JPS63227076A - レ−ザ装置 - Google Patents

レ−ザ装置

Info

Publication number
JPS63227076A
JPS63227076A JP6195487A JP6195487A JPS63227076A JP S63227076 A JPS63227076 A JP S63227076A JP 6195487 A JP6195487 A JP 6195487A JP 6195487 A JP6195487 A JP 6195487A JP S63227076 A JPS63227076 A JP S63227076A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
diffraction grating
laser
diffraction
gratings
output
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6195487A
Other languages
English (en)
Inventor
Yutaka Uchida
裕 内田
Tatsumi Goto
後藤　達美
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP6195487A priority Critical patent/JPS63227076A/ja
Publication of JPS63227076A publication Critical patent/JPS63227076A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
    • H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
    • H01S3/08004—Construction or shape of optical resonators or components thereof incorporating a dispersive element, e.g. a prism for wavelength selection
    • H01S3/08009—Construction or shape of optical resonators or components thereof incorporating a dispersive element, e.g. a prism for wavelength selection using a diffraction grating

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Lasers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明は発振波長の狭帯域化を行なうためのレーザ装
置に関する。
（従来の技術） レーザ光は被加工物の切断や穴開けなどの加工あるいは
光学的測定など種々の分野で利用されている。そして、
その利用分野によってはレーザ装置から発振されるレー
ザ光を狭帯域化しなければならないことがある。
レーザ装置から発振されるレーザ光を狭帯域化するには
、従来第２図に示すような手段が用いられていた。すな
わち、図中１は固体レーザ、ガスレーザあるいは液体レ
ーザなどのレーザ媒質とこれを励起する励起源とが組込
まれたレーザ活性部である。このレーザ活性部１は光共
振器を形成する高反射鏡２と出力鏡３との間に設けられ
ている。
また、上記レーザ活性部１と出力鏡３との間にはバンド
パスフィルタとしての一対のエタロン４が配設されてい
る。そして、これらのエタロン４によって上記レーザ活
性部１から発振されるレーザ光を狭帯域化するようにし
ている。
しかしながら、このような手段によると、エタロンは耐
久性が十分大きくないから、大出力のレーザ装置に利用
することが難しいということがあった。
また、レーザ光を狭帯域化する他の手段とじて光共振器
を構成する一対の反射鏡のうち、高反射鏡だけを回折格
子に置換えることも行われている。
このような手段によると、発振波長の波長幅は回折格子
の分散により定まるため、波長幅を十分に狭くするには
格子数の多い回折格子を用いなければならない。しかし
ながら、回折格子の格子数を多くすることには限度があ
るばがりが、価格的にも高価になるという欠点がある。
（発明が解決しようとする問題点） この発明は上記事情にもとずきなされたもので、その目
的とするところは、エタロンや格子数の多い回折格子な
どを用いることなくレーザ光の狭帯域化を計ることがで
きるようにしたレーザ装置を提供することにある。
［発明の構成］ （問題点を解決するための手段及び作用）上記問題点を
解決するためにこの発明は、光共振器を形成する高反射
鏡と出力鏡との間にレーザ活性部を設け、このレーザ活
性部を励起してレーザ光を発振させるレーザ装置におい
て、上記出力鏡と高反射鏡とにそれぞれ回折格子を用い
る。
そして、一方の回折格子の０次回舌先をレーザ出力光と
する。
（実施例） 以下、この発明の一実施例を第１図を参照して説明する
。図中１１はたとえばガスレーザや色素レーザなどのレ
ーザ装置のレーザ活性部である。
このレーザ活性部１１の一端には第１の回折格子１２、
他端には上記第１の回折格子１２とで光共振器を形成す
る第２の回折格子１３がそれぞれ配設されている。
上記第１の回折格子１２は使用次数、発振波長に合せて
ブレーズ化されており、全反射鏡としての機能を有する
。上記第２の回折格子１３はブレーズ化がなされていな
いものが用いられていて、この回折格子１３からの０次
回舌先をレーザ出力光として用いる。
このように、光共振器の高反射鏡および出力鏡としてそ
れぞれ第１、第２の回折格子１２．１３を用いたことに
より、これら回折格子１２．１３の格子数が少なくても
、発振波長の狭帯域化を行なうことができる。すなわち
、光共振器の全反射鏡にだけ回折格子を用いた場合の発
振波長幅をａｎｍとし、出力鏡だけに回折格子を用い、
その０次光を出力とした場合の発振波長幅をｂｎｍ（上
記２つの回折格子の格子数が等しければ、ａζｂである
。）とすると、その発振波長はおよそａ／２（あるいは
ｂ／２）となる。
以下、その理由に付いて説明する。すなわち、１枚の回
折格子を用いた場合の理論分解能［Ｄｇ、ｍｌ　１は、
格子間隔をｄ、次数をｍとすれば、 ［Ｄｇ、ｍｌ　１　＝ｍ／ａｃｏｓβｍである。ただし
、００８３ｍはｍ次の回折角である。
また、２枚の回折格子を用いる場合、その理論分解能は
［Ｄｇ、ｍｌ２は、 で示される。ここで、βｍは最初の回折格子のｍ次にお
ける回折角であり、β２は２枚目の回折格子の回折角で
ある。
そして、２枚の回折格子の格子定数を等しく、かつ用い
る次数も等しいとするならば、（１次で用いるならば）
βｍ−β２となり、理論分解能は、ＣＤｇ、ｍｌ　２−
２ｍ／ｄ　ｃ　ｏ　ｓβｍとなり、 ｒＤｇ−ｍｌ　　２　　−　　　［Ｄｇ、　　　ｍ　コ
　、　　×　２となる。したがって、２枚の回折格子を
用いた場合、他の条件が同じならば、得られる波長幅は
回折格子が１枚の場合の半分となる。
なお、上記一実施例では第２の回折格子１３の０次光を
レーザ出力光として用いたが、光共振器の反射に利用し
ない他の次数の回折光をレーザ出力光として用いるよう
にしてもよい。
［発明の効果コ 以上述べたようにこの発明は、光共振器を形成する出力
鏡と高反射鏡とにそれぞれ回折格子を用いるようにした
。したがって、高反射鏡として１枚の回折格子を用いる
従来に比べ発振波長幅をおよそ半分にすることができる
。したがって、格子数の多い回折格子を用いずに済むば
かりか、発振波長の狭帯域化を確実に行なえる。さらに
、エタロンに比べて耐久性に優れるから、大出力のレー
ザ装置にも良好に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明の一実施例を示す装置全体の概略的構
成図、第２図は従来の装置の概略的構成図である。 １１・・・レーザ活性部、１２・・・第１の回折格子、
１３・・・第２の回折格子。 出願人代理人　弁理士　鈴江武彦 第２図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）光共振器を形成する高反射鏡と出力鏡との間にレ
    ーザ活性部を設けてレーザ発振させるレーザ装置におい
    て、上記出力鏡と高反射鏡とにそれぞれ回折格子を用い
    たことを特徴とするレーザ装置。
  2. （２）一方の回折格子からの０次回折光をレーザ出力光
    とすることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のレ
    ーザ装置。
JP6195487A 1987-03-17 1987-03-17 レ−ザ装置 Pending JPS63227076A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6195487A JPS63227076A (ja) 1987-03-17 1987-03-17 レ−ザ装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6195487A JPS63227076A (ja) 1987-03-17 1987-03-17 レ−ザ装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS63227076A true JPS63227076A (ja) 1988-09-21

