JPS63211472A

JPS63211472A - 画像の復元処理方法

Info

Publication number: JPS63211472A
Application number: JP4477987A
Authority: JP
Inventors: Bunro Komatsu; 小松　文朗
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1987-02-27
Filing date: 1987-02-27
Publication date: 1988-09-02
Anticipated expiration: 2011-10-30
Also published as: JP2549647B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の目的〕（産−＄１−の利用分野）本発明は、画像の復元処理方法に関し、特に、チャージ
アップをしているＳＥＭ（走査電子顕微鏡）画像等の復
元処理に利用して好適な画像の復元処理方法に関するも
のである。

（従来の技術）ＳＥＭ画像でチャージアップが著しい場合、従来は、以
下の各種の方法を場合に応じて選択して実施していた。

即ち、（１）　ステージ傾き角度を変えて観察する。

（２）　ビームの走査方向を変えて観察する。

（３）−１加速電圧を低加速にして観察する。

（３）　−２試料ダメージの心配がない物である場合に
は、加速電圧を高加速にして観察する。

（４）　ビーム電流を下げて観察する。

（５）　試料をＡｕコートして観察する。

等の方法を場合に応じて選択してきた。

（発明が解決しようとする問題点）前記（１）、　　（２）の方法は、ストライブバタン等
に対しては効果があるが、等方的なバタンに対してはあ
まり効果がみられないという欠点がある。前記（３）−
１，（４）の方法では、画質の劣化が生じ、そのため、
加算平均処理とか平滑化処理を行うことにより画質の改
善を行ってきた。

しかし、この様な処理を行うと、その分処理時間がかか
り、特に平滑化処理に於いては、（１）　ハードウェア
で行う場合には、そのカットオフ周波数の選定により大
きく影響を受ける。

（１１）　　ソフトウェアで行う場合には、フィルタリ
ングマトリックス値の設定により大きく影響を受け、ま
た画像によっても多少効果の違いが生じている。

等の欠点がある。（５）のＡｕコートを用いる方法では
、チャージアップはなくなるが、試料を加工するため、
その試料を再利用ができなくなるという欠点がある。

以上述べたように、従来技術では、チャージアップ等の
発生を低下させる方法をとってきたが、それぞれに欠点
がある。

本発明は、従来の方法と異なる方法によって、チャージ
アップを発生している画像からＳ／Ｎの向上した画像を
復元することを目的とする。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段）本発明の画像の復元処理方法は、原画像からＳＮ比の劣
る特定領域の画像データを抽出する工程と、前記画像デ
ータを、辺縁の情報を保存する組み合わせのフィルタマ
トリックスを有するフィルタにより平滑化処理する工程
と、前記平滑化処理により得られる画像データを、線型
あるいは対数変換により画像強調する工程と、前記画像
強調した画像データに基づいて画像を復元する工程と、
を備えたものとして構成される。

（作　用）原画像からＳＮ比の劣る特定領域を指定し、その特定領
域の画像データが抽出される。

その画像データは、辺縁の情報を保存する組み合わせの
３×３あるいは５Ｘ５等のフィルタマトリックスを何す
るメディアンフィルタあるいは空間フィルタにより平滑
化処理される。

その平滑化処理された画像データは、チャージアップ等
によりコントラストが減少しているのを補償するため、
線型あるいは対数変換により画像強調される。

その画像強調された画像データに基づいて画像が復元さ
れる。

（実施例）第１図は、本発明を実施する装置の一例を示すものであ
る。以上に、この装置により本発明を実施する場合につ
いて説明する。

第２図ａは、本発明の実施に際して用いられる原画像を
示す。この画像は、倍率２万倍のレジストバタンの顕微
鏡写真をその特徴部分に着目して描いたものである。同
図ａにおいて、外枠Ａに囲まれた白地として表わされた
部分は、現実の顕微鏡写真においては、真黒につぶれた
部分である。

この第２図ａから、画像下部的１／３の領域Ｂで白っぽ
く波状にチャージアップが発生しているのが明らかであ
る。そのチャージアップに起因して、画像の特に上半分
の部分Ｃが黒く画像がつぶれ、本来観察されるべきレジ
ストパタンＤがほとんど見ることができない。即ち、こ
の第２図ａのバタンは、等方的であると共に非導電性で
あり、そのため加速電圧を１．３ＫＶまで低下してもチ
ャージアップを防ぐことが困難である。その結果、Ａ／
Ｄ変換後の画像では、チャージアップの発生模様は把握
できるが、実際のバタン情報の観察は殆んど不能である
。

この原画像は第１図の原画像データ入力装置１１に原画
像データとして人力される。その原画像データから次段
の特定領域の画像データ抽出装置１２によって上部半分
の画像データが抽出される。この抽出された上部半分の
画像データは次段の平滑化処理装置１３において３×３
のフィルタマトリックスに基づく平滑化処理が施される
。こ求めた。抽出領域のコントラストがチャージアップ
の影響で極端に悪いので、次に、次段の画像強調処理装
置で画像強調を行う。ここでは、画像強調前後の濃淡値
を、Ｓ　（ｘ、　　ｙ）及びＳ’　　（ｘ。

ｙ）とおいた場合に、Ｓ’　（ｘ、ｙ）　−２５５Ｓｗａｘ（ｘ、ｙ）　−Ｓｍ１ｎ　（ｘ、ｙ）なる式で
線型に画像強調を行った。（１）式で、Ｓ　ｍａｘ及び
５ａｉｎは、それぞれ抽出した画像データのうち、濃淡
値が最大及び最小となる値を示す。

このようにして画像強調されたデータは、画像復帰装置
１５によって画像復元され、それがさらに次段の復元画
像表示装置１６に表示される。

第２図すは、このような画像処理によって得られた復元
画像を示すものである。この復元画像は、２万倍の顕微
鏡写真を、その特徴を抽出して描いたものである。同図
すにおいて、外枠Ａに囲まれた白地として表わされた部
分は、同図ａの場合と同様に、現実の顕微鏡写真におい
ては真黒につぶれた部分である。この復元画像によれば
、レジストバタンＤが明確に観察できる。よって、本発
明の方法が極めて効果的であるのがわかる。（上述の第
２図ａ、ｂは、相互に正確に対比した関係にある。）なお、本実施例では、平滑化処理として３×３の空間フ
ィルタ処理を行っているが、これに限らず、メディアン
フィルタ処理でも可能であり、更にフィルタマ］・リッ
クスの次数も、３Ｘ３．５Ｘ５あるいは７×７等に拡張
可能である。また、フ合わせであれば任意に選択可能で
ある。

また、画像強調処理として線型の強調を例に述べたが、
これに限らず、Ｓ’　　（ｘ、ｙ）　　− １ｏｇ　Ｓｍａｘ　（Ｘ、ｙ）　　−ｌｏｇ　、Ｓｍ１
ｎ　（ｘ、ｙ）×２５５　　　　　　　　　　　　　・
・・・・・・・・（２）のように対数変換して強調する
ことも可能である。

〔発明の効果〕

このように、本発明の画像の復元処理方法によれば、チ
ャージアップを発生している画像がらＳ／Ｎの向上した
画像を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施に使用する装置の一例を示すブロ
ック図、第２図ａ、　　ｂは本発明による画像処理の前
、後の状態を示すためレジストパタンを２万倍に拡大し
た顕微鏡写真の特徴抽出図である。１１・・・原画像データ入力装置、１２・・・特定領域
の画像データ抽出装置、１３・・・平滑化処理装置、１
４・・・画像強調処理装置、１５・・・画像復元装置、
１６・・・復元画像表示装置。

Claims

【特許請求の範囲】原画像からＳＮ比の劣る特定領域の画像データを抽出す
る工程と、前記画像データを、辺縁の情報を保存する組み合わせの
フィルタマトリックスを有するフィルタにより平滑化処
理する工程と、前記平滑化処理により得られる画像データを、線型ある
いは対数変換により画像強調する工程と、前記画像強調
した画像データに基づいて画像を復元する工程と、を備えたことを特徴とする画像の復元処理方法。