JPS63232966A

JPS63232966A - 研削機械

Info

Publication number: JPS63232966A
Application number: JP6481487A
Authority: JP
Inventors: Toyohiko Hiyoshi; 日吉　豊彦; Koichi Matsushita; 松下　光一; Kazuo Watanabe; 和雄渡辺; Tadayuki Kubo; 忠之久保; Koji Shinoda; 篠田　好志; Koji Narumi; 鳴海　広治; Hiroyuki Sugimoto; 杉本　廣行
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1987-03-19
Filing date: 1987-03-19
Publication date: 1988-09-28
Also published as: JPH0543455B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、研削機械に関し、詳しくはガラスや金属等の
表面を高い精度で球面あるいは非球面に研削ないし研磨
するに好適な研削機械に関する。

（従来の技術〕従来、上述のような加工体の表面を球面あるいは非球面
形状に加工する場合は主として互いに直行するＸ、　Ｙ
、　Ｚ　３軸方向のＮＣ制御によって成形が実施されて
きた。また、直交２軸制御による研削加工機の例（「日
経メカニカルＪ　１９８５年１月２８日号（Ｎｏ、１８
５）　Ｐ１０４〜Ｐｉｌｌ参照）があるが、いずれの場
合も、加工機自体に加工体の加工形状を測定する測定手
段が設けられておらず、その測定のために加工体をいち
いち加工機から取外す必要がある上に、研削機械そのも
のの制御機構が複雑になる欠点があった。

（発明が解決しようとする問題点）すなわち、上述のように１．直交３軸方向のＮＣ制御を
行なって加工を実施するのでは、その制御機構および手
順が複雑となる上に、加工体の研削面形状測定のために
いちいち取外すのでは再度修正加工を実施するときに取
付誤差が生じ精度管理上からも好ましくない。

本発明の目的は、上述従来の欠点を除去し、操作と共に
ＮＣ制御し易いように機構の簡略化を図り、更には加工
体を加工状態にセットしたままの状態でその加工形状の
計測が可能なように測定装置を具えた研削機械を提供す
ることにある。

（問題点を解決するための手段〕かかる目的を達成するために、本発明は、加工体を回転
させる回転手段と、該回転手段をその回転軸と直交する
旋回軸の周りに旋回自在に保持する加工体保持装置と、
旋回軸を旋回させる旋回手段と、その旋回角度の検出手
段と、加工体を研削する研削部材を旋回軸と直交する方
向に移動可能な研削部材移動手段と、該研削部材移動手
段によって移動される研削部材の移動量を検出する手段
と、旋回角度の検出手段により検出された旋回角度およ
び研削部材の移動量を検出する手段により検出された研
削部材の移動量に対応して加工体を回転させる回転手段
の回転速度と旋回手段の旋回速度とを制御する手段とを
具えたことを特徴とするものである。

更に本発明の別の形態は、加工体を回転させる回転手段
と、該回転手段をその回転軸と直交する旋回軸の周りに
旋回臼°在に保持する加工体保持装置と、旋回軸を旋回
させる旋回手段と、その旋回角度の検出手段と、加工体
を研削する研削部材を旋回軸と直交する方向に移動可能
な研削部材移動手段と、該研削部材移動手段によって移
動される研削部材の移動量を検出する手段と、旋回軸と
回転手段の回転軸との交点を通り、旋回軸と直交する方
向に移動自在とした加工体研削面を測定する加工体測定
装置と、当該加工体測定装置によって測定された加工体
研削面の形状と、その設定形状との差に対応して研削部
材移動手段による移動量を制御する手段とを具えたこと
を特徴とするものである。

〔作用〕

本発明によれば、加工体保持部材の旋回手段によって回
転手段に保持される加工体を旋回させながらその旋回角
度に対応して研削部材が切込みのための微移動を実施す
るが、そのときの旋回角度と移動量とに対応して制御手
段では回転手段の回転速度と旋回手段の旋回速度とを制
御し、常に加工体の周速度が一定となり、また、加工単
位面積当たりに砥石２１が接触する時間が一定となるよ
うな条件のもとで研削部材が加工体研削面に接触するよ
うにすることができる。

