JPS6321878A - 光半導体装置 - Google Patents
光半導体装置Info
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- JPS6321878A JPS6321878A JP61166895A JP16689586A JPS6321878A JP S6321878 A JPS6321878 A JP S6321878A JP 61166895 A JP61166895 A JP 61166895A JP 16689586 A JP16689586 A JP 16689586A JP S6321878 A JPS6321878 A JP S6321878A
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- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
(発明の属する技術分野)
本発明は入射光を電気信号に変換する光電変換素子を光
透過性樹脂を用いて封止した光半導体装置に関する。
透過性樹脂を用いて封止した光半導体装置に関する。
(従来技術の説明)
従来、入射光を電気信号に変換する充電変換装置は第2
図に示すように構成されている。
図に示すように構成されている。
すなわち、光電変換素子1を光電変換素子支持部材2上
に固定保持し、光電変換素子1とリード端子2′の所定
の箇所に、極細金属線3を用いてワイヤボンディングし
、次に、光透過性樹脂4を用いて成形し、外形を形成す
る。その後、リード端子2′の外部導出部2”を必要長
さに切断し、所望状態に曲げるなどして光半導体装置を
構成していた。
に固定保持し、光電変換素子1とリード端子2′の所定
の箇所に、極細金属線3を用いてワイヤボンディングし
、次に、光透過性樹脂4を用いて成形し、外形を形成す
る。その後、リード端子2′の外部導出部2”を必要長
さに切断し、所望状態に曲げるなどして光半導体装置を
構成していた。
ところが、上記構成の従来の光半導体装置には、下達の
ごとき諸問題が存在する。
ごとき諸問題が存在する。
すなわち、(1)光電変換素子1の光受容部が複数個(
n個)の光受容部から構成されている場合、光電変換素
子1のn個の光受容部に均一な光束を有する光6が入射
すると、該n個の光受容部から得られる電気信号は、す
べて同一なレベルにならなければならないところ、実際
上は同一なレベルにならないという問題がある。また、
n個の光受容部のうちのある1つの光受容部に光を入射
させ、その他の光受容部には光を入射させない場合にお
いては、光を入射させない光受容部にも暗電流よりも犬
なる電気信号出力が得られてしまうという問題もある。
n個)の光受容部から構成されている場合、光電変換素
子1のn個の光受容部に均一な光束を有する光6が入射
すると、該n個の光受容部から得られる電気信号は、す
べて同一なレベルにならなければならないところ、実際
上は同一なレベルにならないという問題がある。また、
n個の光受容部のうちのある1つの光受容部に光を入射
させ、その他の光受容部には光を入射させない場合にお
いては、光を入射させない光受容部にも暗電流よりも犬
なる電気信号出力が得られてしまうという問題もある。
更にまた、(if)光透過性樹脂4の表面9にキズ等の
欠陥がある場合、該欠陥より入射した光の光電変換素子
1上の光到達部lO近傍の光受容部からの電気信号出力
が低下してしまうという問題がある。
欠陥がある場合、該欠陥より入射した光の光電変換素子
1上の光到達部lO近傍の光受容部からの電気信号出力
が低下してしまうという問題がある。
本発明は、前述した従来の光半導体装置における上述の
諸問題を克服して、優れた特性を有する光半導体装置を
提供することを目的とする。
諸問題を克服して、優れた特性を有する光半導体装置を
提供することを目的とする。
即ち、本発明の生たる目的は、光透過性樹脂を用いて封
止した光半導体装置において、光;変換素子を構成する
複数個の光受容部から得られる電気信号が均一である光
半導体装置を提供することにある。
止した光半導体装置において、光;変換素子を構成する
複数個の光受容部から得られる電気信号が均一である光
半導体装置を提供することにある。
本発明の他の目的は、光透過性樹脂を用いて封止した光
半導体装置において、光透過性樹脂の表面にキズ等の欠
