JPS63195197A - Ktp及びその同一構造型の結晶並びにそのエピタキシーをフラックス合成する方法 - Google Patents
Ktp及びその同一構造型の結晶並びにそのエピタキシーをフラックス合成する方法Info
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B9/00—Single-crystal growth from melt solutions using molten solvents
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/10—Inorganic compounds or compositions
- C30B29/14—Phosphates
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- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、KTiOPO4(あるいは−燐酸カリウムチ
タニル、以下文中KTPとする)の同−構造型の固溶体
の結晶及びエピタキシーのフラックス合成に係る。
タニル、以下文中KTPとする)の同−構造型の固溶体
の結晶及びエピタキシーのフラックス合成に係る。
本発明は、基本特許出願であるC、N、R’、S、名義
の1985年7月26日付は仏国特許出願第85711
520号を発展させたものである。当該出願の対応日本
国特許出願特願昭61−175477号(特公昭62−
27314号)の開示内容は本明細書の一部とする。
の1985年7月26日付は仏国特許出願第85711
520号を発展させたものである。当該出願の対応日本
国特許出願特願昭61−175477号(特公昭62−
27314号)の開示内容は本明細書の一部とする。
この基本特許出願は、合成すべき結晶に対応するアルカ
リ全屈のハロゲン化物をフラックスとして使用し、得よ
うとする結晶に必要なアルカリメタホスフェート及びア
ルカリ酸化物を、化合物を合成するなめに酸化チタンと
の反応に必要な量を越えて過剰に使用するKTP型の結
晶のフラックス合成方法に係る。
リ全屈のハロゲン化物をフラックスとして使用し、得よ
うとする結晶に必要なアルカリメタホスフェート及びア
ルカリ酸化物を、化合物を合成するなめに酸化チタンと
の反応に必要な量を越えて過剰に使用するKTP型の結
晶のフラックス合成方法に係る。
該方法は、炉内に配置されるルツボに、酸化チタンと所
望化合物の構成成分の酸化物、酸化物の前駆体もしくは
塩との混合物、又は予め製造されたKTPタイプの化合
物を導入することからなるKTPタイプ結晶の合成法で
あって、この混合物又は化合物を約1100から600
℃の間の一定温度に加熱することによって、前記結晶中
に導入すべき少なくとも1種類のアルカリハロゲン化物
に溶解し、次いで前記ルツボを約り0℃/時未満の速度
でほぼ室温まで冷却し、形成されたガラス結晶を分離す
ることを特徴とする合成法である。
望化合物の構成成分の酸化物、酸化物の前駆体もしくは
塩との混合物、又は予め製造されたKTPタイプの化合
物を導入することからなるKTPタイプ結晶の合成法で
あって、この混合物又は化合物を約1100から600
℃の間の一定温度に加熱することによって、前記結晶中
に導入すべき少なくとも1種類のアルカリハロゲン化物
に溶解し、次いで前記ルツボを約り0℃/時未満の速度
でほぼ室温まで冷却し、形成されたガラス結晶を分離す
ることを特徴とする合成法である。
rに導入したるつぼ内で酸化チタンと所望の化金物の成
分の酸化物、酸化物の前駆物質又は塩との混合物を使用
するこの方法は、この混合物に少なくとも1種のアルカ
リハロゲン化物を加え、形成された混合物を約25〜1
00時間の間に約1100〜800℃の値の一定温度に
し、その後、約り0℃/時未満の速度で室温に近い温度
までるつぼを冷却し、形成された結晶を分離することを
特徴とする。
分の酸化物、酸化物の前駆物質又は塩との混合物を使用
するこの方法は、この混合物に少なくとも1種のアルカ
リハロゲン化物を加え、形成された混合物を約25〜1
00時間の間に約1100〜800℃の値の一定温度に
し、その後、約り0℃/時未満の速度で室温に近い温度
までるつぼを冷却し、形成された結晶を分離することを
特徴とする。
発明者らの新たな研究の結果、主にアルカリ塩化物を使