また、本発明の別の形態によれば、旋回手段を介して加
工済の加工体を所定の旋回角度旋回させるだけで測定手
段による研削面形状の測定が可能であり、しかもその測
定によって得られた設定研削面形状との間の誤差を制御
手段にフィードバックすることによって誤差に対応した
量だけ研削部材移動手段による移動量の修正が可能であ
って、正確な修正を期待することができる。

〔実施例〕

以下に、図面に基づいて本発明の実施例を詳細かつ具体
的に説明する。

第１図は本発明の一実施例を示す。ここで（Ａ）は加工
体保持装置、（６）は砥石スライド装置、（Ｃ）は加工
体の表面を測定する装置である。その加工体保持装置（
八）において、１はワーク、すなわち加工体であり、２
は加工体ｌを把持する部材、すなわちやとい３を介して
回転させられるワーク軸である。ワーク軸２は外部から
加圧空気が供給される静圧軸受４によってその空気膜層
を介して軸支されており、モータ５によって回転駆動さ
れる。６はその回転数を計測しているタコジェネレータ
である。

また、７は静圧軸受４が取付けられているベースプレー
トであり、ベースプレート７には旋回軸８が取付けられ
ていて、旋回＠８は静圧軸受９によって回動自在に支持
されている。１０は旋回用のモータ、１１はロータリエ
ンコーダである。かくして加工体保持装置（Ａ）におい
ては、加工体１はモータ５によって回転させられながら
旋回軸８の軸心を中心に、あらかじめ設定された半径を
保って旋回し、その間に砥石スライド装置（Ｂ）側の砥
石２１によって研削される。

砥石スライド装置（Ｂ）において、２２は微動スライド
部材２３の下面側に設けられた静圧軸受であり、砥石２
１の回転軸（不図示）は静圧軸受２２によって軸支され
ており、モータ２４により回転可能である。２５はタコ
ジェネレータである。しかして、砥石スライド装置（Ｂ
）においては、このような回転機構を有する砥石２１が
その回転軸と直交する方向に粗動スライドおよび微動ス
ライド可能とするもので、微動スライド部材２３は第２
図に示すように、微動案内部材２６の案内溝２６Δの周
りに配置された静圧パッド２７により浮揚状態に保持さ
れる。なお、この静圧バッド２７はそのバットが多孔質
部材で形成されるもので、この多孔質のパッド背面側か
ら不図示の供給管を介して供給される加圧空気を案内溝
２８Ａの側に噴出させることにより、空気膜が形成され
、この空気膜により微動スライド部材２３を浮揚状態に
保持させることができる。

また、微動案内部材２６は粗動スライド部材２８に固定
されており、粗動スライド部材２８の案内溝２８八にも
同様の静圧バッド２７が図示のように配置されていて、
これらの静圧バッド２７によりベース定盤２９上に固定
された粗動案内部材３０上に粗動スライド部材２Ｂを浮
揚状態に保つことができる。

３１は粗動スライド部材２８を粗移動させるための送り
ねじであって、不図示の連結部材を介して粗動スライド
部材２８に連結されており、加工体保持装置（八）にお
いて、加工体１を加工状態に保持したときに、そのワー
ク軸２の軸方向に粗動スライド部材２８を微動装置およ
び砥石装置諸芸に粗動させることができる。３２はその
送り用のモータ。３３はモータ３２の回転量を検知する
ロータリエンコーダである。

また、３４は圧電素子を用いて構成されるインチワーム
等の微動直進機構であって、これにより微動スライド部
材２３を上述と同方向に微移動させることができる。

このように構成した砥石スライド装置（Ｂ）においては
、まず粗動スライド部材２８を静圧パッ′ド２７により
粗動案内部材３０から浮揚状態に保ちながら、送りモー
タ３２により粗動スライド部材２８を加工体ｌの方向に
向けて移動させ、砥石２１を加工体ｌに近接させた状態
とする。しかして次に、上記と同様な浮揚状態とした微
動スライド部材２３をインチワーム３４によって同方向
に微移動させて砥石２１を加工体１に接触させるように
なし、その後、所定の切込み量分ずつ前進させて回転さ
れている加工体１の表面からその前進量に対応して切込
み研削を実施することができる。