Family

ID=13186093

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6195487A Pending JPS63227076A (ja) 1987-03-17 1987-03-17 レ−ザ装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS63227076A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07254737A (ja) * 1992-02-05 1995-10-03 Deutsche Forsch & Vers Luft Raumfahrt Ev 導波路形レーザー
EP1012929A2 (en) * 1997-09-10 2000-06-28 Cymer, Inc. Laser with line narrowing output coupler
EP1624545A3 (en) * 2004-06-02 2007-09-19 Raython Company Outcoupler with bragg grating and system and method using same

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07254737A (ja) * 1992-02-05 1995-10-03 Deutsche Forsch & Vers Luft Raumfahrt Ev 導波路形レーザー
EP1012929A2 (en) * 1997-09-10 2000-06-28 Cymer, Inc. Laser with line narrowing output coupler
EP1012929A4 (en) * 1997-09-10 2005-04-13 Cymer Inc LASER HAVING A SPECTRAL RAISE OUTPUT COUPLER
EP1624545A3 (en) * 2004-06-02 2007-09-19 Raython Company Outcoupler with bragg grating and system and method using same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4685107A (en) Dispersion compensated fiber Raman oscillator
US5852627A (en) Laser with line narrowing output coupler
US7489713B2 (en) Tunable fiber laser light source
US4856018A (en) Light source for reduced projection
DE4002162C1 (ja)
US5579420A (en) Optical filter
GB1483023A (en) Coherent semiconductor injection laser array
US20050226557A1 (en) Wavelength tunable light sources and methods of operating the same
JPH03155690A (ja) パラメトリツクパルスレーザ
US5657120A (en) Laser diode system for Raman spectroscopy
JPS63227076A (ja) レ−ザ装置
US4897843A (en) Frequency-agile laser systems
JP2661147B2 (ja) エキシマレーザ装置
JP2900703B2 (ja) 狭帯域レーザ装置
WO2018101281A1 (ja) 光学装置
JPS59165488A (ja) フアイバラマンレ−ザ
US20020135879A1 (en) Super high resolution optical resonator
JPS6132488A (ja) 半導体レ−ザ装置
JP2760181B2 (ja) 狭帯域レーザ装置
EP1005122A1 (en) External cavity type light source
JP2741060B2 (ja) 多重反射干渉器及びそれを用いた安定化レーザ光源
JPH03173486A (ja) 狭帯域化レーザ装置
JPH0374888A (ja) レーザのパルス幅可変装置
JPH05235453A (ja) エキシマレーザ装置
JPH01143372A (ja) 狭帯域レーザ装置