JP3104889B2 - 圧電素子を用いたトンネル電子顕微鏡用ｘｙスキャナテーブル - Google Patents
圧電素子を用いたトンネル電子顕微鏡用ｘｙスキャナテーブルInfo
- Publication number
- JP3104889B2 JP3104889B2 JP20415092A JP20415092A JP3104889B2 JP 3104889 B2 JP3104889 B2 JP 3104889B2 JP 20415092 A JP20415092 A JP 20415092A JP 20415092 A JP20415092 A JP 20415092A JP 3104889 B2 JP3104889 B2 JP 3104889B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- scanner
- stm
- driving
- electron microscope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電素子を用いたＸＹ
スキャナテーブルに係り、特にＳＴＭ（走査型トンネル
顕微鏡）に用いられるＸＹスキャナテーブルに関する。
スキャナテーブルに係り、特にＳＴＭ（走査型トンネル
顕微鏡）に用いられるＸＹスキャナテーブルに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、このようなＳＴＭに用いられるス
キャナとしては、以下に示すようなものがあった。 （１）ＸＹＺの３軸が連動するタイプ これはＳＴＭのスキャナに一般的に使われているタイプ
であり、図６に示すように、トライポッドと呼ばれてい
るものや、図７に示すように、円筒形のものが代表的で
ある。
キャナとしては、以下に示すようなものがあった。 （１）ＸＹＺの３軸が連動するタイプ これはＳＴＭのスキャナに一般的に使われているタイプ
であり、図６に示すように、トライポッドと呼ばれてい
るものや、図７に示すように、円筒形のものが代表的で
ある。
【０００３】図６において、ベース１上に載置された試
料２は、ＸＹ方向駆動圧電素子Ｐx，Ｐy ３とＺ方向駆
動圧電素子Ｐz ４によって支持部材５を介して駆動され
る探針６を具備している。ａは走査の軌跡である。ま
た、図７において、ベース１上に載置された試料２はＸ
Ｙ方向駆動圧電素子Ｐx1，Ｐy1７、Ｐx2，Ｐy2８によっ
て駆動される探針９を具備している。ｂは走査の軌跡で
ある。
料２は、ＸＹ方向駆動圧電素子Ｐx，Ｐy ３とＺ方向駆
動圧電素子Ｐz ４によって支持部材５を介して駆動され
る探針６を具備している。ａは走査の軌跡である。ま
た、図７において、ベース１上に載置された試料２はＸ
Ｙ方向駆動圧電素子Ｐx1，Ｐy1７、Ｐx2，Ｐy2８によっ
て駆動される探針９を具備している。ｂは走査の軌跡で
ある。
【０００４】これらの図に示すように、試料２の表面に
沿ってＸＹ方向に走査を行うと、その走査面は必ず曲面
となる。そのため、走査範囲が広くなる程、ＳＴＭ像中
に含まれる誤差は大きくなる。そのために、この方式は
観察用ＳＴＭのみの用途としてしか使用できない。 （２）スキャナに微小ＸＹテーブルを用いるタイプ 上記の問題を解決するためには、図８に示すように、Ｘ
Ｙテーブル１１のＸＹ走査はＸＹ方向駆動圧電素子１
２，１３で行い、探針１４のＺ軸制御は別個のＺ方向駆
動圧電素子Ｐ2 １５で行わせるようにすればよい。この
ように構成すると、走査面は試料１６に対して平面であ
るので走査によるＳＴＭ像の歪みは、原理上、発生しな
い。ｃは走査の軌跡である。
沿ってＸＹ方向に走査を行うと、その走査面は必ず曲面
となる。そのため、走査範囲が広くなる程、ＳＴＭ像中
に含まれる誤差は大きくなる。そのために、この方式は
観察用ＳＴＭのみの用途としてしか使用できない。 （２）スキャナに微小ＸＹテーブルを用いるタイプ 上記の問題を解決するためには、図８に示すように、Ｘ
Ｙテーブル１１のＸＹ走査はＸＹ方向駆動圧電素子１
２，１３で行い、探針１４のＺ軸制御は別個のＺ方向駆
動圧電素子Ｐ2 １５で行わせるようにすればよい。この
ように構成すると、走査面は試料１６に対して平面であ
るので走査によるＳＴＭ像の歪みは、原理上、発生しな
い。ｃは走査の軌跡である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、そのた
めには走査に用いる微少ＸＹテーブルが正確に移動しな
ければならない。図９は従来の圧電素子を用いたＸＹテ
ーブル式スキャナの例である。この図に示すように、テ
ーブル２１の四方に圧電素子ＰX1２２，ＰY1２３，Ｐ X2
２４，ＰY2２５を取り付け、向かい合う圧電素子をプッ
シュプルに駆動し、Ｘ方向変位とＹ方向変位を独立して
制御するようにしている。この構成においても走査範囲
を広くとると、図１０に示すように、テーブル２１が周
辺にきたとき、Ｘ軸とＹ軸の動きに干渉が起きてしま
う。その結果、探針の走査の軌跡に歪みが生じ、直ちに
ＳＴＭ像の歪みにつながってくる。
めには走査に用いる微少ＸＹテーブルが正確に移動しな
ければならない。図９は従来の圧電素子を用いたＸＹテ
ーブル式スキャナの例である。この図に示すように、テ
ーブル２１の四方に圧電素子ＰX1２２，ＰY1２３，Ｐ X2
２４，ＰY2２５を取り付け、向かい合う圧電素子をプッ
シュプルに駆動し、Ｘ方向変位とＹ方向変位を独立して
制御するようにしている。この構成においても走査範囲
を広くとると、図１０に示すように、テーブル２１が周
辺にきたとき、Ｘ軸とＹ軸の動きに干渉が起きてしま
う。その結果、探針の走査の軌跡に歪みが生じ、直ちに
ＳＴＭ像の歪みにつながってくる。
【０００６】本発明は、上記問題点を除去し、いかなる
走査範囲においても誤差のない移動真直度が良好な走査
中の探針の姿勢安定性の良い圧電素子を用いたトンネル
電子顕微鏡用ＸＹスキャナテーブルを提供することを目
的とする。
走査範囲においても誤差のない移動真直度が良好な走査
中の探針の姿勢安定性の良い圧電素子を用いたトンネル
電子顕微鏡用ＸＹスキャナテーブルを提供することを目
的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、圧電素子を用いたトンネル電子顕微鏡用
ＸＹスキャナテーブルにおいて、テーブルと、該テーブ
ルのＸ方向の両側面に取り付けられる第１及び第２のＸ
方向駆動圧電素子と、該第１及び第２のＸ方向駆動圧電
素子の端面に取り付けられる第１及び第２の連結部材
と、該第１及び第２の連結部材のそれぞれのＹ方向の両
側面に取り付けられる一対の第１及び第２のＹ方向駆動
圧電素子と、該一対の第１及び第２のＹ方向駆動圧電素
子の端面に取り付けられる第１及び第２の固定部とを設
け、前記Ｘ方向駆動圧電素子の駆動による前記テーブル
の移動と前記Ｙ方向駆動圧電素子の駆動による前記テー
ブルの移動の間で干渉をなくすようにしたものである。
成するために、圧電素子を用いたトンネル電子顕微鏡用
ＸＹスキャナテーブルにおいて、テーブルと、該テーブ
ルのＸ方向の両側面に取り付けられる第１及び第２のＸ
方向駆動圧電素子と、該第１及び第２のＸ方向駆動圧電
素子の端面に取り付けられる第１及び第２の連結部材
と、該第１及び第２の連結部材のそれぞれのＹ方向の両
側面に取り付けられる一対の第１及び第２のＹ方向駆動
圧電素子と、該一対の第１及び第２のＹ方向駆動圧電素
子の端面に取り付けられる第１及び第２の固定部とを設
け、前記Ｘ方向駆動圧電素子の駆動による前記テーブル
の移動と前記Ｙ方向駆動圧電素子の駆動による前記テー
ブルの移動の間で干渉をなくすようにしたものである。
【０００８】
【作用】本発明によれば、上記したように、Ｘ方向駆動
圧電素子の駆動による前記テーブルの移動と前記Ｙ方向
駆動圧電素子の駆動による前記テーブルの移動の間で干
渉をなくすようにしたので、いかなる走査範囲において
も誤差のない移動真直度が良好で、歪みのない正確なＳ
ＴＭ像を得ることができる圧電素子を用いたトンネル電
子顕微鏡用ＸＹスキャナテーブルを得ることができる。
圧電素子の駆動による前記テーブルの移動と前記Ｙ方向
駆動圧電素子の駆動による前記テーブルの移動の間で干
渉をなくすようにしたので、いかなる走査範囲において
も誤差のない移動真直度が良好で、歪みのない正確なＳ
ＴＭ像を得ることができる圧電素子を用いたトンネル電
子顕微鏡用ＸＹスキャナテーブルを得ることができる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の実施例を図を参照しながら詳
細に説明する。図１は本発明の実施例を示す圧電素子を
用いたＳＴＭ用ＸＹスキャナテーブルの平面図、図２は
そのＸＹスキャナテーブルの右側面図、図３は図１のＡ
−Ａ線断面図である。
細に説明する。図１は本発明の実施例を示す圧電素子を
用いたＳＴＭ用ＸＹスキャナテーブルの平面図、図２は
そのＸＹスキャナテーブルの右側面図、図３は図１のＡ
−Ａ線断面図である。
【００１０】これらの図に示すように、テーブル３０の
左右にはＸ方向駆動圧電素子３１，３２が固定され、そ
れらのＸ方向駆動圧電素子ＰX1３１，ＰX2３２のそれぞ
れの他端にはブロック状の連結部材３３，３４が取り付
けられている。また、それらのブロック状の連結部材３
３，３４の両側面にはＹ方向駆動圧電素子Ｐy1３５，Ｐ
y2３７とＰy1３６，Ｐy2３８がそれぞれ取り付けられて
いる。更に、Ｙ方向駆動圧電素子Ｐy1３５とＰy1３６の
他端は第１の固定部４１に、Ｙ方向駆動圧電素子Ｐy2３
７とＰy2３８の他端は、第２の固定部４２にそれぞれ取
り付けられている。
左右にはＸ方向駆動圧電素子３１，３２が固定され、そ
れらのＸ方向駆動圧電素子ＰX1３１，ＰX2３２のそれぞ
れの他端にはブロック状の連結部材３３，３４が取り付
けられている。また、それらのブロック状の連結部材３
３，３４の両側面にはＹ方向駆動圧電素子Ｐy1３５，Ｐ
y2３７とＰy1３６，Ｐy2３８がそれぞれ取り付けられて
いる。更に、Ｙ方向駆動圧電素子Ｐy1３５とＰy1３６の
他端は第１の固定部４１に、Ｙ方向駆動圧電素子Ｐy2３
７とＰy2３８の他端は、第２の固定部４２にそれぞれ取
り付けられている。
【００１１】このように、テーブル３０、圧電素子ＰX1
３１，ＰX2３２、ブロック状の連結部材３３，３４及び
圧電素子Ｐy1３５，Ｐy2３７，Ｐy1３６，Ｐy2３８をＨ
形に並べ、１次元テーブルを２重に構成することによ
り、図のようにＸＹ干渉の無い動作を行わせることがで
きる。 以下、本発明のＳＴＭ用ＸＹスキャナテーブル
の動作を図４及び図５を用いて説明する。
３１，ＰX2３２、ブロック状の連結部材３３，３４及び
圧電素子Ｐy1３５，Ｐy2３７，Ｐy1３６，Ｐy2３８をＨ
形に並べ、１次元テーブルを２重に構成することによ
り、図のようにＸＹ干渉の無い動作を行わせることがで
きる。 以下、本発明のＳＴＭ用ＸＹスキャナテーブル
の動作を図４及び図５を用いて説明する。
【００１２】図４は本発明の実施例を示す圧電素子を用
いたＳＴＭ用ＸＹスキャナテーブルのＸ方向移動説明図
であり、図４（ａ）はそのＳＴＭ用ＸＹスキャナテーブ
ルの平面図、図４（ｂ）はそのＳＴＭ用ＸＹスキャナテ
ーブルの右側面図、図４（ｃ）は図４（ａ）のＢ−Ｂ線
断面図である。これらの図に示すように、ＸＹスキャナ
テーブルをＸ方向に移動させる場合には、圧電素子３１
を伸長させるとともに、圧電素子３２を収縮させる。つ
まり、プッシュプル動作を行わせることにより、テーブ
ル３０をＸ方向に移動させることができる。
いたＳＴＭ用ＸＹスキャナテーブルのＸ方向移動説明図
であり、図４（ａ）はそのＳＴＭ用ＸＹスキャナテーブ
ルの平面図、図４（ｂ）はそのＳＴＭ用ＸＹスキャナテ
ーブルの右側面図、図４（ｃ）は図４（ａ）のＢ−Ｂ線
断面図である。これらの図に示すように、ＸＹスキャナ
テーブルをＸ方向に移動させる場合には、圧電素子３１
を伸長させるとともに、圧電素子３２を収縮させる。つ
まり、プッシュプル動作を行わせることにより、テーブ
ル３０をＸ方向に移動させることができる。
【００１３】図５は本発明の実施例を示す圧電素子を用
いたＳＴＭ用ＸＹスキャナテーブルのＹ方向移動説明図
であり、図５（ａ）はその圧電素子を用いたＳＴＭ用Ｘ
Ｙスキャナテーブルの平面図、図５（ｂ）はその圧電素
子を用いたＳＴＭ用ＸＹスキャナテーブルの右側面図、
図５（ｃ）は図５（ａ）のＣ−Ｃ線断面図である。次
に、これらの図に示すように、ＸＹスキャナテーブルを
Ｙ方向に移動させる場合には、圧電素子３５，３６を伸
長させるとともに、圧電素子３７，３８を収縮させる。
つまり、プッシュプル動作を行わせることにより、テー
ブル３０をＹ方向に移動させることができる。
いたＳＴＭ用ＸＹスキャナテーブルのＹ方向移動説明図
であり、図５（ａ）はその圧電素子を用いたＳＴＭ用Ｘ
Ｙスキャナテーブルの平面図、図５（ｂ）はその圧電素
子を用いたＳＴＭ用ＸＹスキャナテーブルの右側面図、
図５（ｃ）は図５（ａ）のＣ−Ｃ線断面図である。次
に、これらの図に示すように、ＸＹスキャナテーブルを
Ｙ方向に移動させる場合には、圧電素子３５，３６を伸
長させるとともに、圧電素子３７，３８を収縮させる。
つまり、プッシュプル動作を行わせることにより、テー
ブル３０をＹ方向に移動させることができる。
【００１４】なお、２次元スキャナとして用いる場合
は、往復運動させる方向を中央の慣性質量の少ない方向
（図中ではＸ方向）にして走査を行わせる。ところで、
ＳＴＭ用ＸＹスキャナテーブルの場合、ＳＴＭにおいて
正確な像を得るためには、探針を動かす時にＸＹＺの３
軸方向にそれぞれ干渉せずに独立して動作させることが
必要となる。その場合、Ｚ軸とＸＹ軸とは前述のように
スキャナテーブル式とすることにより、独立にできるの
で、要は、ＸＹの２軸が干渉せず移動真直度の良い微少
テーブルを使用すればよい。
は、往復運動させる方向を中央の慣性質量の少ない方向
（図中ではＸ方向）にして走査を行わせる。ところで、
ＳＴＭ用ＸＹスキャナテーブルの場合、ＳＴＭにおいて
正確な像を得るためには、探針を動かす時にＸＹＺの３
軸方向にそれぞれ干渉せずに独立して動作させることが
必要となる。その場合、Ｚ軸とＸＹ軸とは前述のように
スキャナテーブル式とすることにより、独立にできるの
で、要は、ＸＹの２軸が干渉せず移動真直度の良い微少
テーブルを使用すればよい。
【００１５】特に、このようにな観点から、本発明のＳ
ＴＭ用ＸＹスキャナテーブルは、ＳＴＭを用いての比較
測長や位置決めを行う超微細ＳＴＭ用ＸＹスキャナテー
ブルとして好適である。なお、本発明は上記実施例に限
定されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の
変形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除する
ものではない。
ＴＭ用ＸＹスキャナテーブルは、ＳＴＭを用いての比較
測長や位置決めを行う超微細ＳＴＭ用ＸＹスキャナテー
ブルとして好適である。なお、本発明は上記実施例に限
定されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の
変形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除する
ものではない。
【００１６】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、次のような効果を奏することができる。 （１）いかなる走査範囲においても誤差のない移動真直
度が良好で、歪みのない正確なＳＴＭ像を得ることがで
きる圧電素子を用いたＳＴＭ用ＸＹスキャナテーブルを
得ることができる。 （２）また、ＳＴＭにおいては、探針と試料間のギャッ
プを一定に保ちながら試料表面を２次元的に走査するこ
とで、試料の３次元形状を得ている。そのため、走査面
の歪みが得られるＳＴＭ像の歪みと直接結びついてお
り、走査を行なわせるスキャナの設計には注意が必要で
ある。特に、ＳＴＭを用いての比較測長や位置決めを行
う場合には、同時に二つのＳＴＭ観察を行なうため、ス
キャナによるＳＴＭ像の歪みは最小に抑えなければなら
ない。
よれば、次のような効果を奏することができる。 （１）いかなる走査範囲においても誤差のない移動真直
度が良好で、歪みのない正確なＳＴＭ像を得ることがで
きる圧電素子を用いたＳＴＭ用ＸＹスキャナテーブルを
得ることができる。 （２）また、ＳＴＭにおいては、探針と試料間のギャッ
プを一定に保ちながら試料表面を２次元的に走査するこ
とで、試料の３次元形状を得ている。そのため、走査面
の歪みが得られるＳＴＭ像の歪みと直接結びついてお
り、走査を行なわせるスキャナの設計には注意が必要で
ある。特に、ＳＴＭを用いての比較測長や位置決めを行
う場合には、同時に二つのＳＴＭ観察を行なうため、ス
キャナによるＳＴＭ像の歪みは最小に抑えなければなら
ない。
【００１７】このような観点から、本発明のＳＴＭ用Ｘ
Ｙスキャナテーブルは、ＳＴＭを用いての比較測長や位
置決めを行うナノメータオーダーの超微細ＳＴＭのＸＹ
スキャナテーブルとして好適である。その結果、これま
では観察用途が主であったＳＴＭを測定装置の分野にま
で広げていくことが可能となる。
Ｙスキャナテーブルは、ＳＴＭを用いての比較測長や位
置決めを行うナノメータオーダーの超微細ＳＴＭのＸＹ
スキャナテーブルとして好適である。その結果、これま
では観察用途が主であったＳＴＭを測定装置の分野にま
で広げていくことが可能となる。
【００１８】更には、ＳＴＭによる原子レベルの位置決
め技術を応用すれば、小形で超高分解能な微少ＸＹテー
ブルとしての使用もでき、ナノマシニング分野への発展
が期待できる。
め技術を応用すれば、小形で超高分解能な微少ＸＹテー
ブルとしての使用もでき、ナノマシニング分野への発展
が期待できる。
【図１】本発明の実施例を示す圧電素子を用いたＳＴＭ
用ＸＹスキャナテーブルの平面図である。
用ＸＹスキャナテーブルの平面図である。
【図２】本発明の実施例を示す圧電素子を用いたＳＴＭ
用ＸＹスキャナテーブルの右側面図である。
用ＸＹスキャナテーブルの右側面図である。
【図３】図１のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】本発明の実施例を示す圧電素子を用いたＳＴＭ
用ＸＹスキャナテーブルのＸ方向移動説明図である。
用ＸＹスキャナテーブルのＸ方向移動説明図である。
【図５】本発明の実施例を示す圧電素子を用いたＳＴＭ
用ＸＹスキャナテーブルのＹ方向移動説明図である。
用ＸＹスキャナテーブルのＹ方向移動説明図である。
【図６】従来のＸＹＺの３軸が連動するトライポッドス
キャナを示す図である。
キャナを示す図である。
【図７】従来の円筒形スキャナを示す図である。
【図８】従来のテーブル式スキャナを示す図である。
【図９】従来のＸＹテーブル式スキャナを示す平面図で
ある。
ある。
【図１０】従来のＸＹテーブル式スキャナのＸ方向移動
説明図である。
説明図である。
３０ テーブル ３１，３２ Ｘ方向駆動圧電素子 ３３，３４ ブロック状の連結部材 ３５，３７，３６，３８ Ｙ方向駆動圧電素子 ４１ 第１の固定部 ４２ 第２の固定部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西沖 暢久 神奈川県川崎市高津区諏訪53−５ リバ ーハイツ多摩川105号 (56)参考文献 特開 昭63−153404（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−287403（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−60402（ＪＰ，Ａ) 国際公開89／1603（ＷＯ，Ａ１) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01B 7/00 - 7/34 102 G01B 21/00 - 21/32 G12B 1/00 - 17/08 H01L 41/08 H02N 1/00 - 15/04
Claims (4)
- 【請求項１】（ａ）テーブルと、（ｂ）該テーブルのＸ
方向の両側面に取り付けられる第１及び第２のＸ方向駆
動圧電素子と、（ｃ）該第１及び第２のＸ方向駆動圧電
素子の端面に取り付けられる第１及び第２の連結部材
と、（ｄ）該第１及び第２の連結部材のそれぞれのＹ方
向の両側面に取り付けられる一対の第１及び第２のＹ方
向駆動圧電素子と、（ｅ）該一対の第１及び第２のＹ方
向駆動圧電素子の端面に取り付けられる第１及び第２の
固定部とを設け、（ｆ）前記Ｘ方向駆動圧電素子の駆動
による前記テーブルの移動と前記Ｙ方向駆動圧電素子の
駆動による前記テーブルの移動の間での干渉をなくすよ
うにしたことを特徴とする圧電素子を用いたトンネル電
子顕微鏡用ＸＹスキャナテーブル。 - 【請求項２】 前記圧電素子は対向する圧電素子間でプ
ッシュプル動作を行う請求項１記載の圧電素子を用いた
ＳＴＭ用ＸＹスキャナテーブル。 - 【請求項３】 前記圧電素子は超微小駆動用圧電素子で
ある請求項１記載の圧電素子を用いたトンネル電子顕微
鏡用ＸＹスキャナテーブル。 - 【請求項４】 第１及び第２の連結部材はブロック状の
連結部材である請求項１記載の圧電素子を用いたトンネ
ル電子顕微鏡用ＸＹスキャナテーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20415092A JP3104889B2 (ja) | 1992-07-31 | 1992-07-31 | 圧電素子を用いたトンネル電子顕微鏡用ｘｙスキャナテーブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20415092A JP3104889B2 (ja) | 1992-07-31 | 1992-07-31 | 圧電素子を用いたトンネル電子顕微鏡用ｘｙスキャナテーブル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06213616A JPH06213616A (ja) | 1994-08-05 |
| JP3104889B2 true JP3104889B2 (ja) | 2000-10-30 |
Family
ID=16485670
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20415092A Expired - Fee Related JP3104889B2 (ja) | 1992-07-31 | 1992-07-31 | 圧電素子を用いたトンネル電子顕微鏡用ｘｙスキャナテーブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3104889B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103111990A (zh) * | 2011-11-17 | 2013-05-22 | 上海航天测控通信研究所 | 一维微动平台的运动机构 |
-
1992
- 1992-07-31 JP JP20415092A patent/JP3104889B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06213616A (ja) | 1994-08-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0149017B1 (en) | Piezoelectric x-y positioner | |
| Liu et al. | Ultralarge-area stitchless scanning probe lithography and in situ characterization system using a compliant nanomanipulator | |
| JP2000501500A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡観察用の平坦なスキャンステージ | |
| JP2003510582A (ja) | スキャナ用曲げアセンブリ | |
| JP5605227B2 (ja) | 平面位置決め装置およびこれを備えた検査装置 | |
| Bergander et al. | Micropositioners for microscopy applications based on the stick-slip effect | |
| US5223713A (en) | Scanner for scanning tunneling microscope | |
| JP3104889B2 (ja) | 圧電素子を用いたトンネル電子顕微鏡用ｘｙスキャナテーブル | |
| JPH02297004A (ja) | 試料ステージの位置を調節するための支持構造体及びその調節装置 | |
| JP4623547B2 (ja) | 無反動型変位拡大位置決め装置 | |
| JP2005297109A (ja) | 微動ステージ | |
| US7644447B2 (en) | Scanning probe microscope capable of measuring samples having overhang structure | |
| JP3897893B2 (ja) | 変位拡大装置およびこれを用いた微小領域走査装置 | |
| JP3255707B2 (ja) | 微細位置決め装置 | |
| JPH07181030A (ja) | 原子間力顕微鏡 | |
| JPH0432633Y2 (ja) | ||
| JPH08201399A (ja) | 微動機構 | |
| JP3369892B2 (ja) | 微小位置決め装置用の位置決め器 | |
| JPH03129654A (ja) | 試料移動装置 | |
| JPH09117165A (ja) | 微動装置 | |
| JPH01224603A (ja) | 広範囲走査型トンネル顕微鏡 | |
| JPH02147804A (ja) | 走査型トンネル顕微鏡装置 | |
| JPH09178760A (ja) | 自走式走査型プローブ顕微鏡およびこれを含む複合装置 | |
| JPH0335104A (ja) | ３次元アクチュエータ | |
| JPH0244787A (ja) | 圧電素子微小位置決め機構 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20000725 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |