は中空円錐台形状、第５図は段付中空円錐
台形状、第６図は中空角柱形状の圧電駆動部材からなる
微動機構であり、それらの動作電極構成は基本的に第一
実施例と同様である。
次に本発明第二実施例を走査型顕微鏡のトンネルユニッ
ト部に走査要素として組込んだ例を第７図に基づいて説
明する。
ト部に走査要素として組込んだ例を第７図に基づいて説
明する。
微動機構１２は箱体２３に対して移動するスライダー２
４に固定され、スライダー２４は駆動伝達機構２５を介
して箱体２３に取付けられた粗動機構２６に連結してい
る。そして試料２１は試料台２２を介して箱体２３に取
付けられた構成となっている。
４に固定され、スライダー２４は駆動伝達機構２５を介
して箱体２３に取付けられた粗動機構２６に連結してい
る。そして試料２１は試料台２２を介して箱体２３に取
付けられた構成となっている。
まず、検出探針２と試料２１との間にトンネル電流が流
れるように、検出探針２を試料２１に近づける粗動にっ
てい説明する。粗動機構２６としてステッピングモータ
ーを用い、駆動伝達機構２５として！＃密差動ネジを用
いる。ｉｌｌ粗動機構２６で１パルス分スライダー２４
を移動する。（２１微動機構１２の２軸動作電極７ａに
粗動機構２６の！パルス分の移動量より小さい分解能で
電圧を印加していき、検出探針２を試料２１に近づけて
いく。トンネル電流を検出したら、２軸動作電極７ａへ
の印加電圧を保持し、図示していないロック機構でスラ
イダー２４をロックし、さらにこれも図示していないク
ラッチを解除して駆動伝達機構２５とスライダー２４と
の連結を切り離す。２軸動作電極７ａに最大電圧（ステ
ッピングモーターの１パルス分移動廿よりも大きな移動
量に相当、たとえば０．５μト司μｌ１１）を印加して
もトンネル電流を検出しない場合は、２軸動作電極７ａ
への印加電圧を微動機構１２が最も縮まるようにし、ト
ンネル電流を検出するまで、（１）、（２）を繰り返す
。
れるように、検出探針２を試料２１に近づける粗動にっ
てい説明する。粗動機構２６としてステッピングモータ
ーを用い、駆動伝達機構２５として！＃密差動ネジを用
いる。ｉｌｌ粗動機構２６で１パルス分スライダー２４
を移動する。（２１微動機構１２の２軸動作電極７ａに
粗動機構２６の！パルス分の移動量より小さい分解能で
電圧を印加していき、検出探針２を試料２１に近づけて
いく。トンネル電流を検出したら、２軸動作電極７ａへ
の印加電圧を保持し、図示していないロック機構でスラ
イダー２４をロックし、さらにこれも図示していないク
ラッチを解除して駆動伝達機構２５とスライダー２４と
の連結を切り離す。２軸動作電極７ａに最大電圧（ステ
ッピングモーターの１パルス分移動廿よりも大きな移動
量に相当、たとえば０．５μト司μｌ１１）を印加して
もトンネル電流を検出しない場合は、２軸動作電極７ａ
への印加電圧を微動機構１２が最も縮まるようにし、ト
ンネル電流を検出するまで、（１）、（２）を繰り返す
。
粗動が完了したら、ｘ−ｙ軸動作電極８ａ、 ８ｂ９ａ
、 ９ｂ及び２軸動作電極７ｂに所望の電圧を印加する
ことにより、試料２１の表面を観察する。
、 ９ｂ及び２軸動作電極７ｂに所望の電圧を印加する
ことにより、試料２１の表面を観察する。
第８図Ｔａ＋及び第８図（ｂｌは、本発明による第六実
施例の微動機構及び動作電極の配置を示したものである
。電極構成は、第一実施例の電極構成にＸ・ｙ方向の電
極３１ａ、 ３１ｂ、 ３２ａ、 ３２ｂを付加したも
のとしている。Ｘ、 ｙ動作型１ｆｉ＋３１ａ、 ３
１ｂ、 ３２ａ３２ｂはｘ−ｙ動作電極８ａ、 ８ｂ、
９ａ、 ９ｂと同様に外面に等分割で配置されている
。Ｘ軸動作＠ Ｆｉ ３１ ａと３１ｂ及びｙ軸動作電
極３２ａと３２ｂはそれぞれ対向した位置に配置されて
おり、それらの面積及び形状はすべて同しであるが、ｘ
−ｙ動作電極８ａ、 ８ｂ。
施例の微動機構及び動作電極の配置を示したものである
。電極構成は、第一実施例の電極構成にＸ・ｙ方向の電
極３１ａ、 ３１ｂ、 ３２ａ、 ３２ｂを付加したも
のとしている。Ｘ、 ｙ動作型１ｆｉ＋３１ａ、 ３
１ｂ、 ３２ａ３２ｂはｘ−ｙ動作電極８ａ、 ８ｂ、
９ａ、 ９ｂと同様に外面に等分割で配置されている
。Ｘ軸動作＠ Ｆｉ ３１ ａと３１ｂ及びｙ軸動作電
極３２ａと３２ｂはそれぞれ対向した位置に配置されて
おり、それらの面積及び形状はすべて同しであるが、ｘ
−ｙ動作電極８ａ、 ８ｂ。
９ａ、 ９ｂの電極と電圧に対する動作量を変えるため
に、幅を変えて形成されている。
に、幅を変えて形成されている。
動作について説明する。ｚ軸方向については第一実施例
と同様である。Ｘ軸方向については、相対向する２組の
電極８ａと８ｂ及び３１ａと３１ｂ、又はいずれか１Ｍ
ｌの電極８ａと８ｂまたは３１ａと３１ｂに、共通電極
６に対し相対向する電極の一方に正の電圧を印加し、他
方番こは負の電圧を印加することにより、Ｘ軸方向に２
段階の変位を生しる。ｙ軸方向についても同様である。
と同様である。Ｘ軸方向については、相対向する２組の
電極８ａと８ｂ及び３１ａと３１ｂ、又はいずれか１Ｍ
ｌの電極８ａと８ｂまたは３１ａと３１ｂに、共通電極
６に対し相対向する電極の一方に正の電圧を印加し、他
方番こは負の電圧を印加することにより、Ｘ軸方向に２
段階の変位を生しる。ｙ軸方向についても同様である。
以上説明したように本発明は、少なくとも１軸以上の動
作電極を２組以上有することから、たとえば、２軸動作
電極を２組以上有するときは、特別な電源を用いること
なく、高分解能かつ動作量の大きな微動機溝を実現でき
、また、ｘ−ｙ軸動作電極を複数組有するときは、微小
領域から大領域までの多段駆動可能な微動機構が実現で
きる。
作電極を２組以上有することから、たとえば、２軸動作
電極を２組以上有するときは、特別な電源を用いること
なく、高分解能かつ動作量の大きな微動機溝を実現でき
、また、ｘ−ｙ軸動作電極を複数組有するときは、微小
領域から大領域までの多段駆動可能な微動機構が実現で
きる。
第１図は第一実施例の微動機構の斜視図および動作電極
配置図、第２図は従来の中空円筒形状電極駆動部材微動
機構の斜視図および断面図、第３図は第二実施例の微動
機構の斜視図、第４図は第三実施例の微動機構の斜視図
、第５図は第四実施例の微動機構の斜視図、第６図は第
五実施例の微動機構の斜視図、第７図は第二実施例の微
動機構を組込んだ走査型トンネル顕微鏡のトンネルユニ
７）部概略図、第８図は第六実施例の倣動機構の斜視図
および動作電極配置図である。 指定代理人 ３２ａ。 ３２ｂ・ ｙ軸動作電極 工業技術院長 株式会社 小板研究所 セイコー電子工業株式会社 工業技術院電子技術総合研究所長 杉油 賢 弁理土柱 敬之助 １．１１．１２．１３．１４．１５・・・圧電駆動部材
２・・・・・・・・・・検出探針 ３・・・・・・・・・・検出探針ホルダー４・・・・・
・・・・・積出探針台 ５・・・・・・・・・・絶縁性材料 ６・・・・・・・・・・共通電極 ７、７ａ、 ７ｂ・・・・・・２軸動作電橿８ａ、 ８
ｂ、 ３１ａ、 ３１ｂ −・−ｘ軸動作電極＄考案微
ｉ広嫂遇趨姻みΔにだ′
配置図、第２図は従来の中空円筒形状電極駆動部材微動
機構の斜視図および断面図、第３図は第二実施例の微動
機構の斜視図、第４図は第三実施例の微動機構の斜視図
、第５図は第四実施例の微動機構の斜視図、第６図は第
五実施例の微動機構の斜視図、第７図は第二実施例の微
動機構を組込んだ走査型トンネル顕微鏡のトンネルユニ
７）部概略図、第８図は第六実施例の倣動機構の斜視図
および動作電極配置図である。 指定代理人 ３２ａ。 ３２ｂ・ ｙ軸動作電極 工業技術院長 株式会社 小板研究所 セイコー電子工業株式会社 工業技術院電子技術総合研究所長 杉油 賢 弁理土柱 敬之助 １．１１．１２．１３．１４．１５・・・圧電駆動部材
２・・・・・・・・・・検出探針 ３・・・・・・・・・・検出探針ホルダー４・・・・・
・・・・・積出探針台 ５・・・・・・・・・・絶縁性材料 ６・・・・・・・・・・共通電極 ７、７ａ、 ７ｂ・・・・・・２軸動作電橿８ａ、 ８
ｂ、 ３１ａ、 ３１ｂ −・−ｘ軸動作電極＄考案微
ｉ広嫂遇趨姻みΔにだ′
Claims (1)
- 少なくとも一部が中空状に形成されており、その外面と
内面にそれぞれ１つ以上の動作電極を有する圧電駆動部
材において、少なくとも１軸以上の動作電極を２組以上
有することを特徴とする微動機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63232930A JPH0762603B2 (ja) | 1988-09-16 | 1988-09-16 | 微動機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63232930A JPH0762603B2 (ja) | 1988-09-16 | 1988-09-16 | 微動機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0281487A true JPH0281487A (ja) | 1990-03-22 |
| JPH0762603B2 JPH0762603B2 (ja) | 1995-07-05 |
Family
ID=16947074
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63232930A Expired - Lifetime JPH0762603B2 (ja) | 1988-09-16 | 1988-09-16 | 微動機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0762603B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009224234A (ja) * | 2008-03-18 | 2009-10-01 | Hitachi High-Technologies Corp | ステージ及び電子顕微鏡装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60109774A (ja) * | 1983-11-18 | 1985-06-15 | Olympus Optical Co Ltd | 圧電型変位装置 |
| JPS62117379A (ja) * | 1985-11-16 | 1987-05-28 | Tohoku Metal Ind Ltd | 円筒型圧電アクチユエ−タ及びその製造方法 |
-
1988
- 1988-09-16 JP JP63232930A patent/JPH0762603B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60109774A (ja) * | 1983-11-18 | 1985-06-15 | Olympus Optical Co Ltd | 圧電型変位装置 |
| JPS62117379A (ja) * | 1985-11-16 | 1987-05-28 | Tohoku Metal Ind Ltd | 円筒型圧電アクチユエ−タ及びその製造方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009224234A (ja) * | 2008-03-18 | 2009-10-01 | Hitachi High-Technologies Corp | ステージ及び電子顕微鏡装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0762603B2 (ja) | 1995-07-05 |
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