ついで加工体測定装置（Ｃ）について説明する。

ここで、４１は接触式の測定子、４２はその先端部に測
定子４１が取付けられた角型のエアスライド部材、４３
はエアスライド部材４２を加圧空気層によって浮揚状態
に保つ案内部材であフて加工体保持装置（八）の旋回軸
８の軸方向と砥石スライド装置（Ｂ）の各スライド部材
の直進方向との双方に対し、本例ではその直交方向にそ
のエアスライド部材４２の移動が可能である。しかして
、このエアスライド部材４２は、案内部材４３に設けた
ローラ４４を介して懸吊された重錘４５により加工体１
に向けての偏倚力を有している。

なお、第３図はエアスライド部材４２が案内部材４３に
設けられた多孔質材の静圧バッド２７によってその案内
孔４３＾中に浮揚状態に保持される態様を示す。なおこ
こで、４６は案内部月４３が固定されている粗動スライ
ド部材である。再び第１図に戻り、この粗動スライド部
材４６はベース定盤２９上に固定された転勤案内部材４
７に沿って同方向に移動する。４８はその８勤用のプラ
ンジャ、例えばエアハイドロシリンダである。また、４
９はエアスライド部材４２を微動送りさせるための送り
ねじ、５０はねじ駆動モータ、５１はタコジェネレータ
であって、モータ５０により突当部材５２を微移動させ
てその位置によりエアスライド部材４２の加工体１への
向けての偏倚を抑止している。

そこで、このように構成した研削機構においては、更に
砥石スライド装置（Ｂ）　　における砥石２１の微動送
り量あるいは加工体測定装置（Ｃ）における測定量を検
知するためにレーザによる測定手段が設けられている。

すなわち、６１は砥石スライド装置（Ｂ）の微動スライ
ド部材２３上に設けられたコーナキューブリフレクタ、
６２は加工体測定面ｆｉｔ　（Ｃ）のエアスライド部材
４２上に設けられたコーナキューブフレフタであって、
６３および６４は干渉計、６５はビームベンダー、６６
はレーザ発振器である。しかして、かかるレーザ測定装
置によって、砥石２１の微動送り量あるいは測定子４１
による測定時の変位量を高精度に検出することができる
。

従って、測定を実施する場合は、まず加工体保持装置（
＾）において、モータｌＯにより旋回！１ｉＩＩ］８を
旋回させて加工体１の面を加工体測定装置（Ｃ）の側に
向けるようになし、しかる後加工体測定装置（Ｃ）　に
おいて、その粗動スライド部材４６をシリンダ４８によ
り転勤案内部材４７に沿って加工体１の方に前進させる
。かくして、その測定子４１を加工体１の測定表面近傍
まで近接させたところで粗動スライド部材４６を停止さ
せ、次はモータ５０により送りねじ４９を駆動して突当
部材５２と共にエアスライド部材４２を微動前進させ、
測定子４１を加工体測定面に当接させたところで送りを
停止させる。この場合、測定子４１は重錘４５による偏
倚力だけで一定圧で加工体１の面に接した状態に保たれ
、このあとは加工体１の面形状で追従してエアスライド
部材４２が微移動する。

ついで第４’Ａ図〜第４Ｃ図を参照して木実流側による
加工原理を説明する。加工体１の加工面が凸型の球面で
あるような場合は、第４八図に示すように加工体保持部
材における旋回軸の中心８Ａが加工体１に対し、砥石２
１とは反対側の砥石移動線Ｘ−Ｘ上にある。しかしてこ
のような状態で加工体１をＸ−Ｘ線の周りに回転させ、
砥石２１を加工体１の中心に当接させた上、旋回軸心８
Ａの周りを旋回させるように首振りさせながら砥石２１
を微移動させて切込んでいくことにより旋回中心８八と
砥石２１の加工体１に対する接点との間の距離Ｒを半径
とする曲率半径を有する凸型球面の加工を実施すること
ができる。