陥があっても光受容部からの電気信号が低下することの
ない光半導体装置を提供することにある。
半導体装置において、光透過性樹脂の表面にキズ等の欠
陥があっても光受容部からの電気信号が低下することの
ない光半導体装置を提供することにある。
(発明の構成〕
本発明は、前述の従来装置における諸問題を解決して上
記本発明の目的を達成すべく鋭意研究を重ねたところ、
前述の従来装置の諸問題は以下のごとき原因によるもの
であることが判明した。
記本発明の目的を達成すべく鋭意研究を重ねたところ、
前述の従来装置の諸問題は以下のごとき原因によるもの
であることが判明した。
前述の問題の発生原因について、第2図を用いて説明す
る。
る。
即ち、空気層11から光透過性樹脂4および光電変換素
子4に直角に光線6が入射した時光電変換素子1の表面
12で、光が反射散乱される。反射散乱された光強度は
表面12の材料、面積度にも依るが角度依存性を持つ。
子4に直角に光線6が入射した時光電変換素子1の表面
12で、光が反射散乱される。反射散乱された光強度は
表面12の材料、面積度にも依るが角度依存性を持つ。
反射された散乱光は樹脂4がら空気層11へ抜けるもの
もあれば空気層11と樹脂4の界面で反射されるものも
ある。
もあれば空気層11と樹脂4の界面で反射されるものも
ある。
スネルの法則によればある角度θ1で全反射する。θ1
は光透過性樹脂4と空気層11の屈折率により決定され
る。例えば光透過性樹脂4、空気層11の屈折率をそれ
ぞれ1.5.1とした時、θ1は略40度となり略40
度以上になった場合全反射する。従って光電変換素子1
の受光部5の入射光量Aは、次式■で表わされる。
は光透過性樹脂4と空気層11の屈折率により決定され
る。例えば光透過性樹脂4、空気層11の屈折率をそれ
ぞれ1.5.1とした時、θ1は略40度となり略40
度以上になった場合全反射する。従って光電変換素子1
の受光部5の入射光量Aは、次式■で表わされる。
A=(光線6の光量)+(θr (or≧01)をなす
光線の全反射光量の積分値)+ (θr (θrくθl)をなす光線の反射光量の積分値
)・・・・・I 式■の第3項においてθrの値が01より小さい時反射
光量は非常に小さく無視できる値であるが、θrが01
にほぼ近い値になった時に反射光量は犬になる。
光線の全反射光量の積分値)+ (θr (θrくθl)をなす光線の反射光量の積分値
)・・・・・I 式■の第3項においてθrの値が01より小さい時反射
光量は非常に小さく無視できる値であるが、θrが01
にほぼ近い値になった時に反射光量は犬になる。
つまり受光部5の入射光量は光線6の光量と光電変換素
子1面上で受光部5を中心に11.を半径にして描いた
円の円周近傍および円外から反射した光の入射光量の和
となり、後者の不要反射光が入射するために光学特性異
常が生じ、前述のととぎ問題が生じることとなる。
子1面上で受光部5を中心に11.を半径にして描いた
円の円周近傍および円外から反射した光の入射光量の和
となり、後者の不要反射光が入射するために光学特性異
常が生じ、前述のととぎ問題が生じることとなる。
本発明は、上述の知見に基づいて更に研究を続けた結果
完成するに至ったものである。
完成するに至ったものである。
即ち、本発明の光半導体装置は、光電変換素子な光電変
換素子支持部材上に固定保持し、該素子とリード端子を
極細金属線を介して電気的に接続したのち、光透過性樹
脂を用いて封止した光半導体装置であって、ガラスまた
は光透過性樹脂等の部材が封止体外形の少なくとも光透
過面に、前記光透過性樹脂で接着されているかもしくは
、前記光透過性樹脂とは異なる種類の光透過性樹脂によ
り貼り付けられていることを特徴とするものである。
換素子支持部材上に固定保持し、該素子とリード端子を
極細金属線を介して電気的に接続したのち、光透過性樹
脂を用いて封止した光半導体装置であって、ガラスまた
は光透過性樹脂等の部材が封止体外形の少なくとも光透
過面に、前記光透過性樹脂で接着されているかもしくは
、前記光透過性樹脂とは異なる種類の光透過性樹脂によ
り貼り付けられていることを特徴とするものである。
以下、図示の実施例により本発明の詳細な説明するが、
本発明はこれにより何ら制限されるものではない。
本発明はこれにより何ら制限されるものではない。
第1図は、本発明の光半導体装置の1実施例を模式的に