用し、またアルカリホウ化物及びフッ化物を使用するこ
とにより、この型の結晶の合成条件を600〜750℃
程度の比較的低い温度に規定することが可能になった。
用し、またアルカリホウ化物及びフッ化物を使用するこ
とにより、この型の結晶の合成条件を600〜750℃
程度の比較的低い温度に規定することが可能になった。
この温度範囲ではアルカリハロゲン化物の代わりにアル
カリ水酸化物を使用できることが判明したが、水酸化物
は800℃以上になると使用される混合物中で著しく分
解するので高温では使用できなかった。
カリ水酸化物を使用できることが判明したが、水酸化物
は800℃以上になると使用される混合物中で著しく分
解するので高温では使用できなかった。
別の態様によると、本発明者らはフラックスとしてアル
カリ水酸化物を使用することにより、あるいは基本特許
出願の方法に従ってアルカリハロゲン化物を使用するこ
とにより、KTr’の同−構造型も調製した。
カリ水酸化物を使用することにより、あるいは基本特許
出願の方法に従ってアルカリハロゲン化物を使用するこ
とにより、KTr’の同−構造型も調製した。
更に別の態様によると、本発明者らはKTP及びその同
−構造型の成長及びエピタキシー条件を決定した。
−構造型の成長及びエピタキシー条件を決定した。
本発明によるKTP及び式KaRb+−aTiOPbA
s+−bO< (但し、0≦a≦1及び0≦b≦1)に
対応するその同−構造型の合成方法は、炉に導入したる
つぼ内で酸化チタンと所望の化合物の金属成分の酸化物
、酸化物の前駆物質又は塩との混合物を使用することか
ら成る。
s+−bO< (但し、0≦a≦1及び0≦b≦1)に
対応するその同−構造型の合成方法は、炉に導入したる
つぼ内で酸化チタンと所望の化合物の金属成分の酸化物
、酸化物の前駆物質又は塩との混合物を使用することか
ら成る。
該方法は、
一フラックスとしてK又はRhの水酸化物を使用し、−
約5〜25°C/amの熱勾配を使用することにより約
25〜100時間の間に混合物を約600〜800°C
の温度にし、 −溶液中の表面の近傍に稚子を導入し、次にm一定温度
を維持するか又は1〜b る 段階から成ることを特徴とする。
約5〜25°C/amの熱勾配を使用することにより約
25〜100時間の間に混合物を約600〜800°C
の温度にし、 −溶液中の表面の近傍に稚子を導入し、次にm一定温度
を維持するか又は1〜b る 段階から成ることを特徴とする。
本発明の好’fmM成によると、方法で使用される混合
物の組成は、添付図面の3元図Tie、、^2BzOs
、^X(但し八はに、Rh、、、BはP、As1−F、
XはO1+、0≦X≦1、及び0≦y≦1)の五角形F
CIIIFの表面により表されるゾーン内で選択される
。
物の組成は、添付図面の3元図Tie、、^2BzOs
、^X(但し八はに、Rh、、、BはP、As1−F、
XはO1+、0≦X≦1、及び0≦y≦1)の五角形F
CIIIFの表面により表されるゾーン内で選択される
。
好適には過剰の^J2osを使用する。
本発明者らは3元図^Jios、TiO2、^X(X=
F、 CI、Br)の斜線ゾーンにおけるKTPのフラ
ックス成長に得られた結果に鑑み、基本特許出願の操作
方法に従うことにより、初期組成が擬似3元図式。B2
01、TiOx、^X[但し^=KIRb、−x(0≦
X≦1)、o=p、八g+−y(0≦y≦1)、X=C
I、 F、 Br、OH及びnは2〜4である]で表さ
れ得る溶融混合物中における一般式%式%) 合物の成長及びエピタキシー条件を決定した。
F、 CI、Br)の斜線ゾーンにおけるKTPのフラ
ックス成長に得られた結果に鑑み、基本特許出願の操作
方法に従うことにより、初期組成が擬似3元図式。B2
01、TiOx、^X[但し^=KIRb、−x(0≦
X≦1)、o=p、八g+−y(0≦y≦1)、X=C
I、 F、 Br、OH及びnは2〜4である]で表さ
れ得る溶融混合物中における一般式%式%) 合物の成長及びエピタキシー条件を決定した。
有利にはnは2であり、従って初期組成は擬似3元図^
211206、TiO□、ΔXで表される。モル分率α
、β、γは、夫々αが約0.78〜o、oe、βが0.
3〜0.08、γが0.87〜0.05である。
211206、TiO□、ΔXで表される。モル分率α
、β、γは、夫々αが約0.78〜o、oe、βが0.
3〜0.08、γが0.87〜0.05である。
従って本発明は、より特定的には同一構造型に−Rb+
−−TiOr’−^S+−bL(但しKTP、 RII
TP及びa= 0.21.0.6及び0.77の化合物
、即ちその単位質量条件(conditions ma
ssiques)での合成が出願人により基本特許出願
及び1986年7月23日付はヨーロッパ特許出願第s
e/4ote7o、4号に既に記載されている化合物は
除く)を得るためのフラックス合成方法にも係る。これ
らの同−構造型を得るためには、上記に規定したアルカ
リ水酸化物のフラックス合成方法、又は変形例として上
記仏画特許出願及びヨーロッパ特許出願に規定されてい
るようなアルカリハロゲン化物のフラックス合成方法、
−即ち1)a−酸化チタン、 b−これらの同一構造型の成分の酸化物、酸化物の前駆
物質又は塩(これらの化合物の割合はアルカリ酸化物の
モル分率とP2O5のモル分率との比が1又は1〜2の
範囲となるように選択される)、C−これらの同一桁造
型のアルカリ金属の塩化物、フッ化物又は臭化物から選
択されたハロゲン化物フラックス(a、 b、 cの割
合は600〜800℃の温度で低粘度の混合物が得られ
且つK(Ti)z(PO4)*が形成されないように選
択される)を組み合わせることによりフラックス組成物
を形成し、2)a、 b、 cの混合物を600〜11
00℃、特に600〜750℃の一定温度に加熱し、 3)約り0℃/時未溝の速度で室温に近い温度まで混合
物を冷却し、 4)工程中に形成されたガラス物質から同一構造型の結
晶を分離する ことから成る方法を使用する。
−−TiOr’−^S+−bL(但しKTP、 RII
TP及びa= 0.21.0.6及び0.77の化合物
、即ちその単位質量条件(conditions ma
ssiques)での合成が出願人により基本特許出願
及び1986年7月23日付はヨーロッパ特許出願第s
e/4ote7o、4号に既に記載されている化合物は
除く)を得るためのフラックス合成方法にも係る。これ
らの同−構造型を得るためには、上記に規定したアルカ
リ水酸化物のフラックス合成方法、又は変形例として上
記仏画特許出願及びヨーロッパ特許出願に規定されてい
るようなアルカリハロゲン化物のフラックス合成方法、
−即ち1)a−酸化チタン、 b−これらの同一構造型の成分の酸化物、酸化物の前駆
物質又は塩(これらの化合物の割合はアルカリ酸化物の
モル分率とP2O5のモル分率との比が1又は1〜2の
範囲となるように選択される)、C−これらの同一桁造
型のアルカリ金属の塩化物、フッ化物又は臭化物から選
択されたハロゲン化物フラックス(a、 b、 cの割
合は600〜800℃の温度で低粘度の混合物が得られ
且つK(Ti)z(PO4)*が形成されないように選
択される)を組み合わせることによりフラックス組成物
を形成し、2)a、 b、 cの混合物を600〜11
00℃、特に600〜750℃の一定温度に加熱し、 3)約り0℃/時未溝の速度で室温に近い温度まで混合
物を冷却し、 4)工程中に形成されたガラス物質から同一構造型の結
晶を分離する ことから成る方法を使用する。
β<0.3の一定温度の種子成長条件が特に有利である
ことが判明した。
ことが判明した。
砒酸塩を調製するためには、好ましくはアルカリポウ化
物のフラックスを使用する。
物のフラックスを使用する。
下表は、添付図面の線図に示した溶融出発混合物の初期
化学組成、及び本発明の好適具体例に従う固溶体の結晶
の合成実験時に得られた結晶の化学組成を要約するもの
である。
化学組成、及び本発明の好適具体例に従う固溶体の結晶
の合成実験時に得られた結晶の化学組成を要約するもの
である。
これらの溶融混合物の初期組成は一般式:%式%)]
3元図は、α[^JtOsコ+βTiO□+γ[へXコ
に対応する。
に対応する。
得られた固溶体の結晶は組成:に、Rb、−、TP−A
s+−(但し0≦a≦1且つ0≦b≦1)に対応する。
s+−(但し0≦a≦1且つ0≦b≦1)に対応する。
図中において点T及びSは夫々組成物R11、R12、
R13、R14、R21、R22、R23、及びR26
、R27、R28、R29を表す。
R13、R14、R21、R22、R23、及びR26
、R27、R28、R29を表す。
本発明は、単位質量基Jl (subsLraL +n
assique)から各種の組成単結晶薄層を作成する
方法にも係る。
assique)から各種の組成単結晶薄層を作成する
方法にも係る。
本発明の他の利点及び特徴は3元図へJams 、Ti
O□、^Xに関する図面を参考に、本発明の合成方法を
示す以下の実施例に明示される。
O□、^Xに関する図面を参考に、本発明の合成方法を
示す以下の実施例に明示される。
及1匠L: 直径25mm及び高さ60n+mのプラ
チナ開放るつぼにおけるKTi^Sの結晶の合成(実@
R26)。
チナ開放るつぼにおけるKTi^Sの結晶の合成(実@
R26)。
出発混合物としてR26: 43.2gKIlz八sO
,+へ2gTi0t+9gKClを導入した。
,+へ2gTi0t+9gKClを導入した。
混合物の導入は脱水−稠密化の連続段階により行った。
プラチナ薄膜により閉止しなるつぼを勾配炉に導入した
。炉を数時間で950℃にした。この温度を96時間維
持した。この時、アルカリハロゲン化物の蒸発は最大で
あった。
。炉を数時間で950℃にした。この温度を96時間維
持した。この時、アルカリハロゲン化物の蒸発は最大で
あった。
次に炉を1℃/時で500℃まで、次いで10℃/時で
室温まで冷却しな。
室温まで冷却しな。
実験後にるつぼを計量した処、アルカリハロゲン化物が
著しく蒸発していることがわかった。
著しく蒸発していることがわかった。
温水中でガラス溶解により結晶を抽出した。単一の化合
物が結晶し、X線分析及び電子マイクロゾンデ分析によ
りKTiOAsO4であると同定した。
物が結晶し、X線分析及び電子マイクロゾンデ分析によ
りKTiOAsO4であると同定した。
2種の結晶が得られた。一方は蒸発による成長によって
生じる20mm’のKTiOAsO4の透明結晶から構
成され、他方は緩慢な冷却により生じる1辺が0.1m
mの非常に小さい結晶から形成されていた。
生じる20mm’のKTiOAsO4の透明結晶から構
成され、他方は緩慢な冷却により生じる1辺が0.1m
mの非常に小さい結晶から形成されていた。
衷JLf阻3工: (実験R28)
初期出発混合物としてR28: 54.3yRbHz八
so<+12yTiOz + 14.51FRhCIを
使用することにより実施例1と同様に操作した。
so<+12yTiOz + 14.51FRhCIを
使用することにより実施例1と同様に操作した。
炉に導入したるつぼを60時間で800℃にした。
冷却速度は500℃まで3℃/時とした後、室温まで1
0℃7時とした。
0℃7時とした。
10mm”のRbTi0AsO4の透明結晶が得られた
。
。
実」1阻」−:(実@R23、R29)実施例1と同一
の条件で実験R23及びR29を実施した。出発混合物
は夫々R23: 4.08gKIlzPO4+0.53
yKOII+ 1.47FIKC1+4.21?R1r
OII+2yTiOz +3.45g^s20゜+1.
241?RbC1、R29: 4.4gRb11zl’
O,+3.3gKIIzr’O,+8.61?KII、
^804 + 4.8gTi0z + 2.7gKCl
+ 1.5yRbC!とじた。
の条件で実験R23及びR29を実施した。出発混合物
は夫々R23: 4.08gKIlzPO4+0.53
yKOII+ 1.47FIKC1+4.21?R1r
OII+2yTiOz +3.45g^s20゜+1.
241?RbC1、R29: 4.4gRb11zl’
O,+3.3gKIIzr’O,+8.61?KII、
^804 + 4.8gTi0z + 2.7gKCl
+ 1.5yRbC!とじた。
混合物を72時間で800℃にしてから3℃/時で50
0℃まで、それから10℃7時で室温にした。2015
のに、Rb、−、P、八s+−bO4(組成R23の場
合a=0.72及びb=0.52′、組成R29の場合
a=0.72及びb=0.55)の透明結晶を抽出した
。
0℃まで、それから10℃7時で室温にした。2015
のに、Rb、−、P、八s+−bO4(組成R23の場
合a=0.72及びb=0.52′、組成R29の場合
a=0.72及びb=0.55)の透明結晶を抽出した
。
実験811、RL2.1113、R21及びR22も同
様である。
様である。
浴の初期組成及び対応する固溶体の結晶の組成は要約一
覧表に示した。
覧表に示した。
実JL医」二: (実@27)
X=CIをX=Br4.1m替え、混合物R27: 3
.92Kfltf’On+12.1yKHt^s04+
4.8gTiO2+5.752KBrを使用して実施例
1と同様に操作した。
.92Kfltf’On+12.1yKHt^s04+
4.8gTiO2+5.752KBrを使用して実施例
1と同様に操作した。
10−15mmコのKTiOPo、4z^SO,5I0
4の透明結晶を得た。
4の透明結晶を得た。
実]1舛5:X=O■(実験Re)の浴から出発するK
TP種子上の成長実験。
TP種子上の成長実験。
直径25mm高さ60mmのプラナするつぼに混合物R
6: 42.822に11□PO,+3.59gTi0
□+7.35gKO11を導入した。
6: 42.822に11□PO,+3.59gTi0
□+7.35gKO11を導入した。
混合物を脱水後、稠密化した。開放るつぼを炉に導入し
た。るつぼの底部を熱ゾーンとし、数時間で20℃/c
mの鉛直温度勾配をるつぼ内に形成した。実験の全工程
中、この温度勾配を維持した。
た。るつぼの底部を熱ゾーンとし、数時間で20℃/c
mの鉛直温度勾配をるつぼ内に形成した。実験の全工程
中、この温度勾配を維持した。
KTPの結晶をプラチナ線によりサスペンドさせ、約6
85℃の一定温度でるつぼの冷却ゾーンに置いた。
85℃の一定温度でるつぼの冷却ゾーンに置いた。
17時間後に抽出した結晶を観察した処、11人/秒の
低い線形成長速度に対応する良好な品質の成長が認めら
れた。
低い線形成長速度に対応する良好な品質の成長が認めら
れた。
実J1舛j−:組成R25の浴から出発するKo、<J
bo、5tTl’種子上の成長実験。
bo、5tTl’種子上の成長実験。
混合物の組成は、R25: 34.43gRb0II
+ 15.67yKLPO,+19.32gNlI41
1□PO< + 4.07gTi0□+10.1511
RbCI +4.30gKClである。
+ 15.67yKLPO,+19.32gNlI41
1□PO< + 4.07gTi0□+10.1511
RbCI +4.30gKClである。
実験の条件は実施例5と同様である。
るつぼ内に15℃/cmの熱勾配を形成した。この条件
下で結晶温度は645℃であった。24時間後に結晶を
抽出した。線形成長速度は約30人/秒であった。
下で結晶温度は645℃であった。24時間後に結晶を
抽出した。線形成長速度は約30人/秒であった。
及1乱L: 組成R14: 31.2117K112P
OA +7.64yRbO11+ 4.291FNH4
H2PO4+ 8.88gTi0z + 8.55yK
C1+ 2.26g11bCIの浴から出発するRbT
P種子上の成長実験。
OA +7.64yRbO11+ 4.291FNH4
H2PO4+ 8.88gTi0z + 8.55yK
C1+ 2.26g11bCIの浴から出発するRbT
P種子上の成長実験。
実施例5と同一の条件で操作した。結晶は6℃/cmの
勾配で690℃の温度で得られた。線形成長速度は約1
1人/秒であった。
勾配で690℃の温度で得られた。線形成長速度は約1
1人/秒であった。
及11影:組成R25: 34.43yRb011 +
15.67yKIIzPO<+ 19.3hN)!J
*PO+ + 4.07gTi0□+10.152Rb
C1+4.309KCIの浴から出発するKTP結晶上
のエピタキシー実験。
15.67yKIIzPO<+ 19.3hN)!J
*PO+ + 4.07gTi0□+10.152Rb
C1+4.309KCIの浴から出発するKTP結晶上
のエピタキシー実験。
エピタキシー実験の実施条件は実施例らと同様である。
結晶は10℃7amの熱勾配で645℃の温度で得られ
た。
た。
20時間後に結晶を抽出した。エピタキシャル成長した
単結晶層の組成はKo、asRba、xsTPであった
。
単結晶層の組成はKo、asRba、xsTPであった
。
得られた15人/秒という低い線形成長速度は、小さい
厚さと良好な光学品質の堆櫃に適合する。
厚さと良好な光学品質の堆櫃に適合する。
Castaingの電子マイクロゾンデで定量すること
により薄層の化学組成を決定した。
により薄層の化学組成を決定した。
及LL2−: 組成R25: 34.43gRb01
1 +15.67gKHzPO<+ 19.321FN
H<HzPO<+ 4.071FTiO2+ 10.1
5+7RbC1+4゜30gKCIの浴から出発するに
6 、 t 5Rbo 、 25TP結晶上のエピタキ
シー実験。
1 +15.67gKHzPO<+ 19.321FN
H<HzPO<+ 4.071FTiO2+ 10.1
5+7RbC1+4゜30gKCIの浴から出発するに
6 、 t 5Rbo 、 25TP結晶上のエピタキ
シー実験。
操作条件は実施例5と同様である。
10℃/cmの熱勾配で645℃の温度で結晶に6.7
SRbo、2sTPが得られた。20時間後に浴から結
晶を抽出した。その成長速度は15人/秒であった。エ
ピタキシャル成長した層の組成はKo、sJIg、3*
TPであった。
SRbo、2sTPが得られた。20時間後に浴から結
晶を抽出した。その成長速度は15人/秒であった。エ
ピタキシャル成長した層の組成はKo、sJIg、3*
TPであった。
え1匠役:組成R’ 25: 34.431FRbO1
l + 15.67yKHiPO4+5.67gKL^
804 + 19.3hNII+1tzl’o+ +4
.07gTi0z±10.15fIRbCl + 5.
459KCIの浴から出発するKT′P結晶上のエピタ
キシー実験。
l + 15.67yKHiPO4+5.67gKL^
804 + 19.3hNII+1tzl’o+ +4
.07gTi0z±10.15fIRbCl + 5.
459KCIの浴から出発するKT′P結晶上のエピタ
キシー実験。
実験の条件は実施例5と同様である。この実験では5℃
/c111の小さい熱勾配で650℃の温度で結晶が得
られた。24時間後に結晶を抽出した。成長速度は約5
人/秒であった。エピタキシャル成長した層の化学的分
析によると、組成はKa、yJbo、zsrp、4.Δ
sO,61であツタ。
/c111の小さい熱勾配で650℃の温度で結晶が得
られた。24時間後に結晶を抽出した。成長速度は約5
人/秒であった。エピタキシャル成長した層の化学的分
析によると、組成はKa、yJbo、zsrp、4.Δ
sO,61であツタ。
笈l匠肚:組成R30: 24.88gRb011+1
.84gKII□P04+13.96yNl14H2P
O,+ 1.54yTiOx+0.331FKF+ 5
.28gRbFの浴から出発するKo、<Jb+、5y
TP結晶上のエピタキシー実験。
.84gKII□P04+13.96yNl14H2P
O,+ 1.54yTiOx+0.331FKF+ 5
.28gRbFの浴から出発するKo、<Jb+、5y
TP結晶上のエピタキシー実験。
χ=OHをX=Fに替え、実施例5と同様に操作した。
20℃/cI11の熱勾配で690℃の温度でKo、=
Jbo、5tTPの結晶が得られた。実験の長さは20
時間であった。
Jbo、5tTPの結晶が得られた。実験の長さは20
時間であった。
成長速度は10人/秒であり、エピタキシャル成長した
層の組成はKo、+5Rbo、5sTr’であった。
層の組成はKo、+5Rbo、5sTr’であった。
火」1烈1ζ−組成R40: 25.12KzHPO,
+6.5yRbllzPO4+11゜3g(NH<)l
lzPo4+ 8.1yTiO□+7.1gKCl+
x、5gRbClの浴から出発するKTP結晶上のエピ
タキシー実験。
+6.5yRbllzPO4+11゜3g(NH<)l
lzPo4+ 8.1yTiO□+7.1gKCl+
x、5gRbClの浴から出発するKTP結晶上のエピ
タキシー実験。
出発組成R40は組成R13の浴と同一の化学量論的係
数α、β、γを有するが、ここでは過剰のアルカリ酸化
物を導入した。なお過剰のアルカリ酸化物は、単にアル
カリハロゲン化物のモル分率(γで表す)の10%を5
%のアルカリ酸化物^20(^=に、Rb、、)に置換
することにより表すことができる。
数α、β、γを有するが、ここでは過剰のアルカリ酸化
物を導入した。なお過剰のアルカリ酸化物は、単にアル
カリハロゲン化物のモル分率(γで表す)の10%を5
%のアルカリ酸化物^20(^=に、Rb、、)に置換
することにより表すことができる。
操作条件は実施例5と同様である。
炉を約850℃の一定温度に維持した。5℃/cmの熱
勾配でKTPを結晶させた。15時間後に結晶を抽出し
たが、エピタキシャル成長層の成長速度は5人/秒であ
り、その組成はa=0.9に対応する。
勾配でKTPを結晶させた。15時間後に結晶を抽出し
たが、エピタキシャル成長層の成長速度は5人/秒であ
り、その組成はa=0.9に対応する。
及1匠旦:組成R41: 36.12に211PO<
+ 9.3yRbH21’04+ 5.1g(N114
)lI2PO4+ 8゜4FITi02+0.8yKC
1+0.2gRbClの浴における組成Ko 、 5R
bo 、 ITPの結晶の成長実験。
+ 9.3yRbH21’04+ 5.1g(N114
)lI2PO4+ 8゜4FITi02+0.8yKC
1+0.2gRbClの浴における組成Ko 、 5R
bo 、 ITPの結晶の成長実験。
出発組成は組成R13の浴と同一の化学量論的係数α、
β、γを有するが、ここでは過剰のアルカリ酸化物を導
入した。なお過剰のアルカリ酸化物はアルカリハロゲン
化物のモル分率の90%を45%のアルカリ酸化物Δ2
0(^=KxRb+−jに置換することにより表すこと
ができる。
β、γを有するが、ここでは過剰のアルカリ酸化物を導
入した。なお過剰のアルカリ酸化物はアルカリハロゲン
化物のモル分率の90%を45%のアルカリ酸化物Δ2
0(^=KxRb+−jに置換することにより表すこと
ができる。
実施例5と同一の条件で操作した。
T内に約850℃までの温度で5℃/c111の熱勾配
を維持した。20時間後に結晶を抽出した。エピタキシ
ャル成長した単結晶層は10人7秒の低い成長速度に対
応する良好な品質を示した。
を維持した。20時間後に結晶を抽出した。エピタキシ
ャル成長した単結晶層は10人7秒の低い成長速度に対
応する良好な品質を示した。
七〇の ・ び、 ・番
結晶の同定は粉末法及び回転結晶法によりX線を使用し
て行った。
て行った。
結晶パラメータの測定は自動回折計で実施した。
Castaingの電子マイクロゾンデによる化学分析
により、固溶体結晶及びエピタキシー堆績の組成を決定
した。
により、固溶体結晶及びエピタキシー堆績の組成を決定
した。
各種組成の単結晶薄層が得られ、有利な割合により光学
及び電気光学特性を変化させることができるので、例え
ば光学スイッチを作成するなめにこれらの材料を年債光
学系として使用することができる。
及び電気光学特性を変化させることができるので、例え
ば光学スイッチを作成するなめにこれらの材料を年債光
学系として使用することができる。
バルク材料に関しては、適用範囲はKTPに頭似してい
る。
る。
従って、YAG、Nd、−KTPの同−tV1道型を組
み合わせると、希ガスレーザーの代替物となる。
み合わせると、希ガスレーザーの代替物となる。
このようなソースは密度及び信顆性の面で有利である。
II e −N eレーザーのような低出力レーザーの
代わりに探索及び測量用として使用することも可能であ
る。従って、非線形結晶薄層を二重にすることも可能で
ある。
代わりに探索及び測量用として使用することも可能であ
る。従って、非線形結晶薄層を二重にすることも可能で
ある。
更に、医療用として適用する場合には、赤外線及び可視
光線との2波長系を配置すると有利である。
光線との2波長系を配置すると有利である。
伍ill五凶]目L:
KII2PO,: MERCK type pr
o analysi(リファレンス4873) Ti02: MERCK type Lab
(リファレンス808)KOII: MER
CK type pro analysi(リファレン
ス5021) RbC1: MERCK type pro
analysi(す77レンス7615) KCI: HERCK type pro
analysi(リファレンス4936) ^3205,5/3H20: MERCK type
pro ana、Iysi(リファレンス114) KBr: MERCK type pro
analysi(リファレンス4905) KF: MERCK type pro a
nalysi(リファレンス4994) NII4tlzP04: PROLABOtype
Normapur(リファレンス21305.29) RbF: CERAC純度99.9(リファ
レンスR−50%水性RbOH: VENTRON 9
9%溶液(リファレンス1660B) K4P2O7: CARLOERBA type
PRE(リファレンス473915) ^5206、K1.^304、RbHzPO4、RbH
z^so、の調製:AszOs: ^s20..5
/31120の脱水KH,八sO,: ^520g
、5/311.0をに0■と反応Rb1l□r’04:
N114112PO4をRb OIIと反応Rb
Hz^s04: ^5201.5/31+20をRb
OIIと反応。
o analysi(リファレンス4873) Ti02: MERCK type Lab
(リファレンス808)KOII: MER
CK type pro analysi(リファレン
ス5021) RbC1: MERCK type pro
analysi(す77レンス7615) KCI: HERCK type pro
analysi(リファレンス4936) ^3205,5/3H20: MERCK type
pro ana、Iysi(リファレンス114) KBr: MERCK type pro
analysi(リファレンス4905) KF: MERCK type pro a
nalysi(リファレンス4994) NII4tlzP04: PROLABOtype
Normapur(リファレンス21305.29) RbF: CERAC純度99.9(リファ
レンスR−50%水性RbOH: VENTRON 9
9%溶液(リファレンス1660B) K4P2O7: CARLOERBA type
PRE(リファレンス473915) ^5206、K1.^304、RbHzPO4、RbH
z^so、の調製:AszOs: ^s20..5
/31120の脱水KH,八sO,: ^520g
、5/311.0をに0■と反応Rb1l□r’04:
N114112PO4をRb OIIと反応Rb
Hz^s04: ^5201.5/31+20をRb
OIIと反応。
図面は^zLOs、TiO□、^Xの3元図である。
Claims (6)
- (1)炉に導入したるつぼ内で酸化チタンと所望の化合
物の金属成分の酸化物、酸化物の前駆物質又は塩との混
合物を使用することから成る基本特許出願である198
5年7月26日付け仏国特許出願第85/11520号
の請求項1に記載のKTP及びその同一構造型のフラッ
クス合成方法であって、フラックスとしてK又はRbの
水酸化物を使用し、約25〜100時間の間に混合物を
約600〜800℃の温度にして約5〜25℃/cmの
熱勾配を使用し、溶液中の表面の近傍に種子を導入し、
次に一定温度を維持するか又は1〜5℃/時で冷却する
ように操作することにより、式K_aRb_1_−_a
TiOP_bAs_1_−_bO_4(但し、0≦a≦
1及び0≦b≦1)で表されるKTPの同一構造型を調
製することを特徴とする方法。 - (2)使用される混合物の組成が、添付図面のTiO_
2、A_2B_2O_6、AX3元図[但しAはK_x
Rb_1_−_x(0≦x≦1)、XはOH、及びBは
PyAs_1_−_y(0≦y≦1)を表す]の五角形
FGHIJの表面により表されるゾーン内で選択される
ことを特徴とする請求項1に記載の方法。 - (3)擬似3元図AnB_2O_6、TiO_2、AX
[但しA=K_xRb_1_−_x(0≦x≦1)、B
=PyAs_1_−_y(0≦y≦1)、X=F、Cl
、Br又はOH及びnは2〜4である]に含まれる初期
組成を使用する、一般式にK_aRb_1_−_aTi
OP_bAs_1_−_bO_4(0≦a≦1及び0≦
b≦1)の化合物[但し単位質量成長条件(condi
tions de croissance massi
que)で調製されるa=0.21、0.6及び0.7
7の化合物は除く]の調製へ、のアルカリ水酸化物のフ
ラックスがアルカリハロゲン化物のフラックスに置換さ
れ得る請求項1に記載の方法の適用。 - (4)β<0.3となるように斜線ゾーンに含まれる組
成を使用して種子成長させることを特徴とする請求項3
に記載の適用。 - (5)砒酸塩を合成するために、フラックスとしてAB
rを使用することを特徴とする請求項3又は4に記載の
適用。 - (6)単位質量基層(substrat massiq
ue)から種々の組成の単結晶薄層を作成することを特
徴とする請求項3から5のいずれかに記載の適用。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR8700811 | 1987-01-23 | ||
FR878700811A FR2609976B2 (fr) | 1985-07-26 | 1987-01-23 | Syntheses en flux de cristaux et epitaxies de solutions solides isotypes de ktiopo4 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63195197A true JPS63195197A (ja) | 1988-08-12 |
JPH0662358B2 JPH0662358B2 (ja) | 1994-08-17 |
Family
ID=9347223
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63012432A Expired - Lifetime JPH0662358B2 (ja) | 1987-01-23 | 1988-01-22 | Ktp及びその同一構造型の結晶並びにそのエピタキシーをフラックス合成する方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4961819A (ja) |
JP (1) | JPH0662358B2 (ja) |
CN (1) | CN1021428C (ja) |
CA (1) | CA1304275C (ja) |
DE (1) | DE3801862A1 (ja) |
FR (1) | FR2609976B2 (ja) |
GB (1) | GB2200622B (ja) |
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---|---|---|---|---|
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JPH0360488A (ja) * | 1989-07-28 | 1991-03-15 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | ヒ酸チタン・カリウム単結晶の製造方法 |
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US5039187A (en) * | 1990-09-06 | 1991-08-13 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | M1-x Nx TiAs1-a Pa O5 waveguides grown by liquid phase epitaxy and process of making same |
US5264073A (en) * | 1992-02-28 | 1993-11-23 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Hydrothermal process for growing optical-quality single crystals and aqueous mineralizer therefor |
US5326423A (en) * | 1992-03-25 | 1994-07-05 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Doped crystalline titanyl arsenates and preparation thereof |
JPH0664995A (ja) * | 1992-05-15 | 1994-03-08 | Sony Corp | KTiOPO4 単結晶及びその製造方法 |
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US7317859B2 (en) * | 2004-08-25 | 2008-01-08 | Advanced Photonics Crystals | Periodically poled optical crystals and process for the production thereof |
US8389099B1 (en) | 2007-06-01 | 2013-03-05 | Rubicon Technology, Inc. | Asymmetrical wafer configurations and method for creating the same |
KR100961555B1 (ko) | 2008-02-15 | 2010-06-07 | 한국과학기술원 | 루비듐 타이타닐 아스네이트 단결정의 강유전 단일 분역화방법 |
CN108448095B (zh) * | 2018-03-23 | 2021-04-09 | 南开大学 | 一种钠离子电池电极材料KTiOPO4的合成及应用 |
CN114645328B (zh) * | 2020-12-21 | 2023-06-09 | 中材人工晶体研究院有限公司 | 一种ppktp晶体的制备方法 |
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JPS565400A (en) * | 1979-06-18 | 1981-01-20 | Du Pont | Crystal growth of ktiopo4 and its analogue compound |
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