また、第４Ｂ図に示すように旋回角度θに対応した位置
で砥石２１を微動直進機構３４により移動させると加工
体１の表面は非球面形状に加工される。

更にまた、第４Ｃ図は加工体１の表面を凹型の球面また
は非球面に加工する場合を示し、この場合砥石２１Ａは
径の小さいものが使用されるが、同時に旋回輪中心８八
は加工体１に対してＸ−Ｘ線上で砥石２１＾と同じ側に
設定されるようにすればよい。なお、本図は第１図に示
す研削機械を側方から見た形状を示すものである。

第５図は加工時と測定時における加工体保持装置の動作
とその向きを示す。すなわち、加工時においてはワーク
軸２が実線で示すように砥石移動線Ｘ−Ｘの方向に向け
られており、高速回転しながらこの姿勢を中心にして旋
回軸８により加工体１は左右に首振り揺動させられなが
ら研削加工が実施される。また、測定時にはワーク！Ｎ
Ｉ２を二点鎖線で示すようにＹ−Ｙ線方向に向くまで旋
回させることにより、このＹ−Ｙ線を中心とする揺動動
作により測定子４１を加工体１の表面になられせて測定
を実施することができる。

続いて第６図に基づき本発明にかかる制御ならびに駆動
回路の構成について説明する。

ここで、　１００は加工制御用コンピュータ（以下で加
工制御部という）であり、加工制御部１００はＣＰＵの
機能と共にＲＯＭおよびＩＩＡＭを有し、そのＩＴＥＭ
には加工に−かかわる各種のサブプログラム等が格納さ
れている。また、　２００は測定用データが処理コンピ
ュータ（以下で測定制御部という）であり、測定制御部
２００においてはディスク　２０１に格納されている加
工用データおよび設計データに基づいて測定された形状
との間の誤差が許容範囲にあるか否かを判断し、後述す
る修正手順のためのデータを求める等の処理を実施する
。なお、２０２はプリンタであり、測定制御部２００に
おいて処理されるデータや情報を記録することができる
。

また、　１０１〜１０６はそれぞれ旋回軸８の駆動用モ
ータ１０のドライバ、粗動スライド部材２Ｂの送り用モ
ータ３２のドライバ、微動スライド部材２３の微動直進
機構３４駆動用トライバ、砥石２１駆勅用モータ２４の
ドライバ、ワーク’Ｉ’ｔｂ　２の駆動用モータ５のド
ライバおよび測定子４１微勅用モータ５０のドライバで
あり、１１は旋回軸８の旋回角度を検出するロータリエ
ンコーダ、６３Ａは干渉計６３を介してレーザにより砥
石２１のセット位置、切込み位置等を検出する検出手段
、６４Ａは同様にして干渉計６４を介し測定子４Ｉの微
移動位置を検出する手段、更にまた　１２０は加工制御
部１００および測定制御部２００に各種データや情報等
の人出力ならびに切換等の操作を実施するための操作器
である。

次に、第７図によって全体の作業手順を説明する。

まず、加工制御部１００ではステップ５１００において
、その加工用ＮＣプログラムに従って加工体１に対し研
削加工を実施し、次のステップ５２００において測定制
御部２００による形状測定工程が実施され、更にステッ
プ５３００でその測定結果として形状の誤差があらかじ
め設定された許容範囲にあるか否かを判断し、許容範囲
になければ次のステップ５４００で測定データを基にし
て加工用プログラムにおけるデータを修正し、この修正
値により再びステップ５１００に戻って、加工制御部１
００によりステップ５２００以下の動作を許容範囲内に
おさまるまで繰返す。

第８図は加工制御部１００において研削を実施する動作
手順を示す。まずそのステップ５ｉｌｌにおいてディス
ク　２０１に格納されている加工用ＮＣプログラムを測
定制御部２００を介して人力し、自己のメモリに記憶す
る。ついで、ステップ５１１２に進み、ここで旋回＋１
８１ｈ８および粗度スライド部材２８の位置決めをドラ
イバ　１０１および１０２によって駆動し、更に微動ス
ライド部材２３をドライバ１０３により駆動して砥石２
１をＮＣプログラムに設定されている初期の切込み位置
にセットする等の準備作業を実施する。

次にステップ５１１３でメモリから１行分のＮＣプログ
ラムを読取り、更にステップ５１１４で旋回角度θ°を
旋回角度検出器（ロータリエンコーダ）１１から人力す
る。なお、ＮＣプログラムには、旋回角度θ°〜θ°に
対応させた砥石２１の直進量、すなわち切込み量Ｓｏ〜
Ｓｉｕｍが設定されている。そこで、次のステップ５１
１５では人力された旋回角度θ°に基づいて、加工体１
の加工面単位面積当りに砥石２１が接触する時間が一定
となるように旋回軸モータドライバ１０１に信号を供給
してモータｌＯの回転速度を制御し、更に次のステップ
５１１Ｂにおいて加工体１の加工面における半径方向の
どの位置に砥石２１が接触してもその接触点において加
工体の回転する周速度が一定になるよう砥石軸モータド
ライバ　１０４に信号を供給し、モータ５を駆動する。

次にステップ５１１７において再度旋回角度をエンコー
ダ１１からの信号によって読出し、ステップ５１１８に
進んでその旋回角度に対応した直進量だけドライバ１０
３により直進機構３４を駆動させる。かくして、ステッ
プ５１１９においてそのＮＣプログラムの一符号に関す
る処理動作が実施完了したか否かを判断し、完了したと
判断したならば次のステッブ５１２０において全体の行
、すなわち旋回角度００〜θ°とそれに対応した直進；
１ｓｏｘｓｉμｍをそれぞれ実現させる動作が全て完了
したか否かを判断し、完了していないと判断した場合は
ステップ５１１３に戻って以下のステップを繰返す。ま
た、完了したと判断したならば、次のステップ５１２１
に進み、ここで、微動スライド部材２３および粗動スラ
イド部材２８を初期位置に復帰させると共にワーク軸駆
動モータ５を停止し、更に旋回軸８を初期の位置に戻す
ようにモータｌＯを駆動する一連の後処理を実施して研
削工程を終了する。

次に第９図を参照しながら測定動作の制御手順について
説明する。

測定にあたっては、まずステップ５２１１において、測
定制御部２００から加工制御部１００を介してドライバ
１０１により旋回用モータｌＯを駆動し、加工体１を保
持するワーク軸２が第５図で示したようにＹ−Ｙ線の方
向に向くようにベースプレート７を旋回させ、その位置
をエンコーダ１１によって検出しながら所定の位置で停
止させ、その後、シリンダ４８を駆動して粗動スライド
部材４６を加工体１に向けて前進させる。そして、更に
その後測定子微動用モータ５０をドライバ１０６によっ
て駆動し、測定子４１を加工体１の中心に接触した状態
とすることによってステップ５２１１による測定初期位
置設定が得られる。

そこで、次のステップ５２１２に進み、測定制御部２０
０の内部でメモリに記憶されている使用済の各種データ
をクリアーし、更にステップ５２１３に進んでドライバ
１０１により加工体保持装置（八）における旋回用モー
タｌＯの定速駆動を開始する。なお、この旋回は測定に
必要な限界の旋回角度まで継続されるもので、次のステ
ップ５２１４において旋回角度を入力し、ステップ５２
１５においてそのエンコーダ１１からの信号による旋回
角度が所定の測定角度、例えば１°、次に２°、・・・
といった単位ごとの設定測定角度に達したか否かを判断
する。かくして、所定の設定測定角度に達したと判断し
たならばステップ５２１６に進み、検＄手段６４＾から
入力した測定子４１の位置を測定データとしてメモリＲ
ＡＭに格納する。

そして、次のステップ５２１７において、上記の測定角
度が所定の測定限界角度であるか否かを判断し、測定限
界角度でないとの判断であればステップ５２１４〜５２
１６を繰返し、設定の測定角度ごとに人力された測定子
４１の位置をメ干りＲＡＭに格納する。また、上記測定
角度が測定限界角度であると判断したならばステップ５
２１８でドライバ１０８によりモータ５０を駆動し、測
定子４１をいったん加工体１から引離し、要すれば更に
シリンダ４８を駆動して粗動スライド部材４６を次の加
工動作に支障のない位置まで後退させるといった測定終
了位置への測定子移動動作を実施する。

かくして次のステップ５２１９に進み、加工体ｌの加工
しようとする形状に関する設計データをディスク　２０
１から読出し、対応する測定角度ごとにその設計データ
と測定データとを比較してその差を演算し、ステップ５
２２０において測定データをディスク　２０１に格納す
ると同時に要すればプリンタ２０２にその測定データ等
を記録する等のデータ後処理を実施する。

ついで第１０図によって修正加工工程の手順について説
明するが、それに先立ち修正実施の原理を第１１図によ
って説明する。第１１図において、ＣＬＩは理想曲面を
あられす曲線であり、本例では旋回測定角度θ°　（こ
こで、０は旋回中心であり、旋回軸の中心線に相当する
）のところを中心にして凸出した破線で示すような部分
曲面ＣＬ２が測定されたものとする。そうするとこれを
修正研削するには、被修正プログラムの砥石２１の中心
軌跡ＣＬ３における測定角度θ°を中心とする位置で、
上記の軌跡ＣＬ３を新ＮＣプログラムではＣ１０のよう
に修正してやる必要がある。

修正加工工程は上記のような原理に基づいて実施される
もので、まずステップ５３１１でディスク２０１に格納
されている被修正ＮＣプログラムを読出してメモリに格
納し、次のステップ５３１２で同じくディスク　２０１
に格納した測定データを読出す。そして、次のステップ
５３１３で上記の測定データに基づいて、測定角度ごと
にデータの正負の値を反転し、このようにして得られた
修正データに基づいて更に次のステップ５３１４におい
て修正加工用のデータを演算する。

すなわち、現実には上述した測定がなされる測定角度の
単位ごと、例えば１°、２°、３°、・・・と、研削制
御のためのプログラムに格納されている旋回角度の単位
θ゛〜θ°とは密度差があり、測定角度の単位の方が粗
い。従って、研削制御用の新ＮＣプログラムでは測定角
度の分割点における内挿計算を実施する必要があり、こ
のような計算がステップ５３１４で実施されるもので、
次のステップ５３１５はステップ５３１４で得られた修
正加工データに基づいて被修正ＮＧプログラムが修正さ
れ新たな修正ＮＣプログラムとしてディスク２０１に格
納される。

ところで、以上に説明した例では砥石スライド装置ＣＢ
）の微動直進機構に圧電素子を用いたインチワームを使
用したが、微動直進機構としてはこれに限られるもので
はなく、差動ねじとモータの組合せを用いてもよい。ま
た、旋回軸等についても必らずしもモータ直結である必
要はなく、ベルト駆動等にすることが可能である。

また、上述の例ではそのスライド部分に静圧軸受用の絞
りとして多孔質噴孔を用いたが絞りの形態は多孔質噴孔
に限られるものではなく、自戒絞り、オリフィス、表面
絞り等であってもよいことは勿論である。

更にまた、加工体ｌの旋回軸中心に対する相対位置の調
節を上述の例ではやとい、すなわち把持部材３の取換え
によって行うようにしたが、これに代えて、例えばワー
ク＠２を枢支している静圧軸受４が固定されているベー
スプレート７をワーク軸方向に移動自在となして調整す
るようにしてもよい。

〔発明の効果〕

以上説明してきたように、本発明によれば、加工体を回
転させながら同時に旋回させ、その旋回角度に対応して
切込みのための微移動が行なわれるもので、そのときの
加工体保持部材の旋回角度と研削部材移動手段の１敗移
動量に対応して加工制御部では回転手段による回転速度
と旋回手段による旋回量とを制御するので、加工体の周
速度が一定で、また、加工単位面積当たりの砥石２１の
接触する時間が一定である条件をもとで、定量の研削を
実施することが可能となり簡単な機構で高精度の研削研
磨を実施することが可能になった。

また、本発明の別の形態によれば、加工体保持部材にお
いてその旋回手段により加工体回転軸の軸方向の向きを
変えるだけで加工体研削面を加工体測定装置の測定子に
対向させることができ、測定子を８動させて加工体に接
触させた状態で、測定制御部によりその研削面形状の測
定が可能であると共に、その測定結果から修正加工のた
めの研削部材Ｂ勅手段による穆動量を制御することが可
能となり、研削加工からその得られた研削面形状の測定
および修正量検出までの一連の動作を高精度を保って実
施することが可能となった。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明研削機械の構成の一例を示す斜視図、第２図はその砥石スライド装置の部分断面図、第３図は第１図に示す研削機械の加工体測定装置におけ
る微動部の部分断面図、第４八図〜第４Ｃ図は本発明研削機械により加工すると
きの３態様を模式に示す説明図、第５図は本発明による研削時と測定時とにおける加工体
保持部材の回動動作を示す斜視図、第６図は本発明研削
機械を駆動制御する回路の構成図、第７図はその制御部を介してなされる一連の動作手順を
示す流れ図、第８図はその研削工程における動作手順を示す流れ図、第９図はその測定工程における動作手順を示す流れ図、第１０図はその修正工程における動作手順を示す流れ図
、第１１図は本発明研削機械において実施される修正の原
理の説明図である。ｌ・・・加工体、２・・・ワーク軸、３・・・把持部材、４・・・軸受、５．１０，２４，３２．５’Ｏ・・・モータ、６．２５
．５１・・・タコジェネレータ、８・・・旋回軸、９．２２・・・静圧軸受、１１．３３・・・ロータリエンコーダ、２１・・・砥石
、２３・・・微動スライド部材、２６・・・微動案内部材、２７・・・静圧パッド、２８・・・粗動スライド部材、２９・・・ベース基板、３０・・・粗動案内部材、３１．４９　・・・送りねじ、３４・・・微動直進機構、４１・・・測定子、４２・・・エアスライド部材、４３・・・案内部材、４６・・・粗動スライド部材、４７・・・転勤案内部材、４８・・・シリンダ、６１．６２・・・コーナキューブリフレクタ、６３．６
４・・・干渉計、６６・・・レーザ発振器、ｉｏｏ・・・加工制御部、１０１　Ｎ１０６・・・ドライバ、１２０・・・操作盤、２００・・・測定制御部、２０１・・・ディスク。２６１ペタカ１（内師序で第２図４３木内部材第３図１加工本第４Ａ図第４Ｃ図手糸売ネ甫工Ｅ書昭和６２年６月９日

Claims

【特許請求の範囲】１）加工体を回転させる回転手段と、該回転手段をその回転軸と直交する旋回軸の周りに旋回
自在に保持する加工体保持装置と、前記旋回軸を旋回さ
せる旋回手段と、その旋回角度の検出手段と、前記加工体を研削する研削部材を前記旋回軸と直交する
方向に移動可能な研削部材移動手段と、該研削部材移動
手段によって移動される前記研削部材の移動量を検出す
る手段と、前記旋回角度の検出手段により検出された旋回角度およ
び前記研削部材の移動量を検出する手段により検出され
た前記研削部材の移動量に対応して前記加工体を回転さ
せる回転手段の回転速度と前記旋回手段の旋回速度とを
制御する手段とを具えたことを特徴とする研削機械。２）加工体を回転させる回転手段と、該回転手段をその回転軸と直交する旋回軸の周りに旋回
自在に保持する加工体保持装置と、前記旋回軸を旋回さ
せる旋回手段と、その旋回角度の検出手段と、前記加工体を研削する研削部材を前記旋回軸と直交する
方向に移動可能な研削部材移動手段と、該研削部材移動
手段によって移動される前記研削部材の移動量を検出す
る手段と、前記旋回軸と前記回転手段の回転軸との交点を通り、前
記旋回軸と直交する方向に移動自在とした加工体研削面
を測定する加工体測定装置と、当該加工体測定装置によ
って測定された前記加工体研削面の形状と、その設定形
状との差に対応して前記研削部材移動手段による移動量
を制御する手段とを具えたことを特徴とする研削機械。