示す断面略図である。なお、第1図において、前述の第
2図と同一符号を付したものは、第2図と同一のものを
示している。すなわち光電変換素子1を光電変換素子支
持部材2に固定保持し、光電変換素子1とリード端子2
′の所定箇所に極細金属線3を用いてワイヤボンディン
グし、次に光透過性樹脂4を、用いて、トランスファー
モールド法等の成形手段により成形し、外形を形成する
。その後、成形体の少なくとも光透過面にガラス7を光
透過性樹脂8を用いて貼り付は光透過性樹脂8を硬化さ
せて接着させる。
示す断面略図である。なお、第1図において、前述の第
2図と同一符号を付したものは、第2図と同一のものを
示している。すなわち光電変換素子1を光電変換素子支
持部材2に固定保持し、光電変換素子1とリード端子2
′の所定箇所に極細金属線3を用いてワイヤボンディン
グし、次に光透過性樹脂4を、用いて、トランスファー
モールド法等の成形手段により成形し、外形を形成する
。その後、成形体の少なくとも光透過面にガラス7を光
透過性樹脂8を用いて貼り付は光透過性樹脂8を硬化さ
せて接着させる。
第1図の本発明の光半導体装置において、ガラス7、光
透過性樹脂8.4の屈折率が略同−であり、dlを光透
過性樹脂4の表面から光電変換素子1のセンサー面まで
の距離、そしてd2をガラス7の厚味と光透過性樹脂8
の厚味の和とし、光線6がガラス7および光電変換素子
1に直角に入射した時、θ、をスネルの法則に従う全反
射角度とすると、光電変換素子1の受光部5に入射する
光量Aは、従来の光半導体装W Cd2= O)の場合
、次式Itで表わされるものとなる。
透過性樹脂8.4の屈折率が略同−であり、dlを光透
過性樹脂4の表面から光電変換素子1のセンサー面まで
の距離、そしてd2をガラス7の厚味と光透過性樹脂8
の厚味の和とし、光線6がガラス7および光電変換素子
1に直角に入射した時、θ、をスネルの法則に従う全反
射角度とすると、光電変換素子1の受光部5に入射する
光量Aは、従来の光半導体装W Cd2= O)の場合
、次式Itで表わされるものとなる。
A=(光線6の光量)+(充電変換素子1面正で1.を
半径にして描いた円の円湖近傍と門外から反射した光の
入射光量の和)・・・・・IIこれに対し、本発明の光
半導体装置(d2≠0)の場合、次式Inで表わされる
ものとなる。
半径にして描いた円の円湖近傍と門外から反射した光の
入射光量の和)・・・・・IIこれに対し、本発明の光
半導体装置(d2≠0)の場合、次式Inで表わされる
ものとなる。
、A=(光線6の光ヱ)+(光1変換素子1面上で12
を半径にして描いた円の円周近情と円外から反射した光
の入射光量の和)・・・・・III弐川に用いて、l1
l=2d1tanθ1Jl 2 = 2 (dl
+ d2) tan θ 112−fL、 =
2d2 tanθ1(θ1、λ、は一定) となる。従ってd2(=ガラス7の厚さと光透過性樹脂
8の厚さの和)を大きくすればする程λ2−IL1の値
が大になることにより反射光の入射する領域が狭くなり
反射による影響が少なくなる。また光の強度は光路長の
二乗に反比例することから、本発明の光半導体装置の場
合、光路長が長くなるゆえに、反射光の入射する強度の
絶対値も減少し影響が少なくなる。つまり反射光の影響
を少なくするためには、光電変換素子1の受光部以外か
らの反射光の影響を少なくするーため受光部以外は光到
達できないようにマスキングすることと、光電変換素子
1の任意の受光部が略J12を半径にして描いた円内に
入るようにガラス7の厚さおよび形状を設計すれば良い
。またマスキングしても光電変換素子1面の受光部部以
外にも光到達する場合、また任意の受光部が略λ2を半
径にして描いた門外に存在せざるを得ない場合は予め影
響の程度を把握しガラス7の厚さおよび形状を設計すれ
ば良い。
を半径にして描いた円の円周近情と円外から反射した光
の入射光量の和)・・・・・III弐川に用いて、l1
l=2d1tanθ1Jl 2 = 2 (dl
+ d2) tan θ 112−fL、 =
2d2 tanθ1(θ1、λ、は一定) となる。従ってd2(=ガラス7の厚さと光透過性樹脂
8の厚さの和)を大きくすればする程λ2−IL1の値
が大になることにより反射光の入射する領域が狭くなり
反射による影響が少なくなる。また光の強度は光路長の
二乗に反比例することから、本発明の光半導体装置の場
合、光路長が長くなるゆえに、反射光の入射する強度の
絶対値も減少し影響が少なくなる。つまり反射光の影響
を少なくするためには、光電変換素子1の受光部以外か
らの反射光の影響を少なくするーため受光部以外は光到
達できないようにマスキングすることと、光電変換素子
1の任意の受光部が略J12を半径にして描いた円内に
入るようにガラス7の厚さおよび形状を設計すれば良い
。またマスキングしても光電変換素子1面の受光部部以
外にも光到達する場合、また任意の受光部が略λ2を半
径にして描いた門外に存在せざるを得ない場合は予め影
響の程度を把握しガラス7の厚さおよび形状を設計すれ
ば良い。
また光透過性樹脂4の表面9にキズ等の異形が存在した
場合、光透過性樹脂4とほぼ同等の屈折率を持つ光透過
性樹脂8でキズ等が埋められ光学特性上影響が少なくな
る。
場合、光透過性樹脂4とほぼ同等の屈折率を持つ光透過
性樹脂8でキズ等が埋められ光学特性上影響が少なくな
る。
なお、本例においてはガラス7を用いた例をあげたが、
ガラス7のかわりに光透過ト樹脂を用いることもできる
。また、ガラス7を光透過性樹脂8で貼り付ける例を記
載したが、光透過性樹脂4をトランスファーモールド法
等により成形する際にガラス7を同時形成し、光透過性
樹脂4そのものでガラス7を接着保持することもできる
。
ガラス7のかわりに光透過ト樹脂を用いることもできる
。また、ガラス7を光透過性樹脂8で貼り付ける例を記
載したが、光透過性樹脂4をトランスファーモールド法
等により成形する際にガラス7を同時形成し、光透過性
樹脂4そのものでガラス7を接着保持することもできる
。
次に本発明の効果について第1図を用いて説明する。本
発明の光半導体装置において、d2が大になればなる程
反射の影響が少なくなるとともに、光路長が長くなるこ
とによる反射光量の絶対値が小さくなりさらに影響が少
なくなる。また、本発明の光半導体装置においては、光
透過性樹脂4の表面9にキズ等の異形が存在しても光透
過性樹脂4.8が略同−屈折率のため光学特性上影響さ
れない。本発明の光半導体装置は、光電変換素子がCC
D等受光面が多分割化されているラインセンサー、エリ
アセンサー等反射の影響がシビアに問われるセンサーに
有効である。
発明の光半導体装置において、d2が大になればなる程
反射の影響が少なくなるとともに、光路長が長くなるこ
とによる反射光量の絶対値が小さくなりさらに影響が少
なくなる。また、本発明の光半導体装置においては、光
透過性樹脂4の表面9にキズ等の異形が存在しても光透
過性樹脂4.8が略同−屈折率のため光学特性上影響さ
れない。本発明の光半導体装置は、光電変換素子がCC
D等受光面が多分割化されているラインセンサー、エリ
アセンサー等反射の影響がシビアに問われるセンサーに
有効である。
第3〜4図を用いて、本発明の光半導体装置をカメラの
オートフォーカスセンサーとして用いた時の光学特性向
上効果について説明する。
オートフォーカスセンサーとして用いた時の光学特性向
上効果について説明する。
第3図は本発明の光半導体装置をカメラのAFセンサー
として用いた場合の光学系展開図を示す。図中、13〜
1aは焦点検出値ff1(AFu)を構成する部品を夫
々示している。即ち、13はピント面近傍に置かれた視
野マスク、14はフィールドレンズ、15は開口15a
、 15bを持つ測距光束分割用マスク、16は二次
結像レンズで、16a 、 16bがレンズ部である。
として用いた場合の光学系展開図を示す。図中、13〜
1aは焦点検出値ff1(AFu)を構成する部品を夫
々示している。即ち、13はピント面近傍に置かれた視
野マスク、14はフィールドレンズ、15は開口15a
、 15bを持つ測距光束分割用マスク、16は二次
結像レンズで、16a 、 16bがレンズ部である。
17は測距用センサー(本発明の光半導体装置)で、多
数の画素が一直線上に並んだ一対のラインセンサー17
a 、 17bを有している。
数の画素が一直線上に並んだ一対のラインセンサー17
a 、 17bを有している。
+8a 、 18bは各々二次結像レンズ16のレンズ
部18a 、 18bによって投影された13aの像で
、該18a 、 18bは境界部がぴったり隣接する様
に15aの大きさが決められている。14は通過した光
束を有効に測距光束分割用マスク15および二次結像レ
ンズ16に導くためのレンズである。
部18a 、 18bによって投影された13aの像で
、該18a 、 18bは境界部がぴったり隣接する様
に15aの大きさが決められている。14は通過した光
束を有効に測距光束分割用マスク15および二次結像レ
ンズ16に導くためのレンズである。
従って当光学系において撮影レンズを通った光束は13
の上で結像し、更に開口1sa 、 15bを通過して
、レンズ部16a%16bによりラインセンサー17a
、 17b上の18a 、 18b内に再結像される
。そしてラインセンサー17a 、 17b上の2像の
相対位置を検出して合焦状態を判別する様になっている
。
の上で結像し、更に開口1sa 、 15bを通過して
、レンズ部16a%16bによりラインセンサー17a
、 17b上の18a 、 18b内に再結像される
。そしてラインセンサー17a 、 17b上の2像の
相対位置を検出して合焦状態を判別する様になっている
。
第4図にその原理を示す。ラインセンサー17a17b
上に投影された像の各々の出力をEa、 Ebとすると
、合焦状態では2像の距離Sがある値SOとなるように
設定されているものとする。そして撮影レンズが非合焦
の状態では5f−5oとなるが、これを検出するために
1iEaとEbを相対的にbatシフトさせて2像の相
関をとるという手法が用いられる。
上に投影された像の各々の出力をEa、 Ebとすると
、合焦状態では2像の距離Sがある値SOとなるように
設定されているものとする。そして撮影レンズが非合焦
の状態では5f−5oとなるが、これを検出するために
1iEaとEbを相対的にbatシフトさせて2像の相
関をとるという手法が用いられる。
ここでもし18a上の像が前述した反射により18a上
自体の像に反射の影響を及ぼすとか、IBb上の像が前
述した反射によりtab上自体の像に反射の影響を及ぼ
すとか、また18a上の像が前述した反射によりl’a
b上の像に反射の影響を及ぼすとか、18b上の像が前
述した反射により18a上の像に反射の影響を及ぼすと
EaとEbは本来の被写体輝度分布とは異なった形状と
なるので真の被写体情報とは異なった情報で相関演算を
していることになり、その結果として検出されたピント
情報に誤差を生ずることとなる。
自体の像に反射の影響を及ぼすとか、IBb上の像が前
述した反射によりtab上自体の像に反射の影響を及ぼ
すとか、また18a上の像が前述した反射によりl’a
b上の像に反射の影響を及ぼすとか、18b上の像が前
述した反射により18a上の像に反射の影響を及ぼすと
EaとEbは本来の被写体輝度分布とは異なった形状と
なるので真の被写体情報とは異なった情報で相関演算を
していることになり、その結果として検出されたピント
情報に誤差を生ずることとなる。
本発明の光半導体装置を用いると反射の影響が減少し正
確なピント情報を与えることになり、特にAFとして有
利なものである。
確なピント情報を与えることになり、特にAFとして有
利なものである。
第1図は本発明の光半導体装置の一実施例を模式的に示
す断面略図であり、第2図は従来の光半導体装置を模式
的に示す断面略図である。第3図は、本発明の光半導体
装置をカメラのAFセンサーとして用いた場合の光学系
展開図であり、第4図は、その原理を説明するための図
である。 1・・・・・光電変換素子、2・・・・・光電変換素子
支持部材、2 ′・・・・・リード端子、2−・・・・
リード端子の外部導出部、3・・・・・極細金属線、4
・・・・・光透過性樹脂、5・・・・・光電変換素子の
光受容部、6・・・・・光線、7・・・・・ガラス、8
・・・・・光透過性樹脂、9・・・・・光透過性樹脂の
表面、lO・・・・・ 光到達部、11・・・・・ 空
気層、12・・・・・光変換素子の表面、13・・・・
・ 視野マスク、14・・・・・ フィールドレンズ、
15・・・・・ 測距光束゛分割用マスク、15a 、
15b・・・・・開口、16・・・・・ 二次結像レ
ンズ、16a 、 16b・・・・・レンズ部17・・
・・・ 測距用センサー、17a 、 17b・・・・
・ラインセンサー、18a 、 IBb・・・・・投影
された13aの像 図面の0書(内容に変更なし) 第1図 第2図 第3図 第4図 手 続 補 正 書 (方式)%式% 1、事件の表示 昭和61年特許願166895号 住所 東京都大田区下丸子3丁目30番2号名称
(ioo)キャノン株式会社 4、代理人 住所 東京都千代田区り町3丁目12番地6訪町グリ
ーンビル 自 発 6、補正の対象 明細書及び図面 7、補正の内容 願書に最初に添付した明細書及び図面の浄書・別紙のと
おり(内容に変更なし) 以 上
す断面略図であり、第2図は従来の光半導体装置を模式
的に示す断面略図である。第3図は、本発明の光半導体
装置をカメラのAFセンサーとして用いた場合の光学系
展開図であり、第4図は、その原理を説明するための図
である。 1・・・・・光電変換素子、2・・・・・光電変換素子
支持部材、2 ′・・・・・リード端子、2−・・・・
リード端子の外部導出部、3・・・・・極細金属線、4
・・・・・光透過性樹脂、5・・・・・光電変換素子の
光受容部、6・・・・・光線、7・・・・・ガラス、8
・・・・・光透過性樹脂、9・・・・・光透過性樹脂の
表面、lO・・・・・ 光到達部、11・・・・・ 空
気層、12・・・・・光変換素子の表面、13・・・・
・ 視野マスク、14・・・・・ フィールドレンズ、
15・・・・・ 測距光束゛分割用マスク、15a 、
15b・・・・・開口、16・・・・・ 二次結像レ
ンズ、16a 、 16b・・・・・レンズ部17・・
・・・ 測距用センサー、17a 、 17b・・・・
・ラインセンサー、18a 、 IBb・・・・・投影
された13aの像 図面の0書(内容に変更なし) 第1図 第2図 第3図 第4図 手 続 補 正 書 (方式)%式% 1、事件の表示 昭和61年特許願166895号 住所 東京都大田区下丸子3丁目30番2号名称
(ioo)キャノン株式会社 4、代理人 住所 東京都千代田区り町3丁目12番地6訪町グリ
ーンビル 自 発 6、補正の対象 明細書及び図面 7、補正の内容 願書に最初に添付した明細書及び図面の浄書・別紙のと
おり(内容に変更なし) 以 上
Claims (2)
- (1)光電変換素子を、光電変換素子支持部材上に固定
保持し、該素子とリード端子を極細金属線を介して電気
的に接続したのち、光透過性樹脂を用いて封止してなる
光半導体装置であって、ガラスまたは光透過性樹脂等の
部材が封止体外形の少なくとも光透過面に、前記光透過
性樹脂で接着されているかもしくは、前記光透過性樹脂
とは異なる種類の光透過性樹脂により貼り付けられてい
ることを特徴とする光半導体装置。 - (2)ガラスまたは光透過性樹脂等の部材の厚さおよび
形状が、光電変換素子の受光部からの反射光がさらに前
記部材露出面で反射され別の受光部に入射するか、ある
いは、光電変換素子の受光部周辺からの反射光がさらに
前記部材露出面で反射され前記受光部に入射する入射光
の影響を減少させる厚さおよび形状である特許請求の範
囲第1項に記載された光半導体装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61166895A JPH0719893B2 (ja) | 1986-07-16 | 1986-07-16 | 光半導体装置 |
EP87306304A EP0253664B1 (en) | 1986-07-16 | 1987-07-16 | Semiconductor photo-sensor and method for manufacturing the same |
DE8787306304T DE3782201T2 (de) | 1986-07-16 | 1987-07-16 | Halbleiterphotosensor und verfahren zu dessen herstellung. |
US08/472,110 US5583076A (en) | 1986-07-16 | 1995-06-07 | Method for manufacturing a semiconductor photo-sensor |
US09/013,031 US5912504A (en) | 1986-07-16 | 1998-01-26 | Semiconductor photo-sensor and method for manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61166895A JPH0719893B2 (ja) | 1986-07-16 | 1986-07-16 | 光半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6321878A true JPS6321878A (ja) | 1988-01-29 |
JPH0719893B2 JPH0719893B2 (ja) | 1995-03-06 |
Family
ID=15839615
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61166895A Expired - Fee Related JPH0719893B2 (ja) | 1986-07-16 | 1986-07-16 | 光半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0719893B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02100374A (ja) * | 1988-10-06 | 1990-04-12 | Fuji Electric Co Ltd | 透明樹脂封止形半導体装置 |
EP0790653A3 (en) * | 1995-09-01 | 1998-04-15 | Canon Kabushiki Kaisha | IC package and its assembly method |
US8084563B2 (en) | 2006-07-07 | 2011-12-27 | Jsr Corporation | Cyclic olefin addition copolymer, process for production thereof, and retardation film obtained from the copolymer |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59123259A (ja) * | 1982-12-28 | 1984-07-17 | Nec Corp | 固体撮像装置 |
JPS59228755A (ja) * | 1983-06-09 | 1984-12-22 | Toshiba Corp | 固体撮像装置 |
-
1986
- 1986-07-16 JP JP61166895A patent/JPH0719893B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59123259A (ja) * | 1982-12-28 | 1984-07-17 | Nec Corp | 固体撮像装置 |
JPS59228755A (ja) * | 1983-06-09 | 1984-12-22 | Toshiba Corp | 固体撮像装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02100374A (ja) * | 1988-10-06 | 1990-04-12 | Fuji Electric Co Ltd | 透明樹脂封止形半導体装置 |
EP0790653A3 (en) * | 1995-09-01 | 1998-04-15 | Canon Kabushiki Kaisha | IC package and its assembly method |
US6383835B1 (en) | 1995-09-01 | 2002-05-07 | Canon Kabushiki Kaisha | IC package having a conductive material at least partially filling a recess |
US8084563B2 (en) | 2006-07-07 | 2011-12-27 | Jsr Corporation | Cyclic olefin addition copolymer, process for production thereof, and retardation film obtained from the copolymer |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0719893B2 (ja) | 1995-03-06